技術總結(jié)
本發(fā)明公開了一種新型的貫序旋轉(zhuǎn)結(jié)構無阻塞RF?MEMS開關矩陣，包括若干成矩陣排列的開關構件，每個開關構件包括四個結(jié)構相同且貫序旋轉(zhuǎn)的子構件，所述子構件為三層矩形結(jié)構，底層為硅基底，中間層為二氧化硅絕緣層，上層為傳輸線與開關結(jié)構。本發(fā)明減少了傳統(tǒng)crossbar型RF?MEMS開關矩陣構件中的開關個數(shù)，同時將跨接結(jié)構與懸臂梁開關結(jié)構結(jié)合，減少不連續(xù)結(jié)構。本發(fā)明中的RF?MEMS開關矩陣子構件通過貫序旋轉(zhuǎn)的方式構成開關矩陣構件，進而組成大型RF?MEMS開關矩陣。本發(fā)明使直通通路的通斷能夠由其相鄰一個或兩個單元的開關控制。大大減少了RF?MEMS開關單元的個數(shù)，降低了由開關單元帶來的累積性能損失。同時開關的減少也使得開關矩陣小型化，并且提高了開關矩陣整體的可靠性。

技術研發(fā)人員：盛衛(wèi)星;周偉偉;韓玉兵;馬曉峰;張仁李;崔杰
受保護的技術使用者：南京理工大學
文檔號碼：201610783998
技術研發(fā)日：2016.08.30
技術公布日：2016.11.23