一種防止二極管管芯臺面被污染的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，該方法是在硅片“打點”形成管芯臺面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺面流動并布滿整個管芯臺面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過管芯臺面表面的固態(tài)石蠟保護層隔絕管芯臺面與外界空氣的接觸，以達到防止管芯臺面被污染的目的。采用石蠟保護層替代現(xiàn)有保護層，以簡化生產工藝，縮短生產周期，降低生產成本。
【專利說明】一種防止二極管管芯臺面被污染的方法

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，屬于二極管制造【技術領域】。

【背景技術】
[0002] 二極管是電子行業(yè)使用最廣泛的一種電子元件，為了確保二極管的質量，在制造 過程需要對擴散后的硅片進行電壓檢測"打點"，"打點"后在硅片上形成管芯臺面，管芯臺 面是二極管的核心，若被污染則會影響二極管的質量，因此需要在管芯臺面生成保護層以 防止被污染?，F(xiàn)有的保護層生成方法工藝復雜，所用時間較長，成本高。并且現(xiàn)有技術需要 抽取樣片進行表面金屬化一芯片裂片一焊接一臺面腐蝕一臺面鈍化等后部工序，才能對擊 穿電壓進行檢測，因此，現(xiàn)有的防止二極管管芯臺面被污染的方法不僅存在著工藝復雜、所 用時間較長、成本高的問題，而且還存在著工序多、質量不易保證的問題。


【發(fā)明內容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于，提供一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，以簡化生產工 藝，縮短生產周期，降低生產成本，從而克服現(xiàn)有技術的不足。
[0004] 本發(fā)明的技術方案： 一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，該方法是在硅片"打點"形成管芯臺面后，將 適量固態(tài)石蠟放在管芯臺面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后 沿管芯臺面流動并布滿整個管芯臺面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內保持水平狀態(tài) 自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過管芯臺面表面的固態(tài)石蠟保護層隔絕管芯臺面與外 界空氣的接觸，以達到防止管芯臺面被污染的目的。
[0005] 前述方法中，所述將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺面上，其適量是指石蠟由固態(tài)變?yōu)?液態(tài)后可以布滿整個管芯臺面并不會從管芯臺面溢出為準。
[0006] 前述方法中，所述石蠟采用含雜質較少的白蠟。
[0007] 由于采用了上述技術方案，本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明采用石蠟保護層替代 現(xiàn)有保護層，大大簡化了加工工藝，有效地避免了原有工藝工序多、時間長、成本高的不足， 并且本發(fā)明還有效地簡化了生產工藝、縮短了生產周期、大大降低了生產成本。

【具體實施方式】
[0008] 下面結合實施例對本發(fā)明作進一步的詳細說明，但不作為對本發(fā)明的任何限制。 實施例
[0009] 本發(fā)明的一種防止二極管管芯臺面被污染的方法為，該方法是在現(xiàn)有的硅片"打 點"工藝形成管芯臺面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺面上，石蠟采用現(xiàn)有技術中的含雜質 較少的白蠟；而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺面流動并 布滿整個管芯臺面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重
【權利要求】
1. 一種防止二極管管芯臺面被污染的方法，其特征在于：該方法是在硅片"打點"形成 管芯臺面后，將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺面上，而后將硅片水平放入烘箱加熱，使石蠟由固 態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后沿管芯臺面流動并布滿整個管芯臺面后然后切斷烘箱電源，使硅片在烘箱內 保持水平狀態(tài)自然冷卻至石蠟重新凝固成固態(tài)，通過管芯臺面表面的固態(tài)石蠟保護層隔絕 管芯臺面與外界空氣的接觸，以達到防止管芯臺面被污染的目的。
2. 根據(jù)權利要求1所述施工方法，其特征在于：所述將適量固態(tài)石蠟放在管芯臺面上， 其適量是指石蠟由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)后可以布滿整個管芯臺面并不會從管芯臺面溢出為準。
3. 根據(jù)權利要求1所述方法，其特征在于：所述石蠟采用含雜質較少的白蠟。
【文檔編號】H01L21/02GK104064447SQ201410170033
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權日:2014年4月25日
【發(fā)明者】袁錕, 王智, 姚俊, 趙志云 申請人:中國振華集團永光電子有限公司