用于晶片甩干的卡匣的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一用于晶片甩干的卡匣。該卡匣包含一靜電釋放單元，用以釋放甩干過程中產(chǎn)生的靜電粒子，以減少因甩干過程中產(chǎn)生的靜電而造成的晶片電性良率下降問題。
【專利說明】用于晶片甩干的卡匣
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種晶片甩干卡匣，其可應用于晶片甩干機。
【背景技術】
[0002]在半導體器件制造中，光刻、劃裂及ICP等工藝過程中均需對晶片進行清洗和甩干。而在甩干過程中易產(chǎn)生靜電粒子累積在晶片中造成晶片電性良率降低，尤其是置于甩干卡匣(英文為cassette)后端的晶片更易受此現(xiàn)象影響。附圖1為現(xiàn)有常用的晶片甩干卡匣(具體可參看美國專利前案US3，961,877),其一般為注壓塑料成型，無法有效消除甩干過程中產(chǎn)生的靜電效應，從而影響晶片的電性良率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本實用新型提出了一種帶有靜電釋放單元的甩干卡匣，其在甩干過程中可有效消除靜電效應，改善晶片電性良率。
[0004]本實用新型解決技術的技術方案為:甩干卡匣具有一本體,該本體含有:敞開的底部；兩側(cè)壁，含有多個用于固定晶片的卡槽；卡匣前端，包含一 H型連接部；卡匣后端，包含一靜電釋放單元。
[0005]優(yōu)選的，所述卡匣前端為H型連接部。
[0006]優(yōu)選的，根據(jù)權利要求1所述的晶片甩干卡匣，其特征在于:所述存放于卡匣內(nèi)的晶片在卡匣后端的投影位于所述靜電釋放單元內(nèi)或與該靜電釋放單元重合。
[0007]在一些實施例中，該靜電釋放單元為所述本體的組成部分，直接與所述兩側(cè)壁連接，材質(zhì)為具有導電性能的導電塑料。
[0008]在一些實施例中，該靜電釋放單元也可為一獨立個體，如為導電金屬片或鍍有導電層的晶片，在使用時安裝于甩干卡匣的后端，其形狀可為晶片形狀、長方形或正方形等，滿足存放于卡匣內(nèi)的晶片在卡匣后端的投影位于所述靜電釋放單元內(nèi)或與該靜電釋放單元重合即可。
[0009]本實用新型至少具有以下有益效果:所述靜電釋放單元可有效耗散甩干過程中產(chǎn)生的粒子，從而減小靜電效應對晶片電性能的影響，改善電性良率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本實用新型的限制。此外，附圖數(shù)據(jù)是描述概要，不是按比例繪制。
[0011]圖1為現(xiàn)有一種用于晶片甩干的卡匣結(jié)構(gòu)圖(US3，961，877)。
[0012]圖2為本實用新型之實施例1之一種用與晶片甩干的卡匣的俯視圖。
[0013]圖3為圖2所示用與晶片甩干的卡匣后部的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖4為圖2所示用與晶片甩干的卡匣前部的結(jié)構(gòu)示意圖。[0015]圖5為本實用新型之實施例2之一種用于晶片甩干的卡匣的俯視圖。
[0016]圖6為實施例2中晶片甩干卡匣的靜電釋放單元。
【具體實施方式】
[0017]下面各實施例公開了一種應用于晶片甩干機的卡匣。該卡匣在卡匣的尾端(在甩干機中遠離轉(zhuǎn)動軸的一端)設有靜電釋放單元，從而晶片放置于該卡匣中進行高速旋轉(zhuǎn)甩干過程可以消除靜電放電(ESD )。
[0018]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細說明。
[0019]實施例1
[0020]請參看附圖2，一種晶片甩干卡匣，具有本體，該本體包括:敞開的底部270、兩側(cè)壁230、卡匣前端210、卡匣后端220、包含于所述兩側(cè)壁之間的多個用于固定晶片的卡槽240。
[0021]具體的，所述兩側(cè)壁通過卡匣前端210和卡匣后端220進行連接。參看圖4，甩干卡匣前端210為H型連接部，包含橫欄212及豎直柱211。參看圖3，甩干卡匣后端220具有兩個分別直接與兩側(cè)壁230連接的豎直柱221，在豎直柱之間設有靜電釋放單元250。靜電釋放單元250構(gòu)成卡匣本體后部的組成部分，由具有導電特性的材質(zhì)制成，可為導電塑料等，耗散甩干過程中產(chǎn)生的粒子，消除靜電效應的影響，改善晶片的電性能。
[0022]實施例2
[0023]請參看附圖5飛，與實施例1不同的是，靜電釋放單元250為獨立個體，材質(zhì)為導電金屬片、鍍有導電層的晶片，或為具有導電功能的其他材料。在使用時直接安裝固定于卡匣后端220與靠近后端部最后一個卡槽之間，并且使存放于卡匣內(nèi)的晶片在卡匣后端220的投影位于所述靜電釋放單元內(nèi)或與該靜電釋放單元重合，用以耗散甩干過程中產(chǎn)生的粒子，從而最終改善晶片電性能。
[0024]如此，僅需在現(xiàn)有的晶片卡匣中稍作修改或無需改動，即可有效改善晶片的電性。
[0025]應當理解的是，上述具體實施方案為本發(fā)明的優(yōu)選實施例，本發(fā)明的范圍不限于該實施例，凡依本發(fā)明所做的任何變更，皆屬本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權利要求】
1.用于晶片甩干的卡匣，具有本體，該本體包括: 敞開的底部(270)、兩側(cè)壁(230)、卡匣前端(210)、卡匣后端(220);所述兩側(cè)壁通過卡匣前端(210)進行連接，之間包含多個用于固定晶片的卡槽(240);所述卡匣后端包含靜電釋放單元。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述卡匣安裝于甩干機內(nèi)進行作業(yè)時，通過所述靜電釋放單元釋放甩干過程中產(chǎn)生的粒子。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述卡匣前端為H型連接部。
4.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述存放于卡匣內(nèi)的晶片在卡匣后端的投影位于所述靜電釋放單元內(nèi)或與該靜電釋放單元重合。
5.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述靜電釋放單元材質(zhì)為導電塑料。
6.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述靜電釋放單元材質(zhì)為導電金屬片。
7.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述靜電釋放單元材質(zhì)為鍍有導電層的晶片。
8.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述靜電釋放單元為所述本體的組成部分，直接與所述兩側(cè)壁連接。
9.根據(jù)權利要求1所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述靜電釋放單元為獨立個體，使用時安裝于卡匣的后端。
10.根據(jù)權利要求9所述的用于晶片甩干的卡匣，其特征在于:所述靜電釋放單元形狀為晶片形狀、長方形或正方形。
【文檔編號】H01L21/673GK203553117SQ201320613817
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年10月8日 優(yōu)先權日:2013年10月8日
【發(fā)明者】黃照明, 張家豪, 徐翊翔, 徐勝娟, 黃欽澤 申請人:安徽三安光電有限公司