專利名稱:一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置。
背景技術(shù):
太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中工序有制絨、擴(kuò)散、刻蝕、PECVD、絲印,其中擴(kuò)散工序中主要用的氣體是三氯氧磷,簡(jiǎn)稱源,擴(kuò)散熱處理是在有計(jì)劃的通入P源后完成的,源的純度、流量都會(huì)直接影響到擴(kuò)散的工藝參數(shù)方塊電阻,由于生產(chǎn)過(guò)程中源的不斷消耗,常常因?yàn)橐好娌蛔銓?dǎo)致擴(kuò)散后的方阻不均勻和偏大的現(xiàn)象,方塊電阻太大或太小直接影響到成品后的轉(zhuǎn)換效率,另一方面,由于液面太低,底部的源液作廢舍棄,既浪費(fèi)也存在安全隱患。
實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型目的本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種可以充分 利用源夜的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置。技術(shù)方案本實(shí)用新型所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置,包括圓柱形源瓶和設(shè)置于源瓶上端的送氣管和出氣管,源瓶的內(nèi)底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄。此結(jié)構(gòu)作用在于源越來(lái)越少時(shí),可以流入到最薄的地方,更好的蒸發(fā),節(jié)約了源的浪費(fèi)。源瓶的內(nèi)底部為階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu),階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu)由源瓶的瓶壁向中間逐漸收縮,送氣管的上端位于源瓶上端面的中部,下端位于接近最底層圓環(huán)結(jié)構(gòu)的底面處。有益效果1、相對(duì)于傳統(tǒng)裝置直接是水平地面,源用到一定程度會(huì)直接浪費(fèi),本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置源瓶的內(nèi)底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄,直徑逐漸減小的階梯型環(huán)形結(jié)構(gòu),使源從高處向低處集中在一起,送氣管路延伸到瓶子的底部可以更好的吸收從高處向地處集中起來(lái)的源,減少源的浪費(fèi);2、本實(shí)用新型能夠避免因?yàn)橐好娌蛔阍斐煞綁K電阻的不穩(wěn)定,從而提聞轉(zhuǎn)換效率。
圖I是傳統(tǒng)盛源裝置的立體圖;圖2是本實(shí)用新型的的示意圖;圖3是本實(shí)用新型的主視圖。
具體實(shí)施方式
下面對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明,但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。實(shí)施例本實(shí)用新型的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置,包括圓柱形源瓶I和設(shè)置于源瓶I上端的送氣管2和出氣管3,源瓶I的內(nèi)底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄。源瓶I的內(nèi)底部為階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu),階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu)由源瓶I的瓶壁向中間逐漸收縮,送氣管2的上端位于源瓶I上端面的中部,下端位于接近最底層圓環(huán)結(jié)構(gòu)的底面處。[0013]具體使用時(shí),將三氯氧磷倒入源瓶I中,從送氣管2通入氮?dú)?,氣體從出氣管3送出進(jìn)入擴(kuò)散環(huán)節(jié)。如上所述,盡管參照特定的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)表示和表述了本實(shí)用新型,但其不得 解釋為對(duì)本實(shí)用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實(shí)用新型的精神和范圍前提下,可對(duì)其在形式上和細(xì)節(jié)上作出各種變化。
權(quán)利要求1.一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置,包括圓柱形源瓶(I)和設(shè)置于源瓶上端的送氣管(2)和出氣管(3),其特征在于所述源瓶(I)的內(nèi)底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置,其特征在于所述源瓶(I)的內(nèi)底部為階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu),所述階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu)由源瓶(I)的瓶壁向中間逐漸收縮。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置,其特征在于所述送氣管(2)的上端位于所述源瓶(I)上端面的中部,下端位于接近最底層圓環(huán)結(jié)構(gòu)的底面處。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用盛源裝置,它包括圓柱形源瓶和設(shè)置于源瓶上端的送氣管和出氣管,源瓶的內(nèi)底部由瓶壁向中間厚度逐漸變薄,源瓶的內(nèi)底部為階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu),階梯形圓環(huán)結(jié)構(gòu)由源瓶的瓶壁向中間逐漸收縮,送氣管的上端位于源瓶上端面的中部,下端位于接近最底層圓環(huán)結(jié)構(gòu)的底面處。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置直徑逐漸減小的階梯型環(huán)形結(jié)構(gòu),送氣管路延伸到瓶子的底部可以更好的吸收從高處向地處集中起來(lái)的源,減少源的浪費(fèi)并且避免因?yàn)橐好娌蛔阍斐煞綁K電阻的不穩(wěn)定,從而提高轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202786518SQ20122042574
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月27日
發(fā)明者翟金權(quán), 張超, 勾憲芳, 姜利凱, 王鵬 申請(qǐng)人:中節(jié)能太陽(yáng)能科技(鎮(zhèn)江)有限公司