移送工具、移送工具的連接部件及移送工具的揀選器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及移送工具，更詳細地說，涉及包括根據真空壓力拾取元件的揀選器的移送工具、移送工具的連接部件及移送工具的揀選器。本發(fā)明提供的移送工具，包括：調整多個揀選器之間的間隔的節(jié)距調整部，節(jié)距調整部包括：支撐本體，設在構造物上；多個連接部，包括設在支撐本體上并以‘X’字形態(tài)交叉結合，交叉結合的部分與各支撐部件結合的一對連接部件，與多個支撐部件對應并排成一列；多個結合銷，使連接部的連接部件的末端與相鄰的連接部的連接部件的末端旋轉結合；連接部件中，與‘X’字形態(tài)交叉結合的連接部件旋轉結合的第1結合孔在中央形成，插入結合銷，使連接部件與相鄰的連接部件旋轉結合的第2結合孔在兩端形成，并具有金屬材質。
【專利說明】移送工具、移送工具的連接部件及移送工具的揀選器

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及移送工具，更詳細地說，涉及包括根據真空壓力拾取元件的揀選器的移送工具、移送工具的連接部件及移送工具的揀選器。

【背景技術】
[0002]半導體元件(以下稱‘元件’)在完成組裝工序后，通過半導體元件檢查裝置，進行電氣特性、熱或壓力相關的可靠性測試等多種檢查。對元件的檢查，根據內存元件，CPU、GPU等非內存元件，LED元件，太陽光元件等元件的種類，分為在室溫環(huán)境下執(zhí)行的室溫檢查，以及在高溫環(huán)境下執(zhí)行的加熱檢查等多種檢查。
[0003]而且對元件的檢查通常在完成組裝工程后進行，或完成半導體工程及鋸切工程的晶片狀態(tài)下檢查。
[0004]同時，隨著對元件的檢查種類，檢查結果的多樣化，實際情況是相比好(Good)與次(Reject)等分類,好(Good)與次(Reject)加上重新檢查等分類等級有所增加,分為好(Good)以外的分類等級的比率在上升。
[0005]如上所述，元件的檢查、分類通過元件處理器進行，元件處理器一般被裝載于圓盤、托盤等，裝運多個元件，被裝運的元件通過移送工具拾取并移送，進行檢查、分類工序坐寸ο
[0006]同時，移送工具具備了根據真空壓力拾取元件的多個揀選器，并通過X軸方向直線移動、X-Y軸直線移動、旋轉移動等多種移動移動元件，考慮到元件的移送效率，通常包括多個揀選器。
[0007]而且揀選器是通常設置在拾取元件后移送到規(guī)定的安放位置并安放的拾放裝置上，作為吸附元件的器具，其內部形成施加真空壓力的吸附通道，其包括一端具有與吸附元件的吸附部結合的桿，以及使桿向上下方向移動的執(zhí)行器。
[0008]執(zhí)行器是根據氣壓啟動的結構，由提供氣壓起作用的空間的氣缸，和根據氣壓在氣缸的內部滑動的活塞構成。而且，這種執(zhí)行器的活塞和桿通過連接物連接，據此，通過活塞在氣缸的內部滑動，桿向上下方向移動。
[0009]但是，為了使桿向上下方向移動，傳統拾放裝置上配備的揀選器上獨立并另行具備了由氣缸與活塞構成的執(zhí)行器，因此存在揀選器的大小較大的缺點。而且，另外的缺點是以多個列及多個行配備較大的揀選器的傳統拾放裝置的大小也比較大，因此必然擴大了多個揀選器之間的間隔，對于減小多個揀選器可同時拾取的多個元件之間的間隔，存在局限性。
[0010]同時，根據桿的上下移動拾取元件，但因作為拾取對象的揀選器的小型化，產生了如下問題點:因桿的上下移動而產生的與其他部件的摩擦而帶電的靜電會破損元件，或因靜電力發(fā)生錯誤拾取元件的運轉錯誤。
[0011]同時，具有多個揀選器的移送工具拾取元件時，根據圓盤、托盤、測試插座等裝載的元件的間隔不同，因此具有調整多個揀選器之間的間隔的節(jié)距調整部。
[0012]還有傳統的移送工具的節(jié)距調整部，根據利用連接部件的方式，利用具有多個插槽的凸輪的方式等方式的不同，可以由多種方式構成。
[0013]但是，隨著根據節(jié)距調整部的多個揀選器之間的間隔，即關于節(jié)距調整，隨著元件的大小變小，處理速度的增加，傳統的移送工具需要更迅速而精密的節(jié)距調整。


【發(fā)明內容】

[0014](要解決的技術問題)
[0015]本發(fā)明是為了解決如上所述的傳統技術的問題點，本發(fā)明的目的在于:根據節(jié)距調整部的多個揀選器之間的間隔，即關于節(jié)距調整，提供可進行更迅速而精密的節(jié)距調整的移送工具與移送工具的連接部件。
[0016]本發(fā)明的另一個目的在于:多個揀選器之間的間隔，即提供具有能夠最小化節(jié)距的結構的移送工具與移送工具的連接部件。
[0017]本發(fā)明的另一個目的在于:提供能夠最小化其大小的揀選器。
[0018]本發(fā)明的另一個目的在于:提供能夠防止為拾取元件而往返移動的桿的長度方向軸為中心的旋轉的揀選器。
[0019]本發(fā)明的另一個目的在于:提供能夠防止為桿的靈活移動而注入的潤滑劑向外部泄漏的揀選器。
[0020]本發(fā)明的另一個目的在于:提供拾取元件的揀選器，特別是能夠消除桿中帶電的靜電力，防止元件的破損或無意拾取元件的揀選器。
[0021](解決問題的手段)
[0022]本發(fā)明為達成上述的本發(fā)明的目的而創(chuàng)出，本發(fā)明公開的移送工具的特征在于，包括:多個揀選器，根據真空壓力拾取元件；多個支撐部件，分別與所述多個揀選器結合，使所述多個揀選器以一定間隔排成一列；節(jié)距調整部，通過改變所述多個支撐部件之間的間隔，改變所述多個揀選器之間的間隔；所述節(jié)距調整部包括設在構造物上的支撐本體，設在所述支撐本體上并以‘X’字形態(tài)交叉結合，交叉結合的部分與所述各支撐部件結合的一對連接部件，與所述多個支撐部件對應并排成一列的多個連接部，使所述連接部的連接部件的末端與相鄰的連接部的連接部件的末端旋轉結合的多個結合銷；所述連接部件中，使其與‘X’字形態(tài)交叉結合的連接部件旋轉結合的第I結合孔在中央形成，插入所述結合銷，使所述連接部件與相鄰的連接部件旋轉結合的第2結合孔在兩端形成；并具有金屬材質。
[0023]所述第I結合孔及所述第2結合孔中至少一個的內周面上形成由工程塑料構成的保護層。
[0024]所述保護層通過嵌件成型或鍍膜形成。
[0025]所述保護層的材質可以是聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酮(PEK)、聚苯硫醚(PPS)及鐵氟龍中的其中一個。
[0026]所述保護層，所述第I結合孔及所述第2結合孔中至少一個的內周面在所述保護層形成之前形成一部分向內側突出的環(huán)形突出部，所述保護層包括所述突出部，在所述內周面上形成，形成圓柱形狀的插入孔。
[0027]所述支撐本體上設置上部引導及下部引導，引導因所述支撐部件的下部及上部各自約束結合而產生的所述多個支撐部件的間隔變化的直線移動。
[0028]所述上部引導及下部引導設置為一對，使所述支撐部件交叉并上下結合。
[0029]所述支撐部件可與所述一對連接部件的交叉部分及結合銷中的至少一個結合。
[0030]所述連接部件中，所述第I結合孔與所述第2結合孔之間形成向內部凹陷的凹槽和貫通孔中的至少一個。
[0031 ] 本發(fā)明又公開具有所述結構的移送工具的連接部件。
[0032]本發(fā)明又公開揀選器，其特征在于，包括:主體，形成主貫通孔；桿，插入所述主貫通孔，可滑動，根據流壓驅動進行直線往返移動，與根據末端的真空壓力拾取元件的拾取頭結合；靜電消除部，與所述桿結合，所述桿向所述主體移動時與其他部件接觸，消除所述桿帶電的靜電。
[0033]還可追加包括機殼，與所述主體結合，在所述桿的周圍具有收容空間。
[0034]本發(fā)明又公開揀選器，其特征在于，包括:主體，形成所述貫通孔；桿，插入所述貫通孔，可滑動，把貫通孔的內部空間劃分為第I空間及第2空間，通過使流體選擇性地流入所述第I空間及第2空間從而進行直線往返移動；機殼，與所述主體結合，在所述桿的周圍具有收容空間。
[0035]還包括防止所述桿向其長度方向的軸為中心旋轉的旋轉防止部。
[0036]所述旋轉防止部包括:軸，位于所述機殼的收容空間的內部，沿著所述桿的移動方向延長；移動模塊，固定在所述桿上，與所述軸連接，沿著所述桿的移動方向滑動。
[0037]所述機殼上形成結合孔，所述主體上形成結合槽，通過所述結合孔及所述結合槽上插入并固定結合手段，所述機殼與所述主體結合。
[0038]可把所述軸的兩端插入并固定在所述主體及所述機殼各自形成的軸結合槽內。
[0039]所述靜電消除部固定在所述移動模塊上，所述桿移動時，接觸所述主體與所述機殼中的至少一個，消除所述桿帶電的靜電。
[0040]所述靜電消除部包括:固定部分，固定在所述移動模塊上；一對延長部分，從所述固定部分向所述軸延長，使相互間隔變大；接觸部分，位于所述的一對延長部分的末端延長，所述桿移動時，各自與所述主體及所述機殼接觸。
[0041]所述機殼內形成使所述桿通過的第3貫通孔，所述第3貫通孔內設有密封所述收容空間及引導所述桿的移動的第3引導部件。
[0042]所述靜電消除部包括:固定部分，固定在所述桿上；一個以上的延長部分，從所述固定部分向所述桿的長度方向傾斜并延長；接觸部分，位于所述延長部分的末端，所述桿移動時，與其他部件接觸。
[0043]所述桿把所述主貫通孔的內部空間劃分為第I空間及第2空間，通過使流體選擇性地流入所述第I空間及第2空間內，進行直線往返移動。
[0044]所述桿上形成劃分部，把所述主貫通孔的內部空間劃分為第I空間及第2空間，所屬主體上形成使流體流入所述第I空間的第I流路及使流體流入所述第2空間的第2流路。
[0045]各自形成所述桿通過的通過孔，還包括插入所述主貫通孔的兩側開口內，密封所述第I空間及第2空間的第I引導部件及第2引導部件。
[0046]所述第I弓I導部件及第2弓I導部件上形成使所述第I流路及第2流路與所述第I空間及第2空間相互連通的連通孔。
[0047]沿著所述第I引導部件及第2引導部件的周長方向，形成多個所述連通孔，所述第I引導部件及第2引導部件的外面形成了連接所述多個連通孔的連接槽。
[0048]所述第I引導部件及所述第2引導部件的的通過孔的里面與所述連通孔連通，形成向半徑方向內入的內入槽。
[0049]所述內入槽向所述第I引導部件及所述第2引導部件的周長方向延長。
[0050]所述面向第I引導部件及所述第2引導部件的所述劃分部的兩側端部上設有密封部件。
[0051]所述主體上設有使所述第I流路及所述第2流路與流體供應源連接的第I連接部件及第2連接部件，所述第I連接部件及所述第2連接部件可在所述主體的上方，向所述桿的半徑方向的一側一并設置。
[0052](發(fā)明的效果)
[0053]根據本發(fā)明的實施例的移送工具及移送工具的連接部件，由于調整多個揀選器之間的間隔，即調整節(jié)距，能直線移動多個揀選器的節(jié)距調整部的連接部件使用金屬材質，因此耐久性高，具有能夠進行更迅速而精密的節(jié)距調整的優(yōu)點。
[0054]尤其關于節(jié)距調整部的構成，連接部件的連接部分，即為相互交叉并連接，位于中央的第I結合孔，與位于連接部件的兩端插入結合銷的第2結合孔的內周面在金屬材質的本體基礎上，還具有通過工程塑料的嵌件成型或鍍膜形成的保護層，因此具有減少連接部件中與其他部件的連接部位的耐磨性及摩擦力的優(yōu)點。
[0055]根據本發(fā)明的實施例的揀選器在主體的內部形成根據桿的劃分部劃分的第I空間及第2空間，通過向第I空間及第2空間的內部選擇性地供應流體，使桿向上下方向移動。
[0056]S卩，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，引導桿的上下方向的移動的主貫通孔能起到氣缸的功能，桿的劃分部能起到活塞的功能。
[0057]因此，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，桿的移動線路和為移動桿而施加壓力的線路在同一線上，與獨立并另行具備由氣缸及活塞構成的執(zhí)行器從而使桿向上下方向移動的傳統技術相比，具有能夠最小化揀選器的大小的優(yōu)點。
[0058]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，引導桿的上下方向的移動的主貫通孔能起到氣缸的功能，桿的劃分部能起到活塞的功能，因此桿的移動線路和為移動桿而施加壓力的線路在同一線上。
[0059]因此，與另行具備執(zhí)行器的傳統技術相同，具有能夠消除在桿的移動線路和為移動桿而施加壓力的線路不一致的情況下產生的力矩的優(yōu)點。
[0060]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器以多個列及多個行安裝在拾放裝置的情況下，隨著揀選器大小的最小化，能夠最小化個各揀選器之間的間隔，因此具有能夠最小化拾放裝置的大小的優(yōu)點，還具有能夠最小化多個揀選器能同時拾取的多個元件之間的間隔的優(yōu)點。
[0061]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，因其大小的最小化，具有能夠最小化多個揀選器之間的干擾的優(yōu)點。
[0062]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，隨著其大小的最小化，重量也會最小化。
[0063]因此，能夠最小化安裝了所述揀選器的拾放裝置的大小及重量，據此，能夠最小化拾放裝置的慣性，具有容易控制拾放裝置的優(yōu)點。
[0064]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，因具有防止桿向其長度方向的軸為中心旋轉的旋轉防止部，使桿的往返移動變得順暢，具有能夠順暢地進行利用桿的往返移動的揀選器的拾放動作的優(yōu)點。
[0065]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器包括，與主體結合并在所述桿的周圍具有收容空間的機殼，因桿的加壓而泄漏的潤滑劑能收容到所述收容空間，具有能夠防止?jié)櫥瑒┫驋x器的外部泄漏的優(yōu)點。
[0066]并且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器，追加具備了消除桿上帶電的靜電的靜電消除部，因此能消除桿上帶電的靜電，具有防止靜電導致的元件的破損，防止靜電導致的無意拾取元件的現象的優(yōu)點。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0067]圖1是呈現根據本發(fā)明的移送工具的一例的側剖面圖。
[0068]圖2a及圖2b是呈現圖1的移送工具的節(jié)距調整部的運轉的圖。
[0069]圖3是圖2的連接部件的一例的平面圖。
[0070]圖4是圖3的連接部件縱剖面圖。
[0071]圖5是呈現圖2的連接部件之間的連接部位的剖面圖。
[0072]圖6是呈現圖2的連接部件的一例的平面圖。
[0073]圖7是圖6的連接部件的縱剖面圖。
[0074]圖8是概略性地圖示圖1的移送工具的揀選器的一例的的立體圖。
[0075]圖9是概略性地圖示圖8的揀選器的剖面立體圖。
[0076]圖10是概略性地圖示圖8的揀選器的另一例的剖面圖。
[0077]圖11是圖10的揀選器的一部分被擴大后的剖面圖。
[0078]圖12是圖8的揀選器的變形例的一部分被擴大后的剖面圖。
[0079]圖13是圖示圖10的揀選器的引導部件的立體圖。
[0080]圖14及圖15是圖示圖10的揀選器的運轉狀態(tài)的剖面圖。
[0081]圖16是呈現設置在圖8的揀選器上的接地部件的一例的立體圖。
[0082]圖17是呈現設置了圖16的接地部件的圖8的揀選器被擴大后的部分剖面圖。
[0083]符號的說明
[0084]1:揀選器
[0085]2:支撐部件
[0086]310:連接部件
[0087]320:支撐本體
[0088]330:結合銷

【具體實施方式】
[0089]下面，參照附圖，說明根據本發(fā)明的實施例的移送工具，移送工具的連接部件及移送工具的揀選器。
[0090]根據本發(fā)明的移送工具，如圖1到2b所圖示，包括一個以上的揀選器I，根據真空壓力拾取元件；和支撐部件2與揀選器I結合。
[0091]所述揀選器I是根據真空壓力拾取元件的結構，后面再詳細敘述。
[0092]所述支撐部件2是支撐揀選器I的結構，可采用多種結構。
[0093]特別是，所述支撐部件2由分別與所述多個揀選器I結合的多個部件構成，使所述多個揀選器I以一定間隔排成一列。
[0094]更具體地說，所述支撐部件2如圖1到圖2b所圖示，由條(bar)狀構成，其兩端與后述的節(jié)距調整部300的支撐本體320結合，可直線移動。
[0095]同時，所述支撐部件2與一對連接部件310的交叉部分及結合銷330中的至少一
I 彡口口。
[0096]具體來說，所述支撐部件2，如圖2a及圖2b所圖示，與一對連接部件310的交叉部分結合時，通過固定銷340固定。
[0097]并且，所述支撐部件2，雖然未圖示，但若固定在結合銷330上，應固定在位于上部及下部的結合銷330上。
[0098]另外，根據本發(fā)明的移送工具，應包括多個揀選器1，具有能夠一次性拾取多個元件并放置的結構，進而能夠改變多個揀選器I之間的間隔，即節(jié)距(Ph)。
[0099]因此，根據本發(fā)明的移送工具包括，通過改變多個支撐部件2之間的間隔，改變多個揀選器I之間的間隔(Ph)的節(jié)距調整部300。
[0100]所述節(jié)距調整部300，采用了通過改變多個支撐部件2之間的間隔，以改變揀選器I之間的間隔(Ph)的結構，可采用多種結構。
[0101]作為例子，如圖1到2b所圖示，所述節(jié)距調整部300可包括:支撐本體320，設在構造物(未圖示)上；多個連接部，包括，設在支撐本體320上，并以‘X’字形態(tài)交叉結合，交叉結合的部分與各支撐部件2結合的一對連接部件310，并與多個支撐部件2對應并排成一列；多個結合銷330，使連接部的連接部件310的末端與相鄰的連接部的連接部件310的末端旋轉結合。
[0102]這里構造物是指設置根據本發(fā)明的移送工具的裝置的一部分，可采用X軸或Y軸方向的直線移動模組、X軸-Y軸方向的直線移動模組、旋轉模組等多種結構。
[0103]并且所述構造物可以是韓國注冊專利第580816號，韓國注冊專利第1012137號上記載的移送工具結構的一部分。
[0104]所述支撐本體320設置在構造物(未圖示)上，支撐支撐部件2、連接部件310等的同時，可設有改變一對連接部件310的結合角的驅動部等。
[0105]另外一方面，所述支撐本體320上為了支撐部件2的穩(wěn)定的直線移動，可設有上部引導321、322及下部引導323、324，引導因所述支撐部件2的下部及上部各自約束結合而產生的多個支撐部件2之間的間隔變化的直線移動。
[0106]所述上部引導321、322及下部引導323、324，是為了引導支撐部件2的直線移動而構成的，只要能夠引導上部引導321、322及下部引導323、324的直線移動，可采用任意結構。
[0107]特別是，所述上部引導321、322及下部引導323、324可設為一對，如支撐部件2在圖2a及圖2b中所圖示，可采用交叉并上下結合的多種結構。
[0108]若所述上部引導321、322及下部引導323、324設為一對，如支撐部件2在圖2a及圖2b中所圖示，采用交叉并上下結合的結構，縮小為與上部引導321、322及下部引導323、324結合而設在支撐部件2上的線形模塊2a的設置而產生的支撐部件2之間的間隔上沒有限制，能夠最小化支撐部件2之間的間隔，從而最小化揀選器I之間的間隔，即節(jié)距(Ph)。
[0109]所述連接部如圖2a及圖2b所示，包括設置在支撐本體320上，以‘X’字形態(tài)交叉結合，交叉結合的部分與各支撐部件2結合的一對連接部件310，與多個支撐部件2對應并排成一列，通過驅動部(未圖示)改變其結合角，調整支撐部件2之間的間隔，最終調整多個揀選器I之間的間隔，即節(jié)距(Ph)。
[0110]所述的一對連接部件310的結構為，條狀的部件以‘X’字形態(tài)交叉結合而改變其結合角，進而調整結合的支撐部件2的間隔，因此能夠采用多種結構。
[0111]作為例子，所述連接部件310，如圖3及圖4所圖示，與連接部件310旋轉結合的第I結合孔321形成于中央，插入結合銷330，使其與相鄰的連接部件310旋轉結合的第2結合孔311形成于兩端。
[0112]所述第I結合孔321通過插入固定銷340，與一對連接部件310旋轉結合。
[0113]所述第2結合孔311，如圖5所圖示，相鄰的連接部的連接部件310的末端，即第2結合孔311相互重疊，使得能插入結合銷330形成。
[0114]并且，所述連接部件310，在第I結合孔321與第2結合孔311之間形成凹槽324及貫通孔中的至少一個。
[0115]所述連接部件310若形成凹槽324及貫通孔中的至少一個，具有可輕量化的優(yōu)點。
[0116]另外，所述連接部件310，為了提高結構性強度，向長度方向及與長度方向垂直的方向，形成一個以上的肋。
[0117]另外，根據本發(fā)明的移送工具，隨著元件的拾取及移送的高速化，節(jié)距調整部300需迅速運轉。
[0118]而且，所述節(jié)距調整部300的迅速運轉，對構成連接部的連接部件310產生負荷，發(fā)生彎曲、振動等，因此會導致多個揀選器I之間的間隔，即節(jié)距(Ph)的誤差。
[0119]但是，多個揀選器I之間的間隔，即節(jié)距(Ph)發(fā)生誤差時，因揀選器I的位置不正確，發(fā)生元件的拾取及放置不順暢的問題。
[0120]因此所述連接部件310優(yōu)選使用鋁、鋁合金等金屬材質。
[0121]若所述連接部件310使用金屬材質，考慮到第I結合孔321與第2結合孔311因與固定銷340及結合銷330之間的摩擦而產生的磨損，第I結合孔321與第2結合孔311中至少一個的內周面應具有由工程塑料構成的保護層322、312。
[0122]所述保護層322、312可通過嵌件成型或鍍膜形成。
[0123]并且，所述保護層322、312具有耐磨性，可使用摩擦力小的任一材質，可使用工程塑料聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酮(PEK)、聚苯硫醚(PPS)及鐵氟龍中的任一材質。
[0124]另外，所述第I結合孔321與第2結合孔311的內周面上，為防止其內周面的一部分脫離保護層322、312，在形成保護層322、312形成之前，應形成向內側突出的環(huán)形突出部312,322ο
[0125]所述環(huán)形突出部312在保護層322、312形成之前，在第I結合孔321與第2結合孔311的內周面上形成，使保護層322、312與第I結合孔321與第2結合孔311堅固結合，防止因與結合銷330及固定銷340結合而脫離。
[0126]另外，所述保護層322、312，在第I結合孔321及第2結合孔311的內周面上形成時，如圖3至圖7所圖示，為使結合部件(銷)插入順暢，最好以圓筒型的形狀形成。
[0127]另外，所述連接部件310的另一例，如圖2a及圖2b所圖示，多個連接部中位于兩個末端的連接部件310，不同于圖3及圖4所圖示的連接部件310，如圖6及圖7所圖示，與連接部件310旋轉結合的第I結合孔321位于一端，通過插入結合銷330，與相鄰的連接部件310旋轉結合的第2結合孔311位于另一端。
[0128]圖6及圖7所圖示的連接部件310，除了第I結合孔321與第2結合孔311的形成位置不同以外，實質上與圖3及圖4所圖示的連接部件310相同，省略詳細的說明。
[0129]另外，改變所述一對連接部件310的結合角的結構已通過韓國注冊專利第580816號、韓國注冊專利第1012137號公開，為了便利省略詳細的說明。
[0130]所述揀選器1，如圖8到圖12所圖示，包括:主體10，形成主貫通孔11 ;中空的桿20，插入所述主貫通孔11，可滑動，下端與吸附元件的吸附頭90結合，上端與真空源連接。
[0131]所述主體10構成揀選器I的本體，其材質可以是金屬，尤其是鋁或鋁合金。
[0132]這種揀選器I是設置在移送元件的拾放裝置上吸附并拾取元件的器具，所述桿20的下端具有與吸附元件的吸附頭90結合并可拆卸的結合部21。
[0133]并且，桿20的內部形成通過吸附頭90吸入空氣的吸入通道22。
[0134]并且，在桿20的上端，吸入通道22與真空泵等真空源連接。
[0135]另外，所述桿20與主體10的主貫通孔11可滑動地旋轉結合，其特征為通過多種驅動方式直線驅動。
[0136]作為例子，所述桿20，為了向位于主體10的主貫通孔11內并根據桿20的外周面形成的第I空間31及第2空間32選擇性地注入流體，相對于主體10直線驅動。
[0137]并且，為了主貫通孔11的形成，桿20上形成了劃分部23，，把主體10的內部形成的空間劃分為第I空間31及第2空間32。
[0138]這里，第I空間31以劃分部23為基準，位于下方，第2空間32以劃分部23為基準，位于上方。
[0139]劃分部23的外面與主貫通孔11的內面相互接觸的狀態(tài)下，為了使桿20能夠滑動，劃分部23的外徑具有與主貫通孔11的內徑相對應的大小。
[0140]桿20的劃分部23可與桿20的其他部分形成一體，也可另外成型后互相結合。
[0141]主體10上，形成流體向第I空間31流入的通路第I流路41，及流體向第2空間32流入的通路第2流路42。
[0142]第I流路41及第2流路42連接到與流體供應源(未圖示)，各自連接的第I連接部件411及第2連接部件421。
[0143]因此，從流體供應源供應的流體通過第I流路41流入第I空間31，通過第2流路42流入第2空間32。
[0144]從流體供應源供應的流體可以是像空氣一樣的氣體，這種情況下，流體供應源可具備調節(jié)從第I空間31及第2空間32流出入的流體的壓力的壓力調節(jié)裝置(未圖示)。
[0145]第I連接部件411及第2連接部件421各自連接了與流體供應源連接的管。
[0146]桿10與吸附頭90連接的方向稱為下方，桿10與真空源連接的方向稱為上方時，第I連接部件411及第2連接部件421位于主體10的上方。
[0147]這里，第I連接部件411及第2連接部件421可一同設置在桿20的半徑方向的一側。
[0148]在這種情況下，未設置第I連接部件411及第2連接部件421的寬度，小于設置第I連接部件411及第2連接部件421的第I部分的寬度。
[0149]拾放裝置上具有多個揀選器I的情況下，第2部分成為多個揀選器I相對的部分。
[0150]因此通過減小多個揀選器I相對的部分的寬度，能夠最小化多個揀選器I之間的距離。
[0151]向第I流路41供應流體及向第2流路42供應流體可交替進行。
[0152]通過第I流路41向第I空間31供應流體的過程中，第2空間32內部的流體可通過第2流路42向外部排出，通過第2流路42向第2空間32供應流體的過程中，第I空間31內部的流體可通過第I流路41向外部排出。
[0153]第I流路41及第2流路42在主體10的內部互不連通。為此，在一體結構的主體10上，通過鉆孔各自形成第I流路41及第2流路42，鉆孔過程中形成的插入鉆孔機的孔可用焊接等方法密封，通過各自密封為密封部件412，422的過程，第I流路41及第2流路42在主體10的內部形成。
[0154]圖8到圖12圖示了第I流路41及第2流路42以彎曲的形狀在主體10的內部形成的結構，但本發(fā)明不限定于此，在主體10的內部的第I流路41及第2流路42的形狀可以是可縮小揀選器I的寬度或長度的最佳形狀。
[0155]另外，主貫通孔11的兩側開口 12、13里可插入從外部密封第I空間31及第2空間32的第I引導部件81及第2引導部件82。
[0156]第I引導部件81及第2引導部件82上各自形成桿20通過的通過孔811、812。
[0157]桿20的下方形成的開口 12上可插入第I引導部件81，桿20的上方形成的開口13上可插入第2引導部件82。
[0158]第I引導部件81及第2引導部件82通過強插緊配合的方式或螺絲結合的方式緊密地插入主貫通孔11的開口 12、13內。
[0159]因此，第I引導部件81及第2引導部件82的各外面與主貫通孔11之間不會形成流體通過的間隙。
[0160]第I引導部件81及第2引導部件82在桿20的劃分部23插入主貫通孔11的內部的狀態(tài)下，插入主貫通孔11的開口 12、13內。
[0161]因此，第I引導部件81及第2引導部件82插入開口 12、13內的簡單的方法，可從外部密封第I空間31及第2空間32。
[0162]這種第I引導部件81及第2引導部件82的材質可以是金屬或工程塑料。
[0163]為形成第I空間31，第I引導部件81的內面形成以一定深度內入的內入槽812，為形成第2空間32，第2引導部件82的內面形成以一定深度內入的內入槽822。
[0164]因此，第I空間31是被第I引導部件81的內面、桿20的外面及劃分部23的下方端部圍住的領域，第2空間32是被第2引導部件82的內面、桿20的外面及劃分部23的上方端部圍住的領域。
[0165]這種劃分部23的下方端部及上方端部是流入第I空間31及第2空間32的內部的流體施加壓力的部分，通過向劃分部23的下方端部及上方端部施加的壓力，桿20向上下方向移動。
[0166]因此，劃分部23實質上起到活塞的作用，主貫通孔11實質上起到氣缸的作用。
[0167]這里，向第I空間31流入流體，據此從第2空間32排出流體的情況下，桿20向上方移動，第I空間31的體積擴大，第2空間32的體積縮小。
[0168]相反，向第2空間32流入流體，據此從第I空間31排出流體的情況下，桿20向下方移動，第2空間32的體積擴大，第I空間31的體積縮小。
[0169]如圖13所圖示，第I引導部件81及第2引導部件82的內部形成除劃分部23以外的桿20的兩側能通過的通過孔811、821。
[0170]并且，第I引導部件81及第2引導部件82的內面形成以一定深度內入，向一側開放的內入槽812、822。
[0171]根據這種內入槽812、822，第I引導部件81的內面與桿20的外面之間及第2引導部件82與桿20的外面之間各自形成第I空間31及第2空間32。
[0172]為第I空間31及第2空間32以向桿20的周長方向延長的形狀構成，內入槽812、822各自從第I引導部件81及第2引導部件82的內面向周長方向延長。
[0173]因第I空間31及第2空間32以向桿20的周長方向延長的形狀構成，桿20的劃分部23受到均勻的壓力。
[0174]并且，第I引導部件81上形成連通第I流路41與第I空間31的連通孔813。
[0175]連通孔813與內入槽812連接。據此，通過第I流路41供應的流體通過連通孔813流入第I空間31的內部，第I空間31的內部的流體通過連通孔813與第I流路41向外部排出。
[0176]多個連通孔813沿著第I引導部件81的周長方向形成，多個連通孔813與第I流路41連接，第I引導部件81的外面的周圍可形成連接槽814，使多個連通孔813相互連通。
[0177]但是，本發(fā)明并不限定于此種結構，也可不形成連接槽814，使用多個第I流路41與多個連通孔813連接的結構。
[0178]與此相同，第2引導部件82上可形成連通第2流路42與第2空間32的連通孔823。
[0179]連通孔823可與內入槽822連接。據此，通過第2流路42供應的流體通過連通孔823流入第2空間32的內部，第2空間32的內部的流體通過連通孔823與第2流路42向外部排出。
[0180]多個連通孔823沿著第2引導部件82的周長方向形成，多個連通孔823與第2流路42連接，第2引導部件82的外面的周圍可形成連接槽824，使多個連通孔823相互連通。[0181 ] 但是，本發(fā)明并不限定于此種結構，也可不形成連接槽824，使用多個第2流路42與多個連通孔823連接的結構。
[0182]在第I引導部件81及第2引導部件82上形成多個連通孔813、823的情況下，流體向半徑方向均勻地流入第I空間31及第2空間32，據此，桿20的劃分部23受到均勻的壓力，在桿的上下方向移動過程中防止桿20偏心。
[0183]這里，第I引導部件81及第2引導部件82的通過孔811、821的內徑可以比桿20的劃分部23的外徑小。
[0184]因此，如圖14所圖示，流體流入第2空間32的內部，向桿20的下方移動后，劃分部23的下方端部接觸第I引導部件81，實現劃分部23的外面與主貫通孔11的內面之間的密封。
[0185]于是，能夠防止流入第2空間32內的流體通過劃分部23的外面與主貫通孔11的內面之間的間隔流入第I空間31后，通過第I流路41向外部排出的現象，據此，防止流體的不必要的消耗。
[0186]并且，如圖15所圖示，流體流入第I空間31的內部，向桿20的上方移動后，劃分部23的上方端部與第2引導部件82接觸，實現劃分部23的外面與主貫通孔11的內面之間的密封。
[0187]于是，能夠防止流入第I空間31內的流體通過劃分部23的外面與主貫通孔11的內面之間的間隔流入第2空間32后，通過第2流路42向外部排出的現象，據此，防止流體的不必要的消耗。
[0188]這里，為了能夠實現上述的緊密的密封，面向第I引導部件81及第2引導部件82的劃分部23的兩側端部，即劃分部23與第I引導部件81及第2引導部件82接觸的部分-下方端部及上方端部上優(yōu)選設有密封部件61、62。
[0189]為了能夠緩沖劃分部23與第I引導部件81及第2引導部件82接觸時發(fā)生的沖擊，密封部件61、62應使用橡膠或合成樹脂等具有一定彈性的材質。
[0190]并且，密封部件61、62可使用金屬或工程塑料。
[0191]設置密封部件61、62時，密封部件61、62接觸主貫通孔11的內面的狀態(tài)下，桿20
能夠滑動。
[0192]并且，具有第I引導部件81及第2引導部件82時，通過把第I引導部件81及第2引導部件82插入主貫通孔11的開口 12、13內，形成第I空間31及第2空間32，第I空間31及第2空間32各自與第I流路41及第2流路42連通。
[0193]因此，為形成第I空間31及第2空間32，無需另外加工主貫通孔11的內面及/或桿20的外面，具有提高了加工上的便利性的優(yōu)點。
[0194]并且，通過第I引導部件81及第2引導部件82的通過孔811、812，引導桿20的上下方向的移動，因此桿20的往返移動能穩(wěn)定進行。
[0195]另外，根據本發(fā)明的揀選器I在桿20與吸附頭90連接的一側，與主體10結合，可追加包括在桿20的周圍形成一定的收容空間511的機殼51。
[0196]機殼51通過在桿20的周圍形成一定的收容空間511，活用于構成后述的旋轉防止部的一部分，并活用于防止位于主貫通孔11內的桿20的外周面所存在的油落到吸附頭90上。
[0197]另外，根據本發(fā)明的揀選器I可包括防止桿20向其長度方向的軸為中心旋轉的旋轉防止部50。
[0198]旋轉防止部50是防止桿20向其長度方向的軸為中心旋轉的構成，可采用多種結構。
[0199]作為例子，旋轉防止部50包括:軸52，位于機殼51的收容空間511的內部，沿著桿的移動方向延長；移動模塊53，固定在桿20上，與軸52連接，沿著桿20的移動方向滑動。
[0200]這種旋轉防止部50位于揀選器I的下側，通常揀選器I的上側設有像第I連接部件411及第2連接部件421 —樣的與流體供應源(未圖示)連接的多數零件，因此把旋轉防止部50設置在揀選器I的下側，使揀選器I的結構不那么復雜。
[0201]此時，在機殼51上與主體10形成的結合槽14對應的位置，形成結合孔514，據此，通過把螺絲等結合手段(未圖示)插入并固定在結合孔514及結合槽14內，使機殼51與主體10相互結合。通過機殼51上形成結合孔514，能夠減少機殼51的重量，從而，能夠減少揀選器I的整體重量。
[0202]軸52以向桿20的移動方向延長的形狀形成，引導桿20的移動。軸52的兩端可插入并固定在主體10及機殼51上各自形成的軸結合槽15、515內。
[0203]移動模塊53的一端532沿軸52的長度方向，可滑動與軸52連接，另一端固定在桿20的外周面。為了把移動模塊53固定在桿20上，可使用螺絲等結合部件533。
[0204]尤其，移動模塊53可以是圓柱、四角柱等多種形狀。
[0205]根據這種結構，桿20向上下方向往返移動時，固定在桿20上的移動模塊53相對于軸進行滑動，使桿20的長度方向的移動能夠穩(wěn)定進行。
[0206]并且，通過軸52及移動模塊53，能夠防止桿20以其長度方向中心軸為基準進行旋轉的現象，即桿20的旋轉現象。
[0207]并且，通過軸52及移動模塊53，能夠防止桿20向與其長度方向的軸垂直的方向移動。
[0208]機殼51上形成使桿20通過的第3貫通孔57，第3貫通孔57上可設置從外部密封機殼51內部的收容空間并引導桿20的移動的第3引導部件58。
[0209]另外，如圖12所圖示，設置第3引導部件58并形成第3貫通孔57的機殼51的一部分，可向收容空間511突出的突出部571。根據這種突出部571，能夠提高機殼51的氣密特性，防止沿著桿20泄漏的潤滑劑通過第3貫通孔57泄漏。
[0210]另外，為了桿20的順暢的往返移動，主貫通孔11的內部可注入一定量的潤滑劑。這種潤滑劑可以是石油或者機油。
[0211]向主貫通孔11的內部注入潤滑劑的情況下，潤滑劑因桿20的往返移動加壓，通過第I引導部件81及通過孔811排出。
[0212]若機殼51內沒有收容空間511，潤滑劑通過第I引導部件81的通過孔811向外部排出，可能會出現問題，但如本發(fā)明的實施例，若具有內部形成收容空間511的機殼51時，通過第I引導部件81的通過孔811排出的潤滑劑能夠流入機殼51內的收容空間511內。
[0213]這時，機殼51內的收容空間511內沒有加壓潤滑劑的手段，收容在機殼51內的收容空間511內的潤滑劑不會向外部排出。
[0214]因此，機殼51內的收容空間511的作用并不限于提供移動模塊53移動的空間，還具有防止注入主貫通孔11的內部的潤滑劑向揀選器I的外部排出的作用。
[0215]并且，為了最小化主貫通孔11內的潤滑劑流入機殼51內的收容空間，通過孔811面向機殼51的一側應設置密封部件59。
[0216]另外，在主體10之間，桿20的下方及上方可具備第I塞子71及第2塞子72。
[0217]第I塞子71及第2塞子72與桿20形成為一體，也可通過另外成型與桿20結合。
[0218]第I塞子71及第2塞子72可各自具有與第3引導部件58及第2引導部件82相接觸的大小。
[0219]通過第I塞子71接觸第3引導部件58，能夠限制桿20向上方移動，通過第2塞子72接觸第2引導部件82，能夠限制桿20向下方移動。
[0220]第I塞子71及第2塞子72，為了能夠緩沖接觸第3引導部件58及第2引導部件82時發(fā)生的沖擊，應使用橡膠或合成樹脂等具有一定彈性的材質。
[0221]并且，第I塞子71及第2塞子72可以由金屬或工程塑料構成。這種第I塞子71及第2塞子72接觸第3引導部件58及第2引導部件82并密封第I空間31或第2空間32，一同起到阻斷流入第I空間31或第2空間32的流體向外部流出的作用。
[0222]具有上述結構的根據本發(fā)明的實施例的揀選器I通過桿20的上下方向的移動及真空源的運轉，執(zhí)行拾取元件并移送的動作。
[0223]例如，隨著桿20向下方移動，真空源運轉，真空壓力作用于吸入通道22，元件被吸附頭90吸附，在元件被吸附的狀態(tài)下，桿20向上方移動后，揀選器I向元件的安放位置移動，在元件的安放位置，桿20向下方移動后，真空源停止運轉，解除吸入通道22的真空，元件被放置于安安放位置。
[0224]因此，桿20向上下方向往返移動，執(zhí)行元件的拾取動作。為了桿20向下方移動，通過第2流路42，向第2空間32內供應流體，據此，第I空間31的內部的流體通過第I流路41向外部排出。
[0225]據此，桿20的劃分部23的上方端部被施加向下方的壓力，根據這種壓力，桿20向下方移動。
[0226]根據這種桿20向下方的移動，吸附頭90與元件接觸，元件被吸附頭90吸附，吸附頭90與元件的接觸過程中，吸附頭90及元件上會產生沖突力。這種沖突力通過桿20及劃分部23傳達到流入第2空間32的內部的流體，被流入第2空間32的內部的流體所吸收。
[0227]于是，流入第2空間32的內部的流體能夠緩沖吸附頭90與元件接觸時產生的沖突力，起到氣囊墊的作用。
[0228]因此，根據本發(fā)明的實施例的揀選器I在沒有另外具備緩沖所述沖突力的緩沖用彈簧的情況下，也能防止因吸附頭90與元件接觸時產生的沖突力而可能會產生的吸附頭90與元件的損傷。
[0229]并且，具備了調節(jié)通過第2流路42流入第2空間32內的流體的壓力的壓力調節(jié)裝置的情況下，壓力調節(jié)裝置可以在吸附頭90與元件接觸時，通過第2流路42調節(jié)第2空間32內的流體的壓力。
[0230]吸附頭90與元件接觸時流入第2空間32內的流體的壓力可小于為了使桿20向下方移動最初流入第2空間32內的流體的壓力。
[0231]因此，通過根據被吸附頭90吸附的元件的特性調節(jié)流入第2空間32內的流體的壓力，緩沖吸附頭90與元件之間的沖擊力，能夠防止在吸附頭90與元件接觸的過程中產生的元件的損傷，并最佳化桿20的移動速度。
[0232]如圖14所圖示，完成桿20向下方的移動的狀態(tài)下，隨著劃分部23的下方端部與第I引導部件81接觸，能夠防止流入第2空間32內的流體通過劃分部23的外面與主貫通孔11的內面之間的間隙流入第I空間31內，因此能夠防止流入第2空間32內的流體通過第I空間31及第I流路41不必要地向外部排出。
[0233]并且，為了桿20向上方移動，根據通過第I流路41向第I空間31內供應流體，第2空間32內部的流體通過第2流路42向外部排出。據此,桿20的劃分部23的下方端部被施加向上方的壓力，根據這種壓力桿20向上方移動。
[0234]并且，如圖15所圖示，完成桿20向上方的移動的狀態(tài)下，隨著劃分部23的上方端部與第2引導部件82接觸，能夠防止流入第I空間31內的流體通過劃分部23的外面與主貫通孔11的內面之間的間隙流入第2空間32內，因此能夠防止流入第I空間31內的流體通過第2空間32及第2流路42不必要地向外部排出。
[0235]具有上述結構的根據本發(fā)明的實施例的揀選器1，在主體10的主貫通孔11和桿20之間形成第I空間31及第2空間32，通過向第I空間31及第2空間32的內部選擇性地供應流體，使桿20向上方移動。
[0236]S卩，根據本發(fā)明的實施例的揀選器1，引導桿20的上下方向的移動的主貫通孔11還起到氣缸的作用，桿20能起到活塞的作用。
[0237]因此，根據本發(fā)明的實施例的揀選器1，桿20的移動線路和為移動桿而施加壓力的線路位于同一線上，相比為使桿20向上下方向移動獨立具備由氣缸及活塞構成的執(zhí)行器傳統技術，具有能夠最小化揀選器I的大小的優(yōu)點。
[0238]而且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器1，以多個列及多個行安裝在拾放裝置的情況下，隨著揀選器I的大小的最小化，能夠最小化個各揀選器I之間的間隔，因此具有能夠最小化拾放裝置的大小的優(yōu)點，還具有能夠最小化多個揀選器I能同時拾取的多個元件之間的間隔的優(yōu)點。
[0239]而且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器1，因具有防止桿20向其長度方向的軸為中心旋轉的旋轉防止部50，使桿20的往返移動變得順暢，具有能夠順暢地進行利用桿20的往返移動的揀選器I的拾放動作的優(yōu)點。
[0240]而且，根據本發(fā)明的實施例的揀選器1，位于旋轉防止部50的機殼51的內部形成511，因桿20的加壓而泄漏的潤滑劑能收容到收容空間511內，具有能夠防止?jié)櫥瑒┫驋x器I的外部泄漏的優(yōu)點。
[0241]另外，隨著桿20通過主體20的主貫通孔11滑動，因摩擦力產生靜電并積累，因此存在積累的靜電通過與桿20結合的吸附頭90損傷拾取的元件，或因靜電無意吸附元件或異物而發(fā)生錯誤運轉等問題點。
[0242]根據本發(fā)明的揀選器I應追加包括靜電消除部200，與所述桿20結合，所述桿20向所述主體10移動時與其他部件接觸，消除所述桿20帶電的靜電。
[0243]這里，其他部件通過與靜電消除部200的接觸，消除桿20中帶電的靜電的結構，可以是主體20或機殼51中的至少一個。
[0244]例如，桿20的靜電可通過與靜電消除部200，主體20及機殼51中至少一個或主體20及機殼51中至少一個連接的接地結構消除。
[0245]因此，靜電消除部200，主體20及機殼51中至少一個為了容易消除靜電，應使用導電性較高的材質。
[0246]靜電消除部200是與桿20結合，桿20向主體10移動時，與其他部件接觸，消除桿20上帶電的靜電的結構，可采用多種結構。
[0247]作為例子，靜電消除部200可包括:固定部分221，固定在桿20上；一個以上的延長部分233,從固定部分221向桿20的長度方向傾斜并延長；接觸部分231,位于延長部分233的末端，桿20移動時，與其他部件接觸。
[0248]固定部分221是固定在桿20的部分，根據與桿20的結合結構，可以采用多種結構。
[0249]作為例子，靜電消除部200如圖16及圖17所示，為了夾住之前所述的與桿20固定結合的移動模塊53的末端，具有‘U’字形狀，為了桿20能貫通，可具有形成貫通孔222的夾子結構。
[0250]延長部分233從桿20延長，通過與主體10等其他部件的接觸，最終與設置在外部的接地端子連接而消除靜電，能夠采用多種結構。
[0251]尤其，延長部分233，為使桿20在移動時與其他部件接觸，應向桿20的長度方向傾斜并延長。
[0252]作為例子，延長部分233，如圖16及圖17所圖示，從固定部分221向軸52延長，可形成一對，使相互間隔變大。
[0253]另外，延長部分233與固定部分221形成一體，為了與其他部件的接觸順暢，應能進行彈性變形。
[0254]接觸部分231是在延長部分233的末端延長，桿20移動時與其他部件接觸的部分，可采用多種結構。
[0255]尤其，接觸部分231與其他部件接觸時，形成更多面積的接觸才有利，因此應與接觸的表面形成平行的面。
[0256]作為例子，接觸部分231，如圖16及圖17所圖示，位于一對延長部分233的末端，桿20移動時，各自與主體20及機殼51接觸，應與主體20及機殼51的內面平行。而且，接觸部分231及延長部分233中至少一個，為了防止移動時與軸52等其他部件的干涉，可形成開口部或切開槽232。
[0257]以上例示性地說明了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，但本發(fā)明的范圍并不限定于所述特定實施例，在專利權利要求范圍記載的范疇內，可進行適當的變更。
【權利要求】
1.一種移送工具，其特征在于，包括: 多個揀選器，根據真空壓力拾取元件； 多個支撐部件，分別與所述多個揀選器結合，使所述多個揀選器以一定間隔排成一列； 節(jié)距調整部，通過改變所述多個支撐部件之間的間隔，改變所述多個揀選器之間的間隔; 所述節(jié)距調整部包括， 支撐本體，設在構造物上； 多個連接部，包括設在所述支撐本體上并以‘X’字形態(tài)交叉結合，交叉結合的部分與所述各支撐部件結合的一對連接部件，與所述多個支撐部件對應并排成一列； 多個結合銷，使所述連接部的連接部件的末端與相鄰的連接部的連接部件的末端旋轉結合； 所述連接部件中，與‘X’字形態(tài)交叉結合的連接部件旋轉結合的第I結合孔在中央形成，插入所述結合銷，使所述連接部件與相鄰的連接部件旋轉結合的第2結合孔在兩端形成，并具有金屬材質。
2.根據權利要求1所述的移送工具，其特征在于: 所述第I結合孔及所述第2結合孔中至少一個的內周面上形成由工程塑料構成的保護層。
3.根據權利要求2所述的移送工具，其特征在于: 所述保護層通過嵌件成型或鍍膜形成。
4.根據權利要求2所述的移送工具，其特征在于: 所述保護層的材質是聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酮(PEK)、聚苯硫醚(PPS)及鐵氟龍中的任何一個。
5.根據權利要求2所述的移送工具，其特征在于: 所述保護層， 所述第I結合孔及所述第2結合孔中至少一個的內周面，在所述保護層形成之前形成一部分向內側突出的環(huán)形突出部，所述保護層包括所述突出部，在內周面上形成，形成圓柱形狀的插入孔。
6.根據權利要求1至權利要求5中的任意一項所述的移送工具，其特征在于: 所述支撐本體上設置上部引導及下部引導，引導因所述支撐部件的下部及上部各自約束結合而產生的所述多個支撐部件的間隔變化的直線移動。
7.根據權利要求1至權利要求5中的任意一項所述的移送工具，其特征在于: 所述支撐部件，與所述一對連接部件的交叉部分及結合銷中的至少一個結合。
8.根據權利要求1至權利要求5中的任意一項所述的移送工具，其特征在于: 所述連接部件中，所述第I結合孔與所述第2結合孔之間形成向內部凹陷的凹槽和貫通孔中的至少一個。
9.根據權利要求1至權利要求5中的任意一項所述的移送工具的連接部件。
10.揀選器，其特征在于，包括: 主體，形成主貫通孔； 桿，插入所述主貫通孔，可滑動，根據流壓驅動進行直線往返移動，與根據末端的真空壓力拾取兀件的拾取頭結合； 靜電消除部，與所述桿結合，所述桿向所述主體移動時與其他部件接觸，消除所述桿帶電的靜電。
11.根據權利要求10所述的揀選器，其特征在于，包括: 與所述主體結合，在所述桿的周圍具有收容空間的機殼。
12.揀選器，其特征在于，包括: 主體，形成所述貫通孔； 桿，插入所述貫通孔，可滑動，把貫通孔的內部空間劃分為第I空間及第2空間，通過使流體選擇性地流入所述第I空間及第2空間從而進行直線往返移動； 機殼，與所述主體結合，在所述桿的周圍具有收容空間。
13.根據權利要求11或權利要求12所述的揀選器，其特征在于，包括: 旋轉防止部，防止所述桿向其長度方向的軸為中心旋轉。
【文檔編號】H01L21/677GK104282606SQ201310750300
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年12月31日 優(yōu)先權日:2013年7月11日
【發(fā)明者】柳弘俊, 徐龍鎮(zhèn) 申請人:宰體有限公司