一種芯片表面殘渣吹氣裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種芯片表面殘渣吹氣裝置，包括中空的吹氣管，管體上設(shè)置有兩個氣管支座，以及可調(diào)氣體流量計管體上固定有限位塊，其中一個氣管支座和限位塊之間連接有與管體平行的定位針，定位針與管體平行設(shè)置，每個氣管支座上設(shè)有可用于固定的固定槽；固定槽位于氣管支座一端，氣管支座另一端為夾持部，夾持部上設(shè)有連通氣管支座上氣管孔的通槽，夾持部上設(shè)有垂直于氣管孔的螺孔；限位塊側(cè)面設(shè)有定位針孔，與限位塊對應(yīng)的氣管支座側(cè)面也設(shè)有定位針孔。該吹氣裝置能夠防止吹氣管在修機(jī)或人為因素下發(fā)生偏移或旋轉(zhuǎn)，有效吹走芯片表面的殘渣或外來物，避免了殘渣嵌入吸嘴后對芯片造成的損傷，提高了產(chǎn)品合格率。
【專利說明】一種芯片表面殘渣吹氣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體封裝測試領(lǐng)域，特別是一種芯片表面殘渣吹氣裝置。【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體封裝測試時，吸嘴利用真空開關(guān)開閉將芯片吸附在吸嘴下方，然后進(jìn)行芯片的焊接，但是芯片表面經(jīng)常有一些外來物，該外來物主要是芯片切割后沒有清洗干凈留下的硅渣和在拿放芯片時留下的一些其他雜物，大部分外來物或硅渣殘留本身與芯片并不是粘合或固定在一起的；如果芯片表面的外來物或硅殘留渣不能被有效的吹走或清除，在生產(chǎn)中，吸嘴將會打在這些外來物上，在反復(fù)抓取芯片與焊接芯片的過程中，外來物逐步嵌入到吸嘴上，而后在抓取焊接芯片時，嵌入吸嘴的較硬的外來物就會將芯片表面損壞，造成芯片表面損傷，導(dǎo)致產(chǎn)品的失效。因此有必要在吸嘴吸附芯片進(jìn)行焊接前，將芯片表面的外來物給清除掉。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于:針對現(xiàn)有技術(shù)存在的芯片在被吸嘴吸附進(jìn)行焊接前，其表面經(jīng)常有的外來物或硅渣殘留易被吸附在吸嘴上，進(jìn)而造成吸嘴對芯片表面損傷的問題，提供一種芯片表面殘渣吹氣裝置，該吹氣裝置能夠有效吹走芯片表面的殘渣，避免了殘渣嵌入吸嘴后對芯片造成的損傷，提高了產(chǎn)品合格率。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0005]一種芯片表面殘渣吹氣裝置，包括中空吹氣管，所述吹氣管包括管體和彎折部，所述管體上固定有一個限位塊，所述管體上套設(shè)有至少一個氣管支座，以及可調(diào)氣體流量計，其中一個所述氣管支座和所述限位塊之間連接有與所述管體平行的定位針，每個所述氣管支座上設(shè)有可用于固定的固定槽。
[0006]該吹氣管上設(shè)置至少一個氣管支座，氣管支座上的固定槽可通過螺栓固定在座板上，保持吹氣管工作時的固定；吹氣管上固定有限位塊，其中一個氣管支座通過定位針連接在限位塊上，防止吹氣管在修機(jī)或人為因素下發(fā)生偏移或旋轉(zhuǎn)，吹氣管上還設(shè)有可調(diào)流量的氣體里流量計，吹氣管內(nèi)通氣，能有效吹走芯片表面的殘渣或外來物，避免了殘渣嵌入吸嘴后對芯片造成的損傷，提聞了廣品合格率。
[0007]優(yōu)選地，所述固定槽位于所述氣管支座一端，所述氣管支座另一端為夾持部，所述夾持部上設(shè)有連通所述氣管支座上氣管孔的通槽，所述夾持部上設(shè)有垂直于所述氣管孔的螺孔。
[0008]該夾持部中間設(shè)有連通氣管孔的通槽，夾持部上還設(shè)有與氣管孔錯位垂直的螺孔，通過螺栓可調(diào)節(jié)夾持部的松緊，進(jìn)而能調(diào)節(jié)氣管孔的大小，能使氣管支座有效夾緊或松開吹氣管，安裝拆卸方便。
[0009]優(yōu)選地，所述限位塊焊接在所述管體上，所述限位塊側(cè)面設(shè)有與所述定位針適配的定位針孔，與所述限位塊對應(yīng)的所述氣管支座側(cè)面也設(shè)有與所述定位針適配的定位針孔。
[0010]限位塊的截面形狀類似于支耳結(jié)構(gòu)，其中內(nèi)設(shè)的氣管孔可穿過吹氣管將限位塊焊接在吹氣管上，限位塊端部設(shè)有的定位針孔與相應(yīng)的氣管支座上定位針孔適配，定位針設(shè)于兩個定位針孔內(nèi)，進(jìn)一步防止吹氣管在修機(jī)或人為因素下發(fā)生偏移或旋轉(zhuǎn)，使其能夠保證吹氣管停留在工作區(qū)域。
[0011]優(yōu)選地，所述彎折部與所述管體的夾角為120-160°。
[0012]該吹氣管設(shè)有的彎折部，與管體的夾角為120-160°，提高了吹氣管在豎直平面的吹氣覆蓋區(qū)域，在需要改變工作區(qū)域時，不用平移管體，只需要旋轉(zhuǎn)彎折部即可。
[0013]優(yōu)選地，所述吹氣管為鋼制材料，相對于鋁制材料，鋼制材料不容易發(fā)生管體的變
形，質(zhì)量可靠。
[0014]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是:該芯片表面殘渣吹氣裝置通過在吹氣管上設(shè)置至少一個氣管支座，以及氣體流量計，限位塊固定在吹氣管上，且和相應(yīng)的一個氣管支座通過定位針連接，能夠防止吹氣管在修機(jī)或人為因素下發(fā)生偏移或旋轉(zhuǎn)，有效吹走芯片表面的殘渣或外來物，避免了殘渣嵌入吸嘴后對芯片造成的損傷，提高了產(chǎn)品合格率；氣管支座上的固定槽可通過螺栓能方便的固定在座板上。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是本實(shí)用新型所述一種芯片表面殘渣吹氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為圖1中吹氣管的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為圖1中氣管支座的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為圖1中限位塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖5為本實(shí)用新型所述一種芯片表面殘渣吹氣裝置工作時的示意圖；
[0020]圖6為圖5的俯視圖。
[0021]圖中標(biāo)記:
[0022]1、吹氣管，11、管體，12、彎折部，2、氣管支座，21、支座本體，22、夾持部，23、氣管孔，24、通槽，25、螺孔，26、定位針孔，27、固定槽，3、限位塊，31、限位塊本體，32、氣管孔，33、定位針孔，34、定位針，4、氣體流量計，5、座板，6、工作臺，7、芯片，8、吸嘴。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作詳細(xì)的說明。
[0024]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0025]如圖1所示，一種芯片表面殘渣吹氣裝置，包括中空的吹氣管1，吹氣管I上設(shè)置有兩個氣管支座2，以及限位塊3和可調(diào)氣體流量計4，其中限位塊3固定在吹氣管I上，且與其中一個氣管支座2之間設(shè)有定位針34，定位針34與管體11平行設(shè)置，每個氣管支座2上設(shè)有可用于固定的固定槽27，該固定槽27可用螺栓固定。
[0026]圖2中為吹氣管I的示意圖，該吹氣管I包括管體11和彎折部12，其中彎折部12與管體11的夾角為120-160°，具有彎折部12的吹氣管I能夠提高在豎直平面的吹氣覆蓋區(qū)域，在需要改變工作區(qū)域時，不用平移管體11，只需要旋轉(zhuǎn)彎折部12即可。該吹氣管I為鋼制材料，相對于鋁制材料，鋼制材料不容易發(fā)生管體11的變形，質(zhì)量可靠。
[0027]如圖3所示，該氣管支座2包括支座本體21，其中支座本體21 —端為固定槽27，另一端為夾持部22，夾持部22上設(shè)有通槽24，通槽24連通氣管支座2上氣管孔23將夾持部22分為兩個部分，夾持部22上設(shè)有錯位垂直于氣管孔23的螺孔25，螺孔25適配有螺栓，可以調(diào)節(jié)氣管孔23的大小，便于吹氣管I穿過氣管孔23時，夾緊或松開吹氣管I。氣管支座2側(cè)面還設(shè)有與定位針34適配的定位針孔26。
[0028]如圖4所示，限位塊3包括限位塊本體31，限位塊本體31上設(shè)置有氣管孔32，其截面形狀類似于支耳結(jié)構(gòu)，限位塊3通過氣管孔32套裝在管體11上，再焊接在吹氣管I上，限位塊3側(cè)面設(shè)有與定位針34適配的定位針孔33，定位針34穿過氣管支座2上的定位針孔26和限位塊3上的定位針孔33將氣管支座2和限位塊3連接在一起。當(dāng)氣管支座2與限位塊3裝配時，將限位塊3上的定位針34與氣管支座2的定位針孔26對準(zhǔn)，裝入定位針34，達(dá)到氣管支座2定位的功能，從而避免了吹氣管I相對氣管支座2旋轉(zhuǎn)。
[0029]如圖5、6所示，該吹氣裝置工作時，先將吹氣管I穿過氣管支座2上的氣管孔23，用定位針34對準(zhǔn)限位塊3上的定位針孔34和氣管支座2的定位針孔26，再將氣管支座2固定在座板5上，調(diào)整吹氣管I的彎折部12對準(zhǔn)位于工作臺6上的待焊接的芯片7，此時再將吹氣管I與氣管支座2、限位塊3固定；吹氣管I上連接有氣體流量計4 ;吹氣管I通氣，調(diào)節(jié)氣體流量計4，使吹氣管I內(nèi)的氣體能夠有效吹走芯片7表面的殘渣和外來物，芯片7清理完畢后，啟動吸嘴8，吸附芯片7完成焊接工作。該吹氣裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠方便固定在座板5上，防止吹氣管I在修機(jī)或人為因素下發(fā)生偏移或旋轉(zhuǎn)，使其能夠保證吹氣管I停留在工作區(qū)域；吹氣管I上設(shè)有的可調(diào)流量的氣體流量計4，能夠方便調(diào)節(jié)吹氣管I內(nèi)氣流大小，有效吹走芯片7表面的殘渣或外來物，避免了殘渣嵌入吸嘴8后對芯片7造成的損傷，提聞了廣品合格率。
[0030]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種芯片表面殘渣吹氣裝置，包括中空吹氣管(I)，其特征在于，所述吹氣管(I)包括管體(11)和彎折部(12)，所述管體(11)上固定有一個限位塊(3)，所述管體(11)上套設(shè)有至少一個氣管支座(2)，以及可調(diào)氣體流量計(4)，其中一個所述氣管支座(2)和所述限位塊(3)之間連接有與所述管體(11)平行的定位針(34)，每個所述氣管支座(2)上設(shè)有可用于固定的固定槽(27)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片表面殘渣吹氣裝置，其特征在于，所述固定槽(27)位于所述氣管支座(2) —端，所述氣管支座(2)另一端為夾持部(22)，所述夾持部(22)上設(shè)有連通所述氣管支座(2)上氣管孔的通槽(24)，所述夾持部(22)上設(shè)有垂直于所述氣管孔(23)的螺孔(25)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片表面殘渣吹氣裝置，其特征在于，所述限位塊(3)焊接在所述管體(11)上，所述限位塊(3)側(cè)面設(shè)有與所述定位針(34)適配的定位針孔(33)，與所述限位塊(3)對應(yīng)的所述氣管支座(2)側(cè)面也設(shè)有與所述定位針(34)適配的定位針孔(26)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的一種芯片表面殘渣吹氣裝置，其特征在于，所述彎折部(12)與所述管體(11)的夾角為120-160°。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種芯片表面殘渣吹氣裝置，其特征在于，所述吹氣管(I)為鋼制材料。
【文檔編號】H01L21/67GK203644737SQ201420012311
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2014年1月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月9日
【發(fā)明者】王利華, 向輝, 楊松林 申請人:成都先進(jìn)功率半導(dǎo)體股份有限公司, 樂山無線電股份有限公司