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太陽能電池及太陽能電池的制造方法與流程

文檔序號:12514083閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種太陽能電池,其具有摻雜有鎵且形成有pn結的硅基板,所述太陽能電池的特征在于,

在所述硅基板的主表面中的至少具有p型區(qū)域的第一主表面設置有熱氧化硅膜,

所述硅基板進一步摻雜有硼。

2.如權利要求1所述的太陽能電池,其中,至少所述硅基板的所述第一主表面的整個面為p型。

3.如權利要求1或2所述的太陽能電池,其中,所述硅基板中的硼濃度為5×1014原子/cm3以上且1×1016原子/cm3以下。

4.一種太陽能電池的制造方法,其特征在于,其包括以下工序:

準備摻雜有鎵和硼的硅基板的工序;

在所述硅基板內(nèi)形成pn結的工序;以及,

在所述硅基板的主表面中的至少具有p型區(qū)域的第一主表面形成熱氧化硅膜的工序。

5.如權利要求4所述的太陽能電池的制造方法,其中,將所述準備的硅基板的硼濃度設為5×1014原子/cm3以上且1×1016原子/cm3以下。

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