用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置及包含其的倒角的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置及包含其的倒角機(jī)，其包括有一硬質(zhì)的吸盤，所述用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置還包括有一圖形識(shí)別裝置；所述吸盤用于吸附晶圓的一面上設(shè)置有一陶瓷層；所述圖形識(shí)別裝置對(duì)準(zhǔn)所述吸盤設(shè)置有所述陶瓷層的一面，用于在所述吸盤未搭載晶圓時(shí)，對(duì)陶瓷層上的圖形特征進(jìn)行辨識(shí)。通過在硬質(zhì)的吸盤上設(shè)置陶瓷層，使得碎渣不易嵌入的附著于硬質(zhì)的吸盤，且在硬質(zhì)的吸盤形變時(shí)，通過陶瓷層的裂縫可以輕易的辨識(shí)，在降低成本的同時(shí)提高了生產(chǎn)效率；進(jìn)一步通過設(shè)置圖形識(shí)別裝置，使得吸盤的損壞可以在第一時(shí)間被發(fā)覺，避免了損失。
【專利說明】用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置及包含其的倒角機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶圓吸附裝置，特別涉及一種用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置及包含其的倒角機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置，即晶圓吸盤通常采用軟質(zhì)吸盤和硬質(zhì)的吸盤。軟質(zhì)吸盤氣密性較好，但是在倒角、生產(chǎn)過程中容易在晶圓上產(chǎn)生斑點(diǎn)。
[0003]有鑒于此，日本專利JP2014-11378A，公開了一種晶圓吸著裝置及晶圓吸著方法。該文件的方案中采用全陶瓷的硬質(zhì)的吸盤，并對(duì)氣路進(jìn)行了設(shè)計(jì)，在保證氣密性等的同時(shí)，減少了斑點(diǎn)的產(chǎn)生。
[0004]但是，這樣的吸盤造價(jià)極高且容易損壞，損壞后需要將吸盤整體更換，造成了極大了浪費(fèi)。
[0005]有的硬質(zhì)吸盤采用金屬材料制成的方式，其耐用程度雖然得到了大幅提高，但卻存在如下缺陷:一方面,在倒角磨削的過程中，容易產(chǎn)生碎渣,這些碎渣掉入吸盤中，久而久之容易嵌入金屬，劃傷搭載于吸盤上的晶圓片；另一方面，由于金屬制成的吸盤具有延展性，在吸盤遭受外力沖擊等產(chǎn)生形變后，其表面平整度的變化不易察覺，一旦因此生產(chǎn)出不良產(chǎn)品，需要對(duì)整個(gè)工序的各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行排查才能確定是哪里的問題，提高了維護(hù)成本。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的晶圓吸附裝置造價(jià)和維護(hù)成本高且容易被碎渣嵌入的缺陷，提供一種造價(jià)和維護(hù)成本較低且平整度更高的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置及包含其的倒角機(jī)。
[0007]本實(shí)用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題:
[0008]一種用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置，其包括有一硬質(zhì)的吸盤，其特點(diǎn)在于，所述用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置還包括有一圖形識(shí)別裝置；
[0009]所述吸盤用于吸附晶圓的一面上設(shè)置有一陶瓷層；
[0010]所述圖形識(shí)別裝置對(duì)準(zhǔn)所述吸盤設(shè)置有所述陶瓷層的一面，用于在所述吸盤未搭載晶圓時(shí)，對(duì)所述陶瓷層上的圖形特征進(jìn)行辨識(shí)。
[0011]也就是說，在硬質(zhì)吸盤用于搭載晶圓的一面上噴涂一層陶瓷，由于陶瓷層可以通過油石打磨等方式進(jìn)行修正，使得硬質(zhì)的吸盤用于搭載晶圓的一面的精度可以非常高，同時(shí)也易于維護(hù)，例如當(dāng)檢測(cè)到表面平整度較低時(shí)，可以直接打磨。另外，現(xiàn)有技術(shù)中金屬材質(zhì)的硬質(zhì)吸盤由于成本較低而被廣泛使用，但其存在容易嵌入碎渣的缺陷。在硬質(zhì)吸盤上噴涂陶瓷層，可以防止碎渣嵌入。如果使用純陶瓷制成的吸盤，則制造成本較高，且破損后難以修復(fù)，需要更換吸盤。
[0012]另一方面，金屬材質(zhì)的吸盤在受到外力沖擊等情況下，由于其具有延展性，可能造成平整度變差，而僅以肉眼觀察很難察覺。而噴涂有陶瓷層后，如遇形變，則陶瓷層會(huì)開裂而形成裂紋。由于在陶瓷層上方設(shè)置有圖形識(shí)別裝置，在空載時(shí)對(duì)陶瓷層表面進(jìn)行圖形識(shí)另|J，可以迅速察覺以避免產(chǎn)生不良后果。
[0013]較佳的，所述陶瓷層包括有一第一顏色層和一第二顏色層，所述第二顏色層設(shè)置于所述吸盤上，所述第一顏色層覆蓋于所述第二顏色層上；
[0014]所述第二顏色層用于在所述第一顏色層破損后暴露，以便于所述圖形識(shí)別裝置進(jìn)行識(shí)別。
[0015]也就是說，在噴涂陶瓷時(shí)，可以噴涂?jī)蓪宇伾煌奶沾?，例如處于表面的第一顏色層設(shè)置為白色，以便于保持清潔，而處于里層的第二顏色層設(shè)置為與第一顏色層對(duì)比度較大的顏色，例如黑色。在第一顏色層因?yàn)樾巫兌茡p后，第二顏色層暴露出來，使得圖形識(shí)別對(duì)精度的要求更低。
[0016]較佳的，所述吸盤由不銹鋼制成，所述陶瓷層由氧化鉻制成。
[0017]此處，用不銹鋼制成吸盤是由于不銹鋼的成本很低。而使用氧化鉻，則是因?yàn)檠趸t是較好的研磨材料，更易于平整度的修整。
[0018]較佳的，所述陶瓷層的厚度為25 μ m?35 μ m。
[0019]此處，當(dāng)陶瓷層磨損后，通常可以采用例如油石打磨的方式進(jìn)行加工以再利用，當(dāng)陶瓷層厚度過小，則有可能影響其使用壽命。而陶瓷層過厚則會(huì)增加成本。
[0020]本實(shí)用新型還涉及一種倒角機(jī)，其特點(diǎn)在于，其包括有如上所述的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置。
[0021]本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于:通過在硬質(zhì)吸盤上設(shè)置陶瓷層，使得碎渣不易嵌入的附著于硬質(zhì)吸盤，且在硬質(zhì)吸盤形變時(shí)，通過陶瓷層的裂縫可以輕易的辨識(shí)，在降低成本的同時(shí)提高了生產(chǎn)效率；進(jìn)一步通過設(shè)置圖形識(shí)別裝置，使得吸盤的損壞可以在第一時(shí)間被發(fā)覺，避免了損失。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的設(shè)置有陶瓷層的硬質(zhì)的吸盤的俯視圖。
[0023]圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中陶瓷層的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面舉個(gè)較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖來更清楚完整地說明本實(shí)用新型。
[0025]圖1為本實(shí)施例的設(shè)置有陶瓷層的硬質(zhì)的吸盤的俯視圖，圖2為本實(shí)施例的陶瓷層的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1?2所示,本實(shí)施例涉及的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置包括有硬質(zhì)的吸盤3 (本實(shí)施例中由不銹鋼制成)和一圖形識(shí)別裝置(圖中未示出)。
[0026]吸盤3上設(shè)置有用于吸附晶圓的通孔2和風(fēng)道1，通孔2和風(fēng)道I相連通。
[0027]吸盤3用于吸附晶圓的一面上設(shè)置有一陶瓷層，陶瓷層包括有第一顏色層41和第二顏色層42，第二顏色層42噴涂于吸盤3上，第一顏色層41覆蓋于第二顏色層42上。由于陶瓷噴涂屬于常用技術(shù)，此處不再贅述。
[0028]第一顏色層41為厚度為15 μ m的白色的氧化鉻涂層，由于第一顏色層41在表面，在使用時(shí)如果附著有污物則可以很輕易的辨識(shí)且易于清潔。且氧化鉻涂層不易被晶圓等的碎渣嵌入。[0029]第二顏色層42為厚度為20 μ m的紅色的氧化鉻涂層，用于在第一顏色層41破損后暴露，以便于圖形識(shí)別裝置進(jìn)行識(shí)別。
[0030]而圖形識(shí)別裝置包括有一攝像頭，攝像頭對(duì)準(zhǔn)吸盤3用于搭載晶圓的一面。當(dāng)不銹鋼制的吸盤3由于撞擊等造成形變后，第一顏色層41破裂暴露出第二顏色層42的顏色，該顏色的裂縫所形成的圖形識(shí)別特征，可以非常有效的被圖形識(shí)別裝置抓取，從而警示操作人員。
[0031]另外，當(dāng)吸盤3的形變較大時(shí)，第二顏色層42也可能破裂，同樣，破裂后的識(shí)別特征也非常明顯。
[0032]在吸盤3上噴涂陶瓷層后，可以使用油石對(duì)陶瓷層進(jìn)行打磨，最終達(dá)到10 μ m的平整度。
[0033]本實(shí)施例還包括一種倒角機(jī)，其上述用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置。
[0034]雖然以上描述了本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這僅是舉例說明，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本實(shí)用新型的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，例如，使用其他顏色的涂層或者使用更多涂層等，但這些變更和修改均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置，其包括有一硬質(zhì)的吸盤，其特征在于，所述用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置還包括有一圖形識(shí)別裝置； 所述吸盤用于吸附晶圓的一面上設(shè)置有一陶瓷層； 所述圖形識(shí)別裝置對(duì)準(zhǔn)所述吸盤設(shè)置有所述陶瓷層的一面，用于在所述吸盤未搭載晶圓時(shí)，對(duì)所述陶瓷層上的圖形特征進(jìn)行辨識(shí)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置，其特征在于，所述陶瓷層包括有一第一顏色層和一第二顏色層，所述第二顏色層設(shè)置于所述吸盤上，所述第一顏色層覆蓋于所述第二顏色層上； 所述第二顏色層用于在所述第一顏色層破損后暴露，以便于所述圖形識(shí)別裝置進(jìn)行識(shí)別。
3.如權(quán)利要求1所述的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置，其特征在于，所述吸盤由不銹鋼制成，所述陶瓷層由氧化鉻制成。
4.如權(quán)利要求1所述的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置，其特征在于，所述陶瓷層的厚度力 25 μ m ?35 μ m。
5.一種倒角機(jī)，其特征在于，其包括有權(quán)利要求1?4所述的用于倒角機(jī)的晶圓吸附裝置。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK203690273SQ201420207526
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】沈輝輝, 黃春峰, 陳建綱 申請(qǐng)人:上海合晶硅材料有限公司