一種微機(jī)械rf開關(guān)的制作方法
【專利摘要】一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：包括電容、彈簧、絕緣塊、觸頭、RF信號(hào)線，其中電容由活動(dòng)極板和固定極板構(gòu)成；所述彈簧一端與固定點(diǎn)連接，一端與活動(dòng)極板連接，所述觸頭位于活動(dòng)極板下方，觸頭與活動(dòng)極板之間通過(guò)絕緣塊隔離，所述固定極板位于活動(dòng)極板與觸頭之間，所述觸頭下方設(shè)有RF信號(hào)線。本設(shè)計(jì)采用靜電驅(qū)動(dòng)的開關(guān)結(jié)構(gòu)，利用電容的靜電吸引力和金屬?gòu)椈傻膹椥粤?，?shí)現(xiàn)開關(guān)的通斷。具有快速、低功耗的優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高開關(guān)速率。
【專利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本設(shè)計(jì)涉及一種微機(jī)械RF開關(guān)，屬于射頻電子【技術(shù)領(lǐng)域】。 一種微機(jī)械RF開關(guān)

【背景技術(shù)】
[0002] 微機(jī)械RF開關(guān)通常的驅(qū)動(dòng)方法有靜電驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)及熱驅(qū)動(dòng)等。靜 電驅(qū)動(dòng)利用帶電體之間的靜電力實(shí)現(xiàn)，是MEMS開關(guān)中最簡(jiǎn)單和最常
[0003] 用的驅(qū)動(dòng)方式，具有極低的功耗。靜電驅(qū)動(dòng)的接觸式MEMS開關(guān)主要包括縱向和橫 向兩種結(jié)構(gòu)?？v向接觸是指開關(guān)動(dòng)作方向垂直于襯底平面，而橫向接觸是指開關(guān)動(dòng)作方向 平行于襯底平面。橫向結(jié)構(gòu)在于電容極板面積小，雖然阻尼減小，但不易獲得大的驅(qū)動(dòng)力， 開關(guān)速度不高，需要進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本設(shè)計(jì)的目的是提供一種微機(jī)械RF開關(guān)，本文采用靜電驅(qū) 動(dòng)的橫向開關(guān)結(jié)構(gòu)，利用平板電容的靜電吸引力和金屬?gòu)椈傻膹椥粤?，?shí)現(xiàn)開關(guān)的通斷。
[0005] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本設(shè)計(jì)是通過(guò)以下技術(shù)手段來(lái)實(shí)現(xiàn)的：
[0006] -種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：包括電容、彈簧、絕緣塊、觸頭、RF信號(hào)線，其中 電容由活動(dòng)極板和固定極板構(gòu)成；所述彈簧一端與固定點(diǎn)連接，一端與活動(dòng)極板連接，所述 觸頭位于活動(dòng)極板下方，觸頭與活動(dòng)極板之間通過(guò)絕緣塊隔離，所述固定極板位于活動(dòng)極 板與觸頭之間，所述觸頭下方設(shè)有RF信號(hào)線。
[0007] 優(yōu)選的，所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：在開所述彈簧在所述電容的靜 電力作用下，可產(chǎn)生拉長(zhǎng)，使所述觸頭發(fā)生平動(dòng)，觸頭與RF信號(hào)線接觸，實(shí)現(xiàn)RF信號(hào)線的連 通。
[0008] 優(yōu)選的，所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：所述彈簧可在彈簧恢復(fù)力的作 用下，可產(chǎn)生收縮，使觸頭與RF信號(hào)線分離。
[0009] 優(yōu)選的，所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：所述電容、彈簧、觸頭、RF信號(hào)線 金屬部分為Au，所述絕緣塊采用用SU8光刻膠。
[0010] 本發(fā)明的有益效果是：本設(shè)計(jì)采用靜電驅(qū)動(dòng)的開關(guān)結(jié)構(gòu)，利用電容的靜電吸引力 和金屬?gòu)椈傻膹椥粤?，?shí)現(xiàn)開關(guān)的通斷。具有快速、低功耗的優(yōu)點(diǎn)，進(jìn)一步提高開關(guān)速率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011] 圖1為本設(shè)計(jì)組成結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012] 附圖標(biāo)號(hào)的含義如下：1固定點(diǎn)，2彈簧，3絕緣塊，4觸頭，5RF信號(hào)線，6-1固定極 板，6-2活動(dòng)極板。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 下面將結(jié)合說(shuō)明書附圖，對(duì)設(shè)計(jì)作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0014] 如圖1所示，一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：包括電容6、彈簧2、絕緣塊3、觸頭 4、RF信號(hào)線5,其中電容由活動(dòng)極板6-2和固定極板6-1構(gòu)成；所述彈簧2 -端與固定點(diǎn)1 連接，一端與活動(dòng)極板6-2連接，所述觸頭4位于活動(dòng)極板6-2下方，觸頭4與活動(dòng)極板6-2 之間通過(guò)絕緣塊3隔離，所述固定極板6-1位于活動(dòng)極板6-2與觸頭4之間，所述觸頭4下 方設(shè)有RF信號(hào)線5。
[0015] 在開關(guān)閉合時(shí)，在平板電容6的靜電力作用下，可動(dòng)結(jié)構(gòu)發(fā)生橫向平
[0016] 動(dòng)，觸頭4與RF信號(hào)線5接觸，實(shí)現(xiàn)了 RF信號(hào)線5的連通；當(dāng)開關(guān)斷開時(shí)，在彈簧 2恢復(fù)力的作用下，觸頭4與RF信號(hào)線5分離，實(shí)現(xiàn)了電流的關(guān)斷。
[0017] 優(yōu)選的，所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：在開所述彈簧2在所述電容6的 靜電力作用下，可產(chǎn)生拉長(zhǎng)，使所述觸頭4發(fā)生平動(dòng)，觸頭4與RF信號(hào)線5接觸，實(shí)現(xiàn)RF信 號(hào)線5的連通。
[0018] 優(yōu)選的，所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：所述彈簧2可在彈簧恢復(fù)力的作 用下，可產(chǎn)生收縮，使觸頭4與RF信號(hào)線5分離。
[0019] 優(yōu)選的，所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：所述電容6、彈簧2、觸頭4、RF信 號(hào)線5金屬部分為Au，所述絕緣塊3采用用SU8光刻膠。
[0020] SU8光刻膠具有良好的機(jī)械強(qiáng)度和絕緣特性。
[0021] 以上顯示和描述了本設(shè)計(jì)的基本原理、主要特征及優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該 了解，本設(shè)計(jì)不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本設(shè)計(jì)的原 理，在不脫離本設(shè)計(jì)精神和范圍的前提下，本設(shè)計(jì)還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn) 都落入要求保護(hù)的本設(shè)計(jì)范圍內(nèi)。本設(shè)計(jì)要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界 定。
【權(quán)利要求】
1. 一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：包括電容、彈簧、絕緣塊、觸頭、RF信號(hào)線，其中電 容由活動(dòng)極板和固定極板構(gòu)成；所述彈簧一端與固定點(diǎn)連接，一端與活動(dòng)極板連接，所述觸 頭位于活動(dòng)極板下方，觸頭與活動(dòng)極板之間通過(guò)絕緣塊隔離，所述固定極板位于活動(dòng)極板 與觸頭之間，所述觸頭下方設(shè)有RF信號(hào)線。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：在開所述彈簧在所述電容的 靜電力作用下，可產(chǎn)生拉長(zhǎng)，使所述觸頭發(fā)生平動(dòng)，觸頭與RF信號(hào)線接觸，實(shí)現(xiàn)RF信號(hào)線的 連通。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：所述彈簧可在彈簧恢復(fù)力的 作用下，可產(chǎn)生收縮，使觸頭與RF信號(hào)線分離。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種微機(jī)械RF開關(guān)，其特征在于：所述電容、彈簧、觸頭、RF信 號(hào)線金屬部分為Au，所述絕緣塊采用用SU8光刻膠。
【文檔編號(hào)】H01H59/00GK203910685SQ201420150122
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年3月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月31日
【發(fā)明者】楊俊民 申請(qǐng)人:蘇州錕恩電子科技有限公司