專利名稱：硅片檔片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于分隔切割好的硅薄片的硅片檔片。
背景技術(shù)：
硅薄片切割好后，放置在硅片槽內(nèi)，為了便于計(jì)數(shù)和取放，需要在硅片之間進(jìn)行分隔。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的在于提供一種用于分隔切割好的硅薄片的硅片檔片。本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下技術(shù)方案硅片檔片，其特征在于所述檔片為塑料薄片，一端設(shè)置有U形卡槽，另一端設(shè)置有鉤形卡槽。本實(shí)用新型使用時(shí)將U形卡槽卡在橫桿上，另一端鉤在另一橫桿上，用于分隔放置在兩根橫桿之間的切割好的硅片，該結(jié)構(gòu)與橫桿連接牢固，不會(huì)輕易滑脫。

圖I為本實(shí)用新型示意圖；圖中，I-硅片檔片；2-橫桿。
具體實(shí)施方式
如圖I所示一種硅片檔片I，所述檔片I為塑料薄片，一端設(shè)置有U形卡槽，另一端設(shè)置有鉤形卡槽。本實(shí)用新型使用時(shí)將U形卡槽卡在橫桿2上，另一端鉤在另一橫桿2上，用于分隔放置在兩根橫桿之間的切割好的硅片，該結(jié)構(gòu)與橫桿連接牢固，不會(huì)輕易滑脫。
權(quán)利要求1.硅片檔片，其特征在于所述檔片為塑料薄片，一端設(shè)置有U形卡槽，另一端設(shè)置有鉤形卡槽。
專利摘要本實(shí)用新型公布了一種硅片檔片，其特征在于所述檔片為塑料薄片，一端設(shè)置有U形卡槽，另一端設(shè)置有鉤形卡槽。本實(shí)用新型使用時(shí)將U形卡槽卡在橫桿上，另一端鉤在另一橫桿上，用于分隔放置在兩根橫桿之間的切割好的硅片，該結(jié)構(gòu)與橫桿連接牢固，不會(huì)輕易滑脫。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202549807SQ20122012583
公開日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月29日
發(fā)明者何江濤, 鄒治旻, 陳新軍 申請(qǐng)人:寧夏隆基硅材料有限公司, 無(wú)錫隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司