液位測量裝置及濕法刻蝕裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種液位測量裝置和濕法刻蝕裝置。液位測量裝置包括：浮子、磁感應(yīng)線圈、馬達(dá)、伸縮遮擋板、感光板以及多個激光傳感器，其中：所述浮子具有磁性，可浮于液面；所述磁感應(yīng)線圈連接到所述馬達(dá)和所述伸縮遮擋板；所述馬達(dá)用于帶動所述磁感應(yīng)線圈在一定高度范圍內(nèi)移動，當(dāng)所述磁感應(yīng)線圈中的感應(yīng)電流達(dá)到設(shè)定閾值時停止運動；所述多個激光傳感器位于不同的高度，且激光均水平出射，在無遮擋時能夠到達(dá)所述感光板；所述伸縮遮擋板位于所述激光傳感器與所述感光板之間，所述磁感應(yīng)線圈移動時帶動所述伸縮遮擋板上下移動。本實用新型能夠克服現(xiàn)有液位測量的缺陷，并使得液位高度的測量更為直觀和高效。
【專利說明】液位測量裝置及濕法刻蝕裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及液晶顯示的制造【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及液位測量裝置及濕法刻蝕裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]濕法刻蝕是在陣列基板上滴注化學(xué)試劑或試劑溶液，使沒有被抗蝕劑掩蔽的那一部分薄膜表面與試劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被除去。
[0003]現(xiàn)有的濕法刻蝕裝置如圖1所示，包括貯液容器(Tank) 12、液位傳感器(LevelSensor) 15以及加熱器(Heater) 11。其中，在貯液容器12 —共有九個液位傳感器15。其中，液位傳感器15用來檢測貯液容器12中刻蝕液的液位高度。貯液容器12中例如共有九個液位傳感器一LL、L、Ml、M2、M3、M4、M5、H、HH，分別對應(yīng)不同的液位，如從低到高為:LL:100L、L:200L、Ml:400L、M2:600L、M3:750L、M4:900L、M5:1000L、H:1050L、HH:1100L (這里液位已經(jīng)換算為液體體積，單位L代表升)。而液位傳感器15的具體構(gòu)造如圖2所示，包括卡片16、浮子17、磁感應(yīng)線圈2以及信號線13?？ㄆ?6為固定環(huán)，其作用就是防止浮子17脫落，浮子17為透明的PVC (聚氯乙烯)材質(zhì)制成，里面有一小塊磁鐵，通過刻蝕液液面的上漲，對其產(chǎn)生了浮力，使其與線圈接觸，根據(jù)其物理特性，就會產(chǎn)生磁感應(yīng)電流，液位傳感器15就可以通過信號線13給系統(tǒng)發(fā)送信號，從而測得刻蝕液的液面高度。
[0004]但是現(xiàn)有濕法刻蝕裝置中的液位傳感器，由于長時間的使用，使得卡片長時間被刻蝕液浸泡，從而被腐蝕，由于沒有卡片的阻擋，浮子就會脫落，使得液位傳感器不能正常工作，需要更換新的浮子和卡片，這樣就影響了裝置的使用效率。
實用新型內(nèi)容
[0005](一)要解決的技術(shù)問題
[0006]本實用新型要解決的技術(shù)問題就是如何克服現(xiàn)有濕法刻蝕裝置的液位傳感器耐用性差的問題。
[0007](二)技術(shù)方案
[0008]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供了一種液位測量裝置，該裝置包括:浮子、磁感應(yīng)線圈、馬達(dá)、伸縮遮擋板、感光板以及多個激光傳感器，其中:
[0009]所述浮子具有磁性，可浮于液面；
[0010]所述磁感應(yīng)線圈連接到所述馬達(dá)和所述伸縮遮擋板；
[0011]所述馬達(dá)用于帶動所述磁感應(yīng)線圈在一定高度范圍內(nèi)移動，當(dāng)所述磁感應(yīng)線圈中的感應(yīng)電流達(dá)到設(shè)定閾值時停止運動；
[0012]所述多個激光傳感器位于不同的高度，且均水平出射激光，激光在無遮擋時能夠到達(dá)所述感光板；
[0013]所述伸縮遮擋板位于所述激光傳感器與所述感光板之間，所述磁感應(yīng)線圈移動時帶動所述伸縮遮擋板上下移動。[0014]其中，所述浮子由聚氯乙烯制成，里面包裹有磁鐵。
[0015]其中，該裝置還包括固定架，用于限定所述浮子在高度方向移動。
[0016]其中，所述馬達(dá)通過絲杠與所述磁感應(yīng)線圈相連。
[0017]其中，所述絲杠兩端設(shè)有極限傳感器，使得所述磁感應(yīng)線圈在極限傳感器之間移動。
[0018]優(yōu)選地，所述磁感應(yīng)線圈一端與固定滑軌相連，使得磁感應(yīng)線圈順著固定滑軌滑動。
[0019]優(yōu)選地，該裝置還包括擋板盒，所述伸縮遮擋板未伸展的部分卷縮在所述擋板盒中。
[0020]優(yōu)選地，該裝置還包括可編程控制器，用于對馬達(dá)的運轉(zhuǎn)進(jìn)行控制。
[0021]一種濕法刻蝕裝置，該裝置包括:貯液容器和上述液位測量裝置；所述液位測量裝置的浮子浮于貯液容器的液面上，所述磁感應(yīng)線圈在其高度與浮子相同時會感應(yīng)到大于或等于設(shè)定閾值的電流。
[0022]其中，該濕法刻蝕裝置還包括位于貯液容器中的加熱器。
[0023](三)有益效果
[0024]本實用新型提供的液位測量裝置將浮子置于容器之內(nèi)，而磁感應(yīng)線圈置于容器之夕卜，不需要使用卡片將浮子固定，提高了裝置的耐用性，且只需使用一個浮子就可以完成測量，節(jié)約了裝置的使用成本。同時裝置利用激光傳感器、伸縮遮擋板及感光板實現(xiàn)了液位的測量，使得液位的測量更為直觀，高效。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0026]圖1為現(xiàn)有濕法刻蝕裝置的結(jié)構(gòu)圖；
[0027]圖2為圖1中使用的液位傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3為本實用新型實施例提供的液位測量裝置及貯液容器的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的實施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實施例僅用于說明本實用新型，但不能用來限制本實用新型的范圍。
[0030]參見圖3，本實用新型提供了一種液位測量裝置，該傳感器包括:浮子1、磁感應(yīng)線圈2、馬達(dá)3、伸縮遮擋板4、感光板5以及多個激光傳感器6。
[0031]浮子I具有磁性，可浮于液面。浮子I例如由透明的PVC材料制成，里面包裹有磁鐵。優(yōu)選將浮子I穿設(shè)于固定架8上，從而只能在上下方向隨液面移動。固定架8例如固定在容器內(nèi)壁上。
[0032]馬達(dá)3通過絲杠7與所述磁感應(yīng)線圈2相連，則通過控制馬達(dá)3的正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)使得磁感應(yīng)線圈2上下移動，以尋找浮子I的位置。所述磁感應(yīng)線圈2 —端與固定滑軌9相連，使得磁感應(yīng)線圈2順著固定滑軌9滑動，由于浮子I具有磁性，因此當(dāng)磁感應(yīng)線圈2達(dá)到與浮子I高度相同的位置時，會產(chǎn)生達(dá)到設(shè)定閾值的磁感應(yīng)電流，通過信號線13傳送到控制裝置(圖中未示出)，控制裝置發(fā)出指令而使得馬達(dá)I停止工作。
[0033]另外，絲杠7兩端設(shè)有極限傳感器10，一旦達(dá)到該位置則發(fā)出信號使馬達(dá)停止轉(zhuǎn)動或反向轉(zhuǎn)動，使得磁感應(yīng)線圈2在極限傳感器10的高度之間移動。也可以不采用絲杠而采用其他傳動器件與磁感應(yīng)線圈2連接。
[0034]優(yōu)選的，還設(shè)置有滑軌9，磁感應(yīng)線圈2在滑軌9上滑動，滑軌9和絲杠7使得磁感應(yīng)線圈2不發(fā)生傾斜或在水平方向移位。
[0035]多個激光傳感器6位于不同的高度，如圖3所示，不同高度處的激光傳感器6分別對應(yīng)LL、L、Ml、M2、M3、M4、M5、H、HH等9個高度。且激光傳感器6的激光均水平出射，在無遮擋時能到達(dá)感光板5 ;伸縮遮擋板4位于激光傳感器6與感光板5之間。伸縮遮擋板4與磁感應(yīng)線圈2相連，則磁感應(yīng)線圈2上下移動時會帶動伸縮遮擋板4運動，且由于伸縮遮擋板4位于激光傳感器6與感光板5之間，則當(dāng)伸縮遮擋板4上下移動時，容器內(nèi)液位對應(yīng)高度以下的感光板5被伸縮遮擋板4遮擋而無法接收激光傳感器6發(fā)出的激光，容器內(nèi)液位對應(yīng)高度以上的感光板5則能夠接收激光傳感器6發(fā)出的激光，那么沒有接收到感光板5反射回激光的最上位置的激光傳感器6處的高度即容器內(nèi)液位的高度，由此能夠測量出容器內(nèi)液位的高度或?qū)?yīng)的液體體積。
[0036]優(yōu)選的，還設(shè)置有擋板盒14，所述伸縮遮擋板4未伸展的部分卷縮在所述擋板盒14中。擋板盒14的結(jié)構(gòu)和卷縮伸縮遮擋板原理與卷尺類似，在此不再贅述。，
[0037]液位測量裝置的控制裝置例如為可編程邏輯控制器(PLC，圖中未示出)，用于控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)動，可編程邏輯控制器還可分析多個激光傳感器6發(fā)送過來的數(shù)據(jù)，將沒有接收到激光的感光板5的最上位置的激光傳感器6處的高度確定為容器內(nèi)液位的高度。
[0038]由以上說明可知，本實用新型實施例中的液位測量裝置將浮子置于容器之內(nèi)，而磁感應(yīng)線圈置于容器之外，不需要使用卡片將浮子固定，提高了裝置的耐用性，且只需使用一個浮子就可以完成測量，節(jié)約了裝置的使用成本。同時該裝置利用激光傳感器、伸縮遮擋板及感光板實現(xiàn)了液位的測量，使得液位刻度的測量更為直觀，高效。
[0039]本實用新型還提供一種濕法刻蝕裝置，圖3示出了該裝置包括的液位測量裝置和貯液容器，該裝置包括:上述的液位測量裝置和貯液容器12。液位測量裝置的浮子I位于貯液容器12之中，且浮子I通過固定架8固定使其緊貼于貯液容器12的內(nèi)壁，磁感應(yīng)線圈2則位于與浮子I對應(yīng)的貯液容器12的外壁處，通過馬達(dá)3的轉(zhuǎn)動使得磁感應(yīng)線圈2移動，從而尋找浮子I的位置。該裝置還可包括加熱器11，用于將刻蝕液體加熱到合適的溫度。
[0040]以上實施例僅用于說明本實用新型，而非對本實用新型的限制。盡管參照實施例對本實用新型進(jìn)行了詳細(xì)說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行各種組合、修改或者等同替換，都不脫離本實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求和范圍當(dāng)中。
【權(quán)利要求】
1.一種液位測量裝置，其特征在于，該裝置包括:浮子、磁感應(yīng)線圈、馬達(dá)、伸縮遮擋板、感光板以及多個激光傳感器，其中: 所述浮子具有磁性，可浮于液面； 所述磁感應(yīng)線圈連接到所述馬達(dá)和所述伸縮遮擋板； 所述馬達(dá)用于帶動所述磁感應(yīng)線圈在一定高度范圍內(nèi)移動，當(dāng)所述磁感應(yīng)線圈中的感應(yīng)電流達(dá)到設(shè)定閾值時停止運動； 所述多個激光傳感器位于不同的高度，且均水平出射激光，激光在無遮擋時能夠到達(dá)所述感光板； 所述伸縮遮擋板位于所述激光傳感器與所述感光板之間，所述磁感應(yīng)線圈移動時帶動所述伸縮遮擋板上下移動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液位測量裝置，其特征在于，所述浮子由聚氯乙烯制成，里面包裹有磁鐵。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液位測量裝置，其特征在于，還包括固定架，用于限定所述浮子在高度方向移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液位測量裝置，其特征在于，所述馬達(dá)通過絲杠與所述磁感應(yīng)線圈相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液位測量裝置，其特征在于，所述絲杠兩端設(shè)有極限傳感器，使得所述磁感應(yīng)線圈在極限傳感器之間移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液位測量裝置，其特征在于，所述磁感應(yīng)線圈一端與固定滑軌相連，使得磁感應(yīng)線圈順著固定滑軌滑動。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液位測量裝置，其特征在于，還包括擋板盒，所述伸縮遮擋板未伸展的部分卷縮在所述擋板盒中。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的液位測量裝置，其特征在于，還包括可編程控制器，用于對馬達(dá)的運轉(zhuǎn)進(jìn)行控制。
9.一種濕法刻蝕裝置，其特征在于，該裝置包括:貯液容器和權(quán)利要求1-8任一項所述的液位測量裝置；所述液位測量裝置的浮子浮于貯液容器的液面上，所述磁感應(yīng)線圈在其高度與浮子相同時會感應(yīng)到大于或等于設(shè)定閾值的電流。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于，還包括位于貯液容器中的加熱器。
【文檔編號】H01L21/67GK203732136SQ201420134051
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年3月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月24日
【發(fā)明者】孫文昌 申請人:北京京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司