一種分體式多用硅片承載器的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種分體式多用硅片承載器，包括一對豎向的擋板和兩端分別連接在擋板上的支承桿，所述支承桿主要由位于底部的底桿與位于其上方的側(cè)桿組成，所述側(cè)桿具有用于插接硅片的卡槽，所述側(cè)桿至少為兩對且沿著擋板的豎向排布，每對中的兩個側(cè)桿分設(shè)在擋板的兩側(cè)，所述側(cè)桿的兩端與擋板之間通過調(diào)節(jié)機構(gòu)相連，所述側(cè)桿通過調(diào)節(jié)機構(gòu)可沿著擋板的橫向移動并定位以調(diào)節(jié)每對側(cè)桿之間的距離從而實現(xiàn)承載不同型號的硅片。本實用新型的調(diào)節(jié)機構(gòu)可以調(diào)節(jié)側(cè)桿在其上的位置，實現(xiàn)每對側(cè)桿間距可調(diào)以適應(yīng)承載不同型號的硅片，因此，當(dāng)需要承載其它型號的硅片時，不用更換其它規(guī)格承載器，提高了工作效率，也大大減少了承載器數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】一種分體式多用硅片承載器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種硅片存放工具，尤其涉及一種分體式多用硅片承載器，主要適用于清洗設(shè)備和甩干設(shè)備中。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，國內(nèi)用于承載硅片的承載器包括一對豎向的擋板與兩端固定在擋板上的支承桿，支承桿主要由位于底部用于承托硅片的底桿與具有卡槽的側(cè)桿組成，硅片插接在卡槽中且位于側(cè)桿與底桿構(gòu)成的框架空間中。由于側(cè)桿與擋板為焊接連接，使得承載器為一整體結(jié)構(gòu)而無法拆分，因此在其使用過程中存在以下缺陷:⑴無論承載器的任何部位損壞都會影響其使用效果，必須整體報廢，造成嚴重成本浪費；⑵每種規(guī)格的硅片承載器只能承載一種型號的硅片，如果需要承載其它型號的硅片，只能更換其它規(guī)格的承載器，因此會影響工作效率；(3)因為每種規(guī)格的承載器只能承載一種型號的硅片，所以需要配備不同規(guī)格的承載器，導(dǎo)致承載器的數(shù)量較多，造成生產(chǎn)成本增加。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)效率、可適用于承載多種型號硅片的分體式多用硅片承載器。
[0004]本實用新型的目的通過以下的技術(shù)措施來實現(xiàn):一種分體式多用硅片承載器，包括一對豎向的擋板和兩端分別連接在擋板上的支承桿，所述支承桿主要由位于底部的底桿與位于其上方的側(cè)桿組成，所述側(cè)桿具有用于插接硅片的卡槽，其特征在于:所述側(cè)桿至少為兩對且沿著擋板的豎向排布，每對中的兩個側(cè)桿分設(shè)在擋板的兩側(cè)，所述側(cè)桿的兩端與擋板之間通過調(diào)節(jié)機構(gòu)相連，所述側(cè)桿通過調(diào)節(jié)機構(gòu)可沿著擋板的橫向移動并定位以調(diào)節(jié)每對側(cè)桿之間的距離從而實現(xiàn)承載不同型號的硅片。
[0005]本實用新型的調(diào)節(jié)機構(gòu)可以調(diào)節(jié)側(cè)桿在其上的位置，實現(xiàn)每對側(cè)桿之間的距離可調(diào)以適應(yīng)承載不同型號的硅片，因此，當(dāng)需要承載其它型號的硅片時，不用更換其它規(guī)格的承載器，從而提高了工作效率；另外，也大大減少了承載器的數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。
[0006]作為本實用新型的一種實施方式，所述調(diào)節(jié)機構(gòu)主要由安裝孔與固定部件組成，所述安裝孔開設(shè)在所述擋板上，所述安裝孔為沿擋板橫向延伸的長形孔，所述側(cè)桿的兩端穿過安裝孔并可沿著安裝孔移動并由固定部件固定，實現(xiàn)每對側(cè)桿間距可調(diào)。同時，側(cè)桿也便于從擋板上拆卸下來，方便更換，無論本實用新型任何部位損壞，只需更換零部件即可，解決了現(xiàn)有承載器任何部位損壞均整體報廢以致成本較高的問題，而且本實用新型的結(jié)構(gòu)簡單，能夠降低生產(chǎn)成本。
[0007]本實用新型所述的底桿與所述擋板為可拆卸連接。
[0008]作為本實用新型的一種改進，所述安裝孔延伸至擋板的側(cè)邊沿上形成斷口，使側(cè)桿可從該斷口進行拆裝，進一步提高了側(cè)桿拆裝的便利性。
[0009]本實用新型可同時適用于清洗設(shè)備和甩干設(shè)備中，作為本實用新型的進一步改進，所述擋板的邊緣上設(shè)有用于與清洗設(shè)備相連的卡口，其中一個擋板的中部開有與甩干設(shè)備相固定的固定孔，該擋板的上邊緣具有與清洗設(shè)備或者甩干設(shè)備相配合的淺口槽，另一個擋板的上邊緣具有與清洗設(shè)備或者甩干設(shè)備相配合的深口槽。
[0010]本實用新型還可以做以下改進，所述擋板的上部兩側(cè)開設(shè)有用于搬運的操作孔。
[0011]優(yōu)選地，所述側(cè)桿采用螺桿，所述螺桿相鄰螺紋之間的凹槽作為所述卡槽。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下顯著的效果:
[0013]本實用新型的側(cè)桿便于拆裝，改變了現(xiàn)有承載器的整體性，無論是承載器的任何部位損壞，只需更換零部件即可，解決了整體報廢問題，降低了生產(chǎn)成本；通過調(diào)節(jié)側(cè)桿的間距可承載不同型號的硅片，避免了承載器的更換，大大減少了承載器的數(shù)量，既提高了生產(chǎn)效率,又降低生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。
[0015]圖1是本實用新型的主視圖；
[0016]圖2是本實用新型的左視圖；
[0017]圖3是本實用新型的右視圖；
[0018]圖4是本實用新型的俯視圖。
【具體實施方式】
[0019]如圖1?4所示，是本實用新型一種分體式多用硅片承載器，包括一對豎向的擋板
1、2和兩端分別連接在擋板1、2上的支承桿，支承桿主要由位于底部的底桿3與位于其上方的側(cè)桿組成，底桿3與擋板1、2為可拆卸連接，具體采用螺絲連接。側(cè)桿具有用于插接硅片的卡槽，在本實施例中，側(cè)桿采用螺桿4，螺桿4相鄰螺紋之間的凹槽作為卡槽。螺桿4為兩對且沿著擋板1、2的豎向排布，每對中的兩個螺桿4分設(shè)在擋板1、2的兩側(cè)，螺桿4的兩端與擋板1、2之間通過調(diào)節(jié)機構(gòu)相連，螺桿4通過調(diào)節(jié)機構(gòu)可沿著擋板的橫向移動并定位以調(diào)節(jié)每對螺桿4之間的距離從而實現(xiàn)承載不同型號的硅片。
[0020]在本實施例中，調(diào)節(jié)機構(gòu)主要由安裝孔與固定部件組成，固定部件采用螺母5，安裝孔11、21分別開設(shè)在擋板1、2上，安裝孔11、21為沿擋板1、2橫向延伸的長形孔，螺桿4的兩端穿過安裝孔11、21并可沿著安裝孔11、21移動并由螺母5固定，實現(xiàn)每對螺桿4間距可調(diào)。同時，螺桿4也便于從擋板上拆卸下來，方便更換。
[0021]本實用新型可同時適用于清洗設(shè)備和甩干設(shè)備中，擋板1、2的邊緣上設(shè)有用于與清洗設(shè)備相連的卡口 12，其中一個擋板I的中部開有與甩干設(shè)備相固定的固定孔13，該擋板I的上邊緣具有與清洗設(shè)備或者甩干設(shè)備相配合的淺口槽14，另一個擋板2的上邊緣具有與清洗設(shè)備或者甩干設(shè)備相配合的深口槽15。在擋板1、2的上部兩側(cè)開設(shè)有用于搬運的操作孔16。
[0022]本實用新型的實施方式不限于此，根據(jù)本實用新型的上述內(nèi)容，按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段，在不脫離本實用新型上述基本技術(shù)思想前提下，本實用新型的調(diào)節(jié)機構(gòu)還可以采用其它實施方式；側(cè)桿至少為兩對；安裝孔還可以延伸至擋板的側(cè)邊沿上形成斷口，使側(cè)桿可從該斷口進行拆裝。因此，本實用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本實用新型權(quán)利保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種分體式多用硅片承載器，包括一對豎向的擋板和兩端分別連接在擋板上的支承桿，所述支承桿主要由位于底部的底桿與位于其上方的側(cè)桿組成，所述側(cè)桿具有用于插接硅片的卡槽，其特征在于:所述側(cè)桿至少為兩對且沿著擋板的豎向排布，每對中的兩個側(cè)桿分設(shè)在擋板的兩側(cè)，所述側(cè)桿的兩端與擋板之間通過調(diào)節(jié)機構(gòu)相連，所述側(cè)桿通過調(diào)節(jié)機構(gòu)可沿著擋板的橫向移動并定位以調(diào)節(jié)每對側(cè)桿之間的距離從而實現(xiàn)承載不同型號的硅片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分體式多用硅片承載器，其特征在于:所述調(diào)節(jié)機構(gòu)主要由安裝孔與固定部件組成，所述安裝孔開設(shè)在所述擋板上，所述安裝孔為沿擋板橫向延伸的長形孔，所述側(cè)桿的兩端穿過安裝孔并可沿著安裝孔移動并由固定部件固定，實現(xiàn)每對側(cè)桿間距可調(diào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分體式多用硅片承載器，其特征在于:所述安裝孔延伸至擋板的側(cè)邊沿上形成斷口，使側(cè)桿可從該斷口進行拆裝。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一項所述的分體式多用硅片承載器，其特征在于:所述底桿與所述擋板為可拆卸連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分體式多用硅片承載器，其特征在于:所述擋板的邊緣上設(shè)有用于與清洗設(shè)備相連的卡口，其中一個擋板的中部開有與甩干設(shè)備相固定的固定孔，該擋板的上邊緣具有與清洗設(shè)備或者甩干設(shè)備相配合的淺口槽，另一個擋板的上邊緣具有與清洗設(shè)備或者甩干設(shè)備相配合的深口槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分體式多用硅片承載器，其特征在于:所述擋板的上部兩側(cè)開設(shè)有用于搬運的操作孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分體式多用硅片承載器，其特征在于:所述側(cè)桿采用螺桿，所述螺桿相鄰螺紋之間的凹槽作為所述卡槽。
【文檔編號】H01L21/673GK203644741SQ201320740352
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月20日
【發(fā)明者】趙雄飛, 侯占廳 申請人:晶澳太陽能有限公司