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一種雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11836836閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),包括一單晶襯底,兩個P柱區(qū)和一N型外延層,其中:

所述單晶襯底為刻蝕有等距離的多個凹槽的襯底的一個單元;

所述兩個P柱區(qū)外延形成于所述單晶襯底的凹槽中;

所述N型外延層形成于所述單晶襯底和所述兩個P柱區(qū)的頂端。

2.如權(quán)利要求1所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述單晶襯底、所述兩個P柱區(qū)和所述N型外延層構(gòu)成漂移區(qū)。

3.如權(quán)利要求1所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述兩個P柱區(qū)材料的摻雜濃度與所述單晶襯底的摻雜濃度相同。

4.如權(quán)利要求1所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述N型外延層于所述單晶襯底和所述兩個P柱區(qū)經(jīng)刻蝕和CMP平整化后外延生長得到。

5.如權(quán)利要求4所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述N型外延層的摻雜濃度與所述單晶襯底的摻雜濃度相同。

6.如權(quán)利要求1所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,在所述單晶襯底的下方還包括一P+集電區(qū)和一集電極,所述集電極位于所述P+集電區(qū)下方。

7.如權(quán)利要求6所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,在所述N型外延層上方還包括一P基區(qū)、兩個多晶硅柵極、兩個柵氧化層、兩個N+源區(qū)、一P+基區(qū)、一發(fā)射極。

8.如權(quán)利要求1所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述N型外延層上表面具有Trench結(jié)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求9所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述Trench結(jié)構(gòu)與所述兩個P柱區(qū)相隔離。

10.如權(quán)利要求1所述的雙向耐壓的絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),其特征在于,所述單晶襯底的兩側(cè)凹槽等寬,其總寬度與凹槽間距離相等。

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