一種反饋控制的封離式二氧化碳激光管的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種反饋控制的封離式二氧化碳激光管，包括：玻璃外殼；設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且沿所述玻璃外殼的軸線延伸的放電管；與所述放電管的兩端相間隔地分別設(shè)置于所述玻璃外殼的兩端的輸出鏡和反射鏡，所述放電管與所述輸出鏡和反射鏡構(gòu)成所述封離式二氧化碳激光管的光諧振腔；和分別連接于所述放電管的兩端的陰電極和陽電極；其中，所述反射鏡形成為能部分地泄漏二氧化碳激光的部分反射鏡；且在所述反射鏡的輸出面的外部配置有檢測從所述反射鏡泄漏的二氧化碳激光的泄漏激光功率的檢測裝置。根據(jù)本發(fā)明，可以實時檢測激光管的輸出激光功率狀況。
【專利說明】一種反饋控制的封離式二氧化碳激光管
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地，涉及一種反饋控制的封離式二氧化碳激光管。
【背景技術(shù)】
[0002]二氧化碳激光管是一種以二氧化碳為工作氣體，以氫、氦、氮等為輔助氣體的激光管，主要輸出10.6μπι的紅外光。其中，封離式二氧化碳激光管由于其結(jié)構(gòu)較簡單且制造成本低，所以，封離式二氧化碳激光管已廣泛應(yīng)用于中小功率激光加工機及醫(yī)用二氧化碳激光治療儀。
[0003]目前公知的封離式二氧化碳激光管，一般由放電管、儲氣管、水冷管、輸出平面鏡及其水冷套、尾部全反射凹面鏡及其水冷套、陰電極和陽電極等構(gòu)成。其中，放電管、水冷管和儲氣管由玻璃或石英材料構(gòu)成。而放電管及位于該放電管兩端的反射鏡(即、輸出平面鏡及尾部全反射凹面鏡)構(gòu)成該封離式二氧化碳激光管的光諧振腔。
[0004]其中，該光諧振腔的尾部反射鏡形成為凹面結(jié)構(gòu)的全反射鏡，其一般以玻璃、石英玻璃或硅等材料為基底，經(jīng)拋光后表面用真空鍍膜等方法鍍上金等薄膜。而輸出平面鏡為具有反射與透射功能的部分反射鏡，其一般由Ge (鍺)、ZnSe (硒化鋅)等材料經(jīng)過拋光鍍膜而制成。此外，陰電極、陽電極一般采用銀、鎳等金屬材料構(gòu)成。在封離式二氧化碳激光管的放電管內(nèi)充有一定比例的激光工作介質(zhì)，如C02、N2 ,He、⑶、H2 ,Xe等工作氣體，當(dāng)在陰電極及陽電極之間施以適當(dāng)?shù)母邏簳r，放電管內(nèi)的工作氣體受到激勵后經(jīng)上述輸出平面鏡輸出CO2激光。
[0005]眾所周知，封離式二氧化碳激光管內(nèi)的工作氣體中的CO2，在激光管工作過程中極易發(fā)生分解，從而會改變激光管內(nèi)的工作氣體的成份和比例，同時CO2分解所產(chǎn)生的氧又比較容易與激光管中的金屬電極及工作氣體中的N2發(fā)生反應(yīng)，進一步加劇了激光管內(nèi)的工作氣體的成份的變化，因此，會導(dǎo)致封離式二氧化碳激光管的輸出功率不斷下降，影響激光的使用效果。另一方面，在某些特殊應(yīng)用場合，例如激光醫(yī)學(xué)的場合，需要封離式二氧化碳激光管在工作時能提供精確的輸出激光功率的變化情況，以滿足臨床治療安全的需要。
[0006]雖然在現(xiàn)有技術(shù)中通過多種技術(shù)手段來降低封離式二氧化碳激光管中的CO2的分解，以提高封離式二氧化碳激光管的輸出激光的穩(wěn)定性。例如，在發(fā)明名稱為“一種二氧化碳激光管”、專利號為“ZL200720133676.3”的專利文獻I中公開了一種封離式二氧化碳激光管，其包括電極、輸出鏡、全反射鏡、出水口，該封離式二氧化碳激光管米用由高娃玻璃制成的外殼，以此提高輸出激光的穩(wěn)定性。另外，在發(fā)明名稱為“光催化封離式二氧化碳激光管”、專利申請?zhí)枮椤?00610018836.V’的專利文獻2中公開了通過在封離式二氧化碳激光管的放電管內(nèi)鍍光催化劑，以此減少CO2的分解，從而提高輸出激光的穩(wěn)定性。但是，上述現(xiàn)有技術(shù)均無法實現(xiàn)封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率的實時檢測和控制。
[0007]此外，目前封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率的控制采用直流恒流控制的方式，但是目前該直流恒流控制屬于開環(huán)控制。因此，隨著使用時間和環(huán)境的變化，直流恒流值無法反映封離式二氧化碳激光管的實時輸出激光功率的變化情況。
[0008]由此可見，封離式二氧化碳激光管在使用過程中，要保證二氧化碳激光能夠安全、有效、穩(wěn)定地工作，實現(xiàn)封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率的實時檢測和閉環(huán)控制是關(guān)鍵。
[0009]但是，綜上所述，目前的封離式二氧化碳激光管的結(jié)構(gòu)都不具備提供實時的輸出激光功率的觀測或取樣功能，無法提供監(jiān)控輸出激光功率的變化參數(shù)，所以，也無法實現(xiàn)輸出激光功率的閉環(huán)控制，進而不能更進一步提高輸出激光的穩(wěn)定性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]鑒于如上所述，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種可以實時檢測激光管的輸出激光功率狀況的反饋控制的封離式二氧化碳激光管。
[0011]為了解決該技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種反饋控制的封離式二氧化碳激光管，包括:玻璃外殼；設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且沿所述玻璃外殼的軸線延伸的放電管；與所述放電管的兩端相間隔地分別設(shè)置于所述玻璃外殼的兩端的輸出鏡和反射鏡，所述放電管與所述輸出鏡和反射鏡構(gòu)成所述封離式二氧化碳激光管的光諧振腔；和分別連接于所述放電管的兩端的陰電極和陽電極；其中，所述反射鏡形成為能部分地泄漏二氧化碳激光的部分反射鏡；且在所述反射鏡的輸出面的外部配置有檢測從所述反射鏡泄漏的二氧化碳激光的泄漏激光功率的檢測裝置。
[0012]根據(jù)本發(fā)明，由于反射鏡形成為能部分地透射二氧化碳激光的部分反射鏡，因此可以使本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管在通過輸出鏡輸出二氧化碳激光的同時，使少部分二氧化碳激光從位于該封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部的反射鏡透射泄漏以向外輻射，并且通過配置在反射鏡的輸出面的外部的檢測裝置可實時檢測激光管內(nèi)部激光功率的變化。
[0013]進一步地，在本發(fā)明中，也可以，所述檢測裝置為激光功率傳感器，根據(jù)通過同步測量所述輸出激光功率與所述激光功率傳感器檢測到的所述泄漏激光功率而得到的兩者之間的對應(yīng)關(guān)系，基于所述泄漏激光功率的變化實時監(jiān)控所述輸出激光功率的變化。
[0014]根據(jù)本發(fā)明，采用同步測量所述激光功率傳感器的數(shù)值與對應(yīng)的輸出激光功率的數(shù)據(jù)，經(jīng)處理建立兩者之間的例如單調(diào)遞增的函數(shù)關(guān)系，從而實現(xiàn)通過獲取來自于激光功率傳感器的數(shù)據(jù)，在不會影響激光管的激光輸出光路的情況下能實時監(jiān)控激光管的輸出激光功率的變化。
[0015]在本發(fā)明中，也可以，還包括與所述陰電極和陽電極相連的激光電源，通過將與所需的激光輸出功率對應(yīng)的泄漏激光功率作為預(yù)置值，利用所述預(yù)置值與實測的泄漏激光功率的偏差作為調(diào)節(jié)參數(shù)，控制調(diào)節(jié)所述激光電源的電流輸出以實時調(diào)整輸出激光功率。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，如果將與所需的激光輸出功率對應(yīng)的泄漏激光功率作為預(yù)置值，利用預(yù)置值與實測的泄漏激光功率的數(shù)值間的差值即偏差為調(diào)節(jié)參數(shù)，通過控制激光電源來調(diào)節(jié)輸出驅(qū)動激光管工作的直流恒流值，即可以實現(xiàn)對該封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率的閉環(huán)控制。
[0017]在本發(fā)明中，也可以，所述反射鏡的對于二氧化碳激光的反射率為90 %?92 %。
[0018]根據(jù)本發(fā)明，通過將反射鏡的對于二氧化碳激光的反射率設(shè)定為90%?92%，可以使少部分二氧化碳激光從位于光諧振腔的尾部的反射鏡向外輻射，從而可以實現(xiàn)對從反射鏡透射出的泄漏激光功率的檢測。
[0019]在本發(fā)明中，也可以，所述反射鏡包括由能透射二氧化碳激光的材料制成的基體、反射膜層以及增透膜層。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，該反射鏡的基體由能透射10.6 μ m的二氧化碳激光的材料制成，從而有利于使少部分二氧化碳激光從位于光諧振腔的尾部的反射鏡向外輻射，且該增透膜層的設(shè)置能夠進一步有利于使少部分二氧化碳激光從反射鏡向外輻射。
[0021]在本發(fā)明中，也可以，所述能透射二氧化碳激光的材料包括Ge或ZnSe。
[0022]根據(jù)本發(fā)明，Ge、ZnSe等都是透二氧化碳激光性能良好的材料，從而能夠有利于使少部分二氧化碳激光從反射鏡向外輻射。
[0023]此外，為了提高光諧振腔的尾部的反射鏡泄漏二氧化碳激光的效率，根據(jù)反射鏡基體材料的不同，除了真空鍍相應(yīng)的光諧振腔反射膜層外，還可以根據(jù)不同的基體材料鍍相應(yīng)的增透膜層。
[0024]具體地，在本發(fā)明中，所述反射鏡的基體的材料為Ge時，所述增透膜層的材料為ZnS且其膜層厚度為1/4 λ，λ =10.6 μ m (二氧化碳激光波長)。
[0025]又，在本發(fā)明中，也可以，所述反射鏡的基體的材料為ZnSe時，所述增透膜層的材料為BaF2且其膜層厚度為1/4 λ，λ =10.6ym (二氧化碳激光波長)。
[0026]根據(jù)如上所述構(gòu)成的反射鏡都能夠有效地使少部分二氧化碳激光從位于光諧振腔的尾部的反射鏡向外輻射，從而可以實現(xiàn)對從反射鏡透射出的泄漏激光功率的檢測。
[0027]此外，在本發(fā)明中，也可以，所述反射鏡形成為凹面鏡，且所述輸出鏡形成為平面鏡。
[0028]根據(jù)本發(fā)明，將反射鏡形成為凹面鏡，且將輸出鏡形成為平面鏡，有利于使本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管在通過輸出鏡輸出二氧化碳激光的同時，使少部分二氧化碳激光從位于該封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部的反射鏡透射泄漏以向外輻射。
[0029]在本發(fā)明中，也可以，還包括設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且套于所述放電管外的水冷管；設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且套于所述水冷管外的儲氣管；螺旋環(huán)繞在所述水冷管外且連通所述儲氣管與所述放電管的回氣管；以及分別設(shè)置于所述輸出鏡和所述反射鏡上的水冷套。
[0030]根據(jù)本發(fā)明，通過套于放電管外的水冷管，可以冷卻填充于放電管內(nèi)的工作氣體，使該封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率穩(wěn)定。又，通過套于水冷管外的儲氣管，以及螺旋環(huán)繞在水冷管外且連通該儲氣管與放電管的回氣管，可以使工作氣體在放電管與儲氣管中循環(huán)流動，以此實現(xiàn)放電管中的工作氣體的隨時交換。另外，通過分別設(shè)置于輸出鏡和反射鏡上的輸出鏡水冷套及反射鏡水冷套，可以分別冷卻輸出鏡和反射鏡，以對該輸出鏡和反射鏡進行保護。
[0031]又，在本發(fā)明中，上述激光功率傳感器可以設(shè)置于反射鏡的水冷套上，以對反射鏡的泄漏激光功率進行實時監(jiān)控。
[0032]根據(jù)下述【具體實施方式】并參考附圖，本發(fā)明的上述及其他目的、特征和優(yōu)點將更加清晰?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0033]圖1是示出根據(jù)本發(fā)明實施形態(tài)的反饋控制的封離式二氧化碳激光管的結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0034]圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管的尾部反射鏡的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0035]圖3是示出了根據(jù)本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管的尾部反射鏡泄漏激光功率P2與激光管輸出激光功率Pl的測量原理的示意圖。
【具體實施方式】
[0036]以下結(jié)合附圖及實施例詳細描述本發(fā)明的反饋控制的封離式二氧化碳激光管。
[0037]如圖1所示，本發(fā)明的反饋控制的封離式二氧化碳激光管包括玻璃外殼4、設(shè)置于該玻璃外殼4內(nèi)且沿該玻璃外殼4的軸線延伸的放電管7、以及與該放電管7的兩端相間隔地分別設(shè)置于玻璃外殼4的兩端的輸出鏡2和反射鏡10。該放電管7與該輸出鏡2和反射鏡10構(gòu)成封離式二氧化碳激光管的光諧振腔，在該放電管7內(nèi)填充有工作氣體，如C02、N2、He、C0、H2、Xe等。在該放電管7的兩端分別連接有陰電極15和陽電極13。該陰電極15和陽電極13分別通過陰電極引線16和陽電極引線9連接至激光電源(圖示省略)。當(dāng)在陰電極15及陽電極13之間施以適當(dāng)?shù)母邏簳r，放電管7內(nèi)的工作氣體受到激勵后經(jīng)上述輸出鏡2輸出CO2激光。
[0038]并且，上述反射鏡10形成為能部分地透射二氧化碳激光的部分反射鏡，以此能夠使少部分二氧化碳激光從位于該封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部的反射鏡10透射泄漏以向外輻射。此外，在反射鏡10的輸出面的外部配置有檢測從該反射鏡10泄漏的二氧化碳激光的泄漏激光功率的檢測裝置11。具體地，在圖1所示的實施形態(tài)中，檢測裝置11為配置在反射鏡10的水冷套12上的激光功率傳感器11，利用激光功率傳感器11實時監(jiān)控激光管內(nèi)部激光功率的變化情況。
[0039]圖2示出了本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的反射鏡10的結(jié)構(gòu)示意圖。該反射鏡10包括透紅外基體材料10a，該基體材料IOa的一面為凹面另一面為平面，反射膜層IOb位于該基體材料IOa的凹面上，增透膜層IOc位于基體材料IOa的平面上。
[0040]如圖3所示，本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管在通過輸出鏡2輸出二氧化碳激光的同時，使少部分二氧化碳激光從位于該封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部的反射鏡10透射泄漏以向外輻射，并且通過位于反射鏡10處的激光功率傳感器11檢測從反射鏡10透射出的泄漏激光功率P2，同時用標(biāo)準(zhǔn)激光功率計檢測對應(yīng)的從輸出鏡輸出的輸出激光功率P1，輸出激光功率Pl與泄漏激光功率P2是呈對應(yīng)的單調(diào)遞增的關(guān)系，將測量得到的泄漏激光功率P2與輸出激光功率Pl進行數(shù)據(jù)處理，并用數(shù)學(xué)方法描述泄漏激光功率P2與輸出激光功率Pl的量化關(guān)系，從而由測量到的泄漏激光功率P2能夠得知輸出激光功率Pl的變化，進而實現(xiàn)了通過檢測激光功率傳感器11的數(shù)據(jù)，在不會影響激光管的激光輸出光路的情況下能實時監(jiān)控激光管的輸出激光功率Pl的變化。
[0041]又進一步地，如果將與所需的輸出激光功率Pl的值對應(yīng)的泄漏激光功率P2的值作為預(yù)置值PO，利用預(yù)置值PO與實測的泄漏激光功率P2的差值(B卩ΛΡ = PO — P2)為調(diào)節(jié)參數(shù)，通過控制激光電源來調(diào)節(jié)輸出驅(qū)動激光管工作的直流恒流值，即可實現(xiàn)該封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率Pl的閉環(huán)控制。[0042]又，本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管還包括設(shè)置于玻璃外殼4內(nèi)且套于放電管7外的水冷管5，通過該水冷管5可以冷卻填充于放電管7內(nèi)的工作氣體，使該封離式二氧化碳激光管的輸出激光功率穩(wěn)定。該水冷管5具有分別延伸至玻璃外殼4外的水冷管出口 3和水冷管進口 14。
[0043]又，本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管還包括設(shè)置于玻璃外殼4內(nèi)且套于水冷管5外的儲氣管6，以及螺旋環(huán)繞在該水冷管5外且連通儲氣管6與放電管7的回氣管8。由此，可以使工作氣體在放電管7與儲氣管6中循環(huán)流動，以此實現(xiàn)放電管7中的工作氣體的隨時交換。
[0044]另外，本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管還包括分別設(shè)置于輸出鏡2和反射鏡10上的輸出鏡水冷套I及反射鏡水冷套12，可以分別冷卻輸出鏡2和反射鏡10，以對該輸出鏡2和反射鏡10進行保護。
[0045]為了有利于使少部分二氧化碳激光從位于光諧振腔的尾部的反射鏡10向外輻射，從而可以實現(xiàn)對從反射鏡10透射出的泄漏激光功率P2的檢測，在保證封離式二氧化碳激光管正常工作的前提下，將位于該封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部的反射鏡10的對于二氧化碳激光的反射率由現(xiàn)有技術(shù)中的>99%設(shè)計為降低至90%?92%。且在本發(fā)明中，反射鏡10可以形成為凹面鏡，而輸出鏡2可以形成為平面鏡，但本發(fā)明并不限于此。
[0046]為了有效地使二氧化碳激光從反射鏡10透射，該反射鏡10的基體材料要求有低的體吸收率，較高的熱傳導(dǎo)，以便于冷卻和減小熱畸變。目前的封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部全反射凹面鏡均采用K9光學(xué)玻璃或石英玻璃為基體，以SiO2為主的硅酸鹽玻璃是不透10.6 μ m的二氧化碳激光。而本發(fā)明的封離式二氧化碳激光管的光諧振腔的尾部的反射鏡10的基體材料由透二氧化碳激光的材料構(gòu)成，例如Ge、ZnSe等都是透CO2激光性能好的材料。此外，為了提高光諧振腔的尾部的反射鏡10泄漏激光的效率，根據(jù)該反射鏡10的基體材料的不同，除了真空鍍相應(yīng)的光諧振腔反射膜層外，還可以根據(jù)不同的基體材料鍍相應(yīng)的增透膜層。
[0047]以下詳細說明本發(fā)明的反饋控制的封離式二氧化碳激光管的不同實施形態(tài)。
[0048]實施例1
該實施例中的封離式二氧化碳激光管的整體長度為800mm，其中，位于尾部的反射鏡形成為凹面鏡，其基體材料采用Ge，直徑為25mm。為了提高漏光效應(yīng)，采用真空鍍膜的方法在Ge凹面鏡的兩面鍍ZnS (硫化鋅)作為增透膜層，該增透膜層的厚度為二氧化碳激光波長的1/4，由此構(gòu)成的反射鏡10的反射效率在90?92%。因此，該封離式二氧化碳激光管的輸出鏡的輸出激光功率Pl為21.2w時，尾部的反射凹面鏡的泄漏激光功率P2為1.08wo
[0049]實施例2
該實施例中的封離式二氧化碳激光管的整體長度為400mm，其中，位于尾部的反射鏡形成為凹面鏡，其基體材料采用ZnSe，直徑25mm。為了提高漏光效應(yīng)，采用真空鍍膜的方法在ZnSe凹面鏡的兩面鍍BaF2作為增透膜層，該增透膜層的厚度為二氧化碳激光波長的1/4，由此構(gòu)成的反射鏡10的反射效率在90?92%。因此，該封離式二氧化碳激光管的輸出鏡的輸出激光功率Pl為10.3w時，尾部的反射凹面鏡的泄漏激光功率P2為0.63w。
[0050]本發(fā)明的一實施形態(tài)的封離式二氧化碳激光管可以通過以下方式制成:將放電管7和水冷管5放置在儲氣管6內(nèi)；水冷管5套在放電管7外；回氣管8呈螺旋狀環(huán)繞在水冷管5上，并通過環(huán)繞在水冷管5的回氣管8將儲氣管6與放電管7連通；水冷管5 —端延長燒結(jié)在玻璃外殼4上；陰電極15和陽電極13被放置在放電管7兩端且與放電管7同軸的位置上；陰電極引線16燒結(jié)在玻璃外殼4中，陰電極引線16與陰電極15相連，陽電極引線9燒結(jié)在玻璃外殼4中，陽電極引線9與陽電極13相連，漏光的尾部反射鏡10和輸出平面鏡2分別用環(huán)氧樹脂粘接在玻璃外殼4的兩端，水冷管進口 14和水冷管出口 3由水冷管5引出并分別燒結(jié)固定在玻璃外殼4上，輸出平面鏡水冷套I用環(huán)氧樹脂粘接在輸出平面鏡2上，尾部反射鏡水冷套12用環(huán)氧樹脂粘接在漏光的尾部反射鏡10上，激光功率傳感器11用環(huán)氧樹脂粘接尾部反射鏡水冷套12上。
[0051]在不脫離本發(fā)明的基本特征的宗旨下，本發(fā)明可體現(xiàn)為多種形式，因此本發(fā)明中的實施形態(tài)是用于說明而非限制，由于本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求限定而非由說明書限定，而且落在權(quán)利要求界定的范圍，或其界定的范圍的等價范圍內(nèi)的所有變化都應(yīng)理解為包括在本發(fā)明中。
【權(quán)利要求】
1.一種反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，包括:玻璃外殼；設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且沿所述玻璃外殼的軸線延伸的放電管；與所述放電管的兩端相間隔地分別設(shè)置于所述玻璃外殼的兩端的輸出鏡和反射鏡，所述放電管與所述輸出鏡和反射鏡構(gòu)成所述封離式二氧化碳激光管的光諧振腔；和分別連接于所述放電管的兩端的陰電極和陽電極；其中，所述反射鏡形成為能部分地泄漏二氧化碳激光的部分反射鏡；且在所述反射鏡的輸出面的外部配置有檢測從所述反射鏡泄漏的二氧化碳激光的泄漏激光功率的檢測裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述檢測裝置為激光功率傳感器，根據(jù)通過同步測量所述輸出激光功率與所述激光功率傳感器檢測到的所述泄漏激光功率而得到的兩者之間的對應(yīng)關(guān)系，基于所述泄漏激光功率的變化實時監(jiān)控所述輸出激光功率的變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，還包括與所述陰電極和陽電極相連的激光電源，通過將與所需的激光輸出功率對應(yīng)的泄漏激光功率作為預(yù)置值，利用所述預(yù)置值與實測的泄漏激光功率的偏差作為調(diào)節(jié)參數(shù)，控制調(diào)節(jié)所述激光電源的電流輸出以實時調(diào)整輸出激光功率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述反射鏡的對于二氧化碳激光的反射率為90%~92%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述反射鏡包括由能透射二氧化碳激光的材料制成的基體、反射膜層以及增透膜層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述能透射二氧化碳激光的材料包括Ge或ZnSe。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述反射鏡的基體的材料為Ge，所述增透膜層的材料為ZnS且其膜層厚度為1/4 λ，λ =10.6 μ m，為二氧化碳激光波長。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述反射鏡的基體的材料為ZnSe，所述增透膜層的材料為BaF2且其膜層厚度為1/4 λ，λ =10.6 μ m,為二氧化碳激光波長。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，所述反射鏡形成為凹面鏡，且所述輸出鏡形成為平面鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反饋控制的封離式二氧化碳激光管，其特征在于，還包括:設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且套于所述放電管外的水冷管；設(shè)置于所述玻璃外殼內(nèi)且套于所述水冷管外的儲氣管；螺旋環(huán)繞在所述水冷管外且連通所述儲氣管與所述放電管的回氣管；以及分別設(shè)置于所述輸出鏡和所述反射鏡上的水冷套。
【文檔編號】H01S3/03GK103606801SQ201310620285
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】高建平, 杭文根, 楊華元 申請人:中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所