本發(fā)明涉及用在收納容器上的氣體清洗用過濾器，該收納容器在對由半導(dǎo)體晶片等構(gòu)成的基板進行收納、保管、搬運、運輸?shù)葧r使用。

背景技術(shù)：

作為用于收納由半導(dǎo)體晶片構(gòu)成的基板并將其在工廠內(nèi)的工序中搬運的收納容器，從以往就已知具有容器主體和蓋體的收納容器。

容器主體具有在一個端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉的筒狀的壁部。蓋體能夠相對于容器主體開口部裝拆，且能夠封閉容器主體開口部。通過由蓋體封閉該容器主體，而在收納容器內(nèi)形成有收納基板等的收納空間。收納空間由容器主體的壁部和蓋體的內(nèi)表面包圍而形成，能夠收納多個基板。

在為蓋體的部分且是當(dāng)封閉容器主體開口部時與收納空間相對的部分上設(shè)有前保持器。前保持器當(dāng)由蓋體封閉容器主體開口部時，能夠支承多個基板的緣部。此外，與前保持器成對地，在壁部上設(shè)有里側(cè)基板支承部。里側(cè)基板支承部能夠支承多個基板的緣部。里側(cè)基板支承部在由蓋體封閉容器主體開口部時，與前保持器聯(lián)動地支承多個基板，由此在使相鄰的基板彼此以規(guī)定間隔分離而并列的狀態(tài)下，保持多個基板(參照專利文獻1～2)。

此外，在容器主體上設(shè)有過濾器。根據(jù)需要在過濾器內(nèi)部設(shè)有止回閥。從過濾器穿通并從收納容器的外部向收納空間，由將氮氣等非活性氣體或水分去除(1％以下)的干燥空氣(以下稱為清洗氣體)進行氣體清洗。止回閥防止基于氣體清洗而填充至收納空間的氣體泄漏(參照專利文獻3～4)。

在為了將上述過濾器安裝至容器主體而設(shè)的貫穿孔(連通開口)中，安裝有上述過濾器。此時，為了將容器主體和過濾器設(shè)為密封構(gòu)造，過濾器的殼體(護環(huán))是由彈性材料形成的(專利文獻5)。此外，為了進行氣體清洗，需要使氣體清洗裝置的清洗端口與過濾器緊密接觸。由于在該情況下過濾器的殼體也是由彈性材料形成的，所以在清洗端口被按壓至過濾器上時，供清洗端口抵接的部分的過濾器殼體會彈性變形，能夠使清洗端口的前端與過濾器緊密接觸。由此，能夠有效地由清洗氣體對收納容器的收納空間進行氣體清洗。在先技術(shù)文獻

專利文獻1：日本專利第4204302號公報

專利文獻2：日本專利第4201583號公報

專利文獻3：日本專利第5241607號公報

專利文獻4：日本特開第2007-533166號公報

專利文獻5：日本專利第5213440號公報

如前述那樣，作為過濾器殼體的材質(zhì)而使用彈性材料，由此能夠?qū)⑹占{容器和過濾器容易地密封，還能夠確保過濾器與清洗端口之間的緊密性，能夠進行有效的氣體清洗。但是，過濾器殼體的供清洗氣體通過的通氣空間也由彈性材料形成，清洗氣體會接觸到該彈性材料，并向收納空間流動。彈性材料是吸濕、吸水率高且逸氣多的材料。

近年來，要求半導(dǎo)體工序的細(xì)微化和半導(dǎo)體芯片的成品率的提高。由此，對收納半導(dǎo)體晶片的收納容器也要求了盡可能地降低來自構(gòu)成收納容器的材質(zhì)的有機氣體或氯氣等的逸氣、和容器內(nèi)部的濕度。

由此，存在如下問題，即雖然進行利用清洗氣體的氣體清洗，但是清洗氣體會從由彈性材料成形的過濾器殼體的通氣空間穿過，由此彈性材料中所含的水分和對半導(dǎo)體晶片不利的逸氣會含在清洗氣體中，從而不能將收納容器的內(nèi)部的環(huán)境維持于清潔的狀態(tài)。由于該問題，存在半導(dǎo)體芯片的成品率下降的問題。

雖然若通過低逸氣、低吸濕、低吸水性的樹脂來構(gòu)成過濾器殼體，則能夠解決上述的問題，但是在該情況下，由于彈性降低，從而與清洗端口之間的緊密性會降低，存在顆?；虿幌Ｍ臍怏w、水分會從清洗端口與過濾器的間隙進入至收納容器內(nèi)部的問題?；蛘撸嬖谟捎谶^濾器殼體與清洗端口之間的緊密性的下降，而導(dǎo)致清洗氣體從清洗端口的前端部泄漏，氣體清洗的效率下降的問題點。由此，在以往，具有無法同時解決上述問題點的課題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種氣體清洗用過濾器，其能夠通過清洗氣體有效地置換收納容器的收納空間內(nèi)的氣體，且能夠維持收納容器內(nèi)部的清潔度。

本發(fā)明提供一種氣體清洗用過濾器，其安裝在收納容器的連通開口上，該收納容器通過容器主體和蓋體而在內(nèi)部形成有收納空間，其中，所述容器主體在一個端部具有容器主體開口部，所述蓋體能夠相對于所述容器主體開口部裝拆且能夠封閉所述容器主體開口部，所述連通開口形成在所述容器主體或者所述蓋體的至少任意一個上且能夠使所述收納容器的外部空間與所述收納空間連通，所述氣體清洗用過濾器的特征在于，具有：過濾器殼體，其具有能夠使所述收納容器的外部空間的氣體與所述收納空間的氣體通氣的通氣空間；和襯墊，其形成在所述過濾器殼體的所述收納空間的外側(cè)且以將形成所述通氣空間的一部分的噴嘴部的外周面覆蓋的方式形成，所述過濾器殼體由熱塑性樹脂形成，所述襯墊由彈性體形成。

此外，優(yōu)選為，氣體清洗用過濾器前端部由在所述噴嘴部的前端部形成在所述收納空間的外側(cè)方向上的噴嘴前端部、和在所述襯墊的前端部形成在所述收納空間的外側(cè)方向上的襯墊外側(cè)前端部構(gòu)成，在該氣體清洗用過濾器前端部中，當(dāng)用于清洗所述收納容器的內(nèi)部氣體的氣體清洗裝置的清洗端口與所述氣體清洗用過濾器前端部抵接，執(zhí)行氣體清洗時，所述噴嘴前端部的位置與抵接在所述氣體清洗用過濾器前端部上的所述襯墊外側(cè)前端部的位置相同，或者向所述收納空間的外側(cè)方向突出。

而且，優(yōu)選為，在所述清洗端口與所述氣體清洗用過濾器前端部抵接之前，所述襯墊外側(cè)前端部的位置與所述噴嘴前端部的位置相同，或者向所述收納空間的外側(cè)方向突出。

或者，優(yōu)選為，在所述清洗端口與所述氣體清洗用過濾器前端部抵接之前，所述噴嘴前端部的位置與所述襯墊外側(cè)前端部的位置相比向所述收納空間的外側(cè)方向突出。

而且，優(yōu)選為，所述襯墊為單體的狀態(tài)下的所述襯墊外側(cè)前端部的內(nèi)徑的形狀比所述噴嘴前端部的外徑小。

并且，優(yōu)選為，在所述過濾器殼體的所述通氣空間內(nèi)，具有將氣體的流通方向限制為固定方向的止回閥機構(gòu)。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種氣體清洗用過濾器，其能夠有效地進行基于清洗氣體的收納容器的收納空間內(nèi)的氣體的置換，且能夠維持收納容器內(nèi)部的清潔度。由此，由于能夠延長半導(dǎo)體晶片暴露在非活性氣體或干燥空氣中的比例，所以能夠提高基于半導(dǎo)體晶片所制造的半導(dǎo)體芯片的成品率。而且，能夠在短時間內(nèi)有效地進行基于清洗氣體的氣體置換，因此使工序縮短，也有助于降低成本。

附圖說明

圖1是表示在收納容器1上安裝有本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80，且收納有基板w的狀態(tài)的分解立體圖。

圖2是表示在收納容器1上安裝有本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的狀態(tài)的下方立體圖。

圖3a是表示本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的上方立體圖。

圖3b是表示本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的下方立體圖。

圖4是表示本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的分解立體圖。

圖5是表示將本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80安裝于收納容器1上的部分的剖視圖。

圖6是將圖5中的氣體清洗用過濾器前端部406的附近放大的剖視圖。

圖7a是將本發(fā)明的第2實施方式的氣體清洗用過濾器80a的氣體清洗用過濾器前端部406a的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800抵接之前的狀態(tài)的圖。

圖7b是將本發(fā)明的第2實施方式的氣體清洗用過濾器80a的氣體清洗用過濾器前端部406a的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800抵接后的狀態(tài)的圖。

圖8a是將本發(fā)明的第3實施方式的氣體清洗用過濾器80b的氣體清洗用過濾器前端部406b的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800b抵接之前的狀態(tài)的圖。

圖8b是將本發(fā)明的第3實施方式的氣體清洗用過濾器80b的氣體清洗用過濾器前端部406b的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800b抵接后的狀態(tài)的圖。

圖9是表示本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c的分解立體圖。

圖10是本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c的供氣用的氣體清洗用過濾器的剖視圖。

圖11是本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c的排氣用的氣體清洗用過濾器的剖視圖。

具體實施方式

(第1實施方式)

以下，參照附圖說明本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80。圖1是表示在收納容器1上安裝有本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80，且收納有基板w的狀態(tài)的分解立體圖。圖2是表示在收納容器1上安裝有本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的狀態(tài)的下方立體圖。圖3a是表示本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的上方立體圖。圖3b是表示本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的下方立體圖。圖4是表示本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的分解立體圖。圖5是表示將本發(fā)明的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80安裝于收納容器1上的部分的剖視圖。圖6是將圖5中的氣體清洗用過濾器前端部406的附近放大的剖視圖。

在此，為了方便說明，將從后述的容器主體2朝向蓋體3的方向(圖1中的從右上朝向左下的方向)定義為前方向，將其相反的方向定義為后方向，將這雙方合并定義為前后方向。此外，將從后述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的上方向)定義為上方向，將其相反的方向定義為下方向，將這雙方合并定義為上下方向。此外，將從后述的第2側(cè)壁26朝向第1側(cè)壁25的方向(圖1中的從右下朝向左上的方向)定義為左方向，將其相反的方向定義為右方向，將這雙方合并定義為左右方向。

此外，收納在收納容器1中的基板w(參照圖1)為圓盤狀的硅晶片、玻璃晶片、水晶晶片等，是用于工業(yè)的薄片。本實施方式的基板w為直徑300mm～450mm的硅晶片。

如圖1所示，收納容器1收納由上述那樣的硅晶片構(gòu)成的基板w而用作工序內(nèi)容器或用作出貨容器，其中，工序內(nèi)容器在工廠內(nèi)的工序中搬運基板，出貨容器用于通過陸運方式、空運方式、海運方式等的運輸方式來運輸基板，且收納容器1具有容器主體2、蓋體3、作為側(cè)方基板支承部的基板支承板狀部5、里側(cè)基板支承部(未圖示)、和作為蓋體側(cè)基板支承部的前保持器(未圖示)。

容器主體2具有在一個端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內(nèi)形成有收納空間27。收納空間27由壁部20包圍而形成。在為壁部20的部分且是形成收納空間27的部分上，配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，在收納空間27內(nèi)能夠收納多個基板w。

基板支承板狀部5以在收納空間27內(nèi)成對的方式設(shè)在壁部20上。基板支承板狀部5在容器主體開口部21沒有由蓋體3封閉時，與多個基板w的緣部抵接，由此能夠在使相鄰的基板w彼此以規(guī)定間隔分離而并列的狀態(tài)下，支承多個基板w的緣部。在基板支承板狀部5的里側(cè)，設(shè)有里側(cè)基板支承部(未圖示)。

里側(cè)基板支承部(未圖示)以在收納空間27內(nèi)與前保持器(未圖示)成對的方式設(shè)在壁部20上。里側(cè)基板支承部(未圖示)在容器主體開口部21由蓋體3封閉時，與多個基板w的緣部抵接，由此能夠支承多個基板w的緣部的后部。

蓋體3能夠相對于形成容器主體開口部21的開口周緣部31(圖1等)裝拆，并能夠封閉容器主體開口部21。前保持器(未圖示)設(shè)在如下部分上，該部分為蓋體3的部分且是在容器主體開口部21由蓋體3封閉時與收納空間27相對的部分。前保持器(未圖示)以在收納空間27的內(nèi)部與里側(cè)基板支承部(未圖示)成對的方式配置。

前保持器(未圖示)在容器主體開口部21由蓋體3封閉時，與多個基板w的緣部抵接，由此能夠支承多個基板w的緣部的前部。前保持器(未圖示)在容器主體開口部21由蓋體3封閉時，與里側(cè)基板支承部(未圖示)協(xié)作來支承多個基板w，由此能夠在使相鄰的基板w彼此以規(guī)定間隔分離而并列的狀態(tài)下保持多個基板w。

收納容器1由塑料等的樹脂構(gòu)成，在無特別說明的情況下，作為該材料的樹脂例如可以列舉出：聚碳酸酯、環(huán)烯烴聚合物、聚醚酰亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物這些熱塑性樹脂、和這些樹脂的合金等。對于這些成形材料的樹脂，在付與導(dǎo)電性的情況下，可以選擇性地添加碳纖維、碳粉、碳納米管、導(dǎo)電性聚合物等導(dǎo)電性物質(zhì)。此外，為了提高剛性也可以添加玻璃纖維或炭纖維等。

以下具體地說明各部分。

如圖1等所示，容器主體2的壁部20具有里側(cè)壁22、上壁23、下壁24、第1側(cè)壁25和第2側(cè)壁26。里側(cè)壁22、上壁23、下壁24、第1側(cè)壁25、以及第2側(cè)壁26由上述的材料構(gòu)成，且一體成形地構(gòu)成。

第1側(cè)壁25與第2側(cè)壁26相對，上壁23與下壁24相對。上壁23的后端、下壁24的后端、第1側(cè)壁25的后端、以及第2側(cè)壁26的后端全部與里側(cè)壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側(cè)壁25的前端、以及第2側(cè)壁26的前端構(gòu)成開口周緣部31，該開口周緣部31具有與里側(cè)壁22相對的位置關(guān)系，且形成大致長方形狀的容器主體開口部21。

開口周緣部31設(shè)在容器主體2的一個端部，里側(cè)壁22位于容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內(nèi)表面、即里側(cè)壁22的內(nèi)表面、上壁23的內(nèi)表面、下壁24的內(nèi)表面、第1側(cè)壁25的內(nèi)表面、以及第2側(cè)壁26的內(nèi)表面形成由這些面包圍的收納空間27。形成在開口周緣部31上的容器主體開口部21與由壁部20包圍而在容器主體2的內(nèi)部形成的收納空間27連通。在收納空間27中最多能夠收納25張基板w。

如圖1所示，在為上壁23以及下壁24的部分且是開口周緣部31的附近的部分上，形成有向著收納空間27的外側(cè)凹陷的閂卡合凹部40a、40b、41a、41b。閂卡合凹部40a、40b、41a、41b在上壁23以及下壁24的左右兩端部附近各形成1個，共計4個。

如圖1所示，在上壁23的外表面，與上壁23一體成形地設(shè)有肋28。該肋28是為了提高容器主體的剛性而設(shè)的。

此外，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣29。頂部凸緣29是在amhs(自動晶片搬運系統(tǒng))、pgv(晶片基板搬運臺車)等將收納容器1吊下時，在收納容器1中成為被鉤掛而被吊下的部分的部件。

如圖1以及圖2所示，在下壁24的四角，作為通氣路而形成有作為連通開口的貫穿孔45。在本第一實施方式中，下壁24的前方的2處貫穿孔45是用于使容器內(nèi)部的氣體排出的排氣孔，后方的2處貫穿孔45是用于向容器內(nèi)部供給氣體的供氣孔。在供氣孔與排氣孔的貫穿孔45中，分別配置有氣體清洗用過濾器80。

如圖3a、圖3b、圖4、圖5所示，氣體清洗用過濾器80具有作為過濾器殼體90的第1殼體100和第2殼體200、過濾體150、襯墊300。第1殼體100由上部第1殼體101和下部第1殼體102構(gòu)成，在上部第1殼體101與下部第1殼體102之間夾持有過濾體150。上部第1殼體101與下部第1殼體102通過超聲波熔敷固定。

如圖1或圖2所示，在本實施方式中，氣體清洗用過濾器80以使上部第1殼體101成為收納空間27側(cè)的方式配置于容器主體2的下壁24。氣體清洗用過濾器80也可以安裝在下壁24以外的壁部、蓋體上。

在氣體清洗用過濾器80的配置于收納空間27側(cè)的上部第1殼體101上，形成有收納空間側(cè)開口120，在氣體清洗用過濾器80的收納容器1的外部空間側(cè)，形成有收納空間外側(cè)開口121。這些開口經(jīng)由氣體清洗用過濾器80的內(nèi)部的通氣空間110而使收納容器1的內(nèi)部與外部空間連通。

通過上述構(gòu)成，氣體清洗用過濾器80能夠使氣體從過濾體150穿過而在從容器主體2的外部空間向收納空間27的方向(以下定義為“收納空間的內(nèi)側(cè)方向”)上、或者在從收納空間27向容器主體2的外部空間的方向(以下定義為“收納空間的外側(cè)方向”)上通過。此時，過濾體150會阻止氣體中所含的顆粒等通過。

如圖5所示，在上部第1殼體101上，設(shè)有與收納空間側(cè)開口120連通的上部通氣空間111。在下部第1殼體102上形成有噴嘴部103，該噴嘴部103向著收納空間的外側(cè)方向(圖5中為下方向)突出形成且具有大致環(huán)狀筒形狀。在噴嘴部103的收納空間的外側(cè)方向的前端部上，形成有噴嘴前端部106。而且，在下部第1殼體102上，形成有與上部通氣空間111連接的下部通氣空間112，且與形成在噴嘴部103的內(nèi)部的噴嘴部通氣空間113連接。由此，通過上部通氣空間111、下部通氣空間112、噴嘴部通氣空間113，形成了使氣體清洗用過濾器80的收納空間側(cè)開口120與收納空間外側(cè)開口121連通的通氣空間110。

而且，在下部第1殼體102上，以在噴嘴部103的半徑方向外側(cè)以環(huán)狀覆蓋的方式形成有螺紋部104。在噴嘴部103與螺紋部104之間，形成有用于保持后述的襯墊300的空間，在噴嘴部103與螺紋部104之間，設(shè)有供襯墊在收納空間的內(nèi)側(cè)方向(圖5中的上方向)上抵接的襯墊抵接部105。

以將下部第1殼體102的噴嘴部103的外周面覆蓋的方式設(shè)有大致圓筒狀的彈性體的襯墊300。在該大致圓筒狀的襯墊300的收納空間的外側(cè)方向上形成有襯墊外側(cè)前端部306，在收納空間的內(nèi)側(cè)方向上形成有與襯墊抵接部105抵接的襯墊內(nèi)側(cè)前端部305。為了使襯墊300通過第2殼體200而與第1殼體100固定，而與襯墊外側(cè)前端部306相比在收納空間的內(nèi)側(cè)方向上形成有作為層差的襯墊肩部304。此外，在襯墊外側(cè)前端部306上，形成有與下部第1殼體102的噴嘴部103的噴嘴前端部106的外周抵接的襯墊內(nèi)徑凸部310。襯墊內(nèi)徑凸部310將襯墊300與噴嘴部103密封。為此，襯墊300的襯墊內(nèi)徑凸部310的內(nèi)徑(襯墊外側(cè)前端部306的內(nèi)徑)比噴嘴前端部106的外徑形成得小。由此，襯墊300利用其彈性以使襯墊外側(cè)前端部306向噴嘴前端部106壓入的方式組裝。

噴嘴前端部106與襯墊外側(cè)前端部306構(gòu)成氣體清洗用過濾器前端部406，與氣體清洗裝置的清洗端口800抵接，執(zhí)行氣體清洗。在本第1實施方式中，在氣體清洗用過濾器前端部406與清洗端口800抵接之前，噴嘴前端部106與襯墊外側(cè)前端部306的位置相同，且將噴嘴前端部106與襯墊外側(cè)前端部306的收納空間的外側(cè)方向的表面設(shè)為相同高度。

在第2殼體200的內(nèi)徑面上，設(shè)有與下部第1殼體102的螺紋部104卡合的螺紋。通過將第2殼體200螺入至螺紋部104，而由第2殼體200的第2殼體按壓部210來按壓襯墊300的襯墊肩部304，并將襯墊300的襯墊內(nèi)側(cè)前端部305向下部第1殼體102的襯墊抵接部105按壓，由此襯墊300固定在第1殼體100上。此時構(gòu)成為，襯墊肩部304的第2殼體200的第2殼體按壓部210所按壓的方向，成為第2殼體200向第1殼體100螺入時的移動方向，螺入第2殼體200時襯墊300上所施加的力(第2殼體固定力)由下部第1殼體102的襯墊抵接部105支承。由此，即使將襯墊300固定在第1殼體100上，也能夠確保襯墊外側(cè)前端部306與噴嘴前端部106的氣密性。

而且，第2殼體200不僅能夠?qū)⒁r墊300固定在第1殼體100上，也能夠用于將氣體清洗用過濾器80固定在下壁24上。在將氣體清洗用過濾器80固定在下壁24上時，在氣體清洗用過濾器80與下壁24的貫穿孔45之間使用o型圈114來密封。

對于第1殼體100、第2殼體200，使用了逸氣產(chǎn)生量少、吸水性、吸濕性少的環(huán)烯烴聚合物。除了環(huán)烯烴聚合物以外，也可以使用在規(guī)定的吸水率、吸濕率以下、規(guī)定的逸氣產(chǎn)生量以下的熱塑性樹脂，例如能夠使用聚碳酸酯和聚醚酰亞胺、聚醚醚酮等樹脂。此外，對于襯墊300，作為彈性部件而使用了聚烯烴彈性體。除了聚烯烴彈性體以外，還能夠使用聚對苯二甲酸丁二醇酯和聚乙烯等樹脂或聚乙烯彈性體等彈性體、硅橡膠或氟橡膠等橡膠材料。

在上述這樣的氣體清洗用過濾器80中，基于氣體清洗裝置進行的氣體的置換(氣體清洗)如以下所述地進行。

當(dāng)收納容器1在工廠內(nèi)的工序中作為工序內(nèi)容器被使用時，在容器主體2中，下壁24位于下部且上壁23位于上部。使用了該收納容器1的氣體清洗用過濾器80的氣體清洗的方法具有由蓋體3封閉容器主體2的容器主體開口部21來進行的情況、和在將蓋體3從收納容器1上拆除的狀態(tài)下進行的情況這兩種。以下進行由蓋體3封閉了容器主體2的狀態(tài)下的說明。

容器主體2在其容器主體開口部由蓋體3封閉的狀態(tài)下，在設(shè)在容器主體2的下壁24的貫穿孔45中的氣體清洗用過濾器80的氣體清洗用過濾器前端部406上，抵接有氣體清洗裝置的清洗端口800的清洗端口前端部802。由于在第1殼體100的噴嘴部103的開口周邊部上設(shè)有作為彈性體的襯墊300，所以在清洗端口800抵接了時能夠確實地實現(xiàn)清洗端口前端部802與氣體清洗用過濾器前端部406之間的氣密性(密封)。之后，清洗氣體由氣體清洗裝置供給，從清洗氣體流通路801供給的清洗氣體從作為通氣空間110的噴嘴部通氣空間113、下部通氣空間112、上部通氣空間111通過而供給至收納容器1的收納空間27。此時，清洗氣體會從過濾體150通過，由此不需要的顆粒不會進入至收納空間27內(nèi)。收納容器1的內(nèi)部的氣體從其他的氣體清洗用過濾器80向收納容器1的外部排出，實施氣體清洗。

在進行上述的氣體清洗時，清洗氣體流通路801的直徑比氣體清洗用過濾器80的收納空間外側(cè)開口121小，清洗端口的外形比噴嘴前端部106的外形大，因此從清洗氣體流通路801排放的清洗氣體會全部供給至噴嘴部通氣空間113，能夠使清洗氣體完全不與作為彈性體的襯墊300接觸地進行氣體清洗。

根據(jù)上述構(gòu)成的第1實施方式的氣體清洗用過濾器80，能夠獲得以下這樣的效果。

為了能夠確實地取得清洗端口800與氣體清洗用過濾器80抵接時的氣密性，彈性體的襯墊300是有用的。但是，由于襯墊300為彈性體，所以當(dāng)清洗氣體接觸到該彈性體的襯墊300時，會導(dǎo)致襯墊300所含的水分和會對收納物即基板造成不良影響的物質(zhì)包含在清洗氣體中，且其會被排放至收納容器1的收納空間27。由此，有可能阻礙氣體清洗之目的、即降低收納容器1的收納空間內(nèi)的水分(濕度)，但是在本實施方式中，由于彈性體未存在于供清洗氣體通過的通氣空間中，所以在氣體清洗中不會向收納容器1內(nèi)的收納空間27排放從襯墊300所排出的水分和會對基板造成不良影響的物質(zhì)，能夠?qū)κ占{容器1內(nèi)的收納空間27提供低濕度且清潔的環(huán)境。

而且，通過構(gòu)成為使襯墊外側(cè)前端部306的內(nèi)徑比襯墊300為單體(即，在將襯墊300組裝在氣體清洗用過濾器80上之前)的狀態(tài)下的噴嘴前端部106的外徑小，而提高襯墊300與噴嘴部103的緊密性。由此，在通過第2殼體200將襯墊300安裝在第1殼體100上的狀態(tài)下，能夠使下部第1殼體102與襯墊300確保氣密性。由此，能夠防止洗滌氣體清洗用過濾器80時的洗滌液侵入至下部第1殼體102與襯墊300的間隙301，從而能夠縮短隨后的干燥時間。

(第2實施方式)

接下來，參照圖7a和圖7b說明本發(fā)明的第2實施方式的氣體清洗用過濾器80a。圖7a是將本發(fā)明的第2實施方式的氣體清洗用過濾器80a的氣體清洗用過濾器前端部406a的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800抵接之前的狀態(tài)的圖。圖7b是將本發(fā)明的第2實施方式的氣體清洗用過濾器80a的氣體清洗用過濾器前端部406a的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800抵接后的狀態(tài)的圖。

第2實施方式的氣體清洗用過濾器是氣體清洗用過濾器前端部的形狀與第1實施方式的氣體清洗用過濾器不同的實施例。除此以外的構(gòu)成與第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的構(gòu)成相同，由此對與第1實施方式中的各構(gòu)成相同的構(gòu)成標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

如圖7a所示，在氣體清洗用過濾器80a與清洗端口800抵接之前的狀態(tài)下，襯墊外側(cè)前端部306a與第1殼體100的噴嘴部103的噴嘴前端部106相比向收納空間的外側(cè)方向突出。

當(dāng)為了進行氣體清洗，氣體清洗用過濾器80a與清洗端口800抵接時，如圖7b所示，作為彈性體的襯墊300a被清洗端口800按壓而使襯墊外側(cè)前端部306a的一部分變形(襯墊外側(cè)前端變形部307a)。通過該變形，清洗端口800的清洗端口前端部802與噴嘴部103抵接。

噴嘴部103的噴嘴前端部106與清洗端口800的清洗端口前端部802抵接，清洗端口800的外周由襯墊外側(cè)前端變形部307a密封。由此，在本實施方式中，即使在清洗端口800與氣體清洗用過濾器80a抵接之前，襯墊外側(cè)前端部306a與噴嘴前端部106相比向收納空間的外側(cè)方向突出，在實施氣體清洗時，也與第1實施方式相同地，清洗氣體不會與作為彈性體的襯墊300a接觸，在氣體清洗中不會向收納容器1內(nèi)的收納空間27排放從襯墊300a所排出的水分和對基板造成不良影響的物質(zhì)，能夠?qū)κ占{容器1內(nèi)的收納空間27提供低濕度且清潔的環(huán)境。

而且，使襯墊外側(cè)前端部306a變形來使清洗端口800與噴嘴部103抵接，因此能夠提高清洗端口800與襯墊外側(cè)前端部306a的緊密性，更有效地將來自清洗端口800的清洗氣體向收納空間27排放。

(第3實施方式)

接下來，參照圖8a和圖8b說明本發(fā)明的第3實施方式的氣體清洗用過濾器80b。圖8a是將本發(fā)明的第3實施方式的氣體清洗用過濾器80b的氣體清洗用過濾器前端部406b的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800抵接之前的狀態(tài)的圖。圖8b是將本發(fā)明的第3實施方式的氣體清洗用過濾器80b的氣體清洗用過濾器前端部406b的附近放大的剖視圖，是表示與清洗端口800抵接后的狀態(tài)的圖。

第3實施方式的氣體清洗用過濾器是氣體清洗用過濾器前端部的形狀、和清洗端口前端部的形狀與第1實施方式的情況不同的實施例。除此以外的構(gòu)成與第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的構(gòu)成相同，因此對與第1實施方式中的各構(gòu)成相同的構(gòu)成標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

如圖8a所示，第1殼體100的噴嘴部103的噴嘴前端部106與襯墊300b的襯墊外側(cè)前端部306b相比向收納空間的外側(cè)方向突出。而且，清洗端口前端部802b不是平坦面，形成有具有比噴嘴部103的外徑大的內(nèi)徑的清洗端口環(huán)狀凸部803b。

當(dāng)為了進行氣體清洗，氣體清洗用過濾器80b與清洗端口800b抵接時，如圖8b所示，清洗端口800b的清洗端口環(huán)狀凸部803b的內(nèi)側(cè)的清洗端口前端部802b的部分與噴嘴部103的噴嘴前端部106抵接。此時，清洗端口環(huán)狀凸部803b咬入至與噴嘴前端部相比向收納空間的內(nèi)側(cè)凹陷的、作為彈性體的襯墊300b的襯墊外側(cè)前端部306b的一部分且使其變形(襯墊外側(cè)前端變形部307b)。

噴嘴部103的噴嘴前端部106與清洗端口800b的清洗端口前端部802b抵接，清洗端口800b的外周由襯墊外側(cè)前端變形部307b密封。由此，在本實施方式中，即使在清洗端口800b與氣體清洗用過濾器80b抵接之前，襯墊外側(cè)前端部306b與噴嘴前端部106相比向收納空間的外側(cè)方向突出，在實施氣體清洗時，也與第1實施方式同樣地，清洗氣體不會與作為彈性體的襯墊300b接觸，在氣體清洗中不會向收納容器1內(nèi)的收納空間27排放從襯墊300b所排出的水分和對基板造成不良影響的物質(zhì)，能夠在收納容器1內(nèi)的收納空間27中提供低濕度且清潔的環(huán)境。

(第4實施方式)

接下來，參照圖9至圖11說明本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c、80d。圖9是表示本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c的分解立體圖。圖10是本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c的供氣用的氣體清洗用過濾器的剖視圖。圖11是本發(fā)明的第4實施方式的氣體清洗用過濾器80d的排氣用的氣體清洗用過濾器的剖視圖。

第4實施方式的氣體清洗用過濾器80c、80d是在第1實施方式的氣體清洗用過濾器中，追加了將清洗氣體的流通方向控制為固定方向的作為止回閥機構(gòu)的工作部件500c的情況下的實施例。除此以外的構(gòu)成與第1實施方式的氣體清洗用過濾器80的構(gòu)成相同，因此對與第1實施方式中的各構(gòu)成相同的構(gòu)成標(biāo)記相同的附圖標(biāo)記并省略說明。

圖9、圖10的氣體清洗用過濾器80c是用于從收納容器1的外部空間向收納空間27供給清洗氣體的氣體清洗用過濾器。

在第1實施方式的第1過濾器殼體100c的通氣空間110的中途，配置了將清洗氣體的流通方向控制為固定方向的作為止回閥機構(gòu)的工作部件500c。為了將該工作部件500c內(nèi)置于第1過濾器殼體100c中，在將第1實施方式的下部第1殼體的噴嘴部去除而得到的下部第1殼體102c上，設(shè)有用于將上述工作部件500c保持在內(nèi)部的內(nèi)部殼體400c。

在內(nèi)部殼體400c的收納空間的外側(cè)方向上，形成有噴嘴前端部106c，且以將其外周部覆蓋的方式設(shè)有襯墊300c。在襯墊300c上，與第1實施方式同樣地形成有襯墊肩部304c。為了將襯墊300c固定在第1殼體上，通過第2殼體200的第2殼體按壓部210按壓襯墊300c的襯墊肩部304c，將其與內(nèi)部殼體400c一同向下部第1殼體的收納空間的內(nèi)側(cè)方向推入。

作為止回閥機構(gòu)的工作部件500c由閥體502c、和用于將閥體502c向固定方向彈壓的彈簧501c構(gòu)成。在圖10的實施方式中，在內(nèi)部殼體400c的內(nèi)部的通氣空間110中，在收納空間的外側(cè)方向上配置閥體502c，將用于將閥體502c向內(nèi)部殼體400c的內(nèi)表面彈壓的彈簧501c配置在閥體502c與下部第1殼體102c之間。

襯墊300c的襯墊外側(cè)前端部306c與內(nèi)部殼體400c的噴嘴前端部106c的位置關(guān)系與第1實施方式相同，因此省略說明。

該氣體清洗用過濾器80c用與第1實施方式的清洗方法相同的方法向收納空間27供給清洗氣體。此時，閥體502c向收納空間的內(nèi)側(cè)方向移動，清洗氣體從通氣空間110通過而從收納容器1的外部向收納空間27供給。當(dāng)清洗氣體的供給停止時，閥體502c通過彈簧501c關(guān)閉通氣空間110。由此，防止氣體從收納空間27向收納容器1的外部的排出。

此外，圖11的氣體清洗用過濾器80d是用于將清洗氣體從收納空間27向收納容器1的外側(cè)排出的氣體清洗用過濾器。與圖9和圖10的氣體清洗用過濾器80c之間的不同僅在于，作為止回閥機構(gòu)的工作部件的閥體502c與彈簧501c在上下方向上變得相反。

當(dāng)從氣體清洗用過濾器80c供給至收納空間27的清洗氣體在收納空間27中成為固定壓力以上時，氣體清洗用過濾器80d的工作部件500d的閥體502c向收納空間的外側(cè)方向移動，氣體從收納空間27向收納容器1的外部排出。之后，當(dāng)成為固定壓力以下時，閥體502c回到原來的位置，氣體從收納空間27向收納容器1的外部的排出停止。

根據(jù)上述構(gòu)成的第4實施方式的氣體清洗用過濾器，在第1實施方式的效果的基礎(chǔ)上，能夠?qū)⒅够亻y機構(gòu)內(nèi)置于過濾器內(nèi)部，能夠控制清洗氣體向收納容器1的收納空間27的供給、或者從收納空間27的排出，能夠進行更有效的氣體清洗。

附圖標(biāo)記說明

1收納容器

2容器主體

3蓋體

24下壁

45貫穿孔(連通開口)

80、80a、80b、80c、80d氣體清洗用過濾器

90過濾器殼體

100、100c第1殼體

101、101c上部第1殼體

102、102c下部第1殼體

103噴嘴部

105襯墊抵接部

106、106c噴嘴前端部

110通氣空間

111上部通氣空間

112下部通氣空間

113噴嘴部通氣空間

120收納空間側(cè)開口

121收納空間外側(cè)開口

150過濾體

200第2殼體

210第2殼體按壓部

300、300a、300b、300c襯墊

305襯墊內(nèi)側(cè)前端部

306、306a306b、306c襯墊外側(cè)前端部

307a、307b襯墊外側(cè)前端變形部

310、310a、310b襯墊內(nèi)徑凸部

400c內(nèi)部殼體

406、406a、406b、406c氣體清洗用過濾器前端部

500c、500d工作部件(止回閥機構(gòu))

501c彈簧

502c閥體

800、800b清洗端口

801、801b清洗氣體流通路

802、802b清洗端口前端部

803b清洗端口環(huán)狀凸部

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