1.一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:
(1)在基底上旋涂電子束光刻膠,烘干后得在基底上的電子束光刻膠層;
(2)用電子束曝光方法將所述基底上的電子束光刻膠層圖案化,得帶有圖案化的電子束光刻膠層的基底;
(3)在所述帶有圖案化的電子束光刻膠層的基底上沉積PEDOT:PSS,一定溫度下干燥得中間物;
(4)用有機(jī)溶劑浸泡所述中間物除去電子束光刻膠,用大量去離子水沖洗后得在基底上圖案化的有機(jī)電極PEDOT:PSS,實(shí)現(xiàn)圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS。
2.如權(quán)利要求1所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,所述電子束光刻膠為聚甲基丙烯酸甲酯或聚甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸甲酯的混合酯;所述聚甲基丙烯酸甲酯的分子量為495K或950k。
3.如權(quán)利要求1所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,步驟(3)中一定溫度下干燥為在120℃-220℃下干燥5-30min。
4.如權(quán)利要求1-3任一所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,所述步驟(2)中圖案化的精度為0.01微米至100微米。
5.如權(quán)利要求1-3任一所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,所述步驟(4)用有機(jī)溶劑浸泡為在丙酮中可改為50℃-100℃溫度浸泡0.5-12h。
6.如權(quán)利要求1-3任一所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,步驟(3)中PEDOT:PSS沉積方法為旋涂法,所用旋涂液為PEDOT:PSS與異丙醇按體積比1:1的混合溶液。
7.如權(quán)利要求1-3任一所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,步驟(1)中所述烘干的條件為:170℃-190℃溫度下保持1-2min。
8.如權(quán)利要求1-3任一所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,所述基底任意表面光滑的襯底皆可。
9.如權(quán)利要求1-3任一所述一種圖案化有機(jī)電極PEDOT:PSS的方法,其特征在于,所述步驟(3)中一定溫度下干燥為在180℃溫度下干燥15-30min。