擺片裝置及其調(diào)整方法
【專利摘要】本發(fā)明實施例公開了一種擺片裝置及其調(diào)整方法，屬于半導體晶片加工【技術(shù)領(lǐng)域】。解決了現(xiàn)有的調(diào)整搭片問題的方法比較復雜，影響晶硅太陽能電池的生產(chǎn)效率的技術(shù)問題。該擺片裝置，包括裝載臺、傳送帶和龍門架；裝載臺用于承載載板，載板上設(shè)置有若干個用于擺放硅片的片槽；裝載臺上設(shè)置有至少三個定位器，用于從至少三個方向調(diào)節(jié)并固定載板的位置；傳送帶位于裝載臺的一側(cè)，用于傳送待擺放的硅片；龍門架用于將傳送帶上的硅片擺放到載板上。該調(diào)整方法，包括：當硅片偏離片槽時，獲取硅片偏離的距離；根據(jù)硅片偏離的距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。本發(fā)明應用于制造晶硅太陽能電池的PECVD系統(tǒng)。
【專利說明】擺片裝置及其調(diào)整方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于半導體晶片加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種擺片裝置及其調(diào)整方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著太陽能技術(shù)的不斷發(fā)展，晶硅太陽能電池作為新興的清潔可再生能源，得 到了越來越廣泛的應用。晶硅太陽能電池的制造需要利用等離子體增強化學氣相沉積 (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)系統(tǒng)，娃片在 PECVD 系統(tǒng)中，首先 要由龍門架將硅片從傳送帶上擺放到裝載臺上的載板中（擺片過程)，再進入PECVD系統(tǒng)中 的預熱腔、工藝腔、冷卻腔、卸載臺等進行加工。裝載臺上設(shè)置的夾持氣缸可將載板固定在 裝載臺上，并且載板上設(shè)置有若干個用于擺放硅片的片槽，片槽的大小幾乎是與硅片相等 的，在擺片過程中應當快捷、準確的將硅片擺放在片槽中，以保證后續(xù)鍍膜工藝的效率和質(zhì) 量。
[0003] 本發(fā)明人在實現(xiàn)本發(fā)明的過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題：在實際的生 產(chǎn)過程中，可能會出現(xiàn)硅片偏離片槽，而導致硅片搭在片槽的邊緣上的現(xiàn)象，即搭片現(xiàn)象。 搭片現(xiàn)象的主要原因是夾持氣缸對載板的施力不均勻，而使載板的位置產(chǎn)生偏移。目前，只 能通過手動調(diào)節(jié)夾持氣缸將載板重新定位，以調(diào)整搭片問題，但是手動調(diào)節(jié)夾持氣缸的力 度很難把握，有時候還需要將夾持氣缸卸下來重新安裝，這樣非常浪費時間，因此現(xiàn)有的調(diào) 整搭片問題的方法比較復雜，影響晶硅太陽能電池的生產(chǎn)效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明實施例提供了一種擺片裝置及其調(diào)整方法，解決了現(xiàn)有的調(diào)整搭片問題的 方法比較復雜，影響晶硅太陽能電池的生產(chǎn)效率的技術(shù)問題。
[0005] 為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：
[0006] 本發(fā)明提供一種擺片裝置，包括裝載臺、傳送帶和龍門架；
[0007] 所述裝載臺用于承載載板，所述載板上設(shè)置有若干個用于擺放硅片的片槽；
[0008] 所述裝載臺上設(shè)置有至少三個定位器，用于從至少三個方向調(diào)節(jié)并固定所述載板 的位置；
[0009] 所述傳送帶位于所述裝載臺的一側(cè)，用于傳送待擺放的硅片；
[0010] 所述龍門架用于將所述傳送帶上的硅片擺放到所述載板上。
[0011] 進一步，該擺片裝置還包括上料臺和機械手；
[0012] 所述上料臺用于放置裝有硅片的料盒；
[0013] 所述機械手用于將所述料盒中的硅片取出并放置在所述傳送帶上。
[0014] 優(yōu)選的，所述定位器為伺服電機。
[0015] 優(yōu)選的，所述定位器的數(shù)量為三個，且該三個定位器分別設(shè)置于所述裝載臺的前 側(cè)、左側(cè)、后側(cè)。
[0016] 本發(fā)明還提供一種基于上述擺片裝置的調(diào)整方法，包括：
[0017] 當硅片偏離片槽時，
[0018] 獲取所述硅片偏離的距離；
[0019] 根據(jù)所述硅片偏離的距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。
[0020] 進一步，在所述獲取所述硅片偏離的距離之前，還包括：
[0021] 判斷造成所述硅片偏離的原因；
[0022] 則根據(jù)所述硅片偏離的距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置，具體為：
[0023] 根據(jù)所述硅片偏離的原因和距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。
[0024] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點：因為載板是通過 至少三個定位器從至少三個方向固定在裝載臺上，并且通過定位器能夠非常方便的調(diào)節(jié)并 固定載板的位置，所以當擺片過程中出現(xiàn)搭片現(xiàn)象時，工作人員就可以在獲取硅片偏離的 距離之后，根據(jù)該距離實時手動調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置，從而能夠簡單、快捷的 解決搭片問題，提商晶娃太陽能電池的生廣效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0026] 圖1為本發(fā)明的實施例所提供的擺片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027] 圖2為本發(fā)明的實施例所提供的調(diào)整方法的流程圖；
[0028] 圖3為本發(fā)明的實施例所提供的調(diào)整方法的另一流程圖；
[0029] 圖4a和圖4b為本發(fā)明的實施例中硅片向前后方向偏離的示意圖；
[0030] 圖5a和圖5b為本發(fā)明的實施例中硅片向左右方向偏離的示意圖；
[0031] 圖6a至圖6d為本發(fā)明的實施例中硅片向斜向方向偏離的示意圖。

【具體實施方式】
[0032] 下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完 整地描述。
[0033] 如圖1所示，本發(fā)明實施例所提供的擺片裝置，包括裝載臺1、傳送帶2和龍門架 3。裝載臺1用于承載載板4,載板4上設(shè)置有若干個用于擺放硅片41的片槽40 ;裝載臺1 上設(shè)置有至少三個定位器，用于從至少三個方向調(diào)節(jié)并固定載板的位置。作為一個優(yōu)選方 案，本實施例中定位器的數(shù)量為三個，且其中的第一定位器11、第二定位器12、第三定位器 13分別設(shè)置于裝載臺1的前側(cè)、左側(cè)、后側(cè)，也就是從前方、左方、后方三個方向?qū)d板4施 加壓力，以固定住載板4的位置。
[0034] 本發(fā)明實施例提供的擺片裝置進一步還包括上料臺5和機械手（圖中未示出）。上 料臺5用于放置裝有硅片41的料盒6,機械手用于將料盒6中的硅片41取出并放置在裝載 臺1左側(cè)的傳送帶2上。龍門架3用于拿取傳送帶2上擺放的硅片41，并將硅片41擺放到 載板4的片槽40中。
[0035] 優(yōu)選的，本發(fā)明實施例中的定位器為伺服電機，當然在其他實施方式中，定位器也 可以采用其他能夠方便調(diào)節(jié)位置的控制器件。
[0036] 本發(fā)明還提供了基于上述擺片裝置的調(diào)整方法，以調(diào)整搭片的問題。如圖2所示， 該調(diào)整方法包括：
[0037] 當硅片偏離片槽，即發(fā)生搭片現(xiàn)象時，獲取硅片偏離的距離，當然其中也包括硅片 偏離的方向。
[0038] 然后，根據(jù)所獲取的硅片偏離的距離及方向，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。
[0039] 進一步，在獲取硅片偏離的距離之前，還可以包括判斷造成硅片偏離的原因。則如 圖3所示，該調(diào)整方法包括：
[0040] 當發(fā)生搭片現(xiàn)象時，判斷造成搭片的原因。具體可以根據(jù)搭片的方向及偏離距離 進行判斷：
[0041] 通常由傳送帶或龍門架造成搭片的偏離距離很小，而且由傳送帶造成的搭片通常 是硅片41相對于片槽40向前或向后偏離（如圖4a和圖4b所示)，由龍門架造成的搭片通 常是硅片41相對于片槽40向左或向右偏離(如圖5a和圖5b所示)。如果是由載板偏移造 成的搭片，偏離的距離通常較大，而且硅片41經(jīng)常相對于片槽40向斜向偏離（如圖6a-圖 6d所示)。
[0042] 判斷出造成搭片的原因之后，再獲取硅片偏離的距離及方向。
[0043] 然后，根據(jù)硅片偏離的原因、距離及方向，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。
[0044] 例如，當硅片向左前方偏離時，則應當將載板向右后方調(diào)整?？捎晒ぷ魅藛T在控 制軟件中輸入第一定位器和第三定位器向后移動的距離，再輸入第二定位器向右移動的距 離，然后就可以由三個定位器調(diào)節(jié)載板的位置，并將載板固定。每個定位器對載板調(diào)節(jié)的距 離通常在1至6毫米之內(nèi)。
[0045] 又如，當硅片向后偏離且偏離的距離較小時，則僅向前調(diào)整傳送帶的位置即可。由 工作人員在控制軟件中輸入傳送帶向前傳輸?shù)木嚯x，再根據(jù)所輸入的傳輸距離調(diào)節(jié)傳送帶 就能夠解決搭片的問題?；蛘撸敼杵蛴移x且偏離的距離較小時，則僅向左調(diào)整龍門架 的位置即可。工作人員在控制軟件中輸入龍門架向左移動的距離，再根據(jù)所輸入的移動距 離移動龍門架就能夠解決搭片的問題。
[0046] 應當說明的是，在本發(fā)明的其他實施方式中，可以根據(jù)實際情況將三個定位器的 位置進行變更，比如將三個定位器分別設(shè)置在裝載臺的左側(cè)、后側(cè)、右側(cè)。或者，還可以設(shè)置 四個定位器，分別位于載板的前后左右四個方向上。
[0047] 以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應 涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應以權(quán)利要求的保護范圍為準。
【權(quán)利要求】
1. 一種擺片裝置，其特征在于：包括裝載臺、傳送帶和龍門架； 所述裝載臺用于承載載板，所述載板上設(shè)置有若干個用于擺放硅片的片槽； 所述裝載臺上設(shè)置有至少三個定位器，用于從至少三個方向調(diào)節(jié)并固定所述載板的位 置； 所述傳送帶位于所述裝載臺的一側(cè)，用于傳送待擺放的硅片； 所述龍門架用于將所述傳送帶上的硅片擺放到所述載板上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的擺片裝置，其特征在于：還包括上料臺和機械手； 所述上料臺用于放置裝有硅片的料盒； 所述機械手用于將所述料盒中的硅片取出并放置在所述傳送帶上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的擺片裝置，其特征在于：所述定位器為伺服電機。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的擺片裝置，其特征在于：所述定位器的數(shù)量為三個，且該三個 定位器分別設(shè)置于所述裝載臺的前側(cè)、左側(cè)、后側(cè)。
5. -種基于權(quán)利要求1所述的擺片裝置的調(diào)整方法，其特征在于，包括： 當硅片偏離片槽時， 獲取所述硅片偏離的距離； 根據(jù)所述硅片偏離的距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)整方法，其特征在于，在所述獲取所述硅片偏離的距離之 前，還包括： 判斷造成所述硅片偏離的原因； 則根據(jù)所述硅片偏離的距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置，具體為： 根據(jù)所述硅片偏離的原因和距離，調(diào)節(jié)載板、傳送帶或龍門架的位置。
【文檔編號】H01L31/18GK104103711SQ201310122693
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2013年4月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月10日
【發(fā)明者】韓盼盼 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責任公司