專(zhuān)利名稱(chēng):石英舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種石英舟,屬于晶體硅太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
石英玻璃制品以其優(yōu)良的物理化學(xué)特性,被廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)業(yè)集成電路芯片制造業(yè)。石英玻璃是以含二氧化硅物質(zhì),如水晶、硅石。四氧化硅為原料高溫熔制而成。其二氧化硅含量比普通玻璃高得多,一般石英玻璃二氧化硅含量在99. 999%,石英玻璃制品的純凈度也非常高,即使在高溫狀態(tài)下,也不會(huì)向外釋放雜質(zhì)微粒。石英玻璃還具有優(yōu)異的光學(xué)性能,不僅可見(jiàn)光透光度特別好,而且透紫外線(xiàn),紅外線(xiàn)。石英玻璃電學(xué)性能極佳,在常溫下,它的電阻相當(dāng)于普通玻璃的10倍,對(duì)全部頻率的介電損失很微小,絕緣耐壓強(qiáng)度大。透明石英玻璃的線(xiàn)膨脹系數(shù)的5. 4 * 10,相當(dāng)于普通玻璃的1/121/20由于石英玻璃的熱膨脹系數(shù)低,故熱穩(wěn)定性能特別好,透明石英玻璃的平均比熱是O. 251 (0-9000C )熱傳導(dǎo)率是O. 0035卡/厘米、秒、度(20°C )透明石英玻璃的變形點(diǎn),退火點(diǎn)和工作溫度。石英舟是擴(kuò)散時(shí)的常用工具。擴(kuò)散是制造太陽(yáng)能電池光電轉(zhuǎn)換核心部件-PN結(jié)的工藝環(huán)節(jié),是太陽(yáng)能電池制造的關(guān)鍵技術(shù)?,F(xiàn)有的石英舟舟腳一直使用的是透明石英來(lái)進(jìn)行磨砂處理,但是在實(shí)際使用時(shí)剛開(kāi)始還可以在紅外線(xiàn)的照射下準(zhǔn)確找出基準(zhǔn)點(diǎn),但是經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后,磨砂表面脫落,就很難找出基準(zhǔn)點(diǎn)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為解決上述技術(shù)問(wèn)題,提供一種石英舟,它的舟腳是乳白不透明石英,具有對(duì)紅外線(xiàn)有良好反射率的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的一種石英舟,包括舟體和連接舟體的同一側(cè)的兩個(gè)舟腳,所述舟腳均為乳白不透明石英,所述舟腳和所述舟體的材質(zhì)均為石英材質(zhì)并通過(guò)高溫熔融焊接連接在一起,在以往技術(shù)中,都是使用透明石英來(lái)進(jìn)行磨砂處理,但是在實(shí)際使用時(shí)剛開(kāi)始還可以在紅外線(xiàn)的照射下準(zhǔn)確找出基準(zhǔn)點(diǎn),但是經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后,磨砂表面脫落或表面變的光滑后,其對(duì)光線(xiàn)的反射率就大大降低,就很難找出基準(zhǔn)點(diǎn),導(dǎo)致自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備定位不準(zhǔn),從而撞壞或撞損石英舟。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是,采用了乳白不透明石英材料作為舟腳,材質(zhì)上保證了統(tǒng)一性,在高溫加工中,不會(huì)向外釋放雜質(zhì)微粒,確保石英舟所承載的被加工物體的純度和良品率,且在檢測(cè)環(huán)節(jié),舟腳能一直保持對(duì)紅外線(xiàn)較高的反射率,使得自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備的定位能保持穩(wěn)定,不會(huì)出現(xiàn)定位不準(zhǔn)撞壞舟腳的問(wèn)題,顯著提高了石英舟的使用壽命O
圖I是本實(shí)用新型的側(cè)視圖;[0010]圖2是本實(shí)用新型的俯視圖;圖中,I-舟體,2-舟腳
具體實(shí)施方式
本具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明的解釋?zhuān)洳⒉皇菍?duì)本發(fā)明的限制,本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說(shuō)明書(shū)后可以根據(jù)需要對(duì)本實(shí)施例做出沒(méi)有創(chuàng)造性貢獻(xiàn)的修改,但只要在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專(zhuān)利法的保護(hù)。實(shí)施例一如圖I、圖2所示,一種石英舟,包括舟體I和連接舟體I的同一側(cè)兩個(gè)舟腳2,兩個(gè)所述舟腳2均為乳白不透明石英,所述舟腳2和所述舟體I的材質(zhì)均為石英材質(zhì),所述舟 腳2和所述舟體I通過(guò)高溫熔融焊接。
權(quán)利要求1.一種石英舟,包括舟體(I)和用于連接所述舟體(I)的同一側(cè)的兩個(gè)舟腳(2),其特征在于同一側(cè)兩個(gè)所述舟腳⑵均為乳白不透明石英。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種石英舟,其特征在于所述舟腳(2)和所述舟體(I)通過(guò)高溫熔融焊接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種石英舟,其特征在于所述舟腳(2)和所述舟體(I)的材質(zhì)均為石英材質(zhì)。
專(zhuān)利摘要一種石英舟,包括舟體和用于連接所述舟體同一側(cè)的2個(gè)所述舟腳均為乳白不透明石英,材質(zhì)上保證了統(tǒng)一性,在高溫加工中,不會(huì)向外釋放雜質(zhì)微粒,確保石英舟所承載的被加工物體的純度和良品率,且在檢測(cè)環(huán)節(jié),舟腳能一直保持對(duì)紅外線(xiàn)較高的反射率,使得自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備的定位能保持穩(wěn)定,不會(huì)出現(xiàn)定位不準(zhǔn)撞壞舟腳的問(wèn)題,顯著提高了石英舟的使用壽命。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202662580SQ20122027150
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月11日
發(fā)明者常永喜, 陳文 , 申應(yīng)琪 申請(qǐng)人:蘇州安融石英有限公司