專利名稱：晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制程技術(shù)領(lǐng)域，涉及半導(dǎo)體制程中所使用的晶圓的打標(biāo)過(guò)程，尤其涉及被打標(biāo)在晶圓上的標(biāo)記的位置檢查裝置。
背景技術(shù)：
晶圓是制造芯片的常規(guī)襯底材料，在對(duì)晶圓上執(zhí)行許多步的半導(dǎo)體制程，以同時(shí)形成多個(gè)芯片。在半導(dǎo)體制程中，需要對(duì)每片晶圓進(jìn)行打標(biāo)以標(biāo)識(shí)每片晶圓，從而方便在芯片出貨時(shí)識(shí)別，并且有利于追溯歷史。打標(biāo)一般通過(guò)打標(biāo)機(jī)完成，在每片晶圓的預(yù)定位置上打標(biāo)形成標(biāo)記。圖I所示為晶圓上打標(biāo)形成標(biāo)記的示意圖。如圖I所示，晶圓900上設(shè)置有預(yù)定 的標(biāo)記區(qū)域910，其用于標(biāo)出標(biāo)記。標(biāo)記區(qū)域910通常位于晶圓900的邊緣區(qū)域部分，這樣可以提高晶圓的利用率。標(biāo)記區(qū)域910在晶圓上的位置必須在規(guī)定的范圍內(nèi)，以便最終制程完成后標(biāo)記仍然能夠被辨識(shí)、不被遮擋。但是，標(biāo)記在晶圓上的打標(biāo)位置經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)走位的現(xiàn)象，這就需要對(duì)標(biāo)記的位置進(jìn)行監(jiān)控檢查。現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用人工目檢的方式完成，如果檢查不合格，則采用重新打標(biāo)或者換位打標(biāo)的方式進(jìn)行補(bǔ)救。這種方法有較大的人為誤差，且不便于量化檢查指標(biāo)。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決以上技術(shù)問題或者其他技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種方便檢查晶圓標(biāo)記位置的裝置。本實(shí)用新型公開一種晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其包括設(shè)置有弧形卡槽的卡板,和設(shè)置有標(biāo)記可視框的定位板；其中，所述弧形卡槽的形狀被設(shè)置為與晶圓的標(biāo)記所在的邊緣部分的邊沿形狀相對(duì)應(yīng)，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置處垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽與邊緣部分相卡合時(shí)、所述標(biāo)記可視框相對(duì)所述弧形卡槽的位置與所述晶圓上的標(biāo)記區(qū)域相對(duì)所述邊緣部分的邊沿的位置相對(duì)應(yīng)。按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝，其中，所述弧形卡槽的內(nèi)徑等于所述晶圓的直徑。按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝，其中，所述弧形卡槽與標(biāo)記處所對(duì)應(yīng)的晶圓邊沿相卡合時(shí)，所述定位板經(jīng)過(guò)所述晶圓的圓心。按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝，其中，所述標(biāo)記可視框在所述定位板上對(duì)應(yīng)于所述標(biāo)記區(qū)域挖孔形成。按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝，其中，所述標(biāo)記可視框?yàn)榉叫巍０凑毡緦?shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝，其中，所述定位板的長(zhǎng)度大于所述晶圓的直徑，所述定位板的寬度大于所述標(biāo)記區(qū)域的寬度。按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝，其中，設(shè)置所述弧形卡槽的長(zhǎng)度和高度以使所述標(biāo)記可視框?qū)?yīng)落在所述弧形卡槽的弧形區(qū)域范圍內(nèi)。本實(shí)用新型的提供的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置操作簡(jiǎn)單，方便了晶圓標(biāo)記的位置檢查、監(jiān)控，人為誤差小，并且容易對(duì)標(biāo)記的位置指標(biāo)進(jìn)行量化。

從結(jié)合附圖的以下詳細(xì)說(shuō)明中，將會(huì)使本實(shí)用新型的上述和其他目的及優(yōu)點(diǎn)更加完全清楚，其中，相同或相似的要素采用相同的標(biāo)號(hào)表示。圖I是晶圓上打標(biāo)形成標(biāo)記的示意圖。圖2是按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖2所示位置檢查裝置在對(duì)晶圓的標(biāo)記進(jìn)行位置檢查時(shí)的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面介紹的是本實(shí)用新型的多個(gè)可能實(shí)施例中的一些，旨在提供對(duì)本實(shí)用新型的基本了解，并不旨在確認(rèn)本實(shí)用新型的關(guān)鍵或決定性的要素或限定所要保護(hù)的范圍。容易理解，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案，在不變更本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)精神下，本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員可以提出可相互替換的其他實(shí)現(xiàn)方式。因此，以下具體實(shí)施方式
以及附圖僅是對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案的示例性說(shuō)明，而不應(yīng)當(dāng)視為本實(shí)用新型的全部或者視為對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的限定或限制。圖2所示為按照本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3所示為圖2所示位置檢查裝置在對(duì)晶圓的標(biāo)記進(jìn)行位置檢查時(shí)的示意圖。晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置100在該實(shí)施例中用于檢查如圖I所示的晶圓900中的標(biāo)記是否符合預(yù)定位置要求，也即可以檢查打標(biāo)形成的標(biāo)記在晶圓上的落位是否準(zhǔn)確(是否落位在標(biāo)記區(qū)域910)。如圖2和圖3所示，位置檢查裝置100包括卡板110和定位板130，卡板110上設(shè)置有弧形卡槽111，弧形卡槽111的形狀與晶圓900的標(biāo)記所在邊緣部分的邊沿形狀相對(duì)應(yīng)，通常地晶圓900為圓形，弧形卡槽111的形狀與晶圓900的部分圓周邊沿形狀相對(duì)應(yīng)設(shè)置即可。具體地，晶圓900的圓周邊沿形狀由其直徑?jīng)Q定，因此，弧形卡槽111的內(nèi)徑基本等于晶圓900的直徑，弧形卡槽111的弧形部分的長(zhǎng)度以弧形卡槽111能方便準(zhǔn)備卡合晶圓900為準(zhǔn)，當(dāng)然，卡板110的寬度也影響弧形部分的長(zhǎng)度。在該實(shí)施例中，定位板130在卡板110的板面上垂直地固定在卡板110上，如圖2和圖3所示，定位板130的一端固定在弧形卡槽111的中央位置處，因此，在定位板130的弧形卡槽111卡合欲檢查的晶圓900時(shí)，定位板130在平面晶圓900的表面上經(jīng)過(guò)晶圓900的圓心A。因此，整體上，定位板130和卡板110大致地形成了丁字形尺。由于晶圓900的標(biāo)記區(qū)域910 —般是位于晶圓900的邊緣部分，因此,其標(biāo)記區(qū)域910的位置可以相對(duì)其邊緣部分的邊沿來(lái)定位。在該實(shí)施例中，如圖2和圖3所示，定位板130上設(shè)置有標(biāo)記可視框131，在弧形卡槽111卡合晶圓900的邊沿時(shí)，標(biāo)記可視框131可以在定位板130上對(duì)應(yīng)于標(biāo)記區(qū)域910挖孔形成，當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，標(biāo)記可視框131也可以將定位板130上對(duì)應(yīng)于標(biāo)記區(qū)域910的部分設(shè)置為透明材料來(lái)形成。這樣，當(dāng)晶圓上的標(biāo)記準(zhǔn)確落位于標(biāo)記區(qū)域910中時(shí)，標(biāo)記可視框131可以觀察到標(biāo)記；否則，標(biāo)記可視框131觀察不到標(biāo)記或者觀察到標(biāo)記偏離標(biāo)記可視框131。因此，標(biāo)記區(qū)域910相對(duì)弧形卡槽111的位置(即二者之間的相對(duì)位置關(guān)系)是與標(biāo)記區(qū)域910相對(duì)其邊緣部分的邊沿的位置(即標(biāo)記區(qū)域910與卡合的邊沿之間的相對(duì)位置關(guān)系)相對(duì)對(duì)應(yīng)的。定位板130的長(zhǎng)度一般地設(shè)置為大于晶圓900的直徑,其寬度也大于標(biāo)記區(qū)域910的寬度。標(biāo)記可視框131的面積大小可以設(shè)置為基本等于標(biāo)記區(qū)域910的面積大小，其具體形狀可以為如圖2和圖3所示的方形，但是，其具體形狀并不限于該實(shí)施例，例如，其還可以為圓形?？ò?10的長(zhǎng)度設(shè)置為大于弧形卡槽111的長(zhǎng)度，卡板110的寬度設(shè)置為大于弧形卡槽111的高度。在該實(shí)施例中，可以設(shè)置弧形卡槽111的長(zhǎng)度和高度，以使標(biāo)記可視框131對(duì)應(yīng)落在弧形卡槽111的弧形區(qū)域范圍內(nèi)。在使用本實(shí)用新型的位置檢查裝置100時(shí)，如圖3所示，在晶圓被打標(biāo)后，將該丁·字形的檢查裝置100置放于晶圓900上，弧形卡槽111對(duì)應(yīng)卡和在標(biāo)記所對(duì)應(yīng)的邊緣的邊沿上，通過(guò)觀看標(biāo)記可視框131，可以判斷標(biāo)記是否準(zhǔn)確落位在預(yù)定的標(biāo)記區(qū)域910中。如果觀察不到標(biāo)記或者觀察到標(biāo)記偏離標(biāo)記可視框131，可以重新進(jìn)行打標(biāo)。因此，本實(shí)用新型針對(duì)晶圓標(biāo)記位置檢查這一特殊要求，提供了位置檢查裝置100這種專用工具，方便了晶圓標(biāo)記的位置檢查、監(jiān)控，操作簡(jiǎn)單、人為誤差小，容易對(duì)標(biāo)記的位置指標(biāo)進(jìn)行量化。需要理解的是，按照以上實(shí)施例的啟示，可以針對(duì)不同晶圓類型(例如不同直徑的晶圓)和/或標(biāo)記區(qū)域在晶圓上的位置差異來(lái)相應(yīng)地設(shè)計(jì)向合適的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，例如，修改弧形卡槽111的內(nèi)徑，修改標(biāo)記可視框131相對(duì)弧形卡槽111的位置。以上例子主要說(shuō)明了本實(shí)用新型的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置。盡管只對(duì)其中一些本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，本實(shí)用新型可以在不偏離其主旨與范圍內(nèi)以許多其他的形式實(shí)施。因此，所展示的例子與實(shí)施方式被視為示意性的而非限制性的，在不脫離如所附各權(quán)利要求所定義的本實(shí)用新型精神及范圍的情況下，本實(shí)用新型可能涵蓋各種的修改與替換。
權(quán)利要求1.一種晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，包括 設(shè)置有弧形卡槽的卡板，和 設(shè)置有標(biāo)記可視框的定位板； 其中，所述弧形卡槽的形狀被設(shè)置為與晶圓的標(biāo)記所在的邊緣部分的邊沿形狀相對(duì)應(yīng)，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置處垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽與邊緣部分相卡合時(shí)、所述標(biāo)記可視框相對(duì)所述弧形卡槽的位置與所述晶圓上的標(biāo)記區(qū)域相對(duì)所述邊緣部分的邊沿的位置相對(duì)應(yīng)。
2.如權(quán)利要求I所述的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，所述弧形卡槽的內(nèi)徑等于所述晶圓的直徑。
3.如權(quán)利要求I所述的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，所述弧形卡槽與標(biāo)記處所對(duì)應(yīng)的晶圓邊沿相卡合時(shí)，所述定位板經(jīng)過(guò)所述晶圓的圓心。
4.如權(quán)利要求I所述的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，所述標(biāo)記可視框在所述定位板上對(duì)應(yīng)于所述標(biāo)記區(qū)域挖孔形成。
5.如權(quán)利要求I或4所述的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，所述標(biāo)記可視框?yàn)榉叫巍?br> 6.如權(quán)利要求I所述的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，所述定位板的長(zhǎng)度大于所述晶圓的直徑，所述定位板的寬度大于所述標(biāo)記區(qū)域的寬度。
7.如權(quán)利要求I所述的晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，其特征在于，設(shè)置所述弧形卡槽的長(zhǎng)度和高度以使所述標(biāo)記可視框?qū)?yīng)落在所述弧形卡槽的弧形區(qū)域范圍內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種晶圓標(biāo)記的位置檢查裝置，屬于半導(dǎo)體制程技術(shù)領(lǐng)域。該位置檢查裝置包括設(shè)置有弧形卡槽的卡板、以及設(shè)置有標(biāo)記可視框的定位板；其中，所述弧形卡槽的形狀被設(shè)置為與晶圓的標(biāo)記所在的邊緣部分的邊沿形狀相對(duì)應(yīng)，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置處垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽與邊緣部分相卡合時(shí)、所述標(biāo)記可視框相對(duì)所述弧形卡槽的位置與所述晶圓上的標(biāo)記區(qū)域相對(duì)所述邊緣部分的邊沿的位置相對(duì)應(yīng)。該位置檢查裝置操作簡(jiǎn)單、標(biāo)記位置檢查方便，人為誤差小，并且容易對(duì)標(biāo)記的位置指標(biāo)進(jìn)行量化。
文檔編號(hào)H01L21/66GK202749349SQ20122028006
公開日2013年2月20日 申請(qǐng)日期2012年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月14日
發(fā)明者李晶 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司