柔性基板及其制造方法、顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種柔性基板及其制造方法、顯示裝置，所述柔性基板包括顯示面板區(qū)域和柔性印刷電路板區(qū)域，其中：所述顯示面板區(qū)域包括：柔性襯底；柵極，形成在所述柔性襯底上；柵極絕緣層，形成在所述柵極上；有源層，形成在所述柵極絕緣層上；源極和漏極，形成在所述有源層上；鈍化層，形成在所述源極和所述漏極上；像素電極，通過(guò)所述鈍化層上的開(kāi)口與所述漏極電連接；所述柔性印刷電路板區(qū)域包括：導(dǎo)線結(jié)構(gòu)，形成在所述柔性襯底上，且所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)由制備所述柵極、所述源極和漏極和所述像素電極的材料中的至少一種組合構(gòu)成。
【專利說(shuō)明】柔性基板及其制造方法、顯示裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種柔性基板及其制造方法、顯示裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 集成化是顯示技術(shù)將來(lái)的一個(gè)重要發(fā)展趨勢(shì)，可有效推動(dòng)顯示器件往更高精細(xì) 度、更輕薄、更省電的方向發(fā)展。隨著薄膜晶體管（TFT)器件電子遷移率的提升和工藝線寬 的細(xì)化，掃描驅(qū)動(dòng)電路、數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)電路以及定時(shí)器（Tcon)、存儲(chǔ)器、CPU等往基板上的集成 都成為可能。
[0003] 驅(qū)動(dòng)集成電路在顯示屏上的存在形式主要有TAB (Tape Aotomated Bonding,即卷 帶自動(dòng)鍵合）、C0B(Chip On Board，即板上芯片封裝）、C0G(Chip On Glass，即玻璃上芯片 封裝）、C0F (Chip On Film,即膜上芯片封裝）、CIA (Chip in Array,即陣列基板內(nèi)芯片封 裝）等，其中TAB是將封裝形式為T(mén)CP(Tape Carrier Package，即帶載封裝）的集成電路用 各向異性導(dǎo)電膠分別固定在LCD (液晶顯示器）和PCB (印刷電路板）上；而C0B是將芯片直 接鍵合在PCB上；C0G是將芯片直接鍵合在玻璃上，這種安裝方式可大大減小整個(gè)LCD模塊 的體積，且易于大批量生產(chǎn)，適用于諸如手機(jī)、PDA等便攜式電子產(chǎn)品的消費(fèi)類電子產(chǎn)品用 IXD ;C0F是將芯片直接安裝在柔性PCB上，這種連接方式的集成度較高，外圍元件可以與集 成電路一起安裝在柔性PCB上；CIA是將芯片電路直接做在陣列基板上，較為成功的應(yīng)用是 將柵極集成電路直接集成在顯示屏上，而對(duì)于數(shù)據(jù)集成電路直接做在玻璃上，工藝難度大， 目前量產(chǎn)的手機(jī)產(chǎn)品上一般采用C0G的方式進(jìn)行。以上這些工藝都需要集成電路或柔性 印刷電路板（FPC)的引腳對(duì)位以及鍵合（bonding)工藝，因此存在對(duì)位誤差、接觸不良等問(wèn) 題，影響產(chǎn)品的良率。
[0004] 柔性印刷電路板（FPC)具有可曲可繞、體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn)，在電子產(chǎn)品起到導(dǎo) 通和橋梁的作用，使電子產(chǎn)品性能更好，體積更小。隨著大眾對(duì)柔性顯示的高度關(guān)注，集成 化生產(chǎn)是顯示面板生產(chǎn)的發(fā)展趨勢(shì)，需要在同一襯底上同時(shí)制備陣列基板和外圍柔性印刷 電路以降低生產(chǎn)成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是同一襯底上集成陣列基板和柔性印刷電路的問(wèn)題。
[0006] 為此目的，本發(fā)明提出了一種柔性基板，包括顯示面板區(qū)域和柔性印刷電路板區(qū) 域，其中：所述顯示面板區(qū)域包括：柔性襯底；柵極，形成在所述柔性襯底上；柵極絕緣層， 形成在所述柵極上；有源層，形成在所述柵極絕緣層上；源極和漏極，形成在所述有源層 上；鈍化層，形成在所述源極和所述漏極上；像素電極，通過(guò)所述鈍化層上的開(kāi)口與所述漏 極電連接；所述柔性印刷電路板區(qū)域包括：導(dǎo)線結(jié)構(gòu)，形成在所述柔性襯底上，且所述導(dǎo)線 結(jié)構(gòu)由制備所述柵極、所述源極和漏極和所述像素電極的材料中的至少一種組合構(gòu)成。
[0007] 本發(fā)明還提出了一種柔性基板的制造方法，包括：在柔性襯底上形成柵極金屬層， 并對(duì)所述柵極金屬層進(jìn)行構(gòu)圖以在顯示面板區(qū)域形成柵極；在所述柵極上依次形成柵極絕 緣層和有源層，并對(duì)所述柵極絕緣層和所述有源層進(jìn)行構(gòu)圖；在所述有源層上形成源極和 漏極；在所述源極和漏極上形成鈍化層，并在所述鈍化層上形成開(kāi)口以暴露出所述漏極的 至少一部分；在所述鈍化層上形成像素電極；其中，在所述形成柵極、所述形成源極和漏極 和所述形成像素電極中的至少一個(gè)步驟的同時(shí)在柔性印刷電路板區(qū)域內(nèi)形成導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。
[0008] 本發(fā)明進(jìn)一步提出了一種柔性顯示裝置，其包括上述柔性基板。
[0009] 通過(guò)采用本發(fā)明所公開(kāi)的柔性基板及其制造方法、顯示裝置，能在同一襯底上同 時(shí)制備顯示面板和周邊FPC，且無(wú)需FPC與顯示面板的對(duì)位和鍵合等工藝，顯著簡(jiǎn)化了生產(chǎn) 工藝，降低了制造成本。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010] 通過(guò)參考附圖會(huì)更加清楚的理解本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)，附圖是示意性的而不應(yīng)理 解為對(duì)本發(fā)明進(jìn)行任何限制，在附圖中：
[0011] 圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的柔性印刷電路板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012] 圖2示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的柔性基板的示意圖；
[0013] 圖3A至3D示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的柔性基板制造工藝的示意圖；
[0014] 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的柔性基板的示意圖；
[0015] 圖5A至?示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的柔性基板工藝的示意圖；
[0016] 圖6A和6B示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的柔性基板的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017] 下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0018] 圖1示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的柔性印刷電路板（FPC)的結(jié)構(gòu)示意圖。FPC經(jīng)曝 光、顯影、刻蝕后可在柔性基板上形成導(dǎo)電通路。FPC包括依次疊加的柔性襯底11、導(dǎo)電層 12、膠層13和覆蓋基材14構(gòu)成，柔性襯底11和覆蓋基材14可采用相同材料制成，例如可以 是PI (聚酰胺）膜或PET (聚酯）膜。PI價(jià)格較高但耐燃性較佳，PET價(jià)格較低但不耐熱， 因此若有焊接需求時(shí)大部分均選用PI材質(zhì)。
[0019] 圖2示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的柔性基板的示意圖。如圖2所示，顯示面板的陣 列基板與FPC基板共用同一襯底21，襯底21的材料包括但不限于柔性PI或PET材料。在 襯底21的顯示面板區(qū)域內(nèi)形成有薄膜晶體管（TFT)結(jié)構(gòu)，其中柵極22形成在襯底21上， 柵極絕緣層23形成在柵極22上并覆蓋柵極22,有源層24形成在柵極絕緣層23上，源極 25和漏極26形成在有源層24上，鈍化層27覆蓋源極25和漏極26,像素電極28通過(guò)鈍化 層27上的開(kāi)口與漏極26電連接。在襯底21的FPC區(qū)域內(nèi)，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)形成在柵極絕緣層23 上的開(kāi)口內(nèi)，并且導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的第一導(dǎo)電層31由制備TFT的柵極材料制成，第二導(dǎo)電層32由 制備TFT的源極/漏極材料制成，制備TFT的鈍化層27作為導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的絕緣保護(hù)層，對(duì)于 FPC上的電路引腳等區(qū)域，則去除掉鈍化層以暴露出導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。圖2只是示例，本發(fā)明的導(dǎo) 線結(jié)構(gòu)并不限于此，其可由制備TFT的柵極材料、源極/漏極材料、像素電極或上述任意組 合構(gòu)成，導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的材料包括但不限于Mo、Fe、Ag、Cu、A1、碳納米管、石墨烯等，但優(yōu)選電阻 率較低的材料，如金屬Cu、碳納米管、石墨烯等。
[0020] 圖3A至3D示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的柔性基板制造工藝的示意圖，仍然以TFT 的柵極金屬層和源/漏極金屬層的疊層作為FPC的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行說(shuō)明。
[0021] 如圖3A所示，采用濺射等方法在柔性襯底21上形成柵極金屬層，并通過(guò)光刻刻蝕 工藝，在顯示面板區(qū)域形成柵極22,同時(shí)在FPC區(qū)域形成第一導(dǎo)電層31，其中第一導(dǎo)電層31 的分布布局根據(jù)集成電路的需求而定。
[0022] 如圖3B所示，采用CVD、濺射等方法在柔性襯底21上形成柵極絕緣層23、有源層 24,并去除FPC區(qū)域內(nèi)的有源層24和部分柵極絕緣層23,以暴露出第一導(dǎo)電層31。
[0023] 如圖3C所示，采用濺射等方法形成源漏金屬層，并通過(guò)光刻刻蝕工藝，在顯示面 板區(qū)域形成源極25和漏極26,在FPC區(qū)域內(nèi)形成第二導(dǎo)電層32,并與第一導(dǎo)電層31形成 疊加效果，以增加導(dǎo)線厚度，降低電阻。
[0024] 如圖3D所示，采用CVD等方法形成鈍化層27,并在顯示面板區(qū)域的鈍化層27上形 成過(guò)孔以暴露出漏極26,并采用濺射、刻蝕等工藝制備像素電極28。對(duì)于FPC區(qū)域也可選 擇性地進(jìn)行過(guò)孔刻蝕，以便于后期焊接芯片導(dǎo)線。
[0025] 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的柔性基板的示意圖。如圖4所示，F(xiàn)PC區(qū)域 內(nèi)的導(dǎo)線結(jié)構(gòu)由與柵極同步形成的第一導(dǎo)電層31、與源/漏極同步形成的第二導(dǎo)電層32和 與像素電極同步形成的第三導(dǎo)電層33構(gòu)成，第三導(dǎo)電層33暴露在外部以便于后期焊接芯 片導(dǎo)線，同時(shí)由于第三導(dǎo)電層33與像素電極同步形成，采用諸如ΙΤ0等材料制成，有助于導(dǎo) 線氧化。
[0026] 圖5A至?示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的柔性基板工藝的示意圖。
[0027] 如圖5A所示，首先，將柔性襯底52用粘合劑材料貼合在承載板51上。柔性襯底 52可以采用PI或PET等材料，承載板51可以采用玻璃等硬質(zhì)材料。
[0028] 如圖5B所示，采用上文說(shuō)明的柔性基板制造工藝，同步完成TFT工藝制程和FPC 工藝制程，即形成了 TFT結(jié)構(gòu)和導(dǎo)線結(jié)構(gòu)53。
[0029] 如圖5C所示，將上基板54貼合在下方的柔性基板上，完成對(duì)盒及封裝工藝。
[0030] 如圖ro所示，從承載板上剝離得到柔性背板。
[0031] 圖6A和6B示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的柔性基板的示意圖。如圖6A所示，柔性 基板61上具有顯示面板區(qū)域61和FPC區(qū)域62。由于基板是柔性的，可以將FPC區(qū)域62置 于顯示面板區(qū)域61后面，如圖6B所示，從而有利于制備窄邊框的顯示裝置。根據(jù)本發(fā)明的 柔性顯示裝置包括但不限于電子紙顯示、0LED顯示、聚合物分散液晶膜顯示等。
[0032] 通過(guò)采用本發(fā)明的柔性基板及其制造方法，能在同一襯底上同時(shí)制備顯示面板及 周邊FPC，且無(wú)需FPC與顯示面板的對(duì)位和鍵合等工藝，顯著簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，降低了制造 成本，所制造的顯示裝置具備輕便、耐沖擊、便于攜帶等優(yōu)點(diǎn)。
[〇〇33] 雖然結(jié)合附圖描述了本發(fā)明的實(shí)施方式，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不脫離本 發(fā)明的精神和范圍的情況下作出各種修改和變型，這樣的修改和變型均落入由所附權(quán)利要 求所限定的范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種柔性基板，包括顯示面板區(qū)域和柔性印刷電路板區(qū)域，其中： 所述顯示面板區(qū)域包括： 柔性襯底； 柵極，形成在所述柔性襯底上； 柵極絕緣層，形成在所述柵極上； 有源層，形成在所述柵極絕緣層上； 源極和漏極，形成在所述有源層上； 鈍化層，形成在所述源極和所述漏極上； 像素電極，通過(guò)所述鈍化層上的開(kāi)口與所述漏極電連接； 所述柔性印刷電路板區(qū)域包括： 導(dǎo)線結(jié)構(gòu)，形成在所述柔性襯底上，且所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)由制備所述柵極、所述源極和漏極 和所述像素電極的材料中的至少一種組合構(gòu)成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板，其中所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)包括由制備所述柵極的材料構(gòu) 成的第一導(dǎo)電層和由制備所述源極和漏極的材料構(gòu)成的第二導(dǎo)電層。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性基板，其中所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)還包括由制備所述像素電極的 材料構(gòu)成的第三導(dǎo)電層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板，其中所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的材料包括M〇、Fe、Ag、Cu、Al、 碳納米管、或石墨烯。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板，其中所述柔性襯底包括PI或PET材料。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的柔性基板，其中所述柔性印刷電路板區(qū)域彎折 于所述顯示面板區(qū)域后面。
7. -種柔性基板的制造方法，包括： 在柔性襯底上形成柵極金屬層，并對(duì)所述柵極金屬層進(jìn)行構(gòu)圖以在顯示面板區(qū)域形成 柵極； 在所述柵極上依次形成柵極絕緣層和有源層，并對(duì)所述柵極絕緣層和所述有源層進(jìn)行 構(gòu)圖； 在所述有源層上形成源極和漏極； 在所述源極和漏極上形成鈍化層，并在所述鈍化層上形成開(kāi)口以暴露出所述漏極的至 少一部分； 在所述鈍化層上形成像素電極； 其中，在所述形成柵極、所述形成源極和漏極和所述形成像素電極中的至少一個(gè)步驟 的同時(shí)在柔性印刷電路板區(qū)域內(nèi)形成導(dǎo)線結(jié)構(gòu)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，在所述形成柵極的同時(shí)在所述柔性印刷電路板 區(qū)域內(nèi)形成所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的第一導(dǎo)電層，并且在所述形成源極和漏極的同時(shí)形成所述導(dǎo)線 結(jié)構(gòu)的第二導(dǎo)電層。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，還包括在所述形成像素電極的同時(shí)形成所述導(dǎo)線結(jié)構(gòu) 的第三導(dǎo)電層。
10. -種柔性顯示裝置，其包括根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的柔性基板。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK104091891SQ201410242864
【公開(kāi)日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年6月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月3日
【發(fā)明者】李文波, 劉廣輝 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司