一種手動式加酸工具的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種濕法刻蝕機臺的附屬裝置，尤其涉及一種手動式加酸工具，該手動式加酸工具包括保護箱和位于保護箱內部的抗腐蝕容器，所述抗腐蝕容器頂部設置有密封裝置，該密封裝置上設置有氣體輸入管和液體導出管，所述氣體輸入管上連接有氣體泄壓管；所述保護箱的側壁上設置有氣體輸入管口和液體導出管口以及氣體泄壓管口，所述氣體泄壓管上設置有手動泄壓閥。從而避免了由于抗腐蝕容器內的酸性液態(tài)化學物質泄露而導致的人員及環(huán)境安全隱患，同時也避免了在操作過程中化學物質揮發(fā)對人體產生的傷害。由于本實用新型工具為手動式加酸，使得在使用本工具進行加酸時，不用借助外接的能源，具有經濟環(huán)保的效果。
【專利說明】—種手動式加酸工具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種濕法刻蝕機臺的附屬裝置，尤其涉及一種手動式加酸工具?！颈尘凹夹g】
[0002]加酸工具屬于濕法刻蝕機臺的附屬裝置，用于給濕法刻蝕機臺提供所需要的酸性液態(tài)化學物質。目前，都是人工手動用吸油管把酸性液態(tài)化學物質從抗腐蝕容器中抽到機臺進行作業(yè)，且操作人員需穿戴完整的安全防護裝置。此種方法存在一定的缺陷，如由于吸油管經常實用容易老化，有酸性液態(tài)化學物質漏射的風險，并且無法避免在操作過程中揮發(fā)出來的化學物質，以及由于操作人員需穿戴完整的安全防護裝置而引起的操作不便和身體內部很熱等問題。
[0003]中國專利(申請?zhí)?201310289645.7)實用新型公開了一種加酸工具，包括機體和注酸機構，注酸機構包括設在機體上的注酸頭，機體上設有輸送待注酸電池的輸送帶I和輸出注酸完成后的電池的輸送帶II，機體上設有用于將輸送帶I上的待注酸電池推至注酸頭下方并將注酸頭下方的注酸完成后的電池推至輸送帶II的推送機構，推送機構包括導軌和設在導軌上的推桿，推桿與驅動機構III傳動連接并由驅動機構帶動在導軌上往復移動。本發(fā)明通過設置導軌和推桿，待注酸電池在從輸送帶推送至注酸頭下方時精確度相對較高。該工具未提到如保護箱等防護設備，存在酸性液態(tài)化學物質漏射等風險。
[0004]中國專利(申請?zhí)?201120180656.8)實用新型公開了一種加酸工具，包括加酸平臺和設置在所述加酸平臺上方的注酸模，還包括天平，所述天平設置在所述加酸平臺上，且位于所述加酸模下方。該加酸機將加酸與稱量過程結合在一起，減少了生產流程，同時在加酸過程中稱量加酸量，可以隨時統(tǒng)計蓄電池加酸量，避免了抽檢過程，且通過滾道傳輸蓄電池，降低了工人的勞動強度。該工具并未解決現有技術中抗腐蝕容器泄露導致的操作人員環(huán)境安全隱患。
實用新型內容
[0005]鑒于上述問題，本實用新型提供一種手動式加酸工具。
[0006]本實用新型解決技術問題所采用的技術方案為:
[0007]一種手動式加酸工具，其中，所述加酸工具包括保護箱和位于保護箱內部的抗腐蝕容器；
[0008]所述抗腐蝕容器頂部設置有密封裝置，該密封裝置上設置有氣體輸入管和液體導出管，所述氣體輸入管上連接有氣體泄壓管；
[0009]所述保護箱的側壁上設置有氣體輸入管口和液體導出管口以及氣體泄壓管口 ；
[0010]所述氣體輸入管包括氣體輸入口和氣體輸出口，該氣體輸入口通過所述氣體輸入管口與外部設備連接，所述氣體輸入管的氣體輸出口插入到所述抗腐蝕容器的內部；
[0011]所述液體導出管包括液體導入口和液體導出口，該液體導入口插入到所述抗腐蝕容器的內部，所述液體導出管的液體導出口通過所述液體導出管口與外部設備連接；[0012]所述氣體泄壓管上設置有手動泄壓閥。
[0013]所述的手動式加酸工具，其中，所述保護箱的上表面設置有板狀開口。
[0014]所述的手動式加酸工具，其中，所述抗腐蝕容器固定于所述保護箱的底部。
[0015]所述的手動式加酸工具，其中，所述氣體輸入管上設置有第一手動閥門和調壓閥門。
[0016]所述的手動式加酸工具，其中，所述氣體泄壓管上還設置有自動泄壓閥門。
[0017]所述的手動式加酸工具，其中，所述液體導出管上設置有第二手動閥門。
[0018]所述的手動式加酸工具，其中，所述液體導出管的液體導入口位于所述抗腐蝕容器的底部。
[0019]所述的手動式加酸工具，其中，所述氣體輸入管的氣體輸入口高于所述液體導出管的液體導入口。
[0020]所述的手動式加酸工具，其中，所述第一手動閥門和調壓閥門均設置于位于所述氣體輸入管口和所述氣體輸入口之間的所述氣體輸入管上。
[0021]所述的手動式加酸工具，其中，所述第二手動閥門位于所述保護箱的外部。
[0022]上述技術方案具有如下優(yōu)點或有益效果:
[0023]本實用新型通過在保護箱內設置抗腐蝕容器，使本實用新型工具有效防止抗腐蝕容器內的酸性液態(tài)化學物質泄露導致的人員及環(huán)境安全隱患，同時也避免了在操作過程中化學物質揮發(fā)對人體產生的傷害；本實用新型工具的加酸方式為手動式加酸，使得在使用本工具進行加酸時，不用借助外接的能源，具有經濟環(huán)保的效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]參考所附附圖，以更加充分的描述本實用新型的實施例。然而，所附附圖僅用于說明和闡述，并不構成對本實用新型范圍的限制。
[0025]圖1是本實用新型手動式加酸工具的保護箱外部結構示意圖。
[0026]圖2是本實用新型手動式加酸工具的保護箱內部結構示意圖。
【具體實施方式】
[0027]下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。
[0028]圖1是本實用新型手動式加酸工具的保護箱外部結構示意圖；如圖1所示，一種手動式加酸工具，包括保護箱11和位于該保護箱11內部的抗腐蝕容器12，優(yōu)選的，所述抗腐蝕容器內部裝有酸性液體，頂部設有密封裝置(圖中未標出)，且所述抗腐蝕容器12由固定裝置(圖中未標出)固定于所述保護箱11的內部，以避免實際操作中由于所述抗腐蝕容器12的不穩(wěn)定而導致該抗腐蝕容器內的酸性液體濺出；所述保護箱的大小應保證在設置抗腐蝕容器后仍剩有足夠的空間來設置其他設備，如導管設備等；所述保護箱11的外壁的一側設置有氣體輸入管口 13和液體導出管口 14，該氣體輸入管口 13和液體導出管口 14作為保護箱11內部導管設備與外界連接的通道，且所述氣體輸入管口 13的半徑小于所述液體導出關口 14的半徑；在與所述設置有氣體輸入管口 13和液體導出管口 14的側壁的對面位置的側壁上設置有氣體泄壓管口 15 ;所述設置有氣體輸入管口 13和液體導出管口 14的側壁以及相對側壁分別設置有凹槽結構19，該凹槽結構19可方便搬抬所述保護箱11 ;所述保護箱11的上表面設置有板狀開口 16，以及板狀開口 16的固定裝置17和把手裝置18，所述板狀開口 16具有閉合狀態(tài)和打開狀態(tài)，用以方便對所述抗腐蝕容器12內添加酸性液體；所述固定裝置17為可拆卸式裝置，在實際操作中將所述抗腐蝕容器12固定于所述保護箱11的底部，如需將所述抗腐蝕容器12從所述保護箱11內取出時，也可拆下所述固定裝置17，從而方便不同工藝時的需要；所述把手裝置18為凹陷式結構，當需要搬運所述保護箱11時，操作人員可將兩手的手指分別放入兩個把手裝置內，以此方便搬運。
[0029]優(yōu)選的，所述保護箱的材質為抗腐蝕材質，以對抗腐蝕容器12內的酸性液體和揮發(fā)出的酸性氣體形成有效的阻擋作用。
[0030]如圖2所示，在氣體輸入管21上依次設置有第一手動閥門22和調壓閥門23 ;所述第一手動閥門22相較于所述調壓閥門23更靠近于氣體輸入管21的氣體輸入口 26，且該第一手動閥門22與所述調壓閥門23為串聯式結構；在所述調壓閥門23與所述氣體輸入管21的氣體輸出口 27之間還連接有氣體泄壓管35，該氣體泄壓管上35上設置有手動泄壓閥門24和自動泄壓閥門25，且該手動泄壓閥門24和所述自動泄壓閥門25為并聯式結構，上述氣體泄壓管35的一端與氣體輸入管21相連接，另一端插入上述位于保護箱11側壁的氣體泄壓管口 15 ;上述的氣體輸入管21的氣體輸出口 27位于所述抗腐蝕容器12內酸性液體30的上方且不與該酸性液體30相接處；所述酸性液體30之中浸沒有液體導出管31的液體導入口 28，所述液體導出管31上還設置有第二手動閥門34，用來控制導出的酸性液體30，且所述液體導出管31的液體導出口 32連接于外部的刻蝕機臺(由于結構關系，機臺未在圖中標出)來進行濕法刻蝕工藝。
[0031]優(yōu)選的，所述調壓閥門23還設置有壓力表33，從而使操作人員能夠更加方便的了解工具內部的使用情況。
[0032]下面結合附圖對本實用新型一種手動式加酸工具的使用方法進行說明:
[0033]首先，如圖1所示，利用保護箱11上表面的把手裝置18使板狀開口 16圍繞固定裝置17做軸心旋轉，直到所述板狀開口 16處于打開狀態(tài)；然后將酸性液體30注入到抗腐蝕容器12內，并且不能超過所述抗腐蝕容器可承受的最大壓力值(優(yōu)選的，注入量為抗腐蝕容器12容積的2/3)，以保障操作的安全性；然后關閉板狀開口 16，設定自動泄壓閥門25的閥值，優(yōu)選的，該閥值應小于容器可承受最大壓力值的2/3，并且設定調壓閥門22的壓力值不得高于所述自動泄壓閥門25的閥值，為操作的安全性提供進一步的保障，至此準備工作完成。
[0034]然后，打開位于液體導出管31上的第二手動閥門34，同時打開第一手動閥門22使輸入氣體由氣體輸入口 26進入到氣體輸入管21內；優(yōu)選的，輸入氣體為N2 ;所述輸入氣體經過調壓閥門23后到達所述氣體輸入管21的氣體輸出口 27，其中，操作人員可以通過所述調壓閥門后面的壓力表33來觀察輸入氣體的壓力值，從而可以通過調壓閥門進行手動的氣壓調節(jié)，以滿足不同工藝中的不同需求；同時，如果所述自動泄壓閥門25出現了故障，還可以利用與該自動泄壓閥門25相并聯的手動泄壓閥門24來降低氣體壓力值，實現對操作人員的人身安全的最大保障，其中，被所述手動泄壓閥門24或自動泄壓閥門25排出的氣體則通過插入到氣體泄壓管口 15的氣體泄壓管35來排放到外界，以此防止易揮發(fā)氣體外泄，從而可以進一步保護環(huán)境及人身安全，同時考慮到被排放到外界的氣體可能會對環(huán)境造成污染，所以本實施例選擇了化學性質較為穩(wěn)定的N2作為輸入氣體，從而達到環(huán)保的功效。[0035]進一步的，由于輸入的氣體增大了抗腐蝕容器內的氣壓，迫使抗腐蝕容器12內的酸性液體30通過液體導入口 28進入到液體導出管31內，所述酸性液體可以是王水(即HC1/HNO3混酸)等；由于第二手動閥門34已處于打開狀態(tài)，所以所述酸性液體將會通過所述保護箱11側壁的液體導出管口 14流向外界的濕法刻蝕機臺，并完成加酸工藝。
[0036]綜上所述，本實用新型通過在保護箱內設置抗腐蝕容器，使本實用新型工具有效防止抗腐蝕容器內的酸性液態(tài)化學物質泄露導致的人員及環(huán)境安全隱患，同時也避免了在操作過程中化學物質揮發(fā)對人體產生的傷害；本實用新型工具的手動式加酸以及選擇N2作為輸入的氣體，使得在使用本工具進行加酸時，不用借助外接的能源，具有經濟環(huán)保的效果O
[0037]對于本領域的技術人員而言，閱讀上述說明后，各種變化和修正無疑將顯而易見。因此，所附的權利要求書應看作是涵蓋本實用新型的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權利要求書范圍內任何和所有等價的范圍與內容，都應認為仍屬本實用新型的意圖和范圍內。
【權利要求】
1.一種手動式加酸工具，其特征在于，所述加酸工具包括保護箱和位于保護箱內部的抗腐蝕容器； 所述抗腐蝕容器頂部設置有密封裝置，該密封裝置上設置有氣體輸入管和液體導出管，所述氣體輸入管上連接有氣體泄壓管； 所述保護箱的側壁上設置有氣體輸入管口和液體導出管口以及氣體泄壓管口； 所述氣體輸入管包括氣體輸入口和氣體輸出口，該氣體輸入口通過所述氣體輸入管口與外部設備連接，所述氣體輸入管的氣體輸出口插入到所述抗腐蝕容器的內部； 所述液體導出管包括液體導入口和液體導出口，該液體導入口插入到所述抗腐蝕容器的內部，所述液體導出管的液體導出口通過所述液體導出管口與外部設備連接； 所述氣體泄壓管上設置有手動泄壓閥。
2.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述保護箱的上表面設置有板狀開口。
3.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述抗腐蝕容器固定于所述保護箱的底部。
4.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述氣體輸入管上設置有第一手動閥門和調壓閥門。
5.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述氣體泄壓管上還設置有自動泄壓閥門。
6.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述液體導出管上設置有第二手動閥門。
7.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述液體導出管的液體導入口位于所述抗腐蝕容器的底部。
8.如權利要求1所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述氣體輸入管的氣體輸入口高于所述液體導出管的液體導入口。
9.如權利要求4所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述第一手動閥門和調壓閥門均設置于位于所述氣體輸入管口和所述氣體輸入口之間的所述氣體輸入管上。
10.如權利要求6所述的手動式加酸工具，其特征在于，所述第二手動閥門位于所述保護箱的外部。
【文檔編號】H01L21/67GK203631501SQ201320746956
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年11月22日 優(yōu)先權日:2013年11月22日
【發(fā)明者】雍杰, 朱炎軍 申請人:中航（重慶）微電子有限公司