量測(cè)群組設(shè)備及量測(cè)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種量測(cè)群組設(shè)備及量測(cè)方法，包括：分析模塊和運(yùn)輸模塊，通過分析模塊控制待量測(cè)產(chǎn)品在量測(cè)群組設(shè)備和后續(xù)工藝設(shè)備之間的分配、以及控制運(yùn)輸模塊將待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)胶罄m(xù)設(shè)備；運(yùn)輸模塊，與分析模塊相連，用于向后續(xù)設(shè)備中搬運(yùn)待量測(cè)產(chǎn)品。本發(fā)明的量測(cè)方法，包括：在量測(cè)群組設(shè)備的分析模塊中設(shè)定量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；分析模塊判斷待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；判斷結(jié)果為是，則分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力；后續(xù)工藝設(shè)備出現(xiàn)閑置情況，則分析模塊向所述運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令；運(yùn)輸模塊接收到跳站指令，將待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到后續(xù)工藝設(shè)備中，從而加快產(chǎn)品流通。
【專利說明】量測(cè)群組設(shè)備及量測(cè)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備及量測(cè)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]集成電路的制造工藝是一個(gè)十分復(fù)雜的過程，尤其是先進(jìn)集成電路制造工藝一般包含幾百步的工序，簡(jiǎn)單地說，就是通過薄膜生長(zhǎng)、光刻、刻蝕、離子注入等方法在襯底材料(如硅襯底)上，形成半導(dǎo)體器件的過程。在實(shí)際的生產(chǎn)過程中由于工藝的細(xì)小的變化都有可能導(dǎo)致薄膜生產(chǎn)厚度的變化、圖形尺寸的變化等異常等現(xiàn)象，這都會(huì)導(dǎo)致芯片最終電學(xué)性能的失效，但是如果需要等到最后電學(xué)性能測(cè)試的反饋到生產(chǎn)線上的異常工事，勢(shì)必會(huì)造成大量產(chǎn)品的失效，所以在實(shí)際的生產(chǎn)過程中都會(huì)配置大量的各種量測(cè)的設(shè)備對(duì)漫長(zhǎng)的生產(chǎn)線進(jìn)行監(jiān)控。一般工藝生產(chǎn)流程如圖1所示，為現(xiàn)有的產(chǎn)品生產(chǎn)和量測(cè)工藝流通的流程示意圖，左邊的三個(gè)方塊表示工藝1、2、3，右邊的三個(gè)方塊表示工藝4、5、6，中間的方塊表示量測(cè)群組設(shè)備A，此時(shí)其具有3臺(tái)檢測(cè)設(shè)備，產(chǎn)品的流通都是圍繞著一個(gè)生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行，從而可以實(shí)現(xiàn)不同產(chǎn)品按照不同的生產(chǎn)工序進(jìn)行流通。但是，由于量測(cè)設(shè)備是非常昂貴的，在建立生產(chǎn)線上時(shí)，對(duì)量測(cè)設(shè)備產(chǎn)能的配置會(huì)比較保守。因此，在圖1中的量測(cè)群組設(shè)備A中，由于其中一臺(tái)用來進(jìn)行工程實(shí)驗(yàn)4個(gè)小時(shí)，再加上前道生產(chǎn)的產(chǎn)品持續(xù)地進(jìn)入到這個(gè)量測(cè)群組設(shè)備A所在的量測(cè)站點(diǎn)中，就會(huì)造成這個(gè)量測(cè)站點(diǎn)等待量測(cè)的產(chǎn)品大量地增加如圖2所示，圖2為量測(cè)群組設(shè)備中產(chǎn)生待量測(cè)的產(chǎn)品堆積的示意圖；由于一個(gè)工藝可能會(huì)有一百多道的量測(cè)工序，那么如果不同的量測(cè)站點(diǎn)在生產(chǎn)是均發(fā)生不同程度的堆貨，從而就會(huì)使得產(chǎn)品的生產(chǎn)周期大大延長(zhǎng)，使得昂貴的生產(chǎn)設(shè)備的使用效率偏低，導(dǎo)致生產(chǎn)成本的增加。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備及量測(cè)方法，從而改善現(xiàn)有的待量測(cè)產(chǎn)品大量堆積導(dǎo)致生產(chǎn)周期增加和成本增加的問題。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備，其包括:
[0005]分析模塊，用于控制待量測(cè)產(chǎn)品在所述量測(cè)群組設(shè)備和后續(xù)工藝設(shè)備之間的分配、以及控制運(yùn)輸模塊將所述待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)剿龊罄m(xù)設(shè)備；
[0006]運(yùn)輸模塊，與所述分析模塊相連，用于向所述后續(xù)設(shè)備中搬運(yùn)所述待量測(cè)產(chǎn)品。
[0007]優(yōu)選地，所述分析模塊，用于判斷所述待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量，并分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
[0008]優(yōu)選地，所述分析模塊，用于對(duì)所述待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行選擇性分配:根據(jù)前續(xù)工藝設(shè)備的種類，將每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品中均保留至少一件，從而確保每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一件被量測(cè)到。
[0009]優(yōu)選地，所述分析模塊還包括計(jì)算單元，用于計(jì)算所述待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量與所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量的差值；并將所述差值信號(hào)發(fā)送給所述運(yùn)輸模塊；
[0010]所述運(yùn)輸模塊將多出來的所述差值數(shù)量的所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0011]優(yōu)選地，所述待量測(cè)產(chǎn)品為向所述量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品，則所述分析模塊還包括:
[0012]速度探測(cè)單元，用于探測(cè)向所述運(yùn)輸途中的量測(cè)群組設(shè)備輸送所述待量測(cè)產(chǎn)品的速度；
[0013]距離探測(cè)單元，用于探測(cè)所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與所述量測(cè)群組設(shè)備之間的距離；
[0014]時(shí)間判斷單元，用于根據(jù)所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與所述量測(cè)群組設(shè)備之間的距離以及所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的速度，并判斷正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；并判斷所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)所述量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間是否大于或等于所述正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；
[0015]當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
[0016]本發(fā)明還提供了采用上述集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備進(jìn)行的量測(cè)方法，包括對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行量測(cè)的過程，其還包括:
[0017]在量測(cè)群組設(shè)備的分析模塊中設(shè)定所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；
[0018]所述分析模塊判斷所述待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；
[0019]判斷結(jié)果為是，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力；
[0020]后續(xù)工藝設(shè)備出現(xiàn)閑置情況，則所述分析模塊向所述運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令；
[0021]所述運(yùn)輸模塊接收到所述跳站指令，將所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0022]優(yōu)選地，所述分析模塊還包括計(jì)算單元，所述運(yùn)輸模塊接收到所述跳站指令，將所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中的步驟，具體包括:所述運(yùn)輸模塊接收到所述跳站指令后，所述計(jì)算單元計(jì)算待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量比所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量所多出來的數(shù)量，并將所述差值信號(hào)發(fā)送給所述運(yùn)輸模塊；所述運(yùn)輸模塊將所述多出來的數(shù)量的所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0023]優(yōu)選地，所述分析模塊向所述運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令的步驟，還包括:根據(jù)前續(xù)工藝設(shè)備的種類，所述分析模塊發(fā)送選擇性跳站指令:將每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品中均保留至少一件，從而確保每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一件被量測(cè)到。
[0024]優(yōu)選地，所述分析模塊還包括:速度探測(cè)單元、距離探測(cè)單元、和時(shí)間判斷單元，所述判斷結(jié)果為是，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力的步驟中，所述待量測(cè)產(chǎn)品為向所述量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品，具體包括:
[0025]分析模塊判斷所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量超過所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量之后，所述分析模塊根據(jù)所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與所述量測(cè)群組設(shè)備之間的距離以及所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的速度，判斷所述待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)所述量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間是否大于或等于所述正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
[0026]本發(fā)明的集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備及量測(cè)方法，通過改進(jìn)現(xiàn)有的量測(cè)群組設(shè)備，在其中增加了分析模塊和運(yùn)輸模塊，通過分析模塊判斷待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量、并控制運(yùn)輸模塊將待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)胶罄m(xù)設(shè)備，從而能夠及時(shí)將待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行分配，避免造成待量測(cè)產(chǎn)品產(chǎn)生大量堆積，加快了產(chǎn)品的流通速度，提聞了生廣效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1為現(xiàn)有的產(chǎn)品生產(chǎn)和量測(cè)工藝流通的流程示意圖
[0028]圖2為量測(cè)群組設(shè)備中產(chǎn)生待量測(cè)的產(chǎn)品堆積的示意圖
[0029]圖3為本發(fā)明的實(shí)施例一的量測(cè)群組設(shè)備的方塊圖
[0030]圖4為本發(fā)明的實(shí)施例二的量測(cè)方法的流程示意圖

【具體實(shí)施方式】
[0031]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0032]實(shí)施例一
[0033]以下將結(jié)合附圖3和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例一的量測(cè)群組設(shè)備作進(jìn)一步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實(shí)施例的目的。
[0034]本發(fā)明的集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備，可以單獨(dú)使用，也可以組群使用，其可以包括現(xiàn)有的檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)，比如，檢測(cè)功能部分，一臺(tái)量測(cè)群組設(shè)備可以對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行批量檢測(cè)，在此對(duì)現(xiàn)有檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)不再贅述；在本發(fā)明中，其還包括:分析模塊和運(yùn)輸模塊；相比于現(xiàn)有的量測(cè)群組設(shè)備，增設(shè)了該分析模塊和運(yùn)輸模塊，通過分析模塊可以及時(shí)調(diào)整待量測(cè)產(chǎn)品的運(yùn)輸路徑，從而及時(shí)對(duì)待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行分配，避免產(chǎn)生大量的堆積，從而提高了產(chǎn)品的流通速度以及生產(chǎn)效率。
[0035]本發(fā)明中，分析模塊，用于控制待量測(cè)產(chǎn)品在所述量測(cè)群組設(shè)備和后續(xù)工藝設(shè)備之間的分配、以及控制運(yùn)輸模塊將所述待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)剿龊罄m(xù)設(shè)備；
[0036]運(yùn)輸模塊，與分析模塊相連，用于向后續(xù)設(shè)備中搬運(yùn)待量測(cè)產(chǎn)品。
[0037]請(qǐng)參閱圖3，為本發(fā)明的實(shí)施例一的量測(cè)群組設(shè)備的方塊圖；在本發(fā)明實(shí)施例中，分析模塊用于判斷待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量、并分析后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力、以及控制運(yùn)輸模塊將待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)胶罄m(xù)設(shè)備；這里，量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際工藝要求而不同；例如，當(dāng)待量測(cè)產(chǎn)品數(shù)量超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量時(shí)，則分析模塊會(huì)分析后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力；當(dāng)后續(xù)工藝設(shè)備未超出其最大生產(chǎn)值時(shí)，則分析模塊向運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令，運(yùn)輸模塊將待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0038]本實(shí)施例中，分析模塊，還可以用于對(duì)待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行選擇性分配:根據(jù)前續(xù)工藝設(shè)備的種類，將每種前續(xù)工藝設(shè)備出來的待量測(cè)產(chǎn)品中均保留至少一件，從而確保每種前續(xù)工藝設(shè)備出來的待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一件被量測(cè)到。
[0039]分析模塊還包括計(jì)算單元，用于計(jì)算待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量與量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量的差值；
[0040]當(dāng)待量測(cè)產(chǎn)品數(shù)量超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量時(shí)，計(jì)算單元計(jì)算待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量比量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量所多出來的數(shù)量，并將差值信號(hào)發(fā)送給運(yùn)輸模塊；運(yùn)輸模塊將多出來的數(shù)量的待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0041]由于采用了計(jì)算單元，計(jì)算單元可以計(jì)算出單元計(jì)算待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量比量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量所多出來的數(shù)量，這樣，可以避免當(dāng)待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量大于量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量時(shí)，將該批待量測(cè)產(chǎn)品全部移送到后續(xù)工藝設(shè)備中，進(jìn)一步避免出現(xiàn)量測(cè)群組設(shè)備在檢測(cè)完一批次的產(chǎn)品后，因待量測(cè)產(chǎn)品未及時(shí)輸送到位而造成量測(cè)暫時(shí)中斷，從而確保了量測(cè)過程的連續(xù)性，提高了量測(cè)效率。
[0042]在本實(shí)施例中，待量測(cè)產(chǎn)品可以為向量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品，則分析模塊還包括:
[0043]速度探測(cè)單元，用于探測(cè)向運(yùn)輸途中的量測(cè)群組設(shè)備輸送待量測(cè)產(chǎn)品的速度；
[0044]距離探測(cè)單元，用于探測(cè)運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與量測(cè)群組設(shè)備之間的距離；
[0045]時(shí)間判斷單元，用于根據(jù)運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與量測(cè)群組設(shè)備之間的距離以及運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的速度，并判斷正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；并判斷運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間是否大于或等于正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；
[0046]當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，則分析模塊開始分析后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
[0047]這里，采用了速度探測(cè)單元、距離探測(cè)單元、以及時(shí)間判斷單元后，使得分析模塊可以在待量測(cè)產(chǎn)品向量測(cè)群組設(shè)備運(yùn)輸?shù)穆吠局?，?duì)待量測(cè)產(chǎn)品到量測(cè)群組設(shè)備的數(shù)量進(jìn)行預(yù)先估測(cè)，從而避免待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備后再進(jìn)行判斷的滯后性，進(jìn)一步節(jié)約了時(shí)間，提高了分析模塊對(duì)待量測(cè)產(chǎn)品的分配效率，以及提高了整個(gè)工藝的產(chǎn)品流通速度和生產(chǎn)效率。
[0048]需要說明的是，從圖1中可以看到，當(dāng)產(chǎn)品從后續(xù)工藝設(shè)備中完成后續(xù)工藝后，還可以返回到量測(cè)群組設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)，此時(shí)檢測(cè)的產(chǎn)品只相比于前次應(yīng)當(dāng)進(jìn)行的檢測(cè)多了一個(gè)工藝，然而并不影響對(duì)整個(gè)產(chǎn)品性能的檢測(cè)，因此不必過于考慮產(chǎn)品少了一次檢測(cè)過程。
[0049]實(shí)施例二
[0050]以下將結(jié)合附圖4和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例二的量測(cè)方法作進(jìn)一步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實(shí)施例的目的。
[0051]總的來說，本發(fā)明的一種集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)方法，包括對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行量測(cè)的過程，由于對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行量測(cè)的過程為本領(lǐng)域技術(shù)人員可以知曉的，本發(fā)明對(duì)此不再贅述；在本發(fā)明中，該量測(cè)方法還包括:
[0052]在量測(cè)群組設(shè)備的分析模塊中設(shè)定量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；
[0053]分析模塊判斷待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；
[0054]判斷結(jié)果為是，則分析模塊開始分析工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力；
[0055]后續(xù)工藝設(shè)備未超出其最大生產(chǎn)值，則分析模塊向運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令；
[0056]運(yùn)輸模塊接收到跳站指令，將待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0057]請(qǐng)參閱圖4，為本發(fā)明的實(shí)施例二的量測(cè)方法的流程示意圖，本實(shí)施例的量測(cè)方法采用實(shí)施例一中的量測(cè)群組設(shè)備，本實(shí)施例的量測(cè)方法具體的包括以下步驟:
[0058]步驟SOl:在量測(cè)群組設(shè)備的分析模塊中設(shè)定量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量；
[0059]具體的，對(duì)最大量測(cè)數(shù)量的大小可以根據(jù)實(shí)際的工藝要求來設(shè)定而不同，最大量測(cè)數(shù)量也即是量測(cè)群組設(shè)備一次量測(cè)過程所能承受的最大數(shù)量，當(dāng)然，也可以是在待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備之前的過程中，量測(cè)群組設(shè)備所能量測(cè)完成的產(chǎn)品數(shù)量。
[0060]步驟S02:分析模塊判斷待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量;
[0061]具體的，分析模塊可以檢測(cè)待量測(cè)產(chǎn)品數(shù)量，然后與所設(shè)定的最大量測(cè)數(shù)量進(jìn)行比較，從而作出判斷。在此，可以判斷已經(jīng)到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備的待量測(cè)產(chǎn)品，也可以判斷在向量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品。
[0062]步驟S03:判斷結(jié)果為是，則分析模塊開始分析后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力；
[0063]具體的，針對(duì)已經(jīng)到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備的待量測(cè)產(chǎn)品，如果判斷結(jié)果為是，則分析模塊開始分析后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力；然則，針對(duì)在向量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品，由于上述實(shí)施例一中的量測(cè)群組設(shè)備還包括:速度探測(cè)單元、距離探測(cè)單元、和時(shí)間判斷單元，則該步驟具體還包括:
[0064]分析模塊判斷運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量之后，分析模塊根據(jù)運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與量測(cè)群組設(shè)備之間的距離以及運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的速度，并判斷運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間是否大于或等于正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，則分析模塊開始分析后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
[0065]也就是說，本步驟S03中，針對(duì)所說的運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品數(shù)量大于量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)產(chǎn)品數(shù)量的情況，并不是立即作出將運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品全部分配到后續(xù)工藝設(shè)備中的指令，而是對(duì)運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的實(shí)時(shí)速度進(jìn)行測(cè)量，再根據(jù)運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與量測(cè)群組設(shè)備之間的距離判斷出運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間，并將該時(shí)間與正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間進(jìn)行比較，如果正在進(jìn)行的量測(cè)過程結(jié)束之前，運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)量測(cè)設(shè)備，則分析模塊就要將此待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行分配了，很明顯，否則會(huì)造成待量測(cè)產(chǎn)品的堆積。
[0066]后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力，是指后續(xù)工藝設(shè)備是否出現(xiàn)閑置，也即是未進(jìn)行生產(chǎn)工藝。
[0067]步驟S04:后續(xù)工藝設(shè)備出現(xiàn)閑置情況，則分析模塊向運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令；
[0068]具體的，如果后續(xù)工藝設(shè)備閑置，則可以將待量測(cè)產(chǎn)品先輸送到該后續(xù)工藝設(shè)備中進(jìn)行生產(chǎn)工藝，避免待量測(cè)產(chǎn)品產(chǎn)生大量堆積；需要說明的是，如果后續(xù)工藝設(shè)備都處在生產(chǎn)過程中，無閑置狀態(tài)，則分析模塊暫不作出跳站指令；并可以在后續(xù)工藝設(shè)備和量測(cè)設(shè)備之間進(jìn)行實(shí)時(shí)輪流監(jiān)控，哪里先出現(xiàn)閑置狀態(tài)，就將待量測(cè)設(shè)備分配到哪里。比如，在判斷無閑置狀態(tài)后，隔5秒對(duì)量測(cè)設(shè)備判斷一次，再隔5秒對(duì)后續(xù)工藝設(shè)備判斷一次，然后再隔5秒再對(duì)量測(cè)設(shè)備判斷一次，如此循環(huán)。
[0069]在本實(shí)施例中的本步驟中，還包括:根據(jù)前續(xù)工藝設(shè)備的種類，分析模塊發(fā)送選擇性跳站指令:將每種前續(xù)工藝設(shè)備出來的待量測(cè)產(chǎn)品中均保留至少一件，從而確保每種前續(xù)工藝設(shè)備出來的待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一件被量測(cè)到；而將其余的待量測(cè)產(chǎn)品分配到后續(xù)工藝設(shè)備中；例如，量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量為6個(gè)，有前續(xù)工藝設(shè)備A和B，從A出來的待量測(cè)產(chǎn)品有6個(gè)，從B出來的待量測(cè)產(chǎn)品有4個(gè)，此時(shí)6+4為10大于6，則分析模塊選擇A出來的待量測(cè)產(chǎn)品中的5個(gè)和B出來的的待量測(cè)產(chǎn)品中的3個(gè)作為進(jìn)行跳站的待量測(cè)產(chǎn)品，也即是將他們分配到后續(xù)工藝設(shè)備中，而將A出來的待量測(cè)產(chǎn)品中的I個(gè)和B出來的的待量測(cè)產(chǎn)品中的I個(gè)保留在量測(cè)群組設(shè)備處，等待量測(cè)，這樣就可以確保不同的前續(xù)工藝設(shè)備出來的待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一個(gè)被檢測(cè)到，從而可以對(duì)前續(xù)工藝進(jìn)行充分的檢測(cè)，不遺漏任何一個(gè)。
[0070]步驟S05:運(yùn)輸模塊接收到跳站指令，將待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0071]具體的，由于上述實(shí)施例一中的量測(cè)群組設(shè)備還包括計(jì)算單元，則本步驟具體包括:運(yùn)輸模塊接收到跳站指令后，計(jì)算單元計(jì)算待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量比量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量所多出來的數(shù)量，并將差值信號(hào)發(fā)送給運(yùn)輸模塊；運(yùn)輸模塊將多出來的數(shù)量的待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到后續(xù)工藝設(shè)備中。
[0072]這里，針對(duì)到達(dá)量測(cè)設(shè)備的待量測(cè)產(chǎn)品或者在運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的，都可以采用計(jì)算單元將待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量與量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量的差值計(jì)算出來，然后將多出來的該差值數(shù)量的待量測(cè)產(chǎn)品分配到后續(xù)工藝設(shè)備中。這樣，可以避免待量測(cè)產(chǎn)品全部分配到后續(xù)工藝設(shè)備中而可能導(dǎo)致量測(cè)設(shè)備出現(xiàn)閑置的情況，從而確保量測(cè)過程的連續(xù)性，提高量測(cè)效率，進(jìn)一步提高產(chǎn)品的流通速度和生產(chǎn)效率。
[0073]本發(fā)明的集成電路工藝中的量測(cè)方法，通過分析模塊判斷待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量超過量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量、并控制運(yùn)輸模塊將待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)胶罄m(xù)設(shè)備，從而能夠及時(shí)將待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行分配，避免造成待量測(cè)產(chǎn)品產(chǎn)生大量堆積，加快了產(chǎn)品的流通速度，提聞了生廣效率。
[0074]雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤(rùn)飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備，其特征在于，所述量測(cè)群組設(shè)備包括: 分析模塊，用于控制待量測(cè)產(chǎn)品在所述量測(cè)群組設(shè)備和后續(xù)工藝設(shè)備之間的分配、以及控制運(yùn)輸模塊將所述待量測(cè)產(chǎn)品運(yùn)輸?shù)剿龊罄m(xù)設(shè)備； 運(yùn)輸模塊，與所述分析模塊相連，用于向所述后續(xù)設(shè)備中搬運(yùn)所述待量測(cè)產(chǎn)品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量測(cè)群組設(shè)備，其特征在于，所述分析模塊，用于判斷所述待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量，并分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量測(cè)群組設(shè)備，其特征在于，所述分析模塊，用于對(duì)所述待量測(cè)產(chǎn)品進(jìn)行選擇性分配:根據(jù)前續(xù)工藝設(shè)備的種類，將每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品中均保留至少一件，從而確保每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一件被量測(cè)到。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量測(cè)群組設(shè)備，其特征在于，所述分析模塊還包括計(jì)算單元，用于計(jì)算所述待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量與所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量的差值；并將所述差值信號(hào)發(fā)送給所述運(yùn)輸模塊； 所述運(yùn)輸模塊將多出來的所述差值數(shù)量的所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的量測(cè)群組設(shè)備，其特征在于，所述待量測(cè)產(chǎn)品為向所述量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品，則所述分析模塊還包括: 速度探測(cè)單元，用于探測(cè)向所述運(yùn)輸途中的量測(cè)群組設(shè)備輸送所述待量測(cè)產(chǎn)品的速度； 距離探測(cè)單元，用于探測(cè)所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與所述量測(cè)群組設(shè)備之間的距離； 時(shí)間判斷單元，用于根據(jù)所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與所述量測(cè)群組設(shè)備之間的距離以及所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的速度，并判斷正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；并判斷所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)所述量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間是否大于或等于所述正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間； 當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
6.一種采用權(quán)利要求1所述的集成電路生產(chǎn)工藝中的量測(cè)群組設(shè)備進(jìn)行的量測(cè)方法，包括對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行量測(cè)的過程，其特征在于，還包括: 在量測(cè)群組設(shè)備的分析模塊中設(shè)定所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量； 所述分析模塊判斷所述待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量是否超過所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量; 判斷結(jié)果為是，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力； 后續(xù)工藝設(shè)備出現(xiàn)閑置情況，則所述分析模塊向所述運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令； 所述運(yùn)輸模塊接收到所述跳站指令，將所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的量測(cè)方法，其特征在于，所述分析模塊還包括計(jì)算單元，所述運(yùn)輸模塊接收到所述跳站指令，將所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中的步驟，具體包括:所述運(yùn)輸模塊接收到所述跳站指令后，所述計(jì)算單元計(jì)算待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量比所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量所多出來的數(shù)量，并將所述差值信號(hào)發(fā)送給所述運(yùn)輸模塊；所述運(yùn)輸模塊將所述多出來的數(shù)量的所述待量測(cè)產(chǎn)品搬運(yùn)到所述后續(xù)工藝設(shè)備中。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的量測(cè)方法，其特征在于，所述分析模塊向所述運(yùn)輸模塊發(fā)送跳站指令的步驟，還包括:根據(jù)前續(xù)工藝設(shè)備的種類，所述分析模塊發(fā)送選擇性跳站指令:將每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品中均保留至少一件，從而確保每種所述前續(xù)工藝設(shè)備出來的所述待量測(cè)產(chǎn)品都至少有一件被量測(cè)到。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的量測(cè)方法，其特征在于，所述分析模塊還包括:速度探測(cè)單元、距離探測(cè)單元、和時(shí)間判斷單元，所述判斷結(jié)果為是，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力的步驟中，所述待量測(cè)產(chǎn)品為向所述量測(cè)設(shè)備進(jìn)行運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品，具體包括: 分析模塊判斷所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的數(shù)量超過所述量測(cè)群組設(shè)備的最大量測(cè)數(shù)量之后，所述分析模塊根據(jù)所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品與所述量測(cè)群組設(shè)備之間的距離以及所述運(yùn)輸途中的待量測(cè)產(chǎn)品的速度，判斷所述待量測(cè)產(chǎn)品到達(dá)所述量測(cè)群組設(shè)備的時(shí)間是否大于或等于所述正在進(jìn)行的量測(cè)過程距離結(jié)束所剩余的時(shí)間；當(dāng)判斷結(jié)果為否時(shí)，則所述分析模塊開始分析所述后續(xù)工藝設(shè)備的生產(chǎn)能力。
【文檔編號(hào)】H01L21/66GK104134623SQ201410377345
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月1日
【發(fā)明者】倪棋梁, 陳宏璘, 龍吟 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司