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諧振腔及應(yīng)用該諧振腔的絕熱激光器的制作方法

文檔序號:12483277閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種諧振腔,所述諧振腔包括對應(yīng)設(shè)置的第一反射結(jié)構(gòu)和第二反射結(jié)構(gòu)、以及位于第一反射結(jié)構(gòu)和第二反射結(jié)構(gòu)之間的增益單元,其特征在于,所述增益單元包括對光線進行放大的增益結(jié)構(gòu)和對光程進行補償?shù)臏囟妊a償結(jié)構(gòu),所述增益結(jié)構(gòu)和溫度補償結(jié)構(gòu)分別采用正溫度系數(shù)材料和負溫度系數(shù)材料制成,所述溫度補償結(jié)構(gòu)通過對光程進行補償來維持射出諧振腔的光線的波長保持不變。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振腔,其特征在于,所述增益結(jié)構(gòu)和溫度補償結(jié)構(gòu)滿足Δn1*l1+Δn2*l2=0,其中,Δn1=dn1/dT和Δn2=dn2/dT分別為增益結(jié)構(gòu)和溫度補償結(jié)構(gòu)的溫度系數(shù),n1和n2分別為增益結(jié)構(gòu)和溫度補償結(jié)構(gòu)的折射率,l1和l2分別為增益結(jié)構(gòu)和溫度補償結(jié)構(gòu)的長度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振腔,其特征在于,所述增益結(jié)構(gòu)的材料為Ⅲ-Ⅴ族化合物正溫度系數(shù)材料,溫度補償結(jié)構(gòu)的材料為聚合物負溫度系數(shù)材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振腔,其特征在于,所述增益結(jié)構(gòu)和溫度補償結(jié)構(gòu)之間還包括過渡結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的諧振腔,其特征在于,所述過渡結(jié)構(gòu)為增透膜與模斑轉(zhuǎn)換器中的一個或多個的組合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振腔,其特征在于,所述第一反射結(jié)構(gòu)為寬帶反射結(jié)構(gòu),第二反射結(jié)構(gòu)為窄帶反射結(jié)構(gòu),寬帶反射結(jié)構(gòu)對應(yīng)的波長為中心波長±10nm,窄帶反射結(jié)構(gòu)對應(yīng)的波長為中心波長±0.1nm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的諧振腔,其特征在于,所述第一反射結(jié)構(gòu)為寬帶反射膜,所述第二反射結(jié)構(gòu)為窄帶光柵反射結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振腔,其特征在于,所述第一反射結(jié)構(gòu)或第二反射結(jié)構(gòu)的材料為氧化硅。

9.一種絕熱激光器,其特征在于,所述絕熱激光器包括權(quán)利要求1~8中任一項所述的諧振腔。

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