有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法和裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，包括：OEL材料蒸發(fā)源輸出OEL材料微粒；微粒帶電和輸運模塊控制該OEL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶有特定極性的電荷的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板定向輸運；導向電場形成模塊通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使帶有特定極性的電荷的OEL材料微粒淀積于OLED顯示器背板上的與設定顏色的子像素電極對應的區(qū)域。本發(fā)明使得各個子像素的發(fā)光層的OEL材料微粒淀積的位置與各個子像素電極的位置對應，各個子像素的發(fā)光層的OEL材料微粒淀積形成圖案和子像素電極形狀一致。
【專利說明】有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法和裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及OLED (Organic Light-Emitting Diode,有機發(fā)光二極管)顯示器制作領域，尤其涉及一種有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法和裝置。
【背景技術】
[0002]0LED顯示器像素是由疊層結構構成的發(fā)光二極管。如圖1所示，在由R (紅)、G(綠)、B (藍)子像素構成的彩色像素結構中，除了不同顏色發(fā)光層(EML)的位置和形狀需要和子像素電極(通常為陽極)分別對應外，EML (發(fā)光層)的下層結構(包括像素陣列電路11、紅色子像素電極121、綠色子像素電極122、藍色子像素電極123和空穴傳輸層13)和EML的上層結構(包括電子傳輸層15和陰極16)為各色子像素公用層。在圖1中，標示為10的是基板，標示為141的為紅色發(fā)光層，標示為142的為綠色發(fā)光層，標示為143的為藍色發(fā)光層。不同顏色的子像素的發(fā)光層引材料不同、蒸鍍的目標區(qū)域和圖案不同需要分別蒸鍍，如果一種顏色的EML材料淀積到了另外一個子像素對應電極的區(qū)域，則會引起混色。
[0003]為了限制蒸鍍過程中飛散微粒的淀積區(qū)域使之在特定位置形成設定圖案的發(fā)光層，現(xiàn)有技術是在蒸鍍過程中在靠近基板的位置放置FMM (Fine Mental Mask，高精度金屬掩膜板)，用以擋住開孔區(qū)域以外的蒸鍍顆粒。FMM開孔區(qū)域和子像素電極區(qū)域對準，可以使得蒸鍍的有機發(fā)光材料微粒淀積在子像素電極區(qū)域，形成具有和FMM開孔近似形狀的發(fā)光層。通過移動FMM或采用不同的FMM蒸鍍不同材料，可以分別形成所需不同顏色子像素的有機發(fā)光層。
[0004]圖2A、圖2B、圖2C、圖2D和圖2E分別示意現(xiàn)有的采用FMM蒸鍍OEL (OrganicElectro Luminescence,有機電致發(fā)光顯示)材料微粒方法的發(fā)光層下層結構粒子定向淀積步驟、紅色發(fā)光層粒子定向淀積步驟、綠色發(fā)光層粒子定向淀積步驟、藍色發(fā)光層粒子定向淀積步驟和發(fā)光層上層結構粒子定向淀積步驟。在圖2A、圖2B、圖2C、圖2D和圖2E中，標號為20的是0EL材料蒸發(fā)源，標號為21的是設有像素陣列線路的玻璃基板，標號為221的是紅色子像素電極，標號為222的是綠色子像素電極，標號為223的是藍色子像素電極，標號為23的是發(fā)光層下層結構，標號為201、202、203、204、205、206的是FMM，標號為241、242、243的分別是紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍色發(fā)光層。
[0005]但是現(xiàn)有的0EL材料靜電蒸鍍方法存在如下問題:一是由于受到重力和溫度變化產生熱的應力會產生變形，影響蒸鍍形成的位置和圖案形狀精度；二是由于FMM屏蔽作用，只有少量0EL材料透過FMM淀積于發(fā)光層，其余材料因淀積在FMM上不能被利用。
【發(fā)明內容】
[0006]本發(fā)明的主要目的在于提供一種有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法和裝置，使得各個子像素的發(fā)光層的0EL材料微粒淀積的位置與各個子像素電極的位置對應，各個子像素的發(fā)光層的0EL材料微粒淀積形成圖案和子像素電極形狀一致。
[0007]為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，用于在有機電致發(fā)光二極管OLED顯示器的設置有不同顏色子像素電極的OLED顯示器背板上蒸鍍發(fā)光層，所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法包括:
[0008]有機電致發(fā)光顯示0EL材料輸出步驟:0EL材料蒸發(fā)源輸出0EL材料微粒；
[0009]微粒帶電和輸運步驟:微粒帶電和輸運模塊控制該0EL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶有特定極性的電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板定向輸運；
[0010]粒子定向淀積步驟:導向電場形成模塊通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶有特定極性的電荷的0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上的與設定顏色的子像素電極對應的區(qū)域。
[0011]實施時，本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，在所述微粒帶電和輸運步驟和所述粒子定向淀積步驟之間還包括:
[0012]微粒速度調控步驟:微粒速度控制模塊調控所述帶有特定極性的電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度。
[0013]實施時，所述微粒速度調控步驟包括:
[0014]在所述0EL材料蒸發(fā)源和所述0LED顯示器背板之間設置柵狀電極；
[0015]在所述柵狀電極和所述子像素電極之間形成輸運控制電場，控制帶有特定極性的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度
[0016]本發(fā)明還提供了 一種有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，用于在有機電致發(fā)光二極管0LED顯示器的設置有不同顏色子像素電極的0LED顯示器背板上蒸鍍發(fā)光層，所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置包括:
[0017]有機電致發(fā)光顯不材料0EL蒸發(fā)源，用于輸出0EL材料微粒；
[0018]微粒帶電和輸運模塊，用于控制該0EL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶電的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板定向輸運；
[0019]以及，電場形成模塊，用于通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶電的0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上的設定區(qū)域，從而在該設定區(qū)域上蒸鍍發(fā)光層。
[0020]實施時，本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置還包括:
[0021 ] 微粒速度調控模塊，用于調控所述帶電的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度。
[0022]實施時，所述微粒速度調控模塊包括:
[0023]設置于所述微粒帶電和輸運模塊和所述0LED顯示器背板之間的柵狀電極；
[0024]以及，電場形成單元，用于通過在柵狀電極和所述子像素電極之間形成輸運控制電場，控制所述帶有特定極性的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度。
[0025]實施時，所述微粒速度調控模塊包括:
[0026]設置于所述微粒帶電和輸運模塊和所述0LED顯示器背板之間的柵狀電極組，所述柵狀電極組包括從微粒帶電和輸運模塊側向0LED顯示器背板側依次排列的多個柵狀電極；
[0027]以及，電場形成單元，用于通過在所述多個柵狀電極間的輸運控制電場調控所述帶電的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板方向的定向輸運速度。
[0028]實施時，所述電場形成單元，還通過在最靠近所述0LED顯示器背板一側的柵狀電極與所述子像素電極之間形成輸運控制電場，控制所述帶電的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板的定向輸運速度。
[0029]實施時，所述微粒帶電和輸運模塊為射頻離子源。
[0030]與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法和裝置，使得0EL材料微粒帶電，并使得帶電的0EL材料微粒向設置有多個子像素電極的0LED顯示器背板定向輸運，并通過在所述不同顏色子像素電極之間形成電場，使得所述帶電的0EL材料微粒淀積于設定區(qū)域，從而在該設定區(qū)域上蒸鍍發(fā)光層，在電場限制下，蒸鍍的0EL材料微粒淀積在目標子像素電極的上方，不會四處飛散，因此充分利用了蒸鍍材料。采用本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法和裝置，各個子像素的發(fā)光層的0EL材料微粒淀積的位置與各個子像素電極的位置對應，各個子像素的發(fā)光層的0EL材料微粒淀積形成圖案和子像素電極形狀一致，本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法蒸鍍位置和形狀的精度遠高于采用FMM進行蒸鍍的方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0031]圖1是0LED顯示器像素的疊層結構的結構示意圖；
[0032]圖2A是現(xiàn)有的采用FMM蒸鍍0EL材料微粒方法的發(fā)光層下層結構粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0033]圖2B是現(xiàn)有的采用FMM蒸鍍0EL材料微粒方法的紅色發(fā)光層粒子定向淀積步驟的不意圖；
[0034]圖2C是現(xiàn)有的采用FMM蒸鍍0EL材料微粒方法的綠色發(fā)光層粒子定向淀積步驟的不意圖；
[0035]圖2D是現(xiàn)有的采用FMM蒸鍍0EL材料微粒方法的藍色發(fā)光層粒子定向淀積步驟的不意圖；
[0036]圖2E是現(xiàn)有的采用FMM蒸鍍0EL材料微粒方法的發(fā)光層上層結構粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0037]圖3是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法的流程圖；
[0038]圖4A是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法的發(fā)光層下層結構粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0039]圖4B是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法的紅色發(fā)光層粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0040]圖4C是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法的綠色發(fā)光層粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0041]圖4D是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法的藍色發(fā)光層粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0042]圖4E是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法的發(fā)光層上層結構粒子定向淀積步驟的示意圖；
[0043]圖5是本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置的結構示意圖?！揪唧w實施方式】[0044]為使本發(fā)明要解決的技術問題、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0045]本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，用于在0LED顯示器的設置有不同顏色子像素電極的0LED顯示器背板上蒸鍍發(fā)光層，所述0LED顯示器背板包括設有像素陣列線路的玻璃基板；
[0046]如圖3所示，所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法包括:
[0047]有機電致發(fā)光顯示材料輸出步驟31:0EL材料蒸發(fā)源輸出0EL材料微粒；
[0048]微粒帶電和輸運步驟32:微粒帶電和輸運模塊控制該0EL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板定向輸運；
[0049]粒子定向淀積步驟33:導向電場形成模塊通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶有特定極性的電荷的0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上的與設定顏色的子像素電極對應的區(qū)域。
[0050]本發(fā)明利用在0LED背板上的不同顏色子像素上分別施加不同極性的電位，形成不同顏色像素電極間的導向電場，用于使帶有特定極性電荷的0EL材料微粒在導向電場的作用下，向設定顏色子像素電極定向淀積，而不會向其他顏色子像素電極區(qū)域淀積。
[0051 ] 本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，使得0EL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶特定極性電荷的0EL材料微粒向設置有多個子像素電極的0LED顯示器背板定向輸運，并通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上的與設定顏色的子像素電極對應的區(qū)域，從而在該區(qū)域上蒸鍍發(fā)光層，在電場限制下，蒸鍍的0EL材料微粒淀積在目標子像素電極的上方，不會四處飛散，因此充分利用了蒸鍍材料。采用本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，各個子像素的發(fā)光層的0EL材料微粒淀積的位置與各個子像素電極的位置對應，各個子像素的發(fā)光層的0EL材料微粒淀積形成圖案和子像素電極形狀一致，本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法蒸鍍位置和形狀的精度遠高于采用FMM進行蒸鍍的方法。
[0052]本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，在所述微粒帶電和輸運步驟和所述粒子定向淀積步驟之間還包括:
[0053]微粒速度調控步驟:微粒速度控制模塊調控所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度，有利于對帶電的0EL材料微粒輸運路徑的有效控制。
[0054]根據一種【具體實施方式】，當需要依次蒸鍍紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層和藍色發(fā)光層時，
[0055]如圖4A所示，首先0EL材料蒸發(fā)源40在設置有紅色子像素電極411、綠色子像素電極412和藍色子像素電極413的0LED顯示器背板42上進行發(fā)光層下層結構43的蒸鍍；
[0056]如圖4B所示，再進行紅色發(fā)光層的蒸鍍:0EL材料蒸發(fā)源40輸出紅色0EL材料微粒;
[0057]微粒帶電和輸運模塊(圖4B中未示)控制該紅色0EL材料微粒帶正電荷，并使得帶有正電荷的紅色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板42定向輸運或飛散；
[0058]微粒速度控制模塊(包括柵狀電極421和電場形成單元(圖4B中未示))調控所述帶有正電荷的紅色OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板42的定向輸運速度，有利于對所述帶有正電荷的紅色OEL材料微粒輸運路徑的有效控制；
[0059]，導向電場形成模塊(圖4B中未示)通過控制所述紅色子像素電極411的電位為VI，控制所述綠色子像素電極412的電位和所述藍色子像素電極413的電位為V2，VI小于0，V2大于0 ;從而在所綠色子像素電極412和所述紅色子像素電極411之間形成導向電場，在所述藍色子像素電極413和所述紅色子像素電極411之間形成導向電場，使得所述帶有正電荷的紅色0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上與所述紅色子像素電極411對應的區(qū)域上，從而在該區(qū)域上蒸鍍紅色發(fā)光層441 ；
[0060]如圖4C所示，再進行綠色發(fā)光層的蒸鍍:0EL材料蒸發(fā)源40輸出綠色0EL材料微粒;
[0061]微粒帶電和輸運模塊(圖4C中未示)控制該綠色0EL材料微粒帶正電荷，并使得帶有正電荷的綠色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板42定向輸運或飛散；
[0062]微粒速度控制模塊(包括柵狀電極422和電場形成單元(圖4C中未示))調控所述帶有正電荷的綠色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板42的定向輸運速度，有利于對所述帶有正電荷的綠色0EL材料微粒輸運路徑的有效控制；
[0063]導向電場形成模塊(圖4C中未示)通過控制所述綠色子像素電極412的電位為VI，控制所述紅色子像素電極411的電位和所述藍色子像素電極413的電位為V2，VI小于0，V2大于0 ;從而在所紅色子像素電極411和所述綠色子像素電極412之間形成導向電場，在所述藍色子像素電極413和所述綠色子像素電極412之間形成導向電場，使得所述帶有正電荷的綠色0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上與所述綠色子像素電極412對應的區(qū)域上，從而在該區(qū)域上蒸鍍綠色發(fā)光層442 ；
[0064]如圖4D所示，再進行藍色發(fā)光層的蒸鍍:0EL材料蒸發(fā)源40輸出藍色0EL材料微粒;
[0065]微粒帶電和輸運模塊(圖4B中未示)控制該藍色0EL材料微粒帶正電荷，并使得帶有正電荷的藍色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板42定向輸運或飛散；
[0066]微粒速度控制模塊(包括柵狀電極423和電場形成單元(圖4B中未示))調控所述帶有正電荷的藍色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板42的定向輸運速度，有利于對所述帶有正電荷的藍色0EL材料微粒輸運路徑的有效控制；
[0067]導向電場形成模塊(圖4B中未示)通過控制所述藍色子像素電極413的電位為VI，控制所述紅色子像素電極411的電位和所述綠色子像素電極412的電位為V2，VI小于0，V2大于0 ;從而在所紅色子像素電極411和所述藍色子像素電極413之間形成導向電場，在所述綠色子像素電極412和所述藍色子像素電極413之間形成導向電場，使得所述帶有正電荷的藍色0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板42上與所述藍色子像素電極413對應的區(qū)域上，從而在該區(qū)域上蒸鍍藍色發(fā)光層443 ；
[0068]如圖4E所示，在蒸鍍有紅色發(fā)光層441、綠色發(fā)光層442和藍色發(fā)光層443后，進行發(fā)光層的上層結構45的蒸鍍。
[0069]在該實施例中，帶有特定極性電荷的0EL材料微粒從離子源或其他微粒帶電和輸運模塊產出后，向基板方向定向輸運。在輸運通路上，設置柵狀電極，可以利用柵狀電極與基板間距離和相對電位，控制帶有特定極性電荷的0EL材料微粒到達基板附近的速度。帶有特定極性電荷的OEL材料微粒到達基板表面附近向基板定向輸運速度的控制，有利于基板上子像素電極間導向電場對帶有特定極性電荷的OEL材料微粒輸運路徑的有效控制；
[0070]帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向基板方向輸運，在接近基板表面時，由于基板表面不同子像素電極施加了不同極性的電位，形成電極間的導向電場，則帶有特定極性電荷的0EL材料微粒會沿導向電場方向輸運。假設帶有特定極性電荷的0EL材料微粒帶正電荷，當V2>0，VI〈0V時，在子像素電極間導向電場作用下，帶有正電荷的0EL材料微粒會向連接VI電位的子像素電極表面淀積。從而在VI電位連接的子像素電極上形成發(fā)光(材料)層，但在V2連接的電極上，沒有或很少有帶電微粒淀積；
[0071]按類似方式，變換材料蒸鍍源，并相應變換VI電位連接的子像素電極，則可以依次形成紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層和藍色發(fā)光層。
[0072]在具體實施時，該柵狀電極也可以替換為柵狀電極組，所述柵狀電極組包括從微粒帶電和輸運模塊側向0LED顯示器背板側依次排列的多個柵狀電極；
[0073]通過在所述多個柵狀電極間的輸運控制電場調控所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯不器背板方向的定向輸運速度；
[0074]還可以通過最靠近所述0LED顯示器背板一側的柵狀電極與所述0LED顯示器背板間的距離，并通過該柵狀電極與所述子像素電極之間的相對電位，控制所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度。
[0075]本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，用于在有機發(fā)光二極管0LED顯示器的設置有不同顏色子像素電極的0LED顯示器背板上蒸鍍發(fā)光層，所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置包括:
[0076]0EL蒸發(fā)源，用于輸出0EL材料微粒；
[0077]微粒帶電和輸運模塊，用于控制該0EL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板定向輸運；
[0078]以及，導向電場形成模塊，用于通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒淀積于該0LED顯示器背板上的與設定顏色的子像素電極對應的區(qū)域，從而在該區(qū)域上蒸鍍發(fā)光層。
[0079]實施時，本發(fā)明所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置還包括:
[0080]微粒速度調控模塊，用于調控所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度。
[0081]實施時，所述微粒速度調控模塊包括:
[0082]設置于所述微粒帶電和輸運模塊和所述0LED顯示器背板之間的柵狀電極組，所述柵狀電極組包括從微粒帶電和輸運模塊側向0LED顯示器背板側依次排列的多個柵狀電極；
[0083]以及，輸運控制電場形成單元，用于通過在所述多個柵狀電極間的輸運控制電場調控所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板方向的定向輸運速度。
[0084]實施時，所述輸運控制電場形成單元，還通過最靠近所述0LED顯示器背板一側的柵狀電極與所述0LED顯示器背板間的距離，并通過該柵狀電極與所述子像素電極之間的相對電位，控制所述帶有特定極性電荷的0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板的定向輸運速度。[0085]如圖5所示，本發(fā)明實施例所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，用于在有機發(fā)光二極管0LED顯示器的0LED顯示器背板50上蒸鍍發(fā)光層，所述0LED顯示器背板50上設置有紅色子像素電極511、綠色子像素電極512和藍色子像素電極513，所述0LED顯示器背板50包括玻璃基板和設置于其上的像素陣列電路;在設置有紅色子像素電極511、綠色子像素電極512和藍色子像素電極513的0LED顯示器背板50上蒸鍍有發(fā)光層上層結構52 ；
[0086]所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置包括:
[0087]0EL蒸發(fā)源53，用于輸出綠色0EL材料微粒；
[0088]微粒帶電和輸運模塊54，用于控制該綠色0EL材料微粒帶正電荷，并使得帶有正電荷的綠色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板50定向輸運；
[0089]設置于所述微粒帶電和輸運模塊51和所述0LED顯示器背板50之間的柵狀電極組，所述柵狀電極組包括從微粒帶電和輸運模塊側向0LED顯示器背板側依次排列的第一柵狀電極551和第二柵狀電極552 ；
[0090]輸運控制電場形成單元(圖5中未示)，用于通過在所述第一柵狀電極551和所述第二柵狀電極552間的輸運控制電場調控所述帶有正電荷的綠色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板方向50的定向輸運速度，還通過所述第二柵狀電極552與所述0LED顯示器背板50間的距離，并通過該第二柵狀電極552與所述紅色子像素電極511、所述綠色子像素電極512和所述藍色子像素電極513之間的相對電位(所述第二柵狀電極552被所述電場形成單元施加電壓V3)，控制所述帶有正電荷的綠色0EL材料微粒向所述0LED顯示器背板50的定向輸運速度；
[0091]以及，導向電場形成模塊(圖5中未示)，用于通過控制所述綠色子像素電極512的電位為VI，控制所述紅色子像素電極511的電位和所述藍色子像素電極413的電位為V2，VI小于0，V2大于0，從而在所紅色子像素電極511和所述綠色子像素電極512之間形成導向電場，在所述藍色子像素電極513和所述綠色子像素電極512之間形成導向電場，使得所述帶有正電荷的綠色0EL材料微粒淀積于所述0LED顯示器背板上與所述綠色子像素電極512對應的區(qū)域上，從而在該區(qū)域上蒸鍍綠色發(fā)光層56。
[0092]實施時，所述微粒帶電和輸運模塊可以為射頻離子源。
[0093]所述微粒帶電和輸運模塊可以為離子源，離子源可以選擇不同種類，或采用其他方式使非分子狀態(tài)的材料微粒帶有電荷。柵狀電極(組)也可以采取其他形狀的電極和設置，目的是形成所需的輸運控制電場，控制帶有特定極性的0EL電荷微粒的定向輸運速度。這部分裝置還可以有帶電粒子篩選的功能。各該電極電位的設置以有效控制帶電粒子輸運為目的，該電位極性和幅度可以按實際效果確定。
[0094]本發(fā)明在0EL材料蒸發(fā)源前增加離子發(fā)生或其他使材料微粒帶電的裝置；通過設置柵狀電極(組)調控帶有特定極性的0EL材料微粒向基板的定向輸運速度；同時在被蒸鍍基板的不同子像素電極施加不同極性電位，利用子像素電極間導向電場控制被蒸鍍材料帶電微粒淀積在特定區(qū)域。本發(fā)明所述的方法不僅可以使淀積形成的發(fā)光層圖案和位置與(子)像素電極嚴格對準，而且充分利用了蒸鍍材料。
[0095]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
【權利要求】
1.一種有機電致發(fā)光顯75材料靜電蒸鍍方法，用于在有機電致發(fā)光二極管OLED顯75器的設置有不同顏色子像素電極的OLED顯示器背板上蒸鍍發(fā)光層，其特征在于，所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法包括:有機電致發(fā)光顯示OEL材料輸出步驟:OEL材料蒸發(fā)源輸出OEL材料微粒；微粒帶電和輸運步驟:微粒帶電和輸運模塊控制該OEL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶有特定極性的電荷的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板定向輸運；粒子定向淀積步驟:導向電場形成模塊通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶有特定極性的電荷的OEL材料微粒淀積于所述OLED顯示器背板上的與設定顏色的子像素電極對應的區(qū)域。
2.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，其特征在于，在所述微粒帶電和輸運步驟和所述粒子定向淀積步驟之間還包括:微粒速度調控步驟:微粒速度控制模塊調控所述帶有特定極性的電荷的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板的定向輸運速度。
3.如權利要求2所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍方法，其特征在于，所述微粒速度調控步驟包括:在所述OEL材料蒸發(fā)源和所述OLED顯示器背板之間設置柵狀電極；在所述柵狀電極和所述子像素電極之間形成輸運控制電場，控制帶有特定極性的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板的定向輸運速度
4.一種有機電致發(fā)光顯示`材料靜電蒸鍍裝置，用于在有機電致發(fā)光二極管OLED顯示器的設置有不同顏色子像素電極的OLED顯示器背板上蒸鍍發(fā)光層，其特征在于，所述有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置包括:有機電致發(fā)光顯示材料OEL蒸發(fā)源，用于輸出OEL材料微粒；微粒帶電和輸運模塊，用于控制該OEL材料微粒帶特定極性的電荷，并使得帶電的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板定向輸運；以及，電場形成模塊，用于通過在所述不同顏色子像素電極之間形成導向電場，使得所述帶電的OEL材料微粒淀積于所述OLED顯示器背板上的設定區(qū)域，從而在該設定區(qū)域上蒸鍍發(fā)光層。
5.如權利要求4所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，其特征在于，還包括:微粒速度調控模塊，用于調控所述帶電的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板的定向輸運速度。
6.如權利要求5所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，其特征在于，所述微粒速度調控模塊包括:設置于所述微粒帶電和輸運模塊和所述OLED顯示器背板之間的柵狀電極；以及，電場形成單元，用于通過在柵狀電極和所述子像素電極之間形成輸運控制電場，控制所述帶有特定極性的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板的定向輸運速度。
7.如權利要求5所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，其特征在于，所述微粒速度調控模塊包括:設置于所述微粒帶電和輸運模塊和所述OLED顯示器背板之間的柵狀電極組，所述柵狀電極組包括從微粒帶電和輸運模塊側向OLED顯示器背板側依次排列的多個柵狀電極；以及，電場形成單元，用于通過在所述多個柵狀電極間的輸運控制電場調控所述帶電的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板方向的定向輸運速度。
8.如權利要求7所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，其特征在于，所述電場形成單元，還通過在最靠近所述OLED顯示器背板一側的柵狀電極與所述子像素電極之間形成輸運控制電場，控制所述帶電的OEL材料微粒向所述OLED顯示器背板的定向輸運速度。
9.如權利要求4至8中任一權利要求所述的有機電致發(fā)光顯示材料靜電蒸鍍裝置，其特征在于，所述微粒帶 電和輸運模塊為射頻離子源。
【文檔編號】H01L51/56GK103700780SQ201310687748
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月16日 優(yōu)先權日:2013年12月16日
【發(fā)明者】皇甫魯江, 梁逸南 申請人:京東方科技集團股份有限公司