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一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置的制作方法

文檔序號:7120085閱讀:232來源:國知局
專利名稱:一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置的制作方法
技術領域
本實用新型應用于晶體硅太陽能電池片制程中,涉及硅片的化學腐蝕清洗機臺的自動補液系統(tǒng),特別是一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置。
背景技術
目前,晶體硅太陽能電池制程中硅片的化學腐蝕清洗機臺的自動補液如圖I是通過氣動閥控制截留片來控制流量,再通過補液時間來確定補液的量,補液量=流量*時間,其中“流量”為新設備安裝時測試值,后續(xù)默認為固定值,通過設定補液時間,來控制補 液量。但由于截留片孔徑約為3_很小易堵塞,氣動閥氣壓影響氣動閥打開程度及液體壓力等因素影響了補液流量,所以補液量會產生波動,影響補液精度,導致制程異常。并且管道中均是高濃度的HN03、HF等高?;瘜W品,如果截留片堵塞,拆除清洗或更換時也存在安全隱患。目前補加O. 5L耗時需要60s左右,如果藥液補加量較大時,由于孔徑小,耗時較長,更不能實現(xiàn)快速補液。
發(fā)明內容本實用新型提供一種通過對自動補液系統(tǒng)中液位管貼上刻度并增加了補液液位感應器,從而達到補液系統(tǒng)的高精度與高效率的高精度自動補液系統(tǒng)裝置。本實用新型的技術方案是一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置,其中槽體通過管道與補液氣動閥連接,補液氣動閥通過管道與藥液盒連接,液位管設在藥液盒上并與藥液盒連通,液位管靠近底部設有低液位感應器,補液液位感應器位于低液位感應器之上,工作液位感應器位于補液液位感應器之上,高液位感應器位于工作液位感應器之上,藥液盒通過管道與進液氣動閥連接。本實用新型的優(yōu)點在于普通的補液系統(tǒng)通過流量和時間來控制藥液補加量,流量的波動會引起藥液補加量的誤差,本實用新型補液系統(tǒng)裝置在液位管上中的液位管貼上刻度并增加補液液位感應器,還去除了補液氣動閥中的截留片,解決了通過流量和時間來控制補液量而受到流量波動影響;使得補液系統(tǒng)在補液過程中更加高效率與高精度。

圖I為現(xiàn)有補液系統(tǒng)裝置的結構示意圖;圖2為本實用新型補液系統(tǒng)裝置的結構示意圖;附圖標記槽體I、補液氣動閥2、藥液盒3、液位管4、低液位感應器5、補液液位感應器6、工作液位感應器7、高液位感應器8、進液動氣閥9。
具體實施方式
實施例I、一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置,其中槽體I通過管道與補液氣動閥2連接,補液氣動閥2通過管道與藥液盒3連接,液位管4設在藥液盒3上并與藥液盒3連通,液位管4靠近底部設有低液位感應器5,補液液位感應器6位于低液位感應器5之上,工作液位感應器7位于補液液位感應器6之上,高液位感應器8位于工作液位感應器7之上,藥液盒3通過管道與進液氣動閥9連接。工作原理將液位管4上貼上刻度,可以通過調節(jié)補液液位感應器6的高度,方便的實現(xiàn)補液量的調整,高液位感應器8用于保護藥液盒3,低液位感應器5用于排空藥液盒3,補液時,藥液盒3處于工作液位由工作液位感應器7控制,補液氣動閥2打開;藥液盒的進液氣動閥9保持關閉狀態(tài);當液位降低到補液液位時由補液液位感應器6控制補液氣動閥2關閉,并 打開進液氣動閥9,將液位補充到工作液位;去除補液氣動閥2中的截留片,增大了補液管路的孔徑,實現(xiàn)了快速補液的功能。
權利要求1.一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置,其特征在于槽體(I)通過管道與補液氣動閥(2 )連接,補液氣動閥(2 )通過管道與藥液盒(3 )連接,液位管(4)設在藥液盒(3 )上并與藥液盒(3 )連通,液位管(4)靠近底部設有低液位感應器(5 ),補液液位感應器(6 )位于低液位感應器(5)之上,工作液位感應器(7)位于補液液位感應器(6)之上,高液位感應器(8)位于工作液位感應器(7)之上,藥液盒(3)通過管道與進液氣動閥(9)連接。
專利摘要本實用新型涉及一種新型的高精度自動補液系統(tǒng)裝置。普通的補液系統(tǒng)通過流量和時間來控制藥液補加量,流量的波動會引起藥液補加量的誤差,本實用新型補液系統(tǒng)裝置在液位管上中的液位管貼上刻度并增加補液液位感應器,還去除了補液氣動閥中的截留片,解決了通過流量和時間來控制補液量而受到流量波動影響;使得補液系統(tǒng)在補液過程中更加高效率與高精度。
文檔編號H01L21/67GK202616277SQ20122025483
公開日2012年12月19日 申請日期2012年6月1日 優(yōu)先權日2012年6月1日
發(fā)明者柳杉, 黃治國, 王鵬, 梅超, 包兵兵 申請人:上饒光電高科技有限公司
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