多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，主要包括轉(zhuǎn)動(dòng)架、多個(gè)晶粒取放裝置、多個(gè)進(jìn)料裝置、多個(gè)檢測(cè)站以及多個(gè)分類站。其中，多個(gè)晶粒取放裝置等距地環(huán)設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架上；多個(gè)進(jìn)料裝置、多個(gè)檢測(cè)站和多個(gè)分類站等距地環(huán)設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸方向上。其中，晶粒取放裝置到進(jìn)料裝置取得晶粒后，轉(zhuǎn)動(dòng)架旋轉(zhuǎn)而將晶粒移載至檢測(cè)站進(jìn)行測(cè)試，接著又旋轉(zhuǎn)移載晶粒至分類站放置晶粒，而分類站對(duì)晶粒進(jìn)行分類。據(jù)此，本實(shí)用新型以同時(shí)多軌進(jìn)料以及旋轉(zhuǎn)進(jìn)給移載的方式，逐一地對(duì)晶粒進(jìn)行測(cè)試和分類，實(shí)為一高效率的連續(xù)檢測(cè)和分類技術(shù)。
【專利說明】多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，特別涉及一種適用于檢測(cè)半導(dǎo)體晶粒的檢測(cè)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶粒在制造過程中通常會(huì)經(jīng)過兩次檢測(cè)，一次是半成品檢測(cè)，另一次是成品檢測(cè)。其中，半成品檢測(cè)通常針對(duì)完成基本半導(dǎo)體制程后的晶粒，其主要目的在于先行篩檢過濾瑕疵晶粒，以免瑕疵晶粒流入后續(xù)包括黏晶(die mount)、打線(wire bond)、封膠(mold)、以及印字(mark)等制程，造成成本上無謂的耗費(fèi)，并且影響良品率。
[0003]公知的晶粒檢測(cè)設(shè)備可參考中國(guó)臺(tái)灣公告第M439261號(hào)專利。S卩，如圖1所示，其公開一種V型旋臂90，每一個(gè)旋臂各裝設(shè)有取放裝置91、92。當(dāng)其中一個(gè)取放裝置91在進(jìn)給裝置93吸取晶粒后，便移到進(jìn)給裝置93 —側(cè)的探針座94上進(jìn)行測(cè)試。此時(shí)，另一個(gè)取放裝置91則回到進(jìn)給裝置93上吸取下一個(gè)晶粒，據(jù)此V型旋臂90不斷地往復(fù)擺轉(zhuǎn)進(jìn)給及測(cè)試。此外，當(dāng)取放裝置91上的晶粒測(cè)試完成后，便直接使完成測(cè)試的晶粒掉落于下方的分料裝置(圖中未示出)，以對(duì)該完成測(cè)試的晶粒進(jìn)行分類。
[0004]據(jù)此，公知晶粒檢測(cè)設(shè)備以上述循環(huán)擺轉(zhuǎn)的方式來進(jìn)行測(cè)試，盡管其測(cè)試的準(zhǔn)確率或測(cè)試效率都已經(jīng)達(dá)到相當(dāng)穩(wěn)定的程度。但是，當(dāng)面臨更高測(cè)試速度的需求之下，公知晶粒檢測(cè)設(shè)備已面臨瓶頸，且無法再明顯提升。
[0005]有鑒于此，一種可大幅提高檢測(cè)速度，又具備彈性擴(kuò)充功能的晶粒檢測(cè)設(shè)備，實(shí)為目前產(chǎn)業(yè)上的一種迫切需要。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其能多軌晶粒同時(shí)進(jìn)料、同時(shí)移載晶粒、同時(shí)測(cè)試晶粒以及同時(shí)分類晶粒，且每一旋轉(zhuǎn)移載的角度相同，可顯著地縮短移載時(shí)間，相較于公知的晶粒檢測(cè)設(shè)備，能以數(shù)倍的方式大幅提升檢測(cè)速度，且更為彈性，可視實(shí)際需求任意擴(kuò)充或變更各種測(cè)試功能。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備主要包括轉(zhuǎn)動(dòng)架、多個(gè)晶粒取放裝置、多個(gè)進(jìn)料裝置、多個(gè)檢測(cè)站以及多個(gè)分類站。其中，轉(zhuǎn)動(dòng)架包括中心軸，而轉(zhuǎn)動(dòng)架沿著中心軸旋轉(zhuǎn)；多個(gè)晶粒取放裝置等距地環(huán)設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架上；多個(gè)進(jìn)料裝置等距地環(huán)設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸方向上，且每一進(jìn)料裝置鄰近轉(zhuǎn)動(dòng)架的一側(cè)包括一晶粒拾取區(qū)；多個(gè)檢測(cè)站與多個(gè)分類站也等距地環(huán)設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸方向上。其中，多個(gè)晶粒取放裝置分別到多個(gè)進(jìn)料裝置的晶粒拾取區(qū)上取得一個(gè)晶粒后，轉(zhuǎn)動(dòng)架旋轉(zhuǎn)，而多個(gè)晶粒取放裝置移載晶粒至多個(gè)檢測(cè)站進(jìn)行測(cè)試，接著轉(zhuǎn)動(dòng)架又旋轉(zhuǎn)，而多個(gè)晶粒取放裝置移載晶粒至多個(gè)分類站放置晶粒，由多個(gè)分類站對(duì)晶粒進(jìn)行分類。
[0008]據(jù)此，本實(shí)用新型所提供的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備可利用轉(zhuǎn)動(dòng)架以不斷地旋轉(zhuǎn)進(jìn)給移載的方式，逐一地將晶粒由進(jìn)料裝置搬運(yùn)至檢測(cè)站進(jìn)行測(cè)試，當(dāng)測(cè)試完畢又將晶粒搬運(yùn)至分類站進(jìn)行分類，實(shí)為一高效率的連續(xù)檢測(cè)和分類技術(shù)。此外，本實(shí)用新型又以同時(shí)多軌進(jìn)料的方式，大幅提高了測(cè)試產(chǎn)能。
[0009]較優(yōu)選的是，本實(shí)用新型的多個(gè)進(jìn)料裝置包括第一進(jìn)料裝置和第二進(jìn)料裝置，其遙遙相對(duì)地設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)架的兩側(cè)。換言之，本實(shí)用新型可以采取雙軌進(jìn)料的方式，而所述兩個(gè)進(jìn)料裝置之間的夾角可為180度，據(jù)此相較于公知的單軌進(jìn)給測(cè)試的方式，本實(shí)用新型可提高兩倍以上的測(cè)試產(chǎn)能，且體積上也不致增加太多。不過，本實(shí)用新型不受雙軌進(jìn)料方式所限，也可為三軌進(jìn)料、四軌進(jìn)料或其它的多軌進(jìn)料，其中三軌進(jìn)料方式時(shí)兩個(gè)相鄰的進(jìn)料裝置之間的夾角可為120°，四軌進(jìn)料方式時(shí)兩個(gè)相鄰的進(jìn)料裝置之間的夾角可為90。。
[0010]再者，本實(shí)用新型的每一進(jìn)料裝置可包括震動(dòng)喂料盤、進(jìn)料軌道以及回料軌道，而震動(dòng)喂料盤可包括喂料口，其與進(jìn)料軌道連通，且晶粒拾取區(qū)可位于進(jìn)料軌道上與震動(dòng)喂料盤遙遙相對(duì)的一側(cè)，另外回料軌道可設(shè)置于進(jìn)料軌道的下方，并用以承接自進(jìn)料軌道掉落的晶粒。
[0011]此外，本實(shí)用新型的每一檢測(cè)站可包括探針座以及至少一個(gè)探針，而所述至少一個(gè)探針的一側(cè)可固定于探針座，另一側(cè)可自探針座的側(cè)端凸伸露出；其中，多個(gè)晶粒取放裝置移載晶粒至所述至少一個(gè)探針的上方并與所述至少一個(gè)探針電性接觸。另外，本實(shí)用新型的每一晶粒取放裝置可包括吸嘴以及升降機(jī)構(gòu)，而升降機(jī)構(gòu)可組裝于轉(zhuǎn)動(dòng)架上并驅(qū)使吸嘴上升或下降。
[0012]再者，本實(shí)用新型的每一分類站可包括旋轉(zhuǎn)分料管以及多個(gè)容倉(cāng)，旋轉(zhuǎn)分料管可包括入料口和出料口，而入料口可與旋轉(zhuǎn)分料管的出料口連通，且旋轉(zhuǎn)分料管可旋轉(zhuǎn)并使出料口對(duì)準(zhǔn)多個(gè)容倉(cāng)中的一個(gè)；其中多個(gè)晶粒取放裝置旋轉(zhuǎn)移載晶粒至入料口并放置晶粒。另外，本實(shí)用新型的每一分類站還可包括轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，其連接并驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)分料管旋轉(zhuǎn)。
[0013]又，本實(shí)用新型的多個(gè)檢測(cè)站可包括多個(gè)第一檢測(cè)站以及多個(gè)第二檢測(cè)站，而所述多個(gè)進(jìn)料裝置、多個(gè)第一檢測(cè)站、多個(gè)第二檢測(cè)站以及多個(gè)分類站可分別依序地布設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸的環(huán)周方向上。而且，本實(shí)用新型的轉(zhuǎn)動(dòng)架可沿著中心軸朝同一旋轉(zhuǎn)方向步進(jìn)式地旋轉(zhuǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為公知的晶粒檢測(cè)設(shè)備。
[0015]圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的俯視示意圖。
[0016]圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的俯視局部放大圖。
[0017]圖4為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的進(jìn)料裝置的晶粒拾取區(qū)的側(cè)視圖。
[0018]圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的檢測(cè)站的側(cè)視圖。
[0019]圖6為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的分類站的側(cè)視圖。
[0020]圖7為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的俯視示意圖。
[0021]圖8為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的俯視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]本實(shí)用新型的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備在本實(shí)施例中被詳細(xì)描述之前，要特別注意的是，在以下的說明中，類似的組件將以相同的組件符號(hào)來表示。
[0023]以下對(duì)本實(shí)用新型的第一實(shí)施例以雙軌進(jìn)料方式進(jìn)行說明，請(qǐng)同時(shí)參考圖2?圖3，圖2為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的俯視圖，圖3為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的俯視局部放大圖。
[0024]圖中顯示有轉(zhuǎn)動(dòng)架2，其包括中心軸21，且轉(zhuǎn)動(dòng)架2沿著中心軸21旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，轉(zhuǎn)動(dòng)架2是受致動(dòng)器(圖中未示)驅(qū)動(dòng)而沿著中心軸21朝同一旋轉(zhuǎn)方向步進(jìn)式地旋轉(zhuǎn)。再者，兩組晶粒取放裝置3包括第一進(jìn)料裝置41以及第二進(jìn)料裝置42，其等距地環(huán)設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架2的徑向延伸方向上，S卩，以180°夾角的方式遙遙相對(duì)地設(shè)置于轉(zhuǎn)動(dòng)架2外的相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)。
[0025]在本實(shí)施例中，每一進(jìn)料裝置4包括震動(dòng)喂料盤43、進(jìn)料軌道44以及回料軌道45，而震動(dòng)喂料盤43包括喂料口 431，其與進(jìn)料軌道44連通。而且，進(jìn)料軌道44鄰近轉(zhuǎn)動(dòng)架2的一側(cè)包括晶粒拾取區(qū)40，即晶粒拾取區(qū)40位于進(jìn)料軌道44上與震動(dòng)喂料盤43遙遙相對(duì)的一側(cè)。至于回料軌道45，其設(shè)置于進(jìn)料軌道44的下方，用以承接自進(jìn)料軌道44掉落的晶粒C。
[0026]請(qǐng)?jiān)僖徊⒖紙D4，圖4為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的進(jìn)料裝置4的晶粒拾取區(qū)40的側(cè)視圖。其中，在轉(zhuǎn)動(dòng)架2上等距地環(huán)設(shè)有八組晶粒取放裝置3。如圖4所示，在本實(shí)施例中，每一晶粒取放裝置3包括吸嘴31以及升降機(jī)構(gòu)32，而升降機(jī)構(gòu)32組裝于轉(zhuǎn)動(dòng)架2上并可驅(qū)使吸嘴31上升或下降。
[0027]請(qǐng)?jiān)僖徊⒖紙D5，圖5為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的檢測(cè)站5的側(cè)視圖。如圖2中所示，本實(shí)施例的檢測(cè)站5包括兩個(gè)第一檢測(cè)站53和兩個(gè)第二檢測(cè)站54，而這些檢測(cè)站分別依序地布設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架2的徑向延伸的環(huán)周方向上，且位于進(jìn)料軌道44的一側(cè)。其中，第一檢測(cè)站53以及第二檢測(cè)站54分別對(duì)晶粒C進(jìn)行兩種不同的測(cè)試。不過，本實(shí)用新型并不以此為限，也可為單一檢測(cè)站或其它多個(gè)檢測(cè)站的形式。此外，在本實(shí)施例中，每一檢測(cè)站5包括探針座51、兩根探針52，而兩根探針52的一側(cè)固定于探針座51，另一側(cè)系從探針座51的側(cè)端凸伸露出。其中，探針52用以電性接觸晶粒C，并對(duì)晶粒C進(jìn)行測(cè)試。
[0028]請(qǐng)?jiān)僖徊⒖紙D6，圖6為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的分類站6的側(cè)視圖。如圖2中所示，兩個(gè)分類站6等距地環(huán)設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)架2的徑向延伸方向上，且位于第二檢測(cè)站54的一偵U。在本實(shí)施例中，每一分類站6包括旋轉(zhuǎn)分料管62、轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器64以及八個(gè)容倉(cāng)63，且旋轉(zhuǎn)分料管62包括入料口 61和出料口 621。其中，入料口 61與旋轉(zhuǎn)分料管62的出料口621連通，而轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器64連接并驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)分料管62旋轉(zhuǎn)，且八個(gè)容倉(cāng)63分別為不同等級(jí)的晶粒C所放置之處。換言之，本實(shí)施例的分類站6可通過轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器64驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)分料管62旋轉(zhuǎn)并使出料口 621對(duì)準(zhǔn)于八個(gè)容倉(cāng)63中的一個(gè)，以對(duì)晶粒C進(jìn)行分類。
[0029]本實(shí)施例的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備實(shí)際操作方式說明如下，首先兩個(gè)晶粒取放裝置3分別至兩側(cè)的進(jìn)料裝置4的晶粒拾取區(qū)40上分別取得一晶粒C后，接著，轉(zhuǎn)動(dòng)架2逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，而兩個(gè)晶粒取放裝置3分別移載待測(cè)試的晶粒C至兩個(gè)第一檢測(cè)站53，以進(jìn)行第一階段的測(cè)試。待第一檢測(cè)站53檢測(cè)完畢后，轉(zhuǎn)動(dòng)架2又再次逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)將晶粒C移載到第二檢測(cè)站54，以進(jìn)行第二階段的測(cè)試。
[0030]在此值得特別說明的是，在第一檢測(cè)站53與第二檢測(cè)站54進(jìn)行測(cè)試時(shí)，晶粒取放裝置3始終吸取著晶粒C。待第二檢測(cè)站54檢測(cè)完畢后，轉(zhuǎn)動(dòng)架2再次逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，晶粒取放裝置3便將測(cè)完的晶粒C移載至分類站6的入料口 61上方，并使其掉落進(jìn)入該入料口61，由旋轉(zhuǎn)分料管62對(duì)該晶粒C進(jìn)行分類，使其落入對(duì)應(yīng)的容倉(cāng)63內(nèi)。其中，在本實(shí)施例中，當(dāng)?shù)诙z測(cè)站54 —旦測(cè)試完畢，其檢測(cè)結(jié)果便隨即傳送至分類站6，故等到晶粒取放裝置3將測(cè)完的晶粒C移載至分類站6的入料口 61時(shí)，旋轉(zhuǎn)分料管62的出料口 621也已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)的容倉(cāng)63，等待晶粒C落下。據(jù)此，本實(shí)施例的晶粒取放裝置3在分類站6并無閑置的等待時(shí)間，一旦放置晶粒C可隨即進(jìn)行下一步驟的取放任務(wù)。
[0031]然而，本實(shí)用新型并不以第一實(shí)施例的雙軌進(jìn)料為限，也可為三軌進(jìn)料、四軌進(jìn)料、或其它更多軌的進(jìn)料方式。如圖7所示的第二實(shí)施例，其為三軌進(jìn)料的實(shí)施形態(tài)，其中兩個(gè)相鄰的進(jìn)料裝置4之間的夾角為120°，以此方式配置測(cè)試產(chǎn)能可提高三倍以上。另外，如圖8所示為一個(gè)四軌進(jìn)料方式，其中兩個(gè)相鄰的進(jìn)料裝置4之間的夾角為90°，以此方式配置則測(cè)試產(chǎn)能可提高四倍以上。
[0032]上述實(shí)施例僅用于方便說明而舉例而已，本實(shí)用新型所主張的保護(hù)范圍自應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
[0033]【符號(hào)說明】
[0034]90V型旋臂
[0035]91,92 取放裝置
[0036]93進(jìn)給裝置
[0037]94探針座
[0038]2轉(zhuǎn)動(dòng)架
[0039]21中心軸
[0040]3晶粒取放裝置
[0041]31吸嘴
[0042]32升降機(jī)構(gòu)
[0043]4進(jìn)料裝置
[0044]41第一進(jìn)料裝置
[0045]42第二進(jìn)料裝置
[0046]43震動(dòng)喂料盤
[0047]431 喂料口
[0048]44 進(jìn)料軌道
[0049]45 回料軌道
[0050]40 晶粒拾取區(qū)
[0051]5 檢測(cè)站
[0052]51 探針座
[0053]52 探針
[0054]53 第一檢測(cè)站 [0055]54 第二檢測(cè)站
[0056]6 分類站
[0057]61 入料口
[0058]62 旋轉(zhuǎn)分料管[0059]621 出料口
[0060]63 容倉(cāng)
[0061]64 轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器
【權(quán)利要求】
1.一種多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，包括: 轉(zhuǎn)動(dòng)架，其包括中心軸，該轉(zhuǎn)動(dòng)架沿著該中心軸旋轉(zhuǎn)； 多個(gè)晶粒取放裝置，其等距地環(huán)設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架上； 多個(gè)進(jìn)料裝置，其等距地環(huán)設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸方向上，每一進(jìn)料裝置鄰近該轉(zhuǎn)動(dòng)架的一側(cè)包括一晶粒拾取區(qū)； 多個(gè)檢測(cè)站，其等距地環(huán)設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸方向上；以及 多個(gè)分類站，其等距地環(huán)設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸方向上； 其中，該多個(gè)晶粒取放裝置分別到該多個(gè)進(jìn)料裝置的所述晶粒拾取區(qū)上取得晶粒后，該轉(zhuǎn)動(dòng)架旋轉(zhuǎn)，而該多個(gè)晶粒取放裝置將該晶粒移載至所述多個(gè)檢測(cè)站進(jìn)行測(cè)試，該轉(zhuǎn)動(dòng)架又旋轉(zhuǎn)，而所述多個(gè)晶粒取放裝置移載該晶粒至所述多個(gè)分類站放置該晶粒，所述多個(gè)分類站對(duì)該晶粒進(jìn)行分類。
2.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，所述多個(gè)進(jìn)料裝置包括第一進(jìn)料裝置和第二進(jìn)料裝置，在該轉(zhuǎn)動(dòng)架外側(cè)相對(duì)地設(shè)置。
3.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，每一進(jìn)料裝置包括震動(dòng)喂料盤和進(jìn)料軌道，該震動(dòng)喂料盤包括喂料口，其與該進(jìn)料軌道連通，所述晶粒拾取區(qū)位于該進(jìn)料軌道上與該震動(dòng)喂料盤相對(duì)的一側(cè)。
4.如權(quán)利要求3所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，每一進(jìn)料裝置還包括回料軌道，其設(shè)置于該進(jìn)料軌道下方，用以承接自該進(jìn)料軌道掉落的該晶粒。
5.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，每一檢測(cè)站包括探針座和至少一個(gè)探針，所述至少一個(gè)探針的一側(cè)固定于該探針座，另一側(cè)自該探針座的側(cè)端凸伸露出；所述多個(gè)晶粒取放裝置移載該晶粒至所述至少一個(gè)探針的上方并與所述至少一個(gè)探針電性接觸。
6.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，每一晶粒取放裝置包括吸嘴和升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)組裝于該轉(zhuǎn)動(dòng)架上并驅(qū)使該吸嘴上升或下降。
7.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，每一分類站包括旋轉(zhuǎn)分料管以及多個(gè)容倉(cāng)，該旋轉(zhuǎn)分料管包括入料口和出料口，該入料口與該旋轉(zhuǎn)分料管的該出料口連通，該旋轉(zhuǎn)分料管旋轉(zhuǎn)并使該出料口對(duì)準(zhǔn)所述多個(gè)容倉(cāng)中的一個(gè)；所述多個(gè)晶粒取放裝置旋轉(zhuǎn)移載該晶粒至該入料口并放置該晶粒。
8.如權(quán)利要求7所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，每一分類站還包括轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，其連接并驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)分料管旋轉(zhuǎn)。
9.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，所述多個(gè)檢測(cè)站包括多個(gè)第一檢測(cè)站以及多個(gè)第二檢測(cè)站，所述多個(gè)進(jìn)料裝置、多個(gè)第一檢測(cè)站、多個(gè)第二檢測(cè)站以及多個(gè)分類站分別依序地布設(shè)于該轉(zhuǎn)動(dòng)架的徑向延伸的環(huán)周方向上。
10.如權(quán)利要求1所述的多軌進(jìn)料的旋轉(zhuǎn)式晶粒檢測(cè)設(shè)備，其中，該轉(zhuǎn)動(dòng)架沿著該中心軸朝同一旋轉(zhuǎn)方向步進(jìn)式地旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK203787390SQ201420076728
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月11日
【發(fā)明者】黃德崑 申請(qǐng)人:臺(tái)北歆科科技有限公司