圖案形成裝置以及圖案形成方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠在基板上以良好的形狀形成線圖案的圖案形成裝置以及圖案形成方法。該圖案形狀裝置具有氣流吹送單元(1C)和圖案整形單元中的至少一個(gè)，其中，所述氣流吹送單元(1C)與開始噴出所述涂敷液以及停止噴出所述涂敷液相對(duì)應(yīng)地朝向所述基板(W)的在第一方向(X)上比向所述基板(W)供給所述涂敷液的供給位置(P1)更靠上游側(cè)的表面噴射氣體，并在所述涂敷液噴嘴(2)的噴出口(21)和所述基板(W)的表面的中間，向所述涂敷液的液流吹送氣流(AF)；所述圖案整形單元向形成在所述基板(W)的表面上的圖案(LP)呈脈沖狀噴射氣體來(lái)進(jìn)行整形。
【專利說明】圖案形成裝置以及圖案形成方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及從涂敷液噴嘴向相對(duì)于該涂敷液噴嘴移動(dòng)的基板呈線狀供給涂敷液來(lái)形成圖案的圖案形成技術(shù)。

【背景技術(shù)】
[0002]作為應(yīng)用了這種圖案形成技術(shù)的裝置，例如已知在太陽(yáng)能電池元件用的基板上形成布線圖案等線圖案(Iinepattern)的圖案形成裝置。在該圖案形成裝置中，一邊使基板向規(guī)定方向移動(dòng)，一邊開始在基板移動(dòng)的過程中從固定配置的涂敷液噴嘴供給涂敷液(電極膏)，然后停止供給涂敷液。由此，在基板的表面上形成與供給繼續(xù)時(shí)間相對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度的線圖案。在這樣形成的線圖案的始端以及末端可能產(chǎn)生如下問題。即，在線圖案的始端線端部可能變成球狀。另外，在線圖案的末端可能產(chǎn)生涂敷液的尾部(拉絲)。尤其，為了形成布線圖案，可能使用粘度比較高、例如剪切速度為Is—1時(shí)具有數(shù)十pa.s (帕斯卡秒)?數(shù)百Pa.8的粘度的電極膏，這些成為重要的問題。
[0003]因此，為了解除上述問題，提出例如應(yīng)用在JP實(shí)開昭62-183584號(hào)公報(bào)中記載的技術(shù)。即，就提出的該技術(shù)而言，通過從空氣噴嘴噴射空氣來(lái)抑制尾部(tail)的產(chǎn)生。
[0004]但是，在上述JP實(shí)開昭62-183584號(hào)公報(bào)中記載的裝置中，將從膠水噴嘴噴出的膠水(相當(dāng)于本發(fā)明的“涂敷液”)涂敷在被輸送機(jī)搬運(yùn)的紙板(carton)上，并且向與膠水的液流垂直的方向噴出加壓空氣。通過該空氣流抑制尾部產(chǎn)生。但是，加壓空氣的朝向與紙板的移動(dòng)方向相同，被加壓空氣吹散的膠水飛散導(dǎo)致污染紙板以及裝置。另外，對(duì)線端部變成球狀這樣的技術(shù)問題完全無(wú)效。
[0005]另外，圖案形成裝置的重要性能之一為，將形成在基板上的圖案加工成所期望的形狀。因此，希望存在如下技術(shù)，即，在形成基板上的圖案之后，將該圖案整形成所期望的形狀。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種能夠在基板上以良好的形狀形成線圖案的圖案形成技術(shù)。
[0007]本發(fā)明的一個(gè)方式的圖案形成裝置，通過從涂敷液噴嘴的噴出口向相對(duì)于所述涂敷液噴嘴向第一方向移動(dòng)的基板的表面噴出的線狀的涂敷液，在所述基板的表面上形成圖案，其特征在于，
[0008]該圖案形成裝置具有氣流吹送單元和圖案整形單元中的至少一個(gè)，其中，所述氣流吹送單元與開始噴出所述涂敷液以及停止噴出所述涂敷液中的至少一個(gè)相對(duì)應(yīng)地，朝向所述基板的在所述第一方向上比向所述基板供給所述涂敷液的供給位置更靠上游側(cè)的表面噴射氣體，并在所述涂敷液噴嘴的噴出口和所述基板的表面的中間，向所述涂敷液的液流吹送氣流；所述圖案整形單元向形成在所述基板的表面上的圖案呈脈沖狀噴射氣體來(lái)進(jìn)行整形，通過所述氣體來(lái)控制所述圖案的形狀。
[0009]另外，本發(fā)明的其它方式的圖案形成方法，通過從涂敷液噴嘴的第二噴出口向相對(duì)于所述涂敷液噴嘴向第一方向移動(dòng)的基板的表面噴出的線狀的涂敷液，在所述基板的表面上形成圖案，其特征在于，
[0010]執(zhí)行第一工序和第二工序中的至少一個(gè)來(lái)控制所述圖案的形狀，其中，在所述第一工序中，與開始噴出所述涂敷液以及停止噴出所述涂敷液中的至少一個(gè)相對(duì)應(yīng)地，朝向所述基板的在所述第一方向上比向所述基板供給所述涂敷液的供給位置更靠上游側(cè)的表面噴射氣體，并在所述涂敷液噴嘴的第二噴出口和所述基板的表面的中間，向所述涂敷液的液流吹送氣流；在所述第二工序中，向形成在所述基板的表面上的圖案呈脈沖狀噴射氣體來(lái)進(jìn)行整形。
[0011]在這樣構(gòu)成的發(fā)明中，進(jìn)行向涂敷液的液流吹送氣流的動(dòng)作和通過氣體的脈沖噴射對(duì)基板上的圖案進(jìn)行圖案整形的動(dòng)作中的至少一個(gè)，從而控制圖案的形狀。
[0012]在此，在涂敷液噴嘴的噴出口和基板的表面的中間向涂敷液的液流供給的氣流，向使涂敷液與基板進(jìn)行壓力接觸的方向發(fā)生作用，在不使涂敷液飛散的情況下，與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液中的至少一個(gè)相對(duì)應(yīng)地向涂敷液的液流供給氣流。例如通過與開始噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地供給氣流來(lái)抑制線圖案的始端變成球狀，另外，通過與停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地供給上述氣流來(lái)抑制在線圖案的末端產(chǎn)生尾部。
[0013]另一方面，在向形成在基板上的圖案呈脈沖狀噴射氣體來(lái)進(jìn)行加壓時(shí)，圖案中的被加壓的部位以附著于基板上的狀態(tài)被整形。在此，“呈脈沖狀噴射氣體”指，反復(fù)進(jìn)行氣體的噴射和停止噴射，在不產(chǎn)生不良圖案地進(jìn)行圖案整形的方面發(fā)揮重要的作用。即，如在后面詳細(xì)說明，當(dāng)繼續(xù)連續(xù)噴射氣體時(shí)，圖案中的受到氣體的壓力的部位飛散，導(dǎo)致圖案不良。相對(duì)于此，通過呈脈沖狀噴射氣體，能夠在不使受到氣體的壓力的部位向周圍飛散的情況下整形圖案。
[0014]根據(jù)本發(fā)明，能夠在基板上以良好地形狀形成線圖案。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1A以及圖1B是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的圖案形成裝置的外觀的圖。
[0016]圖2是圖案形成裝置所具有的涂敷液噴出裝置的剖視圖。
[0017]圖3是沿著涂敷液噴出裝置的B-B線剖切的剖視圖。
[0018]圖4A至圖4D是示意性地示出通過涂敷液噴出裝置進(jìn)行的噴出控制動(dòng)作的圖。
[0019]圖5是示意性地示出圖案形成裝置所具有的氣體噴出裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0020]圖6A以及圖6B是示出圖1A所示的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0021]圖7是示意性地示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式的圖案形成裝置所具有的氣體噴出裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0022]圖8是示出圖7所示的圖案形成裝置的動(dòng)作的一例的時(shí)序圖。
[0023]圖9是示出圖7所示的圖案形成裝置的動(dòng)作的其它例的時(shí)序圖。
[0024]圖10是示意性地示出本發(fā)明的第三實(shí)施方式的圖案形成裝置所具有的氣體噴出裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0025]圖11是示出第三實(shí)施方式的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0026]圖12是示出本發(fā)明的第四實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖。
[0027]圖13是示出不使用圖案整形裝置而形成圖案時(shí)的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0028]圖14是示出使用圖案整形裝置來(lái)形成圖案時(shí)的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0029]圖15是示意性地示出隨著氣體噴射的脈沖寬度變化而引起的圖案的始端部以及末端部的形狀變化的圖。
[0030]圖16是示出本發(fā)明的第五實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖。
[0031]圖17是示出圖16所示的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0032]圖18是示出第六實(shí)施方式的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。
[0033]圖19是示出具有本發(fā)明的圖案整形裝置的第七實(shí)施方式的圖案形成裝置的動(dòng)作的圖。
[0034]圖20是示出本發(fā)明的第八實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖。
[0035]圖21是示出利用圖20的圖案形成裝置形成的太陽(yáng)能電池單元的例子的圖。
[0036]圖22是示意性地示出通過圖20的裝置形成指狀(finger)電極的情況的圖。
[0037]圖23是示出第八實(shí)施方式的圖案形成處理的流程圖。
[0038]其中，附圖標(biāo)記說明如下:
[0039]11:圖案形成裝置
[0040]1A、200:載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)單元)
[0041]IC:氣體噴出裝置(氣流吹送單元)
[0042]ID:圖案整形裝置(圖案整形單元)
[0043]2:涂敷液噴嘴
[0044]4,560:涂敷液噴出控制部
[0045]21、P1?P3、P24?P26:(涂敷液噴嘴的)噴出口
[0046]120:(第一)氣體噴嘴
[0047]130:(第一)氣體供給部
[0048]131:連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)(第二供給系統(tǒng))
[0049]132:脈沖送風(fēng)系統(tǒng)(第一供給系統(tǒng))
[0050]140:閥控制部(氣體供給控制部)
[0051]150:脈沖驅(qū)動(dòng)部(氣體供給控制部)
[0052]170:(第二)氣體噴嘴
[0053]180:(第二)氣體供給部
[0054]530:光照射部(圖案固化部)
[0055]AF:空氣流(氣流)
[0056]D2:噴出方向(第二方向)
[0057]D3:噴射方向(第三方向)
[0058]Fe:電極圖案(線圖案)
[0059]LP:線圖案
[0060]LPa:始端部(被整形部)
[0061]LPb:末端部(被整形部)
[0062]PSl:(涂敷液的)供給位置
[0063]PS2:(空氣的)供給位置
[0064]W:基板
[0065]X:移動(dòng)方向(第一方向)

【具體實(shí)施方式】
[0066]<第一實(shí)施方式>
[0067]圖1A以及圖1B是示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式的圖案形成裝置的外觀的圖。更詳細(xì)地說，圖1A是圖案形成裝置的立體圖，圖1B是圖案形成裝置的側(cè)視圖。該圖案形成裝置I是將包括用于形成圖案的材料的涂敷液、例如電極膏涂敷在基板上的裝置，例如能夠適用于在具有光電轉(zhuǎn)換面的基板上形成布線圖案來(lái)制造光電轉(zhuǎn)換器件的技術(shù)中。
[0068]該圖案形成裝置I具有:載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖5中的附圖標(biāo)記1A)，其使基板W向X方向移動(dòng)；涂敷液噴出裝置1B，其朝向向X方向移動(dòng)的基板W呈線狀噴出4條涂敷液；氣體噴出裝置1C，其向各涂敷液的液流供給空氣流。并且，一邊通過載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)IA使基板W以規(guī)定的移動(dòng)速度向X方向移動(dòng)，一邊通過涂敷液噴出裝置IB以與上述移動(dòng)速度相等的噴出速度噴出涂敷液，從而能夠在基板W上形成最多4條的線圖案。下面，在對(duì)涂敷液噴出裝置IB以及氣體噴出裝置IC的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明之后，對(duì)于圖案形成裝置I的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0069]涂敷液噴出裝置IB具有一體保持有4個(gè)涂敷液噴嘴2的多連噴嘴部3。S卩，在該多連噴嘴部3中，4個(gè)涂敷液噴嘴2排成一列，在該排列方向上各涂敷液噴嘴2的噴出口 21呈一列向多連噴嘴部3的外表面露出。另外，在每個(gè)涂敷液噴嘴2上設(shè)置有用于控制涂敷液從噴出口 21的噴出的涂敷液噴出控制部4，上述4個(gè)涂敷液噴出控制部4能夠分別獨(dú)立地進(jìn)行動(dòng)作，來(lái)控制從涂敷液供給部8壓送的涂敷液從各噴出口 21噴出。此外，在本實(shí)施方式中，將涂敷液噴嘴2的排列方向稱為“排列方向P”，將涂敷液從各噴出口 21噴出的噴出方向稱為“噴出方向Q”，將與上述排列方向P以及噴出方向Q垂直交叉的交叉方向稱為“交叉方向R”。
[0070]圖2是通過圖1B所示的涂敷液噴出裝置的A-A線并與圖1B的紙面平行的剖視圖，圖3是沿著圖1B所示的涂敷液噴出裝置的B-B線剖切的剖視圖。圖4A至圖4D是示意性地示出圖1A以及圖1B所示的涂敷液噴出裝置的噴出控制動(dòng)作的圖。該涂敷液噴出裝置IB具有:多連噴嘴部3，其一體保持有4個(gè)涂敷液噴嘴2 ；4個(gè)涂敷液噴出控制部4 ;支撐部5，其用于支撐涂敷液噴出控制部4的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41 ;上側(cè)支架6，其從上方側(cè)(+R方向側(cè))按壓并保持安裝在多連噴嘴部3上的涂敷液噴出控制部4的結(jié)構(gòu)構(gòu)件；下側(cè)支架7，其從下方側(cè)(-R方向側(cè))按壓并保持涂敷液噴出控制部4的結(jié)構(gòu)構(gòu)件。
[0071]如圖3所示，在多連噴嘴部3中，在-Q側(cè)端部設(shè)置有沿著排列方向P延伸的長(zhǎng)方體空間，發(fā)揮用于暫時(shí)貯存從涂敷液供給部8(圖1B)經(jīng)由在支撐部5的下側(cè)端部設(shè)置的導(dǎo)入孔51壓送來(lái)的涂敷液的涂敷液貯存部22的功能。從該涂敷液貯存部22起具有相同形狀的4個(gè)涂敷液噴嘴2沿著排列方向P以等間距(在本實(shí)施方式中為2_的間隔)配置有一列。各涂敷液噴嘴2向噴出方向即+Q方向延伸設(shè)置，頂端部與多連噴嘴部3的+Q側(cè)端面連接，從而形成噴出口 21。因此，在涂敷液噴嘴2的內(nèi)部從長(zhǎng)方體空間部22朝向噴出口21的具有大致橢圓形截面的筒狀空間發(fā)揮涂敷液流路23的功能，將貯存在涂敷液貯存部22中的涂敷液引導(dǎo)至噴出口 21。這樣，在本實(shí)施方式中，將從涂敷液貯存部22壓送的涂敷液分配并引導(dǎo)至4個(gè)涂敷液噴嘴2。
[0072]如圖2所示，在各涂敷液噴嘴2中，在涂敷液流路23的中間位置并在上方側(cè)(+R方向側(cè))和下方側(cè)(-R方向側(cè))分別形成有一個(gè)開口 24。在本實(shí)施方式中，為了防止彼此相鄰的涂敷液噴出控制部4相互發(fā)生干涉，將設(shè)置開口 24的位置分為兩個(gè)。S卩，如圖3所示，對(duì)于最靠(+P)側(cè)的噴嘴號(hào)為“I”的涂敷液噴嘴2以及噴嘴號(hào)為“3”的涂敷液噴嘴2，將開口 24設(shè)置在接近涂敷液貯存部22的位置上，另一方面，對(duì)于最靠(-P)側(cè)的噴嘴號(hào)為“4”的涂敷液噴嘴2以及噴嘴號(hào)為“2”的涂敷液噴嘴2，將開口 24設(shè)置在接近噴出口 21的位置上。這樣，在彼此相鄰的兩個(gè)涂敷液噴嘴2上分別形成的開口 24，在與排列方向P垂直的噴出方向Q上形成在彼此不同的位置上。另外，在多連噴嘴部3上設(shè)置有貫通孔31，該貫通孔31從涂敷液噴嘴2的上側(cè)開口 24朝向上方(+R方向)延伸，并且，從下側(cè)開口 24朝向下方(-R方向)延伸。上述貫通孔31用于設(shè)置接著說明的涂敷液噴出控制部4的各種結(jié)構(gòu)構(gòu)件(旋轉(zhuǎn)軸42、密封構(gòu)件43、44以及球軸承45、46)，上述貫通孔31的內(nèi)徑大于開口24。另外，各開口 24具有與涂敷液噴出控制部4的旋轉(zhuǎn)軸42的直徑(軸徑)相同的尺寸，并大于涂敷液流路23在排列方向P上的寬度。
[0073]各涂敷液噴出控制部4具有沿著交叉方向R延伸設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸42。在本實(shí)施方式中，將直徑為Imm的具有軸形狀的不銹鋼棒用作旋轉(zhuǎn)軸42。該旋轉(zhuǎn)軸42的頂端部、S卩(-R)側(cè)端部插入貫通孔31內(nèi)，而且經(jīng)由兩個(gè)開口 24貫通涂敷液噴嘴2。
[0074]該旋轉(zhuǎn)軸42的頂端部中的位于兩個(gè)開口 24之間的部分(下面稱為“流量調(diào)整部421”)，插入于涂敷液噴嘴2的涂敷液流路23內(nèi)。并且，如圖3所示，由于流量調(diào)整部421的直徑大于涂敷液流路23在排列方向P上的寬度，因此通過流量調(diào)整部421將涂敷液流路23分成上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路23D。其中，在流量調(diào)整部421上以切開旋轉(zhuǎn)軸42的側(cè)面的方式形成有缺口部423，能夠通過該缺口部423向+Q方向引導(dǎo)涂敷液。更詳細(xì)地說，如圖2所示，在旋轉(zhuǎn)軸42與涂敷液流路23進(jìn)行交叉的方向(軸向R)上，缺口部423具有與涂敷液流路23的高度Hl相同或者小于高度Hl的高度H2。另外，在與軸向R以及流路方向Q相垂直的寬度方向P上，具有下面的尺寸關(guān)系。即，如圖4A所示，將“上游側(cè)交點(diǎn)CPu”和“下游側(cè)交點(diǎn)CPd”的距離設(shè)為“W1”。另外，將旋轉(zhuǎn)軸42在寬度方向P上的外徑設(shè)為“W2”。并且，若將缺口部423的寬度Wn設(shè)為Wl〈Wn〈W2，則能夠在每旋轉(zhuǎn)90°時(shí)進(jìn)行開通/關(guān)閉。因此，能夠通過旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)軸42來(lái)多階段地控制上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路23D之間的連通狀態(tài)。
[0075]圖4A示出以使缺口部423朝向下游側(cè)流路23D的狀態(tài)對(duì)旋轉(zhuǎn)軸42進(jìn)行定位時(shí)的狀態(tài)。在此，未設(shè)置有缺口部423的部分、即非缺口部424朝向上游側(cè)流路23U來(lái)堵塞涂敷液流路23。因此，切斷上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路23D，從噴出口 21噴出涂敷液的動(dòng)作處于關(guān)閉狀態(tài)。在該狀態(tài)下在該圖紙面中向逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，到一定角度為止涂敷液流路23被切斷，但是超過該一定角度時(shí)上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路23D開始連通，涂敷液在涂敷液流路23中流動(dòng)并從噴出口 21 (參照?qǐng)D3)噴出(開通狀態(tài))。當(dāng)使旋轉(zhuǎn)軸42進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)時(shí)，連通的比例逐漸地變大，并且當(dāng)旋轉(zhuǎn)角度達(dá)到90°時(shí)，如圖4B所示那樣連通的比例變得最大。
[0076]另外，當(dāng)在該圖紙面中使旋轉(zhuǎn)軸42進(jìn)一步向逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，連通的比例逐漸地變小，再次切斷上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路23D，來(lái)自噴出口 21的涂敷液噴出處于關(guān)閉狀態(tài)。例如，當(dāng)使旋轉(zhuǎn)軸42從圖4A的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)180°時(shí)，缺口部423處于朝向上游側(cè)流路23U的狀態(tài)，非缺口部424朝向下游側(cè)流路23D來(lái)堵塞涂敷液流路23 (例如圖4C)。因此，切斷上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路23D，從噴出口 21噴出涂敷液的動(dòng)作處于關(guān)閉狀態(tài)。在該狀態(tài)下在該圖紙面中進(jìn)一步向逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，到一定角度為止涂敷液流路23被切斷，但是超過該一定角度時(shí)上游側(cè)流路23U和下游側(cè)流路253D開始連通，涂敷液在涂敷液流路23中流動(dòng)并再次從噴出口 21噴出(開通狀態(tài))。當(dāng)使旋轉(zhuǎn)軸42進(jìn)一步旋轉(zhuǎn)時(shí)，連通的比例逐漸地變大，當(dāng)使旋轉(zhuǎn)軸42從圖4A的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)270°時(shí)，如圖4D所示那樣，連通的比例再次變得最大。這樣，通過使旋轉(zhuǎn)軸42每次旋轉(zhuǎn)90°，能夠?qū)﹃P(guān)閉狀態(tài)和開通狀態(tài)進(jìn)行相互切換。當(dāng)然，也能夠通過控制旋轉(zhuǎn)位置來(lái)多階段地調(diào)整噴出量。
[0077]這樣在本實(shí)施方式中，能夠通過使旋轉(zhuǎn)軸42旋轉(zhuǎn)來(lái)控制從噴出口 21噴出涂敷液以及停止從噴出口 21噴出涂敷液，而且，還能夠通過控制旋轉(zhuǎn)位置來(lái)多階段地調(diào)整噴出量。當(dāng)然，設(shè)置貫通孔來(lái)代替缺口部，也能夠進(jìn)行同樣的噴出控制。此外，為了防止涂敷液從旋轉(zhuǎn)部分泄漏并使旋轉(zhuǎn)軸42穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)，在本實(shí)施方式中，具有如下結(jié)構(gòu)。
[0078]在貫通孔31內(nèi)，以從上下方向(R方向)夾持涂敷液噴嘴2的方式設(shè)置有一對(duì)密封構(gòu)件43、44。即，在涂敷液噴嘴2的上方側(cè)、即+R方向側(cè)，在旋轉(zhuǎn)軸42和上側(cè)開口 24進(jìn)行交叉的位置的附近配置有圓環(huán)狀的密封構(gòu)件43。另外，在涂敷液噴嘴2的下方側(cè)、即-R方向側(cè)，在旋轉(zhuǎn)軸42和下側(cè)開口 24進(jìn)行交叉的位置的附近配置有圓環(huán)狀的密封構(gòu)件44。而且，在貫通孔31內(nèi)，在密封構(gòu)件43的上方側(cè)、即+R方向側(cè)，設(shè)置有支撐旋轉(zhuǎn)軸42以使其能夠自由旋轉(zhuǎn)的滾動(dòng)式軸承，例如球軸承45。另外，在密封構(gòu)件44側(cè)也同樣，即，在密封構(gòu)件44的下方側(cè)、即-R方向側(cè)，設(shè)置有支撐旋轉(zhuǎn)軸42以使其能夠自由旋轉(zhuǎn)的球軸承46。通過上述兩個(gè)球軸承45、46使旋轉(zhuǎn)軸42在貫通孔31內(nèi)自由旋轉(zhuǎn)。
[0079]這樣，在涂敷液噴嘴2的上下分別配置密封構(gòu)件以及球軸承，但是在本實(shí)施方式中，密封構(gòu)件43、44分別與球軸承45、46的外圈相抵接，另一方面，在密封構(gòu)件43、44上設(shè)置有切缺部以便與內(nèi)圈之間產(chǎn)生間隙。此外，也可以根據(jù)耐藥性、密封性等條件來(lái)使用由氟橡膠等構(gòu)成的O型圈，來(lái)代替密封構(gòu)件43、44。
[0080]這樣構(gòu)成的下側(cè)的密封構(gòu)件44以及球軸承46由不銹鋼制成的下側(cè)支架7經(jīng)PTFE制的墊圈47按壓保持。在此，墊圈47與球軸承46的外圈進(jìn)行壓力接觸，封住泄漏的涂敷液，從而防止泄漏的涂敷液從涂敷液噴出裝置IB落下。另外，下側(cè)支架7還發(fā)揮旋轉(zhuǎn)軸42的軸端的抵接面的功能，限制旋轉(zhuǎn)軸42在軸向上的移動(dòng)。
[0081]另外，上側(cè)的密封構(gòu)件43以及球軸承45由上側(cè)支架6按壓保持。如圖2所示，該上側(cè)支架6具有:蓋構(gòu)件61和圓筒構(gòu)件62，圓筒構(gòu)件62從蓋構(gòu)件61的下表面向下方延伸設(shè)置；該上側(cè)支架6例如由不銹鋼材料構(gòu)成。在該蓋構(gòu)件61上形成有用于插入旋轉(zhuǎn)軸42的貫通孔。另外，圓筒構(gòu)件62被加工成能夠自由插入貫通孔31內(nèi)，當(dāng)插入貫通孔31時(shí)，用圓筒構(gòu)件62的下端面向下方僅按壓球軸承45的外圈來(lái)保持球軸承45以及密封構(gòu)件43。
[0082]如圖1A、圖1B以及圖2所示，各旋轉(zhuǎn)軸42的上方端部、即+R側(cè)端部，通過聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41相連接，該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41被支撐部5的具有倒L字截面的上方端部支撐。各旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部41由微型電動(dòng)馬達(dá)(例如并木精密寶石株式會(huì)社制造的微型馬達(dá)SLB系列)411、減速器412以及編碼器413構(gòu)成。微型電動(dòng)馬達(dá)411的旋轉(zhuǎn)軸通過減速器412與旋轉(zhuǎn)軸42相連接。當(dāng)微型電動(dòng)馬達(dá)411動(dòng)作時(shí)，微型電動(dòng)馬達(dá)411的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)由減速器412減到例如1/30之后，傳遞至旋轉(zhuǎn)軸42。
[0083]另外，在本實(shí)施方式中，可以接近微型電動(dòng)馬達(dá)411而在旋轉(zhuǎn)軸上形成有使光通過的橫孔，在透過型光電傳感器每次檢測(cè)到該橫孔時(shí)輸出脈沖信號(hào)，從而能夠檢測(cè)出旋轉(zhuǎn)軸的大致角度。而且，可以在微型電動(dòng)馬達(dá)411的旋轉(zhuǎn)軸每旋轉(zhuǎn)一圈時(shí),從編碼器413輸出一次脈沖信號(hào)。并且，使用上述信號(hào)來(lái)準(zhǔn)確地決定原點(diǎn)，控制形成在旋轉(zhuǎn)軸42上的缺口部423相對(duì)于涂敷液噴嘴2的旋轉(zhuǎn)位置，從而能夠如上述那樣控制噴出量。
[0084]接著，一邊參照?qǐng)D1A、圖1B以及圖5，一邊對(duì)氣體噴出裝置IC的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖5是示意性地示出氣體噴出裝置的結(jié)構(gòu)的圖。該氣體噴出裝置IC具有:噴嘴支架110，其連接在上側(cè)支架6上；4個(gè)氣體噴嘴120，被噴嘴支架110支撐；氣體供給部130，其向各氣體噴嘴120供給壓縮空氣；閥控制部140，其控制空氣從氣體供給部130向氣體噴嘴120的供
5口 O
[0085]噴嘴支架110例如由鋁制成，在上側(cè)支架6的+Q方向側(cè)通過未圖示的兩個(gè)安裝螺釘安裝在上側(cè)支架6上。在該噴嘴支架110上針對(duì)每個(gè)氣體噴嘴120設(shè)置有用于使氣體噴嘴120插入來(lái)固定的貫通孔。此外，在本實(shí)施方式中，如圖1A所示那樣，為了使氣體噴嘴120的頂端以2mm的間距對(duì)齊配置，將上述4個(gè)貫通孔以交錯(cuò)狀且以不同的傾斜角度設(shè)置。
[0086]各氣體噴嘴120呈圓筒狀，并且各氣體噴嘴120頂端部被斜切。更詳細(xì)地說，在本實(shí)施方式中，將外徑為Φ 1/16英寸且孔徑為Φ0.5_的不銹鋼配管的頂端斜切來(lái)制作。并且，將4個(gè)氣體噴嘴120分別插入于對(duì)應(yīng)的貫通孔內(nèi)，氣體噴嘴120的氣體噴出口以2mm的間距與涂敷液噴嘴2的噴出口列同樣地配置成一列。此外，通過未圖示的頂緊螺釘將各氣體噴嘴120固定在噴嘴支架110上。另外，能夠通過頂緊螺釘以滿足下面說明的配置關(guān)系的方式調(diào)整各氣體噴嘴120的位置以及角度。
[0087]固定在噴嘴支架110上的4個(gè)氣體噴嘴120與4個(gè)涂敷液噴嘴以I對(duì)I的對(duì)應(yīng)關(guān)系如下面那樣配設(shè)。即，在基板W的移動(dòng)方向X上，氣體噴嘴120配設(shè)在涂敷液噴嘴2的下游側(cè)，向涂敷液的液流CF噴射空氣流AF。具體地說，當(dāng)從氣體供給部130向該氣體噴嘴120供給壓縮空氣時(shí)，從氣體噴嘴120朝向基板的在基板移動(dòng)方向X上比向基板W供給涂敷液的供給位置PSl (參照?qǐng)D5)更靠上游側(cè)的表面噴射空氣，在涂敷液噴嘴2的噴出口 21和基板W的表面的中間向涂敷液的液流CF吹送空氣流AF。尤其，在本實(shí)施方式中，涂敷液噴嘴2相對(duì)于涂敷液的供給位置PSl位于基板移動(dòng)方向X上的上游側(cè)(圖5的左手側(cè))，使噴出口 21朝向供給位置PSl配置，來(lái)向相對(duì)于基板W的面法線傾斜的噴出方向D2噴出涂敷液。相對(duì)于此，從氣體噴嘴120噴射的空氣向與噴出方向D2相垂直的噴射方向D3噴射。此外，噴射方向D3并不限定于此，也可以在包括涂敷液的液流CF以及空氣流AF的假想平面(圖5的紙面)中設(shè)定在0° (與基板表面平行的方向)和90° (與基板表面相垂直的方向)之間。
[0088]在氣體供給部130中，針對(duì)每個(gè)氣體噴嘴120設(shè)置有用于將壓縮空氣供給至氣體噴嘴120的連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131。如圖5所示，連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131由配管131a、調(diào)節(jié)器(regulator) 131b、針型閥(needle valve) 131c以及驅(qū)動(dòng)開閉閥131d構(gòu)成。配管131a的一端與用于產(chǎn)生壓縮空氣的氣體供給源相連接，并且另一端與氣體噴嘴120相連接。并且，在配管131a上設(shè)置有調(diào)節(jié)器131b、針型閥131c以及驅(qū)動(dòng)開閉閥131d，分別進(jìn)行壓力調(diào)整、流量調(diào)整以及供給控制。即，在通過調(diào)節(jié)器131b對(duì)氣體供給源所供給的壓縮空氣的壓力進(jìn)行調(diào)整之后，進(jìn)一步通過針型閥131c調(diào)整空氣的流量。然后，根據(jù)來(lái)自閥控制部140的打開指令來(lái)打開驅(qū)動(dòng)開閉閥131d，從而將已調(diào)整的壓縮空氣供給至氣體噴嘴120，如上述那樣從氣體噴嘴120噴射空氣，向涂敷液的液流CF吹送空氣流AF。另一方面，根據(jù)來(lái)自閥控制部140的關(guān)閉指令來(lái)關(guān)閉驅(qū)動(dòng)開閉閥131d，從而停止向氣體噴嘴120供給壓縮空氣，停止從氣體噴嘴120噴射空氣。此外，作為從氣體噴嘴120噴射的空氣的流量，優(yōu)選設(shè)定為小于特定流量，該特定流量是指，在下面說明那樣連續(xù)噴射空氣規(guī)定時(shí)間的連續(xù)送風(fēng)中，基板上的線圖案LP不飛散的流量(下面，稱為“飛散界限流量”)，在本實(shí)施方式中，設(shè)定為50NmL/min0
[0089]圖6A以及圖6B是示出圖1A所示的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖，圖6A示出在未進(jìn)行空氣噴射、即空氣送風(fēng)的情況下形成線圖案時(shí)的動(dòng)作，另一方面，圖6B示出一邊與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行空氣送風(fēng)一邊形成線圖案的動(dòng)作。在未進(jìn)行空氣送風(fēng)的情況下，如上所述，在線圖案LP的始端產(chǎn)生球狀變形部，在末端產(chǎn)生涂敷液的尾部。作為上述產(chǎn)生球的主要原因，認(rèn)為因基板W相對(duì)于涂敷液噴嘴2的移動(dòng)而在基板W和涂敷液噴嘴2之間產(chǎn)生的風(fēng)是主要原因中的一個(gè)。即，因上述產(chǎn)生的風(fēng)將剛剛噴出之后的涂敷液的液流CF卷起，這樣導(dǎo)致球的產(chǎn)生。另外，認(rèn)為尾部是在下面那樣的處理中產(chǎn)生的。S卩，在剛剛停止噴出涂敷液之后，位于涂敷液噴嘴2的噴出口 21附近的涂敷液被拉長(zhǎng)之后，斷開并落在基板W的表面上，這樣形成尾部。
[0090]因此，在本實(shí)施方式中，如上述那樣設(shè)置氣體噴嘴120，如圖6B所示那樣在比開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)稍早的時(shí)刻，從閥控制部140向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送打開指令，從而開始噴射空氣流AF。并且，在保持朝向基板表面的在基板移動(dòng)方向X上比涂敷液的供給位置PSl (參照?qǐng)D5)更靠上游側(cè)的部分噴射空氣流AF的狀態(tài)下，在時(shí)刻Tl開始噴出涂敷液。因此，抑制涂敷液的液流CF卷起，從而抑制球的產(chǎn)生。另外，通過空氣流AF將涂敷液的液流CF的頂端按壓在基板W的表面上，因此不會(huì)使涂敷液飛散，而且還得到抑制線圖案的始端位置的偏差的作用效果。
[0091]當(dāng)從時(shí)刻Tl起經(jīng)過一段時(shí)間，從閥控制部140向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送關(guān)閉指令，從而停止噴射空氣流AF。其原因在于，因空氣送風(fēng)而施加于線圖案LP的壓力可能對(duì)線圖案LP的截面形狀造成影響。
[0092]當(dāng)接近線圖案LP的末端時(shí)，在比停止噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻T2)稍早的時(shí)刻，通過閥控制部140再次向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送打開指令，從而開始噴射空氣流AF，并且在該狀態(tài)下，在時(shí)刻T2停止噴出涂敷液。由此，空氣流AF協(xié)助涂敷液的液流CF斷開，從而能夠抑制尾部的產(chǎn)生。
[0093]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，在基板移動(dòng)方向X上，將氣體噴嘴120配置在涂敷液噴嘴2的下游側(cè)，從上述氣體噴嘴120朝向基板的在基板移動(dòng)方向X上比涂敷液的供給位置PSl更靠上游側(cè)的表面噴射空氣，能夠在涂敷液噴嘴2的噴出口 21和基板W的表面的中間，向涂敷液的液流CF供給空氣流AF。并且，與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液對(duì)應(yīng)地在規(guī)定時(shí)間內(nèi)連續(xù)噴射空氣即進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)。因此，供給的空氣流AF向使涂敷液與基板進(jìn)行壓力接觸的方向發(fā)生作用，從而能夠在不使涂敷液飛散的情況下，抑制線圖案LP的始端變成球狀并抑制始端位置的偏差，而且抑制在線圖案LP的末端上產(chǎn)生尾部。
[0094]<第二實(shí)施方式>
[0095]在上述第一實(shí)施方式中進(jìn)行了連續(xù)送風(fēng)，但是也可以進(jìn)行從氣體噴嘴120以脈沖狀噴射空氣來(lái)對(duì)涂敷液的液流CF吹送空氣流AF的、所謂的脈沖送風(fēng)，來(lái)代替連續(xù)送風(fēng)(第二實(shí)施方式)。下面，一邊參照?qǐng)D7以及圖8，一邊對(duì)于本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0096]該第二實(shí)施方式的圖案形成裝置1，除了氣體噴出裝置IC的結(jié)構(gòu)中的一部分之夕卜，與第一實(shí)施方式相同。因此，在此，以不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0097]圖7是示意性地示出安裝在本發(fā)明的第二實(shí)施方式的圖案形成裝置上的氣體噴出裝置的結(jié)構(gòu)的圖。第二實(shí)施方式與第一實(shí)施方式不同的不同點(diǎn)在于，在氣體噴出裝置IC上追加脈沖驅(qū)動(dòng)部150，以及作為驅(qū)動(dòng)開閉閥使用了高速驅(qū)動(dòng)型的開閉閥。S卩，在第二實(shí)施方式中，針對(duì)每個(gè)氣體噴嘴120設(shè)置有用于以脈沖狀向氣體噴嘴120供給壓縮空氣的脈沖送風(fēng)系統(tǒng)132。脈沖送風(fēng)系統(tǒng)132的基本結(jié)構(gòu)與連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131同樣地，由配管132a、調(diào)節(jié)器132b、針型閥132c以及驅(qū)動(dòng)開閉閥132d構(gòu)成。其中，為了能夠進(jìn)行脈沖送風(fēng)，作為驅(qū)動(dòng)開閉閥132d，例如使用CKD株式會(huì)社制作的脈沖噴射閥PJ系列。并且，脈沖驅(qū)動(dòng)部150向高速驅(qū)動(dòng)開閉閥132d施加脈沖寬度為500 μ sec左右的高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓，從而使高速驅(qū)動(dòng)開閉閥132d的電磁鐵瞬間發(fā)生動(dòng)作，從而得到尖銳的空氣脈沖。在這樣噴射空氣脈沖的情況下，優(yōu)選瞬間噴射大于連續(xù)送風(fēng)的流量的空氣，在第二實(shí)施方式中，設(shè)定為超過飛散界限流量的流量，例如200NmL/min左右。
[0098]圖8是示出第二實(shí)施方式的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖，示出一邊與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行脈沖送風(fēng)一邊形成線圖案的動(dòng)作。在本實(shí)施方式中，如上述那樣設(shè)置氣體噴嘴120，如圖8所示那樣，在比開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)稍早的時(shí)刻，閥控制部140輸出打開指令。于是，接收了打開指令的脈沖驅(qū)動(dòng)部150產(chǎn)生脈沖寬度為500 μ sec左右的高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓，并施加于高速驅(qū)動(dòng)開閉閥132d。這樣，高速驅(qū)動(dòng)開閉閥132d以脈沖方式進(jìn)行動(dòng)作，開始噴射脈沖狀的空氣流AF。然后，該脈沖送風(fēng)在超過時(shí)刻Tl時(shí)也繼續(xù)進(jìn)行，并且在時(shí)刻Tl開始噴出涂敷液。因此，得到與進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)的情況(第一實(shí)施方式)相同的效果、即得到抑制球的產(chǎn)生的效果和抑制始端位置的偏差的效果。
[0099]對(duì)與開始噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)的脈沖送風(fēng)進(jìn)行分析的結(jié)果，本申請(qǐng)發(fā)明人研究如下。即，時(shí)刻Tl前后的脈沖狀的空氣流AF僅使線圖案LP的始端瞬間與基板進(jìn)行進(jìn)行壓力接觸，從而防止涂敷液卷起，另外，即使產(chǎn)生球，脈沖送風(fēng)也將該球壓扁來(lái)形成扁平的形狀。因此，就抑制球的產(chǎn)生以及始端位置的偏差的作用效果而言，第二實(shí)施方式更優(yōu)異，在通過目視觀察實(shí)際形成的線圖案LP時(shí)，也確認(rèn)到同樣的結(jié)果。
[0100]當(dāng)從時(shí)刻Tl經(jīng)過一段時(shí)間時(shí)，閥控制部140輸出關(guān)閉指令，停止噴射空氣流AF。與第一實(shí)施方式同樣地，這是為了防止因空氣送風(fēng)而施加于線圖案LP的壓力對(duì)線圖案LP的截面形狀造成的影響。尤其，在脈沖送風(fēng)中，雖然是瞬間進(jìn)行，但是由于流量超過飛散界限流量的空氣施加于線圖案LP，因此優(yōu)選在除了開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液之外的時(shí)刻停止脈沖送風(fēng)。
[0101]當(dāng)接近線圖案LP的末端時(shí)，在比停止噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻T2)稍早的時(shí)刻，閥控制部140再次輸出打開指令，在開始進(jìn)行脈沖送風(fēng)之后，在時(shí)刻T2停止供給涂敷液。由此，與進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)的情況(第一實(shí)施方式)同樣地，得到抑制尾部產(chǎn)生的效果。
[0102]對(duì)與停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)的脈沖送風(fēng)進(jìn)行分析的結(jié)果，本申請(qǐng)發(fā)明人研究如下。即，時(shí)刻T2之前的脈沖狀的空氣流AF使線圖案LP的后端變成扁平的形狀，從而改進(jìn)線圖案LP的美觀。另外，時(shí)刻T2之后的脈沖狀的空氣流AF切斷并除去尾部。因此，就線圖案LP的后端的美觀而言，第二實(shí)施方式更優(yōu)異，在通過目視觀察實(shí)際形成的線圖案LP時(shí)，也確認(rèn)到同樣的結(jié)果。
[0103]如上所述，第二實(shí)施方式是將連續(xù)送風(fēng)變更為脈沖送風(fēng)而得到的，不僅得到與第一實(shí)施方式同樣的作用效果，而且進(jìn)一步提高了上述作用效果，從而能夠更良好地形成圖案。
[0104]此外，在上述第二實(shí)施方式中使脈沖間隔恒定，但是也可以考慮上述脈沖送風(fēng)的作用效果來(lái)恰當(dāng)變更脈沖間隔，例如如圖9所示那樣進(jìn)行FM調(diào)制(頻率調(diào)制)。即，在要提高壓力接觸力來(lái)提高抑制球產(chǎn)生的效果的情況下，只要使時(shí)刻Tl之后的脈沖間隔變密來(lái)將施加于涂敷液的液流CF的空氣流AF的壓力變大即可。另外，在改進(jìn)尾部時(shí)要進(jìn)一步抑制涂敷液的飛散的情況下，只要將時(shí)刻T2之后的脈沖間隔變大來(lái)將因脈沖送風(fēng)而施加于涂敷液的液流CF的空氣流AF的壓力變小即可。這樣，對(duì)脈沖送風(fēng)的波形進(jìn)行FM調(diào)制，從而能夠調(diào)整脈沖送風(fēng)的作用效果。當(dāng)然，調(diào)制方式并不限定于上述FM調(diào)制，也可以利用各種調(diào)制方式，例如PWM(pulse width modulat1n,脈沖寬度調(diào)制)。
[0105]〈第三實(shí)施方式〉
[0106]在上述第一實(shí)施方式中，僅進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，在第二實(shí)施方式中僅進(jìn)行脈沖送風(fēng)，但是也可以組合兩者(第三實(shí)施方式)。下面，一邊參照?qǐng)D10以及圖11，一邊對(duì)于本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0107]圖10是示意性地示出安裝在本發(fā)明的第三實(shí)施方式的圖案形成裝置上的氣體噴出裝置的結(jié)構(gòu)的圖。在該第三實(shí)施方式的圖案形成裝置I中，如圖10所示，并列設(shè)置有連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131和脈沖送風(fēng)系統(tǒng)132，能夠根據(jù)來(lái)自閥控制部140的指令來(lái)進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)以及脈沖送風(fēng)。并且，作為各氣體噴嘴120的氣流量，優(yōu)選設(shè)定連續(xù)送風(fēng)為50NmL/min、脈沖送風(fēng)為200NmL/min左右，在本實(shí)施方式中，是具有4個(gè)涂敷液噴嘴2的所謂的4通道的多噴嘴，因此整體的流量為(50+200) X4 = 1000NmL/min。此外，其它結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式以及第二實(shí)施方式相同，因此對(duì)相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0108]圖11是示出第三實(shí)施方式的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖，示出一邊與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)且恰當(dāng)?shù)匮a(bǔ)充進(jìn)行脈沖送風(fēng)，一邊形成線圖案的動(dòng)作。在本實(shí)施方式中，如圖11所示那樣，在比開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)稍早的時(shí)刻，閥控制部140向連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131的驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送打開指令，開始噴射空氣流AF。然后，在保持朝向基板的在基板移動(dòng)方向X上比涂敷液的供給位置PSl (參照?qǐng)D5)更靠上游側(cè)的表面噴射空氣流AF的狀態(tài)下，在時(shí)刻Tl開始供給涂敷液。由此，與第一實(shí)施方式同樣地抑制涂敷液的液流CF卷起，從而抑制球產(chǎn)生。
[0109]但是，若僅進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，則也存在如下情況，S卩，抑制球產(chǎn)生的效果不一定充分。因此，在第三實(shí)施方式中，在時(shí)刻Tl，通過閥控制部140向脈沖驅(qū)動(dòng)部150輸出打開指令來(lái)追加進(jìn)行脈沖送風(fēng)。通過該追加脈沖送風(fēng),脈沖狀的空氣流AF僅使線圖案LP的始端瞬間與基板進(jìn)行壓力接觸，因此進(jìn)一步有效地防止涂敷液卷起。另外，即使產(chǎn)生球，脈沖送風(fēng)將該球壓扁來(lái)變成扁平的形狀。結(jié)果，與第一實(shí)施方式相比，能夠進(jìn)一步提高抑制球產(chǎn)生的效果以及抑制始端位置的偏差的效果，從而能夠更良好地形成線圖案LP。
[0110]當(dāng)從時(shí)刻Tl經(jīng)過一段時(shí)間時(shí)，在通過閥控制部140向脈沖驅(qū)動(dòng)部150發(fā)送關(guān)閉指令來(lái)停止脈沖送風(fēng)之后，向連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131的驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送關(guān)閉指令，來(lái)使連續(xù)送風(fēng)也停止。然后，在形成線圖案LP的中間部的期間，停止從氣體噴嘴120噴射空氣，從而排除空氣流AF對(duì)線圖案LP造成的影響。
[0111]并且，當(dāng)接近線圖案LP的末端時(shí)，在比停止噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻T2)稍早的時(shí)刻，通過閥控制部140再次向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送打開指令來(lái)開始進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，并且向脈沖驅(qū)動(dòng)部150發(fā)送打開指令來(lái)開始進(jìn)行脈沖送風(fēng)。這樣，通過時(shí)刻T2之前的脈沖送風(fēng)來(lái)將線圖案LP的后端變成扁平的形狀，從而改進(jìn)線圖案LP的美觀。
[0112]這樣，在進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)以及脈沖送風(fēng)的狀態(tài)下，停止噴出涂敷液(時(shí)刻T2)。在停止該噴出時(shí)，不僅向涂敷液的液流CF供給連續(xù)送風(fēng)，還將脈沖送風(fēng)供給至涂敷液的液流CF，從而抑制尾部的產(chǎn)生。這樣，根據(jù)第三實(shí)施方式，與第一實(shí)施方式相比，能夠提高抑制尾部產(chǎn)生的效果，能夠更良好地形成線圖案LP。
[0113]〈第四實(shí)施方式〉
[0114]在上述第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式中，通過氣體噴出裝置IC向涂敷液的液流吹送氣流來(lái)控制圖案的形狀，但是也可以設(shè)置向形成在基板W的表面上的圖案LP的一部分以脈沖狀供給空氣來(lái)整形圖案的圖案整形裝置1D，來(lái)代替上述氣體噴出裝置1C。下面，一邊參照?qǐng)D1A、圖1B以及圖12，一邊對(duì)圖案整形裝置ID的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0115]圖12是示意性地示出安裝在本發(fā)明的第四實(shí)施方式的圖案形成裝置上的圖案整形裝置的結(jié)構(gòu)的圖。該圖案整形裝置ID具有:噴嘴支架160，其連接在上側(cè)支架6上；4個(gè)氣體噴嘴170，被噴嘴支架160支撐；氣體供給部180，其向各氣體噴嘴170供給壓縮空氣；閥控制部140，其控制空氣從氣體供給部180向氣體噴嘴170的供給；脈沖驅(qū)動(dòng)部150。
[0116]噴嘴支架160例如由鋁制成，在上側(cè)支架6的+Q方向側(cè)，通過未圖示的兩個(gè)安裝螺釘安裝在上側(cè)支架6上。在該噴嘴支架160上，針對(duì)每個(gè)氣體噴嘴170設(shè)置有用于使氣體噴嘴170插入來(lái)固定的貫通孔。此外，在本實(shí)施方式中，如圖1所示那樣，為了使氣體噴嘴170的頂端以2mm的間距對(duì)齊配置，將上述4個(gè)貫通孔以交錯(cuò)狀且不同的傾斜角度設(shè)置。
[0117]各氣體噴嘴170呈圓筒狀，并且各氣體噴嘴170頂端部被斜切。更詳細(xì)地說，在本實(shí)施方式中，將外徑為Φ 1/16英寸且孔徑為Φ0.5_的不銹鋼配管的頂端傾切來(lái)制作。并且，將4個(gè)氣體噴嘴170分別插入于對(duì)應(yīng)的貫通孔內(nèi)，氣體噴嘴170的氣體噴出口以2_的間距與涂敷液噴嘴2的噴出口列同樣地配置成一列。此外，通過未圖示的頂緊螺釘將各氣體噴嘴170固定在噴嘴支架160上。另外，能夠通過頂緊螺釘以滿足下面說明的配置關(guān)系的方式調(diào)整各氣體噴嘴170的位置以及角度。
[0118]固定在噴嘴支架160上的4個(gè)氣體噴嘴170，與形成在基板W的表面上的4條線圖案LP以I對(duì)I的對(duì)應(yīng)關(guān)系如下面那樣配設(shè)。即，在基板W的移動(dòng)方向X上，氣體噴嘴170配設(shè)在涂敷液噴嘴2的下游側(cè)(圖12中的右手側(cè))，向基板W上的線圖案LP噴射空氣流AF。具體地說，當(dāng)從氣體供給部180向該氣體噴嘴170供給壓縮空氣時(shí)，從氣體噴嘴170朝向在基板移動(dòng)方向X上與向基板W供給涂敷液的供給位置PSl (參照?qǐng)D12)離開距離L12的供給位置PS2的基板表面噴射空氣，在該供給位置PS2向線圖案LP吹送空氣流AF。通過該空氣流AF在供給位置PS2對(duì)線圖案LP進(jìn)行加壓，如后述那樣整形為所期望的形狀。尤其，在本實(shí)施方式中，在基板移動(dòng)方向X上在供給位置PS2的下游側(cè)(圖12的右手側(cè))，使噴出口171朝向供給位置PS2配置，向相對(duì)于基板W的面法線傾斜的噴射方向噴射空氣。此外，噴射方向并不限定于此，例如也可以從與基板W的表面垂直的方向噴射空氣。
[0119]在氣體供給部180中，在每個(gè)氣體噴嘴170上設(shè)置有用于將壓縮空氣供給至氣體噴嘴170的脈沖送風(fēng)系統(tǒng)181。如圖12所示，脈沖送風(fēng)系統(tǒng)181由配管181a、調(diào)節(jié)器181b、針型閥181c以及驅(qū)動(dòng)開閉閥181d構(gòu)成。配管181a的一端與用于產(chǎn)生壓縮空氣的氣體供給源相連接，并且另一端與氣體噴嘴170相連接。并且，在配管181a上安裝有調(diào)節(jié)器181b、針型閥181c以及驅(qū)動(dòng)開閉閥181d，分別進(jìn)行壓力調(diào)整、流量調(diào)整以及供給控制。S卩，在通過調(diào)節(jié)器181b對(duì)從氣體供給源供給的壓縮空氣的壓力進(jìn)行調(diào)整之后，進(jìn)一步通過針型閥181c調(diào)整空氣的流量。然后，開閉驅(qū)動(dòng)開閉閥181d來(lái)控制空氣向氣體噴嘴170的供給。此外，在本實(shí)施方式中，如下面說明那樣，為了通過脈沖驅(qū)動(dòng)部150對(duì)驅(qū)動(dòng)開閉閥181d進(jìn)行高速開閉來(lái)向線圖案LP以脈沖狀供給空氣流AF，作為驅(qū)動(dòng)開閉閥181d，使用了高速驅(qū)動(dòng)型開閉閥，例如CKD株式會(huì)社制作的脈沖噴射閥PJ系列。
[0120]脈沖驅(qū)動(dòng)部150根據(jù)來(lái)自閥控制部140的開閉指令，來(lái)控制向驅(qū)動(dòng)開閉閥181d施加的驅(qū)動(dòng)電壓，從而對(duì)驅(qū)動(dòng)開閉閥181d進(jìn)行開閉驅(qū)動(dòng)。例如當(dāng)從閥控制部140發(fā)送關(guān)閉指令時(shí)，脈沖驅(qū)動(dòng)部150不對(duì)驅(qū)動(dòng)開閉閥181d進(jìn)行打開驅(qū)動(dòng)，而將驅(qū)動(dòng)開閉閥181d維持為關(guān)閉狀態(tài)。另一方面，當(dāng)從閥控制部140發(fā)送打開指令時(shí)，脈沖驅(qū)動(dòng)部150例如將脈沖寬度為500 μ sec左右的高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓施加到驅(qū)動(dòng)開閉閥181d上，使高速驅(qū)動(dòng)開閉閥132d的電磁鐵瞬間進(jìn)行動(dòng)作，從而得到尖銳的空氣脈沖。在這樣噴射空氣脈沖的情況下，能夠瞬間噴射大流量的空氣，在本實(shí)施方式中設(shè)定為超過飛散界限流量的流量，例如200NmL/min左右。此外，“飛散界限流量”指，在連續(xù)噴射空氣的連續(xù)送風(fēng)中不使基板W上的線圖案LP飛散的流量，在形成光電轉(zhuǎn)換器件的電極圖案或者布線圖案的情況下為50NmL/min左右。
[0121]接著，在通過如上述那樣構(gòu)成的圖案形成裝置I 一邊使基板W移動(dòng)一邊在該基板W的表面上形成線圖案時(shí)，分為不進(jìn)行從氣體噴嘴170以脈沖狀噴射空氣來(lái)向線圖案LP吹送空氣流AF的所謂的脈沖送風(fēng)的情況(參照?qǐng)D13)和進(jìn)行脈沖送風(fēng)的情況(圖14)來(lái)進(jìn)行說明。
[0122]圖13是示出不進(jìn)行脈沖送風(fēng)、即不使用圖案整形裝置而形成圖案時(shí)的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。在不進(jìn)行脈沖送風(fēng)的情況下，在形成在基板W的表面上的線圖案LP中，如圖13的最上部的示意圖所示,在始端部LPa產(chǎn)生球狀變形部,在末端部LPb產(chǎn)生涂敷液的尾部。
[0123]圖14是示出進(jìn)行脈沖送風(fēng)、即使用圖案整形裝置來(lái)形成圖案時(shí)的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。在本實(shí)施方式中，如圖14所示，在開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)，從涂敷液噴嘴2的噴出口 21噴出涂敷液，從而在基板W上形成線圖案LP的始端部LPa。之后也繼續(xù)噴出涂敷液，線圖案LP接著始端部LPa繼續(xù)延伸，但是當(dāng)從時(shí)刻Tl經(jīng)過了Λ T12時(shí)間時(shí)，線圖案LP延伸長(zhǎng)度L12那么多，始端部LPa到達(dá)供給位置PS2 (時(shí)刻Τ2)。在該時(shí)刻Τ2的前后的一定時(shí)間的期間，根據(jù)來(lái)自閥控制部140的打開指令，脈沖驅(qū)動(dòng)部150將高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓施加到驅(qū)動(dòng)開閉閥181d上，向始端部LPa進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)進(jìn)行加壓。由此，球狀的始端部LPa主要以向與基板移動(dòng)方向X平行的方向滲出的方式在基板表面上移動(dòng)從而被整形為線狀。這樣在線圖案LP的始端部LPa進(jìn)入噴射空氣的區(qū)域(供給位置PS2)時(shí)，進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)整形始端部LPa。
[0124]在始端部LPa通過供給位置PS2之后，也繼續(xù)使基板移動(dòng)以及噴出涂敷液，從而使線圖案LP向X方向延伸。然后，當(dāng)線圖案LP到達(dá)所期望的長(zhǎng)度時(shí)，停止噴出涂敷液(時(shí)刻T3)。這時(shí)，在線圖案LP的末端部LPb產(chǎn)生尾部。因此，在本實(shí)施方式中，在形成線圖案LP之后也繼續(xù)使基板W移動(dòng)。則，當(dāng)從時(shí)刻T3經(jīng)過了Λ Τ34時(shí)間時(shí)，線圖案LP的末端部LPb到達(dá)供給位置PS2 (時(shí)刻Τ4)。在該時(shí)刻Τ4的前后的一定時(shí)間的期間內(nèi)，再次根據(jù)來(lái)自閥控制部140的打開指令來(lái)使脈沖驅(qū)動(dòng)部150將高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓施加到驅(qū)動(dòng)開閉閥ISld上，從而對(duì)末端部LPb進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)進(jìn)行加壓。由此，尾部狀的末端部LPb主要以向與基板移動(dòng)方向X平行的方向滲出的方式在基板表面上移動(dòng)來(lái)被整形為線狀。這樣，線圖案LP的末端部LPb與始端部LPa同樣地，在進(jìn)入噴射空氣的區(qū)域(供給位置PS2)時(shí)，進(jìn)行脈沖送風(fēng)，從而對(duì)末端部LPb進(jìn)行整形。此外，在本實(shí)施方式中，在形成線圖案LP的動(dòng)作中，由于使基板W以恒定速度移動(dòng)，因此上述時(shí)間Λ Τ12、ΛΤ34為相同值，但是在使始端部LPa以及末端部LPb通過供給位置PS2時(shí)的基板速度彼此不同的情況下，只要根據(jù)上述情況使時(shí)間Δ Τ12、Λ Τ34不同即可。
[0125]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，將線圖案LP的始端部LPa以及末端部LPb作為本發(fā)明的“被整形部”，在始端部LPa以及末端部LPb分別通過供給位置PS2時(shí)，向被整形部以脈沖狀噴射空氣來(lái)進(jìn)行加壓，因此能夠良好地整形線圖案LP。
[0126]另外，也考慮進(jìn)行向被整形部連續(xù)噴射空氣的所謂的連續(xù)送風(fēng)來(lái)整形圖案，但是連續(xù)送風(fēng)會(huì)使構(gòu)成被整形部的涂敷液飛散，從而導(dǎo)致圖案不良。相對(duì)于此，在本實(shí)施方式中，通過進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)抑制被整形部的涂敷液的飛散，從而能夠良好地整形圖案。其中，即使在進(jìn)行脈沖送風(fēng)的情況下，也隨著接近連續(xù)送風(fēng)，即，隨著脈沖寬度變大而容易產(chǎn)生涂敷液的飛散。因此，為了更良好地形成圖案，優(yōu)選如下面說明那樣研究脈沖寬度。
[0127]因此，本申請(qǐng)發(fā)明人在具有圖12所示的圖案整形裝置ID的圖案形成裝置I中，用各種脈沖送風(fēng)整形了線圖案LP，并觀察了線圖案LP的始端部LPa以及末端部LPb的形狀。圖15是總結(jié)上述觀察結(jié)果的圖。圖15是示意性地示出隨著氣體噴射的脈沖寬度的變化而引起的圖案的始端部以及末端部的形狀變化的圖。該圖中的“脈沖寬度”指，從脈沖驅(qū)動(dòng)部150施加給驅(qū)動(dòng)開閉閥181d的高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓的脈沖寬度,準(zhǔn)備了 5msec、2msec、lmsec、0.5msec,0.1msec這5個(gè)種類。另外，在“始端”以及“末端”的欄中，示意性地示出進(jìn)行各脈沖寬度的脈沖送風(fēng)時(shí)的線圖案LP的始端部LPa、末端部LPb的觀察結(jié)果，該圖中的點(diǎn)狀陰影部分表示由脈沖送風(fēng)產(chǎn)生的滲出部，黑色方形標(biāo)記示出飛散的涂敷液。
[0128]隨著脈沖寬度變大，即噴射空氣的時(shí)間變長(zhǎng)，向被整形部(始端部LPa和末端部LPb)供給空氣流AF的時(shí)間變長(zhǎng)，構(gòu)成被整形部的涂敷液主要向X方向滲出并擴(kuò)大而成的滲出區(qū)域(該圖中的點(diǎn)狀陰影區(qū)域)變大。為了消除在線圖案LP的兩端部產(chǎn)生的球形狀和尾部形狀的區(qū)域并使之均勻，優(yōu)選將脈沖寬度設(shè)定為大于0.lmsec。這也是因?yàn)槿裘}沖寬度過小，則驅(qū)動(dòng)開閉閥181d無(wú)法以充分的響應(yīng)性進(jìn)行開閉，無(wú)法呈脈沖狀噴射空氣，而且空氣流的流量也少，因此會(huì)殘留球形狀和尾部形狀。因此，如在與圖15中的0.1msec對(duì)應(yīng)的判斷的欄中標(biāo)注“ X ”那樣，難以進(jìn)一步良好地整形線圖案LP。
[0129]另一方面，隨著使脈沖寬度變大，驅(qū)動(dòng)開閉閥181d進(jìn)行高速開閉來(lái)呈脈沖狀噴射空氣，鋪開球部分和尾部部分的涂敷液來(lái)使球部分和尾部部分變小。從圖15的“始端”以及“末端”的欄中得知，隨著球部分等縮小而使?jié)B出區(qū)域的面積變大，當(dāng)脈沖寬度為2msec以上時(shí)，球部分以及尾部部分消失。但是，若將脈沖寬度設(shè)定為5msec以上，則使涂敷液向線圖案LP的周圍飛散(參照與圖15中的5msec對(duì)應(yīng)的判斷的欄中的“ X ”)。因此，考慮到這一點(diǎn)，優(yōu)選將脈沖寬度設(shè)定為小于5msec。
[0130]因此，為了進(jìn)一步良好地形成線圖案LP，優(yōu)選將脈沖寬度設(shè)定為大于0.1msec且小于5msec。另外,優(yōu)選將脈沖寬度設(shè)定為0.5msec以上且2msec以下(參照?qǐng)D15中的判斷的欄中的三角形記號(hào)、圓形記號(hào)、雙重圓形記號(hào))。另外，當(dāng)滲出量增加時(shí)，線圖案LP的長(zhǎng)度變得大于設(shè)定值，或者在始端部LPa和末端部LPb中相鄰的線圖案LP之間的間隔變小。當(dāng)考慮到這樣的問題時(shí)，優(yōu)選將脈沖寬度設(shè)定為0.5msec以上且Imsec以下，而且綜合來(lái)說最優(yōu)選設(shè)定為0.5msecο
[0131]〈第五實(shí)施方式〉
[0132]在上述第四實(shí)施方式的圖案形成裝置I中，設(shè)置圖案整形裝置ID來(lái)代替氣體噴出裝置1C，但是也可以同時(shí)設(shè)置氣體噴出裝置IC和圖案整形裝置1D(第五實(shí)施方式)。由此，能夠更良好地形成圖案。下面，一邊參照?qǐng)D16以及圖17，一邊對(duì)于本發(fā)明的第五實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0133]圖16是示出本發(fā)明的第五實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖。該第五實(shí)施方式與第四實(shí)施方式相比顯著的不同點(diǎn)在于，還設(shè)置有用于對(duì)從各涂敷液噴嘴2噴出的涂敷液的液流供給空氣流的氣體噴出裝置1C，而其它結(jié)構(gòu)基本與第四實(shí)施方式相同。另外，氣體噴出裝置IC的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。因此，對(duì)于與第一實(shí)施方式和第四實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0134]圖17是示出圖16所示的圖案形成裝置的動(dòng)作的時(shí)序圖。在圖案形成裝置I中，在不進(jìn)行空氣送風(fēng)的情況下，如上所述，在線圖案LP的始端部LPa產(chǎn)生球狀的變形部，在末端部LPb產(chǎn)生涂敷液的尾部。其中，作為產(chǎn)生球的主要原因，認(rèn)為因基板W相對(duì)于涂敷液噴嘴2的移動(dòng)而在基板W和涂敷液噴嘴2之間產(chǎn)生的風(fēng)是主要原因中的一個(gè)。S卩，因產(chǎn)生上述風(fēng)而使剛剛噴出之后的涂敷液的液流CF卷起，這樣導(dǎo)致球的產(chǎn)生。另外，認(rèn)為尾部是在下面那樣的處理中產(chǎn)生的。即，在剛剛停止噴出涂敷液之后，位于涂敷液噴嘴2的噴出口 21附近的涂敷液被拉長(zhǎng)之后，斷開并落在基板W的表面上，這樣形成尾部。
[0135]因此，在本實(shí)施方式中，如上述那樣設(shè)置氣體噴嘴120，如圖17所示那樣在比開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)稍早的時(shí)刻，從閥控制部140向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送打開指令，從而開始噴射空氣流AF。并且，在保持朝向基板的在基板移動(dòng)方向X上比涂敷液的供給位置PSl (參照?qǐng)D16)更靠上游側(cè)的表面噴射空氣流AF的狀態(tài)下，在時(shí)刻Tl開始噴出涂敷液。因此，抑制涂敷液的液流CF卷起，從而抑制球的產(chǎn)生。另外，通過空氣流AF將涂敷液的液流CF的頂端按壓在基板W的表面上，因此不會(huì)使涂敷液飛散，而且還得到抑制線圖案的始端位置的偏差的作用效果。
[0136]在從時(shí)刻Tl經(jīng)過了一段時(shí)間時(shí)，從閥控制部140向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送關(guān)閉指令，從而停止噴射空氣流AF。其原因在于，因空氣送風(fēng)而施加于線圖案LP的壓力可能對(duì)線圖案LP的截面形狀帶來(lái)影響。
[0137]另一方面，當(dāng)從時(shí)刻Tl經(jīng)過了ΛΤ12時(shí)，線圖案LP延伸長(zhǎng)度L12那么多，始端部LPa到達(dá)供給位置PS2 (時(shí)刻T2)。在該時(shí)刻T2的前后的一定時(shí)間的期間，與第一實(shí)施方式同樣地，從氣體噴嘴170向始端部LPa進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)進(jìn)行加壓，從而整形始端部LPa。
[0138]并且，當(dāng)接近線圖案LP的末端時(shí)，在比停止噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻T3)稍早的時(shí)刻，通過閥控制部140再次向驅(qū)動(dòng)開閉閥131d發(fā)送打開指令，從而開始噴射來(lái)自氣體噴嘴120的空氣流AF，并且在該狀態(tài)下，在時(shí)刻T3停止噴出涂敷液。由此，空氣流AF協(xié)助涂敷液的液流CF斷開，從而能夠抑制尾部的產(chǎn)生。
[0139]另外，當(dāng)從時(shí)刻T3經(jīng)過了Λ Τ34那么多時(shí)，線圖案LP的末端部LPb到達(dá)供給位置PS2 (時(shí)刻Τ4)。因此,與第一實(shí)施方式同樣地,在該時(shí)刻Τ4的前后的一定時(shí)間的期間,再次從氣體噴嘴170向末端部LPb進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)進(jìn)行加壓，從而整形末端部LPb。
[0140]如上所述，根據(jù)第五實(shí)施方式，不僅與第四實(shí)施方式同樣地整形線圖案LP，而且抑制始端部LPa中的球的產(chǎn)生以及末端部LPb中的尾部的產(chǎn)生。即，在基板移動(dòng)方向X上，將氣體噴嘴120配置在涂敷液噴嘴2的下游側(cè)，從上述氣體噴嘴120朝向基板的在基板移動(dòng)方向X上比涂敷液的供給位置PSl更靠上游側(cè)的表面噴射空氣，并能夠在涂敷液噴嘴2的噴出口 21和基板W的表面的中間，向涂敷液的液流CF供給空氣流AF。并且，與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地在規(guī)定時(shí)間連續(xù)噴射空氣，即進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)。因此，供給的空氣流AF向使涂敷液與基板進(jìn)行壓力接觸的方向發(fā)生作用，從而能夠在不使涂敷液飛散的情況下，一邊抑制線圖案LP的始端變成球狀一邊抑制始端位置的偏差，而且抑制在線圖案LP的末端上產(chǎn)生尾部。因此，能夠更良好地形成線圖案LP。
[0141]〈第六實(shí)施方式〉
[0142]在上述第五實(shí)施方式中，在氣體供給部130上設(shè)置有連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131，向涂敷液的液流CF連續(xù)吹送空氣流AF、即進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，但是也可以進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)代替連續(xù)送風(fēng)(第六實(shí)施方式)。即，可以使用脈沖送風(fēng)系統(tǒng)來(lái)代替連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131。更詳細(xì)地說，作為驅(qū)動(dòng)開閉閥131d，使用高速驅(qū)動(dòng)型的開閉閥，例如CKD株式會(huì)社制作的脈沖噴射閥PJ系列，如圖18所示那樣，在比開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)稍早的時(shí)刻，根據(jù)來(lái)自閥控制部140的打開指令，使脈沖驅(qū)動(dòng)部150將高速脈沖驅(qū)動(dòng)電壓施加給驅(qū)動(dòng)開閉閥131d，從而向涂敷液的液流CF進(jìn)行脈沖送風(fēng)。由此，抑制涂敷液的液流CF卷起，從抑制球的產(chǎn)生。另外，通過空氣流AF將涂敷液的液流CF的頂端按壓在基板W的表面上，因此不會(huì)使涂敷液飛散，而且還得到抑制線圖案的始端位置的偏差的作用效果。
[0143]對(duì)與開始噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)的脈沖送風(fēng)進(jìn)行分析的結(jié)果，本申請(qǐng)發(fā)明人研究如下。即，時(shí)刻Tl前后的脈沖狀的空氣流AF僅使線圖案LP的始端瞬間與基板進(jìn)行壓力接觸，從而防止涂敷液卷起，另外，即使產(chǎn)生球，脈沖送風(fēng)也將該球壓扁來(lái)形成扁平的形狀。因此，就抑制球的產(chǎn)生以及始端位置的偏差的作用效果而言，第六實(shí)施方式更優(yōu)異，在通過觀察實(shí)際形成的線圖案LP時(shí)，也確認(rèn)到同樣的結(jié)果。
[0144]另外，與第五實(shí)施方式同樣地，當(dāng)接近線圖案LP的末端時(shí)，在比停止噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻T3)稍早的時(shí)刻，閥控制部140再次輸出打開指令，在開始進(jìn)行脈沖送風(fēng)之后的一定時(shí)間后停止供給涂敷液。由此，與進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)的情況(第五實(shí)施方式)同樣地，得到抑制尾部產(chǎn)生的抑制效果。
[0145]對(duì)與停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)的脈沖送風(fēng)進(jìn)行分析的結(jié)果，本申請(qǐng)發(fā)明人研究如下。即，時(shí)刻T3之前的脈沖狀的空氣流AF使線圖案LP的后端變成扁平的形狀，從而改進(jìn)線圖案LP的美觀。另外，時(shí)刻T3之后的脈沖狀的空氣流AF切斷并除去尾部。因此，就線圖案LP的后端的美觀而言，第六實(shí)施方式更優(yōu)異，在通過觀察實(shí)際形成的線圖案LP時(shí)，也確認(rèn)到同樣的結(jié)果。
[0146]如上所述，在第六實(shí)施方式中，通過進(jìn)行脈沖送風(fēng)，整形線圖案LP、抑制始端部LPa中的球的產(chǎn)生以及末端部LPb中的尾部的產(chǎn)生。因此，能夠更良好地形成線圖案LP。
[0147]〈第七實(shí)施方式〉
[0148]就向涂敷液的液流CF吹送空氣流AF言，在上述第五實(shí)施方式中僅進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，在第六實(shí)施方式中進(jìn)行脈沖送風(fēng)，但是也可以組合兩者來(lái)進(jìn)行(第七實(shí)施方式)。即，在氣體供給部130上設(shè)置連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)和脈沖送風(fēng)系統(tǒng)，如圖12所示，為了向涂敷液的液流CF吹送空氣流AF，組合連續(xù)送風(fēng)和脈沖送風(fēng)(第七實(shí)施方式)。
[0149]圖19是示出安裝有本發(fā)明的圖案整形裝置的第七實(shí)施方式的圖案形成裝置的動(dòng)作的圖。此外，在該圖中，記載了兩個(gè)“脈沖送風(fēng)”，但是上側(cè)是噴嘴120的用于抑制球的產(chǎn)生以及尾部的脈沖送風(fēng)，而下側(cè)是噴嘴170的用于整形圖案的脈沖送風(fēng)。在該第七實(shí)施方式中，如圖19所示那樣，在比開始噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻Tl)稍早的時(shí)刻，閥控制部140向連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)開閉閥發(fā)送打開指令，開始噴射空氣流AF。并且，在保持朝向基板的在基板移動(dòng)方向X上比涂敷液的供給位置PSl (參照?qǐng)D16)更靠上游側(cè)的表面噴射空氣流AF的狀態(tài)下，在時(shí)刻Tl開始供給涂敷液。由此，與第五實(shí)施方式同樣地抑制涂敷液的液流CF卷起，從而抑制球的產(chǎn)生。
[0150]但是，若僅進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，則也存在如下情況，S卩，抑制球產(chǎn)生的效果不一定充分。因此，在第七實(shí)施方式中，在時(shí)刻Tl，通過閥控制部向脈沖驅(qū)動(dòng)部輸出打開指令來(lái)追加進(jìn)行脈沖送風(fēng)。通過該追加脈沖送風(fēng)，脈沖狀的空氣流AF僅使線圖案LP的始端瞬間與基板進(jìn)行壓力接觸，因此進(jìn)一步有效地防止涂敷液卷起。另外，即使產(chǎn)生球，脈沖送風(fēng)將該球壓扁來(lái)變成扁平的形狀。結(jié)果，與第五實(shí)施方式相比，能夠進(jìn)一步提高抑制球產(chǎn)生的效果以及抑制始端位置的偏差的效果，從而能夠更良好地形成線圖案LP。
[0151]另外，當(dāng)接近線圖案LP的末端時(shí)，在比停止噴出涂敷液的時(shí)刻(時(shí)刻T3)稍早的時(shí)刻，通過閥控制部140再次向連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)開閉閥發(fā)送打開指令來(lái)開始進(jìn)行連續(xù)送風(fēng)，并且向脈沖驅(qū)動(dòng)部150發(fā)送打開指令來(lái)開始進(jìn)行脈沖送風(fēng)。這樣，通過時(shí)刻T3之前的脈沖送風(fēng)來(lái)將線圖案LP的后端變成扁平的形狀，從而改進(jìn)線圖案LP的美觀。
[0152]這樣，在第七實(shí)施方式中，通過進(jìn)行脈沖送風(fēng)來(lái)整形線圖案LP，并且組合連續(xù)送風(fēng)和脈沖送風(fēng)來(lái)抑制始端部LPa中的球的產(chǎn)生以及末端部LPb中的尾部的產(chǎn)生。因此，能夠更良好地形成線圖案LP。
[0153]另外，在上述實(shí)施方式中，使脈沖間隔恒定，但是也可以與第二實(shí)施方式的變形例同樣地，考慮到上述脈沖送風(fēng)的作用效果而恰當(dāng)?shù)刈兏}沖間隔，例如圖9所示那樣的FM調(diào)制(頻率調(diào)制)。
[0154]在上述第一實(shí)施方式至第七實(shí)施方式中，將本發(fā)明適用于具有4個(gè)涂敷液噴嘴2的所謂的4通道的圖案形成裝置中，但是噴嘴個(gè)數(shù)并不限定于此。另外，將多個(gè)涂敷液噴嘴2設(shè)置在多連噴嘴部3上并一體化，但是也可以將本發(fā)明使用于分別獨(dú)立地設(shè)置有多個(gè)涂敷液噴嘴的圖案形成裝置中。
[0155]另外，在上述實(shí)施方式中，將本發(fā)明適用于對(duì)所有涂敷液噴嘴2設(shè)置有涂敷液噴出控制部4的圖案形成裝置I中，但是也可以將本發(fā)明適用于僅針對(duì)其中的至少I個(gè)以上的涂敷液噴嘴設(shè)置有涂敷液噴出控制部的圖案形成裝置中(第八實(shí)施方式)。下面，一邊參照?qǐng)D20至圖23，一邊對(duì)于本發(fā)明的第八實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0156]〈第八實(shí)施方式〉
[0157]圖20是示出本發(fā)明的第八實(shí)施方式的圖案形成裝置的圖。該圖案形成裝置I是將包括用于形成圖案的材料的涂敷液涂敷在基板上并使之固化的裝置，該圖案形成裝置I例如能夠適用于在具有光電轉(zhuǎn)換面的基板上形成布線圖案來(lái)制造光電轉(zhuǎn)換器件的技術(shù)。并且，根據(jù)下面那樣的技術(shù)背景，僅針對(duì)一部分涂敷液噴嘴設(shè)置涂敷液噴出控制部，并且設(shè)置氣體噴出裝置1C。即，應(yīng)該通過圖案形成裝置I形成圖案的基板的形狀是各種各樣的。例如，作為用作太陽(yáng)能電池的基板的單晶硅基板為，如將正方形的四角切掉而得到那樣的八邊形。這是為了有效利用圓形的單晶硅晶片的面積。因此，應(yīng)該形成在與四角相對(duì)應(yīng)的位置上的圖案的長(zhǎng)度，與應(yīng)該形成在其它位置上的圖案的長(zhǎng)度不同。
[0158]因此，在第八實(shí)施方式的圖案形成裝置I中，針對(duì)向與四角相對(duì)應(yīng)的位置噴出涂敷液的涂敷液噴嘴2設(shè)置有上述涂敷液噴出控制部。更具體地說，在沿著排列方向配置一列的26個(gè)噴嘴之中，僅針對(duì)在排列方向上的最上游側(cè)的3個(gè)噴嘴以及最下游側(cè)的3個(gè)噴嘴設(shè)置涂敷液噴出控制部。因此，通過控制壓送來(lái)的涂敷液的噴出以及停止該噴出，即使在不是矩形的基板(下面，稱為“異形基板”)上也能夠通過涂敷高效地形成圖案。
[0159]在該圖案形成裝置I中，在基臺(tái)710上設(shè)置有載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)200，能夠通過載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)200使用于保持基板W的載物臺(tái)300在圖20所示的X-Y平面內(nèi)移動(dòng)。在基臺(tái)710上以跨越載物臺(tái)300的方式固定有機(jī)架721，在機(jī)架721上安裝有涂敷頭部500。
[0160]載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)200具有:X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)210，其使載物臺(tái)300在X方向移動(dòng)'Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)220，其使載物臺(tái)300在Y方向移動(dòng)；Θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)230，其使載物臺(tái)300以朝向Z方向的軸為中心旋轉(zhuǎn)。X方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)210具有如下結(jié)構(gòu)，S卩，在馬達(dá)211上連接有滾珠螺桿212，而且，固定在Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)220上的螺母213安裝在滾珠螺桿212上。在滾珠螺桿212的上方固定有導(dǎo)軌214，當(dāng)馬達(dá)211旋轉(zhuǎn)時(shí)，Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)220與螺母213 —起沿著導(dǎo)軌214在X方向上平穩(wěn)地移動(dòng)。
[0161]Y方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)220也具有馬達(dá)221、滾珠螺桿機(jī)構(gòu)以及導(dǎo)軌224，當(dāng)馬達(dá)221旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過滾珠螺桿機(jī)構(gòu)使Θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)230沿著導(dǎo)軌224在Y方向移動(dòng)。Θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)230通過馬達(dá)231使載物臺(tái)300旋轉(zhuǎn)。此外，旋轉(zhuǎn)中心為Z方向軸。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠變更涂敷頭部500相對(duì)于基板W的移動(dòng)方向以及朝向。載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)200的各馬達(dá)被用于控制裝置各部的動(dòng)作的控制部600控制。
[0162]而且，在Θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)230和載物臺(tái)300之間設(shè)置有載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)240。載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)240根據(jù)來(lái)自控制部600的控制指令來(lái)使載物臺(tái)300進(jìn)行升降，從而使基板W定位于所指定的高度(Z方向位置)上。作為載物臺(tái)升降機(jī)構(gòu)240，例如能夠使用由電磁閥或壓電元件等促動(dòng)器形成的升降機(jī)構(gòu)、由齒輪形成的升降機(jī)構(gòu)、由楔子的嚙合形成的升降機(jī)構(gòu)等。
[0163]在涂敷頭部500的基座510上設(shè)置有涂敷液供給部520，在該涂敷液供給部520在內(nèi)部貯存有液狀(膠狀)的涂敷液，根據(jù)來(lái)自控制部600的控制指令，朝向基板W噴出該涂敷液。涂敷液供給部520具有:注射泵(syringe pump) 521,其內(nèi)部為空腔,用于忙存涂敷液；柱塞524，其插入該泵521的內(nèi)部空間。通過被控制部600驅(qū)動(dòng)控制的馬達(dá)、電磁閥等促動(dòng)器或者壓縮空氣等，驅(qū)動(dòng)柱塞524上下移動(dòng)，從而對(duì)貯存在注射泵521的內(nèi)部空間中的涂敷液進(jìn)行加壓。
[0164]另外，在涂敷液供給部520的下部安裝有多連噴嘴部550。該多連噴嘴部550是使朝向基板W噴出涂敷液的26個(gè)涂敷液噴嘴(省略圖示)形成一體而得到的，并且涂敷液噴嘴沿著Y方向配置為一列。即，在該圖案形成裝置I中，Y方向?yàn)橥糠笠簢娮斓呐帕蟹较?。另外，雖然在圖20中省略圖示，但是各涂敷液噴嘴與涂敷液供給部520相連接，能夠?qū)耐糠笠汗┙o部520壓送的涂敷液沿著設(shè)置在內(nèi)部的涂敷液流路引導(dǎo)，并且從噴出口 551噴出。在上述26個(gè)涂敷液噴嘴之中，針對(duì)Y方向的最上游側(cè)的3個(gè)涂敷液噴嘴以及最下游側(cè)的3個(gè)涂敷液噴嘴安裝有涂敷液噴出控制部560，針對(duì)剩下的中央側(cè)的20個(gè)涂敷液噴嘴未設(shè)置涂敷液噴出控制部。因此，通過柱塞524的動(dòng)作來(lái)使注射泵521動(dòng)作，從而朝向設(shè)置在多連噴嘴部550上的各涂敷液噴嘴壓送涂敷液，從未設(shè)置涂敷液噴出控制部560的中央側(cè)的20個(gè)涂敷液噴嘴直接噴出涂敷液，另一方面，針對(duì)最上游側(cè)的3個(gè)噴嘴以及最下游側(cè)的3個(gè)噴嘴共計(jì)6個(gè)涂敷液噴嘴，通過使各涂敷液噴出控制部560的旋轉(zhuǎn)軸(省略圖示)旋轉(zhuǎn)，從而針對(duì)每個(gè)噴出口 551獨(dú)立地控制涂敷液的噴出的打開/關(guān)閉。此外，涂敷液噴出控制部560的基本結(jié)構(gòu)與在上述涂敷液噴出裝置IB中采用的結(jié)構(gòu)相同。而且，與設(shè)置有涂敷液噴出控制部560的涂敷液噴嘴相對(duì)應(yīng)地設(shè)置有氣體噴出裝置800。氣體噴出裝置800的基本結(jié)構(gòu)與在上述氣體噴出裝置IC中采用的結(jié)構(gòu)相同。
[0165]另外，在涂敷頭部500的基座510上安裝有光照射部530，該光照射部530朝向基板W照射UV光(紫外線)。光照射部530通過光纖531與用于產(chǎn)生紫外線的光源單元532相連接。雖然省略圖示，但是在光源單元532的光出射部具有自由開閉的快門，能夠通過快門的開閉以及開度來(lái)控制出射光的照射/不照射以及光量。光源單元532被控制部600控制。
[0166]圖21是示出利用圖20的圖案形成裝置形成的太陽(yáng)能電池單元的例子的圖。該太陽(yáng)能電池單元S的結(jié)構(gòu)為，在單晶硅基板W的表面(設(shè)置有光電轉(zhuǎn)換面以及防反射膜的面)上，設(shè)置有寬度小的多個(gè)指狀布線圖案和、以橫穿上述指狀布線圖案的方式設(shè)置的寬度更大的總線布線圖案B。指狀布線圖案F和總線布線圖案B在交點(diǎn)進(jìn)行電連接。
[0167]就各部的尺寸而言，例如可以設(shè)定指狀布線圖案F的寬度以及高度為50 μ m左右，設(shè)定總線布線圖案B的寬度為1.8mm至2.0mm且高度為50 μ m至70 μ m,但是并不限定于上述數(shù)值。
[0168]硅基板W呈將大致近正方形的四角切掉而得到的八邊形形狀，關(guān)于中心軸C線對(duì)稱。由于從大致圓柱形的單晶硅棒切割而成的晶片呈圓板形狀，所以基板W為了有效利用該晶片的表面積而采用這樣的形狀。
[0169]因此，就在基板W上形成多個(gè)的指狀電極F而言，在基板W的中央部的視為大致矩形的矩形區(qū)域RR中具有一定的長(zhǎng)度，而在端部區(qū)域ER中，與其形狀對(duì)應(yīng)地，每個(gè)指狀電極F的長(zhǎng)度都不同。具體地說，形成在矩形區(qū)域RR中的多個(gè)電極Fr的長(zhǎng)度都相同且小于基板W的長(zhǎng)度，而形成在端部區(qū)域ER中的電極Fe的長(zhǎng)度隨著基板W端面的后退而發(fā)生變化，而且越接近基板最端部則長(zhǎng)度越小。在圖21的例子中，在基板中央的矩形區(qū)域RR中形成有20個(gè)相同長(zhǎng)度的電極圖案Fr，在基板兩端部的端部區(qū)域ER中分別形成有長(zhǎng)度彼此不同的3個(gè)電極圖案Fe。此外，這僅僅是一例，圖案的個(gè)數(shù)并不限定于此，但是需要根據(jù)設(shè)置在端部區(qū)域ER中的電極圖案Fe的個(gè)數(shù)來(lái)設(shè)置涂敷液噴出控制部560的個(gè)數(shù)。
[0170]在使噴出/停止噴出被統(tǒng)一控制的多個(gè)涂敷液噴嘴一體地相對(duì)于基板移動(dòng)來(lái)形成圖案的以往技術(shù)(例如日本特開2011-60873號(hào)公報(bào))中，不能應(yīng)對(duì)這樣的形狀的基板。另外，用于對(duì)各涂敷液噴嘴獨(dú)立地進(jìn)行打開/關(guān)閉控制的具體的技術(shù)，迄今為止還未實(shí)現(xiàn)實(shí)用化。相對(duì)于此，在本實(shí)施方式的圖案形成裝置I中，設(shè)置與圖2相同結(jié)構(gòu)的涂敷液噴出控制部560，通過各涂敷液噴出控制部560控制涂敷液的噴出以及停止該噴出，從而在圖21那樣的異形基板上也能夠高效地形成圖案。
[0171]圖22是示意性地示出通過圖20的裝置形成指狀電極的情況的圖。如該圖所示，在該裝置I中，通過使載置有基板W的載物臺(tái)300向X方向移動(dòng)，使多連噴嘴部550相對(duì)于基板W的表面向-X方向進(jìn)行掃描移動(dòng)。在該多連噴嘴部550的下表面設(shè)置有26個(gè)噴出口 551，上述噴出口 551沿著Y方向以等間隔配置成一列。Y方向上的多連噴嘴部550的尺寸，與該方向上的基板W的尺寸相比，相同或者大于等于基板W的尺寸。因此，僅使多連噴嘴部550相對(duì)于基板W進(jìn)行掃描移動(dòng)一次，就能夠在基板W的整個(gè)面上形成指狀電極圖案Fr、Fe。
[0172]涂敷液可以采用具有導(dǎo)電性以及光固化特性的導(dǎo)電性膏，例如包括導(dǎo)電性粒子、有機(jī)載體(溶劑、樹脂、增稠劑等的混合物)以及光致聚合引發(fā)劑的膏狀的混合液。導(dǎo)電性粒子為作為電極的材料的例如銀粉末，有機(jī)載體包括作為樹脂材料的乙基纖維素和有機(jī)溶齊U。另外，就涂敷液的粘度而言，優(yōu)選在通過光照射來(lái)進(jìn)行固化處理之前例如為50Pa *s以下，而在進(jìn)行固化處理之后為350pa.s以上。
[0173]向剛剛從噴出口 551向基板W表面噴出之后的涂敷液，照射來(lái)自在涂敷液噴嘴的掃描移動(dòng)方向(-X方向)上配置在噴出口 551的后方的光照射部530的出射光。由此,在維持剛剛噴出之后的截面形狀的狀態(tài)下使涂敷液固化，從而形成電極圖案Fr、Fe。通過恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定噴出口 551的形狀、涂敷液的粘度以及光照射條件，能夠形成具有各種截面形狀的圖案，尤其能夠形成圖案高度與寬度的比、即高寬比大的圖案。
[0174]圖23是示出第八實(shí)施方式的圖案形成處理的流程圖。利用多連噴嘴部550進(jìn)行該處理，并且多連噴嘴部550具有與應(yīng)該形成的圖案的個(gè)數(shù)相對(duì)應(yīng)的26個(gè)噴出口 551。針對(duì)與上述噴出口 551中的Y方向的最上游側(cè)的3個(gè)噴出口 551以及最下游側(cè)的3個(gè)噴出口551分別相連接的涂敷液噴嘴，分別設(shè)置有涂敷液噴出控制部560，從而獨(dú)立控制來(lái)自各噴出口 551的涂敷液的噴出以及停止該噴出。因此，當(dāng)在通過涂敷液噴出控制部560使來(lái)自最上游側(cè)的3個(gè)噴出口 551以及最下游側(cè)的3個(gè)噴出口 551的噴出停止的狀態(tài)下，從涂敷液供給部520朝向涂敷液噴嘴壓送涂敷液時(shí)，從中央側(cè)的20個(gè)噴出口 551同時(shí)噴出涂敷液。然后，通過各涂敷液噴出控制部560使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，從而能夠獨(dú)立地控制來(lái)自各噴出口 551的涂敷液的噴出。此外，圖22所示的附圖標(biāo)記Pl至P3以及P24至P26，是確定用于涂敷端部區(qū)域ER的噴出口的附圖標(biāo)記。即，在26個(gè)噴出口之中，將位于最外側(cè)的噴出口用附圖標(biāo)記P1、P26表示，將比P1、P26向內(nèi)側(cè)靠近一個(gè)的噴出口用附圖標(biāo)記P2、P25表示，將進(jìn)一步向內(nèi)側(cè)靠近一個(gè)的噴出口用附圖標(biāo)記P3、P24表示。除了這些之外的剩下的20個(gè)噴出口用于形成矩形區(qū)域RR的圖案Fr。上述噴出口 Pl?P3、P24?P26是如后述那樣通過涂敷液噴出控制部560在與其它噴出口不同的時(shí)刻獨(dú)自控制噴出的噴出口，下面將這些噴出口稱為“控制對(duì)象噴出口”。
[0175]在該處理中，首先，將基板W搬入圖案形成裝置1，使應(yīng)該形成圖案的面朝上來(lái)載置于載物臺(tái)300上(步驟S101)。另外，使涂敷液噴出控制部560的旋轉(zhuǎn)軸圍繞軸心旋轉(zhuǎn)來(lái)停止來(lái)自噴出口 Pl?P3、P24?P26的噴出(步驟S102)。具體地說，例如與圖3中的“噴嘴號(hào)I”的涂敷液噴嘴同樣地，將上游側(cè)流路和下游側(cè)流路連通的比例設(shè)定為0%。
[0176]在該狀態(tài)下，通過載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)200使載物臺(tái)300向X方向移動(dòng)(步驟S103)，使多連噴嘴部550移動(dòng)至基板W的X方向端部的正上方。然后，開始通過注射泵521對(duì)涂敷液進(jìn)行加壓，并且使基板W向X方向移動(dòng)(步驟S104)。這樣，僅從位于中央部分的20個(gè)噴出口 551開始噴出涂敷液。由此，開始形成矩形區(qū)域RR中的圖案Fr。
[0177]然后，以如下步驟依次打開控制對(duì)象噴出口(步驟S105)。即，在從開始通過注射泵521進(jìn)行加壓起經(jīng)過規(guī)定時(shí)間之后，首先解除來(lái)自控制對(duì)象噴出口中的最接近中央的噴出口 P3、P24的噴出停止，從而打開涂敷液流路。接著，打開在它們外側(cè)相鄰的噴出口 P2、P25，最后打開最外側(cè)的噴出口 P1、P26。由此，在基板W的端部區(qū)域ER上形成隨著噴出口的打開時(shí)刻的不同而始端位置分別不同的圖案Fe。另外，與第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式同樣地，與涂敷液的噴出開始對(duì)應(yīng)地控制來(lái)自氣體噴出裝置800的空氣流的供給，從而防止電極圖案(線圖案)的始端變成球狀或者始端位置產(chǎn)生偏差。
[0178]在該狀態(tài)下，繼續(xù)使多連噴嘴部550相對(duì)于基板W進(jìn)行掃描移動(dòng)，從而在基板W上形成彼此平行的26個(gè)電極圖案。繼續(xù)該狀態(tài)直到基板W到達(dá)規(guī)定位置之后(步驟S106)，以與打開的順序相反的順序，依次堵塞各噴出口 Pl?P3、P24?P26(步驟S107)。S卩，堵塞最外側(cè)的噴出口 P1、P26，然后堵塞與其相鄰的噴出口 P2、P25。進(jìn)而，堵塞最內(nèi)側(cè)的噴出口 P3、P24。隨著堵塞噴出口，通過來(lái)自該噴出口的涂敷液形成圖案的動(dòng)作，以具有少許的時(shí)間差的方式依次結(jié)束。因此，上述圖案的末端位置也不同。另外，與第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式同樣地，與涂敷液的噴出停止對(duì)應(yīng)地控制來(lái)自氣體噴出裝置800的空氣流的供給，從而抑制在電極圖案(線圖案)的末端產(chǎn)生尾部。
[0179]這樣結(jié)束在末端側(cè)的端部區(qū)域ER形成圖案的動(dòng)作，而且當(dāng)多連噴嘴部550到達(dá)矩形區(qū)域RR的端部時(shí)，停止來(lái)自注射泵521的加壓(步驟S108)。然后，使載物臺(tái)300停止移動(dòng)(步驟S109)，搬出形成有指狀電極圖案F(Fr、Fe)的基板W(步驟S110)，并結(jié)束處理。
[0180]根據(jù)上面那樣的圖案形成處理，在基板W的中央部的矩形區(qū)域RR中形成彼此平行且長(zhǎng)度相等的圖案Fr。另一方面，在基板兩端的端部區(qū)域ER中，越接近基板W的外側(cè)，則開始形成圖案的時(shí)刻遲，而且結(jié)束形成的時(shí)刻早?；錡和多連噴嘴部550以恒定速度進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，因此形成的時(shí)刻的差異反映在基板W上的圖案的始端以及末端位置，最終形成圖21以及圖22所示那樣的指狀電極圖案F。在這期間，多連噴嘴部550相對(duì)于基板W進(jìn)行的掃描移動(dòng)只有一次。
[0181]另外，針對(duì)與各控制對(duì)象噴出口 551對(duì)應(yīng)的涂敷液噴嘴設(shè)置有涂敷液噴出控制部560，通過使旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)來(lái)獨(dú)立地控制來(lái)自噴出口 551的噴出以及停止該噴出。因此，能夠使通過多連噴嘴部550的掃描移動(dòng)一次形成的多個(gè)線狀圖案中的一部分的圖案的始端位置以及末端位置與其它圖案不同。結(jié)果，即使是圖21或圖22所示那樣的異形基板，也能夠在整個(gè)面上高效地形成圖案。而且，與上述實(shí)施方式同樣地，與涂敷液的噴出開始以及噴出停止對(duì)應(yīng)地控制來(lái)自氣體噴出裝置800的空氣流的供給。因此，能夠在不污染基板W或裝置的情況下，在基板W上以良好地形狀形成圖案。
[0182]另外，針對(duì)具有各控制對(duì)象噴出口 551的涂敷液噴嘴安裝有涂敷液噴出控制部4的旋轉(zhuǎn)軸，通過使該旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)來(lái)控制來(lái)自噴出口 551的涂敷液的噴出，因此能夠在不使結(jié)構(gòu)構(gòu)件發(fā)生變形的情況下穩(wěn)定地控制高精度的涂敷液的噴出。
[0183]另外，使涂敷液噴出控制部560配置于在與排列方向Y垂直的方向上彼此不同的位置上，即以交錯(cuò)狀或者鋸齒狀配置，因此能夠防止涂敷液噴出控制部4發(fā)生相互干涉，能夠使涂敷液噴嘴的間距變小。結(jié)果，能夠使能夠通過圖案形成裝置I形成的圖案的間隔變小。
[0184]另外，在上述第八實(shí)施方式中，為了控制圖案的形狀，僅設(shè)置有氣體噴出裝置800，但是也可以設(shè)置圖案整形裝置ID或者同時(shí)設(shè)置氣體噴出裝置800和圖案整形裝置1D，來(lái)代替設(shè)置氣體噴出裝置800。在這樣的情況下，向圖案Fe的始端部以及末端部供給來(lái)自圖案整形裝置ID的空氣流來(lái)進(jìn)行圖案整形，因此能夠使圖案Fe與圖案Fr近似，從而得到優(yōu)異的美觀。另外，通過在圖案整形裝置ID的后方配置光照射部530，得到下面的作用效果。即，在維持剛剛通過圖案整形裝置ID整形之后的截面形狀的狀態(tài)下使涂敷液固化，從而形成電極圖案Fe。恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定噴出口 551的形狀、涂敷液的粘度以及光照射條件，另外，恰當(dāng)?shù)卦O(shè)定圖案整形裝置ID的整形條件，從而能夠形成具有各種截面形狀的圖案，尤其能夠形成圖案高度與寬度的比、即高寬比大的圖案，并且能夠?qū)㈦姌O圖案Fr和電極圖案Fe形成為近似的形狀。
[0185]這樣，在上述實(shí)施方式中，載物臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)1A、200相當(dāng)于使基板W相對(duì)于涂敷液噴嘴向第一方向移動(dòng)的“移動(dòng)單元”的一例。另外，基板移動(dòng)方向X、噴出方向D2以及噴射方向D3分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第一方向”、“第二方向”、“第三方向”。另外，脈沖送風(fēng)系統(tǒng)132以及連續(xù)送風(fēng)系統(tǒng)131分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第一供給系統(tǒng)”以及“第二供給系統(tǒng)”的一例。
[0186]另外，在上述實(shí)施方式中，氣體噴出裝置IC相當(dāng)于本發(fā)明的“氣流吹送單元”的一例，圖案整形裝置ID相當(dāng)于本發(fā)明的“圖案整形單元”的一例。氣體噴嘴120、170分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第一氣體噴嘴”以及“第二氣體噴嘴”的一例。氣體供給部130、180分別相當(dāng)于本發(fā)明的“第一氣體供給部”以及“第二氣體供給部”的一例。
[0187]另外，在第一實(shí)施方式以及第五實(shí)施方式中，閥控制部140相當(dāng)于“第一氣體供給控制部”的一例，在第二實(shí)施方式、第三實(shí)施方式、第六實(shí)施方式以及第七實(shí)施方式中，閥控制部140以及脈沖驅(qū)動(dòng)部150發(fā)揮本發(fā)明的“第一氣體供給控制部”的功能。在第四實(shí)施方式至第七實(shí)施方式中，閥控制部140以及脈沖驅(qū)動(dòng)部150發(fā)揮本發(fā)明的“第二氣體供給控制部”的功能。而且，光照射部530相當(dāng)于本發(fā)明的“圖案固化部”的一例。
[0188]〈其它〉
[0189]此外，本發(fā)明并不限定于上述實(shí)施方式，在不脫離其宗旨的情況下能夠進(jìn)行除了上述方式之外的各種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，在噴嘴支架110上以交錯(cuò)狀且不同的傾斜角度設(shè)置有多個(gè)貫通孔，在各貫通孔內(nèi)配置有氣體噴嘴120。通過采用這樣的配置關(guān)系，能夠一邊防止氣體噴嘴120的相互干涉一邊使間距變變小，還能夠使圖案間隔變小。其中，氣體噴嘴120的配置關(guān)系并不限定于此，例如也可以配置為一列。關(guān)于這一點(diǎn)，氣體噴嘴170也同樣。
[0190]另外，在第一實(shí)施方式至第三實(shí)施方式、第五實(shí)施方式至第七實(shí)施方式中，與開始噴出涂敷液以及停止噴出涂敷液都對(duì)應(yīng)地控制來(lái)自氣體噴嘴的空氣的噴射，但是也可以僅與開始噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行空氣的噴射控制，或者相反地僅與停止噴出涂敷液相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行空氣的噴射控制。另外，在需要對(duì)線圖案中的除了始端部以及末端部之外的部位進(jìn)行整形的情況下，也可以將該部位設(shè)為本發(fā)明的“被整形部”，向該部位呈脈沖狀噴射空氣來(lái)進(jìn)行整形。
[0191]另外，在上述實(shí)施方式中，固定配置涂敷液噴嘴以及氣體噴嘴，另一方面，使基板W向X方向移動(dòng)來(lái)形成線圖案，但是也可以使涂敷液噴嘴以及氣體噴嘴一體地向X方向移動(dòng)來(lái)形成線圖案。即，本發(fā)明能夠適用于使基板W相對(duì)于噴嘴在X方向上相對(duì)移動(dòng)來(lái)形成線圖案的所有圖案形成技術(shù)中。
[0192]另外，在上述實(shí)施方式中，向涂敷液的液流CF吹送空氣，但是本發(fā)明的“氣體”并不限定于此，例如也可以從氣體噴嘴噴射氮?dú)鈦?lái)作為本發(fā)明的“氣體”。
[0193]本發(fā)明能夠適用于，從涂敷液噴嘴向相對(duì)于該涂敷液噴嘴相對(duì)移動(dòng)的基板呈線狀供給涂敷液來(lái)形成線圖案的所有圖案形成技術(shù)中。并且，為了控制圖案的形狀，僅設(shè)置氣體噴出裝置(氣流吹送單元)IC或僅設(shè)置圖案整形裝置(圖案整形單元)ID或者設(shè)置上述兩者，從而能夠良好地控制圖案的形狀。此外，圖案整形裝置能夠適用于在基板上良好地形成圖案的所有技術(shù)中，能夠?qū)θ我獾膱D案進(jìn)行圖案整形。
【權(quán)利要求】
1.一種圖案形成裝置，通過從涂敷液噴嘴的噴出口向相對(duì)于所述涂敷液噴嘴向第一方向移動(dòng)的基板的表面噴出的線狀的涂敷液，在所述基板的表面上形成圖案，其特征在于， 該圖案形成裝置具有氣流吹送單元和圖案整形單元中的至少一個(gè)，其中，所述氣流吹送單元與開始噴出所述涂敷液以及停止噴出所述涂敷液中的至少一個(gè)相對(duì)應(yīng)地，朝向所述基板的在所述第一方向上比向所述基板供給所述涂敷液的供給位置更靠上游側(cè)的表面噴射氣體，并在所述涂敷液噴嘴的噴出口和所述基板的表面的中間，向所述涂敷液的液流吹送氣流；所述圖案整形單元向形成在所述基板的表面上的圖案呈脈沖狀噴射氣體來(lái)進(jìn)行整形， 通過所述氣體來(lái)控制所述圖案的形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述氣流吹送單元具有: 第一氣體噴嘴，其在所述第一方向上配置于所述涂敷液噴嘴的下游側(cè)； 第一氣體供給部，其向所述第一氣體噴嘴供給氣體； 第一氣體供給控制部，其控制通過所述第一氣體供給部進(jìn)行的所述氣體的供給。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述涂敷液噴嘴在所述第一方向上配置于所述涂敷液的供給位置的上游側(cè)，并且，所述噴出口朝向所述供給位置配置， 所述第一氣體供給部沿著與供給所述涂敷液的第二方向相垂直的第三方向噴射氣體。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給部具有第一供給系統(tǒng)，該第一供給系統(tǒng)根據(jù)來(lái)自所述第一氣體供給控制部的指令來(lái)在向所述第一氣體噴嘴供給所述氣體以及停止向所述第一氣體噴嘴供給所述氣體之間進(jìn)行切換， 所述第一氣體供給控制部通過所述第一供給系統(tǒng)反復(fù)進(jìn)行供給所述氣體以及停止供給所述氣體，從而進(jìn)行從所述第一氣體噴嘴呈脈沖狀噴射所述氣體的脈沖噴射。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給控制部在開始噴出所述涂敷液之前開始進(jìn)行所述脈沖噴射。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給控制部，使在開始噴出所述涂敷液之后通過所述脈沖噴射施加于所述涂敷液的液流的所述氣流的壓力大于，在開始噴出所述涂敷液之前通過所述脈沖噴射施加于所述涂敷液的液流的所述氣流的壓力。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于， 在停止噴出所述涂敷液之后，所述第一氣體供給控制部停止供給所述氣體。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給控制部，使在停止噴出所述涂敷液之后通過所述脈沖噴射施加于所述涂敷液的液流的所述氣流的壓力小于，在停止噴出所述涂敷液之前通過所述脈沖噴射施加于所述涂敷液的液流的所述氣流的壓力。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給部還具有第二供給系統(tǒng)，該第二供給系統(tǒng)根據(jù)來(lái)自所述第一氣體供給控制部的指令來(lái)在向所述第一氣體噴嘴供給所述氣體以及停止向所述第一氣體噴嘴供給所述氣體之間進(jìn)行切換， 所述第一氣體供給控制部與開始噴出所述涂敷液以及停止噴出所述涂敷液相對(duì)應(yīng)地進(jìn)行連續(xù)噴射，其中，所述連續(xù)噴射指，維持通過所述第二供給系統(tǒng)供給所述氣體，來(lái)從所述第一氣體噴嘴連續(xù)地噴射所述氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給控制部在開始噴出所述涂敷液之前通過所述第二供給系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)噴射，并且從開始噴出所述涂敷液的時(shí)刻起，通過所述第一供給系統(tǒng)追加進(jìn)行脈沖噴射。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述第一氣體供給控制部，在停止噴出所述涂敷液之后停止通過所述第二供給系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)噴射，并且，在停止噴出所述涂敷液之前以及停止噴出所述涂敷液之后中的至少一個(gè)，通過所述第一供給系統(tǒng)追加進(jìn)行脈沖噴射。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述圖案整形單元具有: 第二氣體噴嘴，其使第二噴出口朝向形成在所述基板上的圖案來(lái)配置， 第二氣體供給部，其向所述第二氣體噴嘴供給氣體，從而從所述第二噴出口呈脈沖狀噴射所述氣體； 在所述第二噴出口朝向所述圖案的被整形部時(shí)，從所述第二噴出口呈脈沖狀噴射所述氣體來(lái)對(duì)所述被整形部進(jìn)行整形。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖案形成裝置，其特征在于， 該圖案形成裝置具有第二氣體供給控制部，該第二氣體供給控制部控制通過所述第二氣體供給部進(jìn)行的所述氣體向所述第二氣體噴嘴的供給， 所述圖案的一端部以及另一端部中的至少一個(gè)為所述被整形部， 在所述被整形部因所述基板的相對(duì)移動(dòng)而進(jìn)入從所述第二噴出口呈脈沖狀噴射所述氣體的區(qū)域時(shí)，所述第二氣體供給控制部通過所述第二氣體供給部向所述第二氣體噴嘴供給所述氣體。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的圖案形成裝置，其特征在于， 噴射所述氣體的時(shí)間長(zhǎng)度大于0.1msec且小于5msec。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的圖案形成裝置，其特征在于， 噴射所述氣體的時(shí)間長(zhǎng)度小于2msec。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的圖案形成裝置，其特征在于， 噴射所述氣體的時(shí)間長(zhǎng)度為0.5msec以上且Imsec以下。
17.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖案形成裝置，其特征在于， 所述圖案整形單元具有: 第二氣體噴嘴，其在所述第一方向上配置于所述第一氣體噴嘴的所述下游側(cè)，并且使第二噴出口朝向形成在所述基板上的圖案來(lái)配置， 第二氣體供給部，其向所述第二氣體噴嘴供給氣體，從而從所述第二噴出口呈脈沖狀噴射所述氣體； 在所述第二噴出口朝向所述圖案的被整形部時(shí)，從所述第二噴出口呈脈沖狀噴射所述氣體來(lái)對(duì)所述被整形部進(jìn)行整形。
18.根據(jù)權(quán)利要求12至17中任一項(xiàng)所述的圖案形成裝置，其特征在于， 該圖案形成裝置具有圖案固化部，該圖案固化部在所述第一方向上在所述第二氣體噴嘴的下游側(cè)使所述圖案固化。
19.一種圖案形成方法，通過從涂敷液噴嘴的第二噴出口向相對(duì)于所述涂敷液噴嘴向第一方向移動(dòng)的基板的表面噴出的線狀的涂敷液，在所述基板的表面上形成圖案，其特征在于， 執(zhí)行第一工序和第二工序中的至少一個(gè)來(lái)控制所述圖案的形狀，其中，在所述第一工序中，與開始噴出所述涂敷液以及停止噴出所述涂敷液中的至少一個(gè)相對(duì)應(yīng)地，朝向所述基板的在所述第一方向上比向所述基板供給所述涂敷液的供給位置更靠上游側(cè)的表面噴射氣體，并在所述涂敷液噴嘴的第二噴出口和所述基板的表面的中間，向所述涂敷液的液流吹送氣流；在所述第二工序中，向形成在所述基板的表面上的圖案呈脈沖狀噴射氣體來(lái)進(jìn)行整形。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的圖案形成方法，其特征在于， 所述第一工序以及第二工序都執(zhí)行。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的圖案形成方法，其特征在于， 還具有第三工序，在所述第三工序中，使通過所述第二工序整形的圖案固化。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK104299927SQ201410250180
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月19日
【發(fā)明者】中川良幸 申請(qǐng)人:大日本網(wǎng)屏制造株式會(huì)社