一種自動跳貨檢測系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種自動跳貨檢測系統(tǒng)，在任意一檢測站點(diǎn)上對多個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，其特征在于，所述系統(tǒng)包括存儲模塊、采集模塊、處理模塊和執(zhí)行模塊；所述存儲模塊儲存有各機(jī)臺信息；所述采集模塊用于對經(jīng)過站點(diǎn)的每個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行掃描并通過所述存儲模塊獲取該產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺信息；所述處理模塊根據(jù)該批次產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺來選擇不同的抽樣檢測規(guī)則并通過所述執(zhí)行模塊對產(chǎn)品進(jìn)行檢測。本發(fā)明根據(jù)批次的不同以及經(jīng)過生產(chǎn)機(jī)臺的重要程度的差異來設(shè)定不同的抽檢規(guī)則對各批次產(chǎn)品進(jìn)行抽樣檢測，提高了檢測精度和檢測效率。
【專利說明】一種自動跳貨檢測系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域，具體涉及一種自動跳貨檢測系統(tǒng)，可自動篩選重要機(jī)臺產(chǎn)品站點(diǎn)進(jìn)站的產(chǎn)品數(shù)量，以及更好監(jiān)控生產(chǎn)線讓其更高效的運(yùn)轉(zhuǎn)等方面。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體生產(chǎn)是一個(gè)非常復(fù)雜的過程，良率工程師的主要工作是監(jiān)控生產(chǎn)線能夠正常的運(yùn)行，能夠快速及時(shí)的發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)線上的各種異常情況，良率工程師要通過大量的掃描生產(chǎn)線上的產(chǎn)品來發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)線上的各種問題。
[0003]業(yè)界現(xiàn)在普遍采用設(shè)計(jì)不同的量測站點(diǎn)，每個(gè)缺陷掃描站點(diǎn)都對應(yīng)一個(gè)機(jī)臺或者相同機(jī)臺的產(chǎn)品，且每個(gè)站點(diǎn)都設(shè)定一個(gè)比例，其中一機(jī)臺產(chǎn)品在進(jìn)入(到達(dá))該檢測站點(diǎn)時(shí)，系統(tǒng)會抽取該比例的產(chǎn)品進(jìn)行良率檢測。
[0004]在該產(chǎn)品中選擇該比例的部分產(chǎn)品進(jìn)入良率站點(diǎn)的比例(sample rate),讓一定比例的產(chǎn)品可以被檢查到。
[0005]但是在實(shí)際生產(chǎn)中，生產(chǎn)線產(chǎn)品會不均勻，不同時(shí)期的產(chǎn)品的數(shù)量也會發(fā)生變化，例如某一產(chǎn)線上一天只有150批次產(chǎn)品，而良率站點(diǎn)一天至多能夠?qū)?00批次的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，這就造成了該良率站點(diǎn)一天內(nèi)有部分時(shí)間由于產(chǎn)品不夠而停止工作，影響了生產(chǎn)效率。業(yè)界普遍會讓超出良率抽檢站點(diǎn)產(chǎn)能的產(chǎn)品量進(jìn)入該站點(diǎn)，例如控制300批次的產(chǎn)品一天內(nèi)進(jìn)入到良率檢測站點(diǎn)，以實(shí)現(xiàn)機(jī)臺滿負(fù)荷生產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率。但這也導(dǎo)致一個(gè)問題:由于站點(diǎn)一天至多能通過200批次的產(chǎn)品并對其進(jìn)行檢測，無法滿足一天內(nèi)對所有的300批次產(chǎn)品的檢測需求，多出來的100批次產(chǎn)品就會直接不經(jīng)過檢測或者由良率工程師人為跳站而進(jìn)入下一工序；如果在這100批次的產(chǎn)品中存在有嚴(yán)重缺陷產(chǎn)品，由于沒有經(jīng)過檢測，良率工程師無法及時(shí)發(fā)現(xiàn)缺陷產(chǎn)品并找出導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn)生缺陷的相應(yīng)設(shè)備，進(jìn)而該問題設(shè)備所生產(chǎn)的產(chǎn)品還會導(dǎo)致缺陷，進(jìn)而降低了產(chǎn)品良率。
[0006]同時(shí)由于生產(chǎn)線上產(chǎn)品不均勻，可能同時(shí)很多相同站點(diǎn)但不同機(jī)臺生產(chǎn)出來的lot (批次)進(jìn)入YE (Yield Enhancement，良率提升)掃描站點(diǎn)，良率工程師人為對多余的100批次產(chǎn)品進(jìn)行跳貨，可能讓多臺機(jī)臺生產(chǎn)的產(chǎn)品不能被檢測到，而某幾臺的產(chǎn)品被重復(fù)抽檢的情況，造成檢測的范圍縮?。贿€存在進(jìn)入YE掃描站點(diǎn)的產(chǎn)品優(yōu)先級不同，良率工程師人為跳貨，會造成雖然有很多產(chǎn)品被掃描了，卻不能檢測到生產(chǎn)線上重要機(jī)臺的情況等問題。
[0007]同時(shí)，由于一個(gè)站點(diǎn)一般只設(shè)置有一抽檢概率，如圖1所不，可能會有分別有三個(gè)來自不同機(jī)臺的三個(gè)批次產(chǎn)品進(jìn)入到該站進(jìn)行檢測，但是該站點(diǎn)的抽檢概率為20%，即選取批次最后一位數(shù)字為1、5的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，因此抽取了產(chǎn)品1、5、11、15進(jìn)行檢測，但是批次2的產(chǎn)品由于工藝比較重要或者缺陷率較高，理想情況下需要增加抽檢概率對其進(jìn)行檢查(如50%)以便更精確定位其缺陷產(chǎn)品，但是一旦增大抽檢概率其他批次產(chǎn)品也會受到影響，站點(diǎn)也會以50%的概率抽檢其他批次產(chǎn)品，造成了抽檢效率的低下；同時(shí)批次3產(chǎn)品重要程度較低，一般以10%的抽檢概率即可，但是現(xiàn)有技術(shù)采用無差別的抽檢規(guī)則進(jìn)行檢測，不僅檢測精度較低，同時(shí)檢測效率也比較一般。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明提供了一種跳貨檢測系統(tǒng)，其中，該系統(tǒng)包括存儲模塊、采集模塊、處理模塊和執(zhí)行模塊；
[0009]所述存儲模塊儲存有各機(jī)臺信息；
[0010]所述采集模塊用于對進(jìn)入到良率掃描站點(diǎn)的每個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行掃描并通過所述存儲模塊獲取該產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺缺陷狀況信息；
[0011]所述處理模塊根據(jù)不同批次產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺的重要程度以及同型機(jī)臺的不同條件來選擇不同的抽樣檢測規(guī)則并通過所述執(zhí)行模塊對產(chǎn)品進(jìn)行檢測；
[0012]通過針對不同機(jī)臺的產(chǎn)品來選取不同的抽樣檢測規(guī)則對該批次產(chǎn)品進(jìn)行檢測，以提高檢測效率和檢測精度。
[0013]上述的系統(tǒng)，其中，所述處理模塊有一可編輯單元，用于編輯各機(jī)臺產(chǎn)品所對應(yīng)的抽樣檢測規(guī)則，所述抽樣檢測規(guī)則根據(jù)機(jī)臺的不同而設(shè)定。
[0014]上述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)具有一最低抽樣檢測規(guī)則。
[0015]上述的系統(tǒng)，其中，所述存儲模塊存儲有生產(chǎn)線上所以生產(chǎn)機(jī)臺信息。
[0016]上述的系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)可控制所有良率檢測站點(diǎn)對產(chǎn)品進(jìn)行檢測。
[0017]由于本發(fā)明采用了以上技術(shù)方案，根據(jù)批次的不同以及經(jīng)過生產(chǎn)機(jī)臺的重要程度的差異來設(shè)定不同的抽檢規(guī)則對各批次產(chǎn)品進(jìn)行抽樣檢測，提高了檢測精度和檢測效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]通過閱讀參照以下附圖對非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明及其特征、夕卜形和優(yōu)點(diǎn)將會變得更明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本發(fā)明的主旨。
[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一站點(diǎn)對多批次晶圓進(jìn)行檢測的不意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明自動跳貨檢測系統(tǒng)的組成示意圖；
[0021]圖3為本發(fā)明一站點(diǎn)對多批次晶圓進(jìn)行檢測的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的說明:
[0023]本發(fā)明公開了一種自動跳貨檢測系統(tǒng)，在任意一檢測站點(diǎn)上對多個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，如圖2所示，該系統(tǒng)包括存儲模塊、采集模塊、處理模塊和執(zhí)行模塊；
[0024]存儲模塊存儲有生產(chǎn)線上所有生產(chǎn)機(jī)臺信息；
[0025]采集模塊用于對經(jīng)過站點(diǎn)的每個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行掃描并通過存儲模塊獲取該批次產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺信息；具體的，采集模塊對流經(jīng)站點(diǎn)的各批產(chǎn)品的部分產(chǎn)品進(jìn)行掃描，并與存儲模塊儲存的各機(jī)臺信息進(jìn)行比對，獲取該批次產(chǎn)品所出自的機(jī)臺；
[0026]處理模塊根據(jù)該批次產(chǎn)品對應(yīng)機(jī)臺的不同來選擇不同的抽樣檢測規(guī)則并通過執(zhí)行模塊對產(chǎn)品進(jìn)行檢測，處理模塊有一可編輯單元，技術(shù)人員根據(jù)機(jī)臺的不同通過可編輯單元來設(shè)定不同的抽樣檢測規(guī)則，進(jìn)而可極大提高檢測效率，并提高檢測精度。其中，在本發(fā)明的實(shí)施例中，該系統(tǒng)具有一最低的抽樣檢測規(guī)則，以確保檢測的數(shù)量；同時(shí)，由于存儲模塊存儲有生產(chǎn)線上所有生產(chǎn)機(jī)臺信息，進(jìn)而可實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)可控制所有良率檢測站點(diǎn)對產(chǎn)品進(jìn)行檢測，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)集成化和統(tǒng)一，提高了生產(chǎn)效率。
[0027]下面就本發(fā)明提供一實(shí)施例來進(jìn)行進(jìn)一步闡述，如圖3所示，其中一站點(diǎn)需要對來自三個(gè)機(jī)臺的三個(gè)批次產(chǎn)品進(jìn)行抽樣檢測，技術(shù)人員事先通過可編輯單元分別編輯各批次產(chǎn)品的抽檢規(guī)則:在批次I產(chǎn)品中，抽取末位數(shù)字為1、5的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，在批次2產(chǎn)品中，抽取末位數(shù)字為1、3、5、7、9的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，在批次I產(chǎn)品中，抽取末位數(shù)字為I的產(chǎn)品進(jìn)行檢測。由于機(jī)臺I的工藝比較重要或容易產(chǎn)生缺陷產(chǎn)品，因此需要增大對機(jī)臺I生產(chǎn)的批次I產(chǎn)品的抽檢概率來提高缺陷檢測的精度，即50% ；同理，分別批次2和批次3所對應(yīng)的機(jī)臺采用20%及10%的抽檢概率進(jìn)行檢測。
[0028]當(dāng)其中一批次的產(chǎn)品進(jìn)入到該站點(diǎn)進(jìn)行檢測時(shí)，采集模塊對該批次的第一個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行掃描，并與存儲模塊儲存的各機(jī)臺信息進(jìn)行比對，獲取得出該批次產(chǎn)品出自機(jī)臺I的產(chǎn)品批次；
[0029]處理模塊根據(jù)存儲模塊中預(yù)儲存的各機(jī)臺對應(yīng)的抽樣檢測規(guī)則，分別對每個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行檢測:在批次I中選取末位數(shù)字為1、5的產(chǎn)品進(jìn)行檢測；在批次2中選取末位數(shù)字為11、13、15、17、19的產(chǎn)品進(jìn)行檢測；在批次I中選取末位數(shù)字為I的產(chǎn)品進(jìn)行檢測，如圖3所示，針對來自不同機(jī)臺的不同批次產(chǎn)品分別采用不同的抽檢規(guī)則進(jìn)而提高檢測效率，優(yōu)化整個(gè)檢測過程，降低生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)，提高了檢測效率和生產(chǎn)線的良率。
[0030]具體的，根據(jù)生產(chǎn)線上機(jī)臺以及機(jī)臺的CHAMBER(腔體)的重要程度將進(jìn)入YE站點(diǎn)的產(chǎn)品分為不同等級，如AA_ET，P0LY_ET, M*_ET等定義電路圖形的站點(diǎn)，這些最重要的流程定義為最高優(yōu)先級，當(dāng)出現(xiàn)多批這些站點(diǎn)的產(chǎn)品時(shí)，系統(tǒng)會自動統(tǒng)計(jì)通過不同機(jī)臺出來的產(chǎn)品的數(shù)量，并允許每天skip同一個(gè)機(jī)臺或者該機(jī)臺的一個(gè)腔室生產(chǎn)出來的多于規(guī)定批次的產(chǎn)品(如跳掉多余51ots每天的量進(jìn)行檢測)；對于優(yōu)先級稍低的站點(diǎn)如:SPA_ET, NP_IMP, PHOTO等站點(diǎn)，系統(tǒng)會自動挑選某一個(gè)機(jī)臺或者該機(jī)臺的一個(gè)腔室生產(chǎn)出來的多于規(guī)定批次的產(chǎn)品(如跳掉多余31ots每天的量進(jìn)行檢測)；對于一些不太重要的站點(diǎn)的進(jìn)站的lot,當(dāng)出現(xiàn)很多優(yōu)先級較高的產(chǎn)品進(jìn)入站點(diǎn)的時(shí)候,會按照每臺機(jī)臺10%的比較抽樣檢測，以提高檢測精度；同時(shí)，本發(fā)明提供的自動跳貨檢測系統(tǒng)還設(shè)置有一最低抽樣檢測規(guī)則，以實(shí)現(xiàn)最大程度優(yōu)化檢測生產(chǎn)線的目的，提高發(fā)現(xiàn)問題產(chǎn)品的概率。
[0031]綜上所述，在不同機(jī)臺的不同批次產(chǎn)品通過站點(diǎn)進(jìn)行檢測時(shí)，通過本發(fā)明提供的自動跳貨檢測系統(tǒng)來針對不同機(jī)臺的產(chǎn)品批次來選取不同的抽樣檢測規(guī)則對該批次產(chǎn)品進(jìn)行檢測，極大提聞了檢測效率和檢測精度。
[0032]以上對本發(fā)明的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種自動跳貨檢測系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括存儲模塊、采集模塊、處理模塊和執(zhí)行模塊； 所述存儲模塊儲存有機(jī)臺信息； 所述采集模塊用于對進(jìn)入到良率掃描站點(diǎn)的每個(gè)批次的產(chǎn)品進(jìn)行掃描并通過所述存儲模塊獲取該產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺缺陷狀況信息； 所述處理模塊根據(jù)不同批次產(chǎn)品對應(yīng)的機(jī)臺的重要程度以及同型機(jī)臺的不同條件來選擇不同的抽樣檢測規(guī)則并通過所述執(zhí)行模塊對產(chǎn)品進(jìn)行檢測； 根據(jù)批次的不同以及經(jīng)過生產(chǎn)機(jī)臺的重要程度的差異來設(shè)定不同的抽檢規(guī)則對各批次廣品進(jìn)行抽樣檢測，提聞了檢測精度和檢測效率。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理模塊有一可編輯單元，用于編輯各機(jī)臺產(chǎn)品所對應(yīng)的抽樣檢測規(guī)則，所述抽樣檢測規(guī)則根據(jù)機(jī)臺的不同而設(shè)定。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)具有一最低抽樣檢測規(guī)則。
4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述存儲模塊存儲有生產(chǎn)線上所有生產(chǎn)機(jī)臺信息。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)用于控制所有良率檢測站點(diǎn)對產(chǎn)品進(jìn)行檢測。
【文檔編號】H01L21/66GK103681402SQ201310630347
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】何理, 許向輝, 郭賢權(quán), 陳超 申請人:上海華力微電子有限公司