制造柔性有機(jī)電子裝置制造方法
【專利摘要】一種在柔性襯底上形成微電子系統(tǒng)的方法包含在所述柔性襯底的第一側(cè)上沉積(通常循序地)至少一個有機(jī)薄膜層、至少一個電極，及在所述至少一個有機(jī)薄膜層和所述至少一個電極上的至少一個薄膜包封層，其中沉積所述至少一個有機(jī)薄膜層、沉積所述至少一個電極以及沉積所述至少一個薄膜包封層各自在真空下發(fā)生，且其中在沉積所述至少一個薄膜包封層之前，所述至少一個有機(jī)薄膜層或所述至少一個電極與另一固體材料不發(fā)生物理接觸。
【專利說明】制造柔性有機(jī)電子裝置
[0001]所主張的本發(fā)明是由達(dá)成聯(lián)合大學(xué)公司研究協(xié)議的以下各方中的一者或一者以上，以以下各方中的一者或一者以上的名義和/或結(jié)合以下各方中的一者或一者以上而作出:密歇根大學(xué)董事會、普林斯頓大學(xué)、南加州大學(xué)以及環(huán)宇顯示器公司(UniversalDisplay Corporation)。所述協(xié)議在作出所主張的本發(fā)明的日期當(dāng)天和之前就生效,且所主張的本發(fā)明是因在所述協(xié)議的范圍內(nèi)進(jìn)行的活動而作出。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]在若干實(shí)施例中，本發(fā)明的裝置、系統(tǒng)和方法涉及有機(jī)電子裝置，包含例如有機(jī)發(fā)光二極管裝置及其制造。
【背景技術(shù)】
[0003]提供以下信息是為了輔助閱讀者理解下文所揭示的技術(shù)以及此些技術(shù)通常可在其中使用的環(huán)境。本文所使用的術(shù)語無意限于任何特定狹義解釋，除非此文獻(xiàn)中另有明確陳述。本文所陳述的參考可促進(jìn)理解所述技術(shù)或其背景。本文所陳述的所有參考的揭示內(nèi)容以引用的方式并入本文中。
[0004]出于若干原因，利用有機(jī)材料的光學(xué)電子裝置變得越來越受歡迎。用以制作此些裝置的材料中的許多材料相對便宜，因此有機(jī)光學(xué)電子裝置具有獲得相對于無機(jī)裝置的成本優(yōu)勢的潛力。另外，有機(jī)材料的固有性質(zhì)(例如其柔性)可使其非常適合特定應(yīng)用，例如在柔性襯底上的制造。有機(jī)光學(xué)電子裝置的實(shí)例包含有機(jī)發(fā)光裝置(OLED)、有機(jī)光電晶體管、有機(jī)光伏電池和有機(jī)光電檢測器。對于OLED,有機(jī)材料可具有相對于常規(guī)材料的性能優(yōu)點(diǎn)。舉例來說，有機(jī)發(fā)光層發(fā)射光的波長通?？扇菀椎赜眠m當(dāng)?shù)膿诫s劑來調(diào)整。
[0005]OLED利用有機(jī)薄膜，其在電壓施加于裝置上時發(fā)射光。OLED正變?yōu)橛糜诶缙桨屣@示器、照明和背光等應(yīng)用中的`越來越引人注目的技術(shù)。第5，844，363號、第6，303，238號和第5，707，745號美國專利中描述若干OLED材料和配置，所述專利以全文引用的方式并入本文中。
[0006]磷光性發(fā)光分子的一個應(yīng)用是全色顯示器。用于此類顯示器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)需要適于發(fā)射特定色彩(稱為“飽和”色彩)的像素。明確地說，這些標(biāo)準(zhǔn)需要飽和的紅色、綠色和藍(lán)色像素?？墒褂么隧?xiàng)技術(shù)中眾所周知的國際照明委員會(CIE)坐標(biāo)來測量色彩。
[0007]綠色發(fā)光分子的一個實(shí)例為三(2-苯基吡啶)銥、表示為Ir (ppy)3，其具有以下結(jié)
構(gòu):
[0008]
【權(quán)利要求】
1.一種在柔性襯底上形成微電子系統(tǒng)的方法，其包括: 在所述柔性襯底的第一側(cè)上沉積至少一個有機(jī)薄膜層、至少一個電極，及在所述至少一個有機(jī)薄膜層和所述至少一個電極上的至少一個薄膜包封層，其中沉積所述至少一個有機(jī)薄膜層、沉積所述至少一個電極以及沉積所述至少一個薄膜包封層各自在真空下發(fā)生，且其中在沉積所述至少一個薄膜包封層之前，所述至少一個有機(jī)薄膜層或所述至少一個電極與另一固體材料不發(fā)生物理接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述柔性襯底在所述沉積期間處于勻速運(yùn)動中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中沉積所述至少一個有機(jī)薄膜層、沉積所述至少一個電極以及沉積所述至少一個薄膜包封層在不破壞真空的情況下發(fā)生。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述至少一個有機(jī)薄膜層之前沉積至少一個障壁層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在沉積所述至少一個薄膜包封層之后，將所述柔性襯底上形成的所述微電子系統(tǒng)卷繞在取回輥上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中在卷繞在所述取回輥上之前，層壓所述微電子系統(tǒng)的表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中在所述沉積中的第一次沉積之前，將所述柔性襯底從饋送輥解繞。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中在單個解繞和卷繞循環(huán)中將所述柔性襯底從所述饋送輥解繞，且將所述柔性襯底上形成的所述微電子系統(tǒng)卷繞在所述取回輥上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所`述的方法，其中所述柔性襯底包括預(yù)圖案化的電極。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述微電子系統(tǒng)為有機(jī)發(fā)光二極管系統(tǒng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其進(jìn)一步包括: 將所述柔性襯底從饋送輥解繞；以及 在沉積所述至少一個薄膜包封層之后，將所述柔性襯底卷繞在取回輥上，其中沉積多個有機(jī)薄膜層，且其中所述多個有機(jī)薄膜層的沉積、所述至少一個電極的沉積以及所述至少一個薄膜包封層的沉積全部在不破壞真空的情況下發(fā)生。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在沉積所述至少一個薄膜包封層之前，不發(fā)生圍繞輥的卷繞。
13.一種用于在柔性襯底上形成微電子系統(tǒng)的制造系統(tǒng)，其包括: 卷對卷襯底饋送和取回系統(tǒng)； 至少一個用于在真空下沉積至少一個有機(jī)薄膜層的系統(tǒng)，所述襯底在所述卷對卷襯底饋送和取回系統(tǒng)上時穿過所述系統(tǒng)， 至少一個用于在真空下沉積至少一個電極的系統(tǒng)，所述襯底在所述卷對卷襯底饋送和取回系統(tǒng)上時穿過所述系統(tǒng)，以及 至少一個用于在真空下在所述至少一個有機(jī)薄膜層和所述至少一個電極上沉積至少一個薄膜包封層的系統(tǒng)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的制造系統(tǒng)，其中當(dāng)所述襯底穿過所述至少一個用于沉積至少一個有機(jī)薄膜層的系統(tǒng)，穿過所述至少一個用于沉積至少一個電極的系統(tǒng)且穿過所述至少一個用于沉積至少一個薄膜包封層的系統(tǒng)時，不破壞真空。
15.一種微電子系統(tǒng)，其是通過在柔性襯底的第一側(cè)上沉積至少一個有機(jī)薄膜層、至少一個電極，及在所述至少一個有機(jī)薄膜層和所述至少一個電極上的至少一個薄膜包封層來形成，其中沉積所述至少一個有機(jī)薄膜層、沉積所述至少一個電極以及沉積所述至少一個薄膜包封層各自在真空下發(fā)生，且其中在沉積所述至少一個薄膜包封層之前，所述至少一個有機(jī)薄膜層 或所述至少一個電極與另一固體材料不發(fā)生物理接觸。
【文檔編號】H01L51/56GK103872265SQ201310681411
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月17日
【發(fā)明者】馬瑞青, 杰弗里·希爾弗奈爾, 普拉尚特·曼德利克, 朱莉婭·J·布朗, 約翰·費(fèi)爾茨 申請人:環(huán)球展覽公司