一種柔性顯示器及其制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種柔性顯示器及其制作方法，該方法包括：（1）在載體正面制作一層剝離層；（2）在該剝離層上制備粘結(jié)層；（3）在該粘結(jié)層上貼付軟玻璃；（4）所述載體、剝離層、粘結(jié)層以及軟玻璃形成了一個整體的柔性基板，在該柔性基板的軟玻璃上制作顯示組件，并進(jìn)行封蓋或者薄膜封裝；（5）進(jìn)行激光剝離，使激光從載體背面射入，并從載體一端向另一端掃描，使得載體脫離剝離層而被剝離。本發(fā)明采用硅的氮化物或者氧化物作為剝離層與軟玻璃之間的粘結(jié)層，利用激光剝離技術(shù)使剝離層和載體直接分離，既可使軟玻璃很好的阻擋來自于基體的水汽，又使剝離層作為軟玻璃的增韌層。
【專利說明】一種柔性顯示器及其制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明有關(guān)一種柔性顯示器及其制作方法，特別是指一種軟玻璃柔性基板顯示 器及其制作方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 有機(jī)發(fā)光顯示器件（OLED，Organic Light Emitting Display)是主動發(fā)光器件， 相比現(xiàn)在的主流平板顯示技術(shù)薄膜晶體管液晶顯示器（TFT - IXD，Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) ， 0LED 具有對比度高、視角廣、功耗低、體積更薄等優(yōu)點(diǎn)，有望成 為繼LCD之后的下一代平板顯示技術(shù)，其中的柔性0LED更是以其可彎曲、抗沖擊、更輕更薄 等優(yōu)點(diǎn)在平板顯示技術(shù)中受到越來越多的關(guān)注。
[0003] 目前柔性顯示的基體材料有薄金屬，軟玻璃和塑料薄膜。其中軟玻璃和塑料薄膜 是業(yè)界研究的熱點(diǎn)。
[0004] 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的塑料薄膜基體的疊層結(jié)構(gòu)圖，如圖所示，先在載體10上采用 coating (涂布）的方式制備濕膜，然后進(jìn)行烘烤獲得塑料薄膜20 (即PI基體(聚酰亞胺， Polyimide))或者采用粘貼塑料薄膜的方式進(jìn)行制備。然后通過氣相沉積的方法制備氮化 硅30、氧化硅31、氧化鋁等薄膜兩種或者兩種以上交替沉積，此為一組。反復(fù)做多組此種堆 疊膜作為阻擋層。塑料薄膜20基體具有優(yōu)異的抗沖擊能力，但其自身阻擋水汽的能力較 差，剝離工藝影響大等缺點(diǎn)限制著塑料薄膜基體的廣泛應(yīng)用。
[0005] 圖2是另外一種現(xiàn)有技術(shù)，軟玻璃的堆疊結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示，在載體10上先 沉積一層金屬或者金屬氧化物層21作為隔離層，再在該隔離層上制作軟玻璃40。軟玻璃基 體具有同硬質(zhì)玻璃基板相同的電學(xué)特性，基體阻擋水氧能力強(qiáng)，剝離工藝對TFT特性影響 小等優(yōu)點(diǎn)。但軟玻璃基體同載體材料之間難以剝離和應(yīng)力過大，且高溫后的脆性制約著軟 玻璃的應(yīng)用，同時軟玻璃基體容易產(chǎn)生裂紋，并且裂紋擴(kuò)展影響切割。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種能阻擋水汽、且柔性基板同載體之間 容易粘貼與剝離的柔性顯示器及其制作方法。
[0007] 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種柔性顯示器制作方法，該方法包括： (1) 在載體正面制作一層剝離層； (2) 在該剝離層上制備粘結(jié)層； (3) 在該粘結(jié)層上貼付軟玻璃； (4) 所述載體、剝離層、粘結(jié)層以及軟玻璃形成了一個整體的柔性基板，在該柔性基板 的軟玻璃上制作顯示組件，并進(jìn)行封蓋或者薄膜封裝； (5) 進(jìn)行激光剝離，使激光從載體背面射入，并從載體一端向另一端掃描，使得載體脫 離剝離層而被剝離。
[0008] 所述步驟（5)中，激光同時直接將剝離層碳化去掉。
[0009] 所述步驟（1)中，通過在載體上采用涂布的方式制備濕膜，然后進(jìn)行烘烤獲得剝離 層；或者采用粘貼塑料薄膜的方式在載體上制備剝離層。
[0010] 在所述步驟（2)中，采用物理或氣相沉積方法或原子層沉積的方法在所述剝離層 上制備粘結(jié)層，所述粘結(jié)層為無機(jī)膜層、非晶硅層或氧化銦錫層，該無機(jī)膜層為氮化硅或氧 化硅或者兩者之間的間隔堆疊或兩者的混合物薄層。
[0011] 所述剝離層的材質(zhì)為聚酰亞胺、聚乙烯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二 醇酯或玻璃紙。
[0012] 本發(fā)明還提供一種柔性顯示器，所述柔性顯示器包括封裝層與下柔性基板及設(shè)于 該封裝層與下柔性基板之間的顯示組件，所述下柔性基板包括軟玻璃及設(shè)于該軟玻璃一側(cè) 的粘結(jié)層，所述顯示組件設(shè)于該封裝層與該下柔性基板的軟玻璃之間。
[0013] 所述封裝層包括上柔性基板及設(shè)于該上柔性基板與所述下柔性基板之間邊緣的 封裝柱，該上柔性基板包括軟玻璃及設(shè)于該軟玻璃遠(yuǎn)離所述顯示組件一側(cè)的粘結(jié)層，所述 上柔性基板的軟玻璃與下柔性基板的軟玻璃相對設(shè)置。
[0014] 所述顯示組件設(shè)于所述下柔性基板的軟玻璃上，所述下柔性基板的粘結(jié)層遠(yuǎn)離該 下柔性基板的軟玻璃的一側(cè)設(shè)有剝離層。
[0015] 所述顯示組件設(shè)于所述上柔性基板的軟玻璃上，所述上柔性基板的粘結(jié)層遠(yuǎn)離該 上柔性基板的軟玻璃的一側(cè)設(shè)有剝離層。
[0016] 所述封裝層為設(shè)于所述顯示組件之上的薄膜層，該薄膜層為至少一層無機(jī)氧化物 膜層或至少一層有機(jī)物膜層，或一層無機(jī)氧化物膜層與一層有機(jī)物膜層間隔堆疊設(shè)置。
[0017] 本發(fā)明采用硅的氮化物或者氧化物或非晶硅層或氧化銦錫層作為剝離層與軟玻 璃之間的粘結(jié)層，利用激光剝離技術(shù)使剝離層和載體直接分離，既可使軟玻璃很好的阻擋 來自于基體的水汽，又使剝離層作為軟玻璃的增韌層。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)的塑料基體柔性顯示器的疊層結(jié)構(gòu)圖； 圖2為另一種現(xiàn)有技術(shù)的軟玻璃基體柔性顯示器的疊層結(jié)構(gòu)圖； 圖3為本發(fā)明柔性顯示器制作方法的步驟流程圖； 圖4為采用本發(fā)明的方法制作的載體剝離前的柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5為采用本發(fā)明的方法將載體剝離時的柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6A為本發(fā)明中將載體剝離后的柔性基板的示意圖一； 圖6B為本發(fā)明中將載體剝離后的柔性基板的示意圖二； 圖7為采用本發(fā)明的方法制作的柔性顯示器。

【具體實(shí)施方式】
[0019] 為便于對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及方法及達(dá)到的效果有進(jìn)一步的理解，現(xiàn)結(jié)合附圖并舉較 佳實(shí)施例詳細(xì)說明如下。
[0020] 如圖3與圖4所示，首先在載體1上采用coating的方式制備濕膜，然后進(jìn)行烘烤 獲得剝離層2 ;或者采用粘貼塑料薄膜的方式進(jìn)行制備。制備的剝離層2的厚度可以從小 于一微米到幾十微米均可。此剝離層2具有較高的耐受溫度。然后采用物理或者氣相沉積 方法以及原子層沉積的方法在剝離層2上制備無機(jī)膜層3,該無機(jī)膜層3可為氮化硅或氧化 硅或者兩者之間的間隔堆疊或兩者的混合物薄層，作為剝離層2和之后軟玻璃4之間的粘 結(jié)層。然后在連接層上貼付軟玻璃4,并采用真空脫泡，之后進(jìn)行高溫處理。至此為止，載體 1、剝離層2、無機(jī)膜層3以及軟玻璃4形成了一個整體(可稱之為柔性基板)，之后可以進(jìn)行 后續(xù)的工藝，如在軟玻璃4上制作TFT或OLED等。軟玻璃4和載體1之間的剝離層2能夠 作為應(yīng)力的緩沖層，避免軟玻璃4和載體1在高溫的情況下，兩者之間因?yàn)闊釕?yīng)力導(dǎo)致的破 裂。
[0021] 如圖5所示，將制作有TFT或0LED的柔性基板進(jìn)行封蓋封裝或薄膜封裝，之后，可 以采用激光剝離的方法進(jìn)行。激光從載體1背面射入，并從載體1 一端向另一端掃描，使得 剝離層2脫離載體1而被剝離。因?yàn)門FT或0LED二極管有軟玻璃4作為保護(hù)層，在激光剝 離時不會破壞TFT或0LED，可以降低對激光剝離工藝的要求。
[0022] 圖6A和圖6B是載體剝離后的柔性基板的結(jié)構(gòu)示意圖，激光可以直接將剝離層2 碳化去掉(如圖6A所示)，此時柔性基板包括無機(jī)膜層3與軟玻璃4。如果制備的剝離層2 較厚，在激光剝離完成之后，可以繼續(xù)留在無機(jī)膜層3上，增加軟玻璃4的韌性(如圖6B所 示)，此時柔性基板包括剝離層2、無機(jī)膜層3及軟玻璃4。
[0023] 如圖7所示，利用封蓋封裝，采用本發(fā)明的方法將制作有TFT或0LED的柔性基板 與未制作TFT或0LED的柔性基板制作成柔性顯示器，該柔性顯示器包括上柔性基板5與下 柔性基板6及設(shè)于該上柔性基板5與下柔性基板6之間的顯示組件（TFT或0LED) 7,該上 柔性基板5與下柔性基板6之間邊緣設(shè)有封裝柱8,將顯示組件7封裝于上柔性基板5與下 柔性基板6之間。封裝的時候根據(jù)顯示組件7的出光方向選擇去除柔性基板上的剝離層2 或保留剝離層2。如圖7中所示，本發(fā)明中顯示組件7設(shè)于下柔性基板6的軟玻璃4上，出 光方向?yàn)橄蛏?，因此，上柔性基?包括與顯示組件7相對的軟玻璃4及設(shè)于軟玻璃4遠(yuǎn)離 顯示組件7的一側(cè)的粘結(jié)層3,該下柔性基板6包括貼附有顯示組件7的軟玻璃4及設(shè)于軟 玻璃4遠(yuǎn)離顯示組件7的一側(cè)的無機(jī)膜層3,該無機(jī)膜層3遠(yuǎn)離軟玻璃4的另一側(cè)還可以 設(shè)有剝離層2。本發(fā)明中的柔性顯示器，其顯示組件7還可以設(shè)于上柔性基板5的軟玻璃4 上，該上柔性基板5可以保留剝離層2,下柔性基板6需剝離剝離層2。
[0024] 采用本發(fā)明方法制作的帶有TFT或0LED的柔性基板還可以進(jìn)行薄膜封裝，封裝后 的柔性顯示器與圖7不同之處在于，用薄膜層替換圖7中的上柔性基板5與封裝柱8,即在 下柔性基板6的顯示組件7之上封裝有薄膜層，該薄膜層可為至少一層無機(jī)氧化物膜層或 至少一層有機(jī)物膜層，或一層無機(jī)氧化物膜層與一層有機(jī)物膜層間隔堆疊設(shè)置。
[0025] 本發(fā)明中的剝離層2可為塑料膜層，其中可以選擇的塑料薄膜有聚酰亞胺 (Polyimide，PI)、聚乙烯（polyethylene, PE)、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN)、聚對苯二甲酸 乙二醇酯（PET)、玻璃紙（PT)等耐高溫材料。
[0026] 本發(fā)明中剝離層2和軟玻璃4之間的粘結(jié)層除為無機(jī)膜層外，該粘結(jié)層還可以為 非晶硅或ΙΤ0 (氧化銦錫)。
[0027] 本發(fā)明采用塑料膜層作為剝離層，采用硅的氮化物或者氧化物或非晶硅或ΙΤ0作 為塑料膜層與軟玻璃之間的粘結(jié)層，制備完成后采用激光剝離技術(shù)使軟玻璃和載體直接分 離，從而實(shí)現(xiàn)柔性顯示的制備。
[0028] 本發(fā)明的方法具有如下特點(diǎn)及有益效果： 1. 氧化硅能夠很好的與有機(jī)膜材料(塑料膜層)及軟玻璃粘附，使兩種基體可以形成一 個整體，本發(fā)明中的氧化硅可為二氧化硅（Si0 2); 2. 軟玻璃可以很好的阻擋來自于基體的水汽； 3. 有機(jī)膜容易剝離，可以作為軟玻璃的剝離層，也可以作為軟玻璃的增韌層； 4. 容易實(shí)驗(yàn)大尺寸的柔性化，不需要減薄工藝，同時可以采用干燥劑和UV (紫外光線） 膠或者frit (玻璃粉）封裝； 5. 有機(jī)膜可以作為應(yīng)力緩沖層。
[0029] 以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種柔性顯示器制作方法，其特征在于，該方法包括： (1) 在載體正面制作一層剝離層； (2) 在該剝離層上制備粘結(jié)層； (3) 在該粘結(jié)層上貼付軟玻璃； (4) 所述載體、剝離層、粘結(jié)層以及軟玻璃形成了一個整體的柔性基板，在該柔性基板 的軟玻璃上制作顯示組件，并進(jìn)行封蓋或者薄膜封裝； (5) 進(jìn)行激光剝離，使激光從載體背面射入，并從載體一端向另一端掃描，使得載體脫 離剝離層而被剝離。
2. 如權(quán)利要求1所述的柔性顯示器制作方法，其特征在于，所述步驟（5)中，激光同時 直接將剝離層碳化去掉。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的柔性顯示器制作方法，其特征在于，所述步驟（1)中，通過 在載體上采用涂布的方式制備濕膜，然后進(jìn)行烘烤獲得剝離層；或者采用粘貼塑料薄膜的 方式在載體上制備剝離層。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的柔性顯示器制作方法，其特征在于，在所述步驟（2)中，采 用物理或氣相沉積方法或原子層沉積的方法在所述剝離層上制備粘結(jié)層，所述粘結(jié)層為無 機(jī)膜層、非晶硅層或氧化銦錫層，該無機(jī)膜層為氮化硅或氧化硅或者兩者之間的間隔堆疊 或兩者的混合物薄層。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的柔性顯示器制作方法，其特征在于，所述剝離層的材質(zhì)為聚 酰亞胺、聚乙烯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯或玻璃紙。
6. -種柔性顯示器，其特征在于，所述柔性顯示器包括封裝層與下柔性基板及設(shè)于該 封裝層與下柔性基板之間的顯示組件，所述下柔性基板包括軟玻璃及設(shè)于該軟玻璃一側(cè)的 粘結(jié)層，所述顯示組件設(shè)于該封裝層與該下柔性基板的軟玻璃之間。
7. 如權(quán)利要求6所述的柔性顯示器，其特征在于，所述封裝層包括上柔性基板及設(shè)于 該上柔性基板與所述下柔性基板之間邊緣的封裝柱，該上柔性基板包括軟玻璃及設(shè)于該軟 玻璃遠(yuǎn)離所述顯示組件一側(cè)的粘結(jié)層，所述上柔性基板的軟玻璃與下柔性基板的軟玻璃相 對設(shè)置。
8. 如權(quán)利要求7所述的柔性顯示器，其特征在于，所述顯示組件設(shè)于所述下柔性基板 的軟玻璃上，所述下柔性基板的粘結(jié)層遠(yuǎn)離該下柔性基板的軟玻璃的一側(cè)設(shè)有剝離層。
9. 如權(quán)利要求7所述的柔性顯示器，其特征在于，所述顯示組件設(shè)于所述上柔性基板 的軟玻璃上，所述上柔性基板的粘結(jié)層遠(yuǎn)離該上柔性基板的軟玻璃的一側(cè)設(shè)有剝離層。
10. 如權(quán)利要求6所述的柔性顯示器，其特征在于，所述封裝層為設(shè)于所述顯示組件之 上的薄膜層，該薄膜層為至少一層無機(jī)氧化物膜層或至少一層有機(jī)物膜層，或一層無機(jī)氧 化物膜層與一層有機(jī)物膜層間隔堆疊設(shè)置。
【文檔編號】H01L21/301GK104051496SQ201410243881
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月4日
【發(fā)明者】劉玉成, 林立, 葛泳, 朱濤 申請人:昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司, 昆山國顯光電有限公司