一種零交疊的梳齒型電容組的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種零交疊的梳齒型電容組，包括相對設(shè)置的可動端和固定端，在可動端與固定端相對的端面上分別相向伸出一排上梳齒和下梳齒，其特征在于：所述上梳齒與下梳齒之間交錯設(shè)置，且上梳齒、下梳齒的齒頭對齊并在同一水平線上。本實用新型的零交疊的梳齒型電容組，上下梳齒之間無交疊，且上下梳齒處于同一水平面，面積利用率高，能夠提供較大的電容變化量和較好的線性度。
【專利說明】—種零交疊的梳齒型電容組
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種電容組，尤其涉及一種零交疊的梳齒型電容組。
【背景技術(shù)】
[0002]微機電系統(tǒng)器件體積小、成本低、集成性好，已得以越來越廣泛的應用，如在移動終端、相機防抖、游戲手柄、玩具飛機、導航等產(chǎn)品中。MEMS器件中，尤其是慣性器件中，如力口速度計和陀螺儀，往往會需要驅(qū)動或檢測裝置。驅(qū)動或檢測可以通過壓電、壓阻及電容組等實現(xiàn)方式，其中電容組方式的驅(qū)動或檢測方式應用最為廣泛。電容式驅(qū)動依靠電容組兩端在外加電壓作用下的相對位移來實現(xiàn)。
[0003]電容組可以是平板電容組1，包括平板11和連接端12，平板11互相伸入至相對平板11之間的間隙13內(nèi)，如圖1?，F(xiàn)有的另一種梳齒電容組2，包括梳齒21和兩個連接端22，相對設(shè)置的梳齒21互相伸入至相對梳齒21之間的間隙23內(nèi)，如圖2。
[0004]在相同面積和相同相對位移前提下，平板電容組可以提供較大的電容變化量，不過線性度較差。普通梳齒電容組線性度較好，不過電容變化量較小。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中線性度較差、電容變化量較小的問題，提供一種零交疊的梳齒型電容組。
[0006]本實用新型的技術(shù)方案是:一種零交疊的梳齒型電容組，包括相對設(shè)置的可動端和固定端，在可動端與固定端相對的端面上分別相向伸出一排上梳齒和下梳齒，所述上梳齒與下梳齒之間交錯設(shè)置，且上梳齒、下梳齒的齒頭對齊并在同一水平線上。
[0007]所述上梳齒的梳齒長度相同。
[0008]所述上梳齒的相鄰梳齒之間的間隙與所述下梳齒的相鄰梳齒之間的間隙相同。
[0009]所述上梳齒與下梳齒的間隙相對，所述下梳齒與上梳齒的間隙相對。
[0010]本實用新型的零交疊的梳齒型電容組，上下梳齒之間無交疊，且上下梳齒處于同一水平面，面積利用率高，能夠提供較大的電容變化量和較好的線性度。
[0011]【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中平板電容組的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中梳齒電容組的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]【具體實施方式】
[0016]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、技術(shù)特征、實用新型目的與技術(shù)效果易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。
[0017]如圖3所示，一種零交疊的梳齒型電容組3，包括相對設(shè)置的可動端4和固定端5，在可動端4與固定端5相對的端面41、51上分別相向伸出一排上梳齒42和下梳齒52，上梳齒42的相鄰梳齒之間的間隙43與所述下梳齒52的相鄰梳齒之間的間隙53相同。[0018]上梳齒42的梳齒44與下梳齒52的間隙53相對，下梳齒52的梳齒54與上梳齒42的間隙43相對，且上梳齒42、下梳齒52的齒頭441、541在同一水平線上，使上梳齒42與下梳齒52之間沒有交疊。
[0019]本實用新型中的上梳齒長度與下梳齒的梳齒長度可以相同，也可以不同。
[0020]本實用新型提出的零交疊的梳齒電容組配置方式，可動端和固定端兩端對齊，而且在Y方向上沒有重合。本實用新型的另一個好處是相鄰梳齒間在X方向的距離在同等工藝條件下可以進一步縮小，以增大梳齒密度，從而提高面積利用率，增大電容變化量，進一步提聞驅(qū)動力或期間靈敏度。
[0021]綜上所述僅為本實用新型較佳的實施例，并非用來限定本實用新型的實施范圍。即凡依本實用新型申請專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化及修飾，皆應屬于本實用新型的技術(shù)范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種零交置的梳齒型電各組，包括相對設(shè)直的可動端和固定端，在可動端與固定端相對的端面上分別相向伸出一排上梳齒和下梳齒，其特征在于:所述上梳齒與下梳齒之間交錯設(shè)置，且上梳齒、下梳齒的齒頭對齊并在同一水平線上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的零交疊的梳齒型電容組，其特征在于:所述上梳齒的梳齒長度相問。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的零交疊的梳齒型電容組，其特征在于:所述上梳齒的相鄰梳齒之間的間隙與所述下梳齒的相鄰梳齒之間的間隙相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的零交疊的梳齒型電容組，其特征在于:所述上梳齒與下梳齒的間隙相對，所述下梳齒與上梳齒的間隙相對。
【文檔編號】H01G5/16GK203588851SQ201320516376
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年8月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月22日
【發(fā)明者】鄒波, 羅浩, 王輝 申請人:深迪半導體(上海)有限公司