一種具有柔性關(guān)節(jié)的容器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種容器，包括：一個(gè)腔體，一個(gè)蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)而相對(duì)腔體移動(dòng)一個(gè)支撐臂包括第一端連接到腔體，第二端通過一個(gè)柔性關(guān)節(jié)連接到所述蓋體，其中所述柔性關(guān)節(jié)包括一個(gè)本體和一個(gè)中心旋轉(zhuǎn)軸，本體上還包括一個(gè)離心旋轉(zhuǎn)軸，所述中心旋轉(zhuǎn)軸固定到蓋體上，所述支撐臂的第二端固定到所述離心旋轉(zhuǎn)軸上。
【專利說明】一種具有柔性關(guān)節(jié)的容器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及低氣壓容器機(jī)械連接部件領(lǐng)域，尤其涉及一種用于低氣壓容器的連接關(guān)節(jié)。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體設(shè)備的制造過程中，反應(yīng)器需要抽成低壓，接近真空才能對(duì)基片進(jìn)行處理形成所需要的基片結(jié)構(gòu)，其它化工或者生物技術(shù)等需要低壓環(huán)境的反應(yīng)器或容器都需要在容器腔體和至少一個(gè)蓋體實(shí)現(xiàn)開關(guān)。蓋體通過鉸鏈?zhǔn)股w體一端與腔體相固定，另一端圍繞鉸鏈旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，使蓋體與容器具有打開和關(guān)閉兩種狀態(tài)。在閉合時(shí)抽走容器內(nèi)的空氣或者充入需要進(jìn)行處理的氣體直到獲得需要的氣壓。在打開時(shí)蓋體移動(dòng)，解除密閉狀態(tài)。由于蓋體較重很多容器都包括一個(gè)氣缸支撐臂輔助蓋體開啟和關(guān)閉，并且在關(guān)閉時(shí)能夠保持蓋體和腔體間的氣密性。但是所有這些蓋體、腔體、鉸鏈、氣缸支撐臂在制造過程中都存在公差，特別是容器尺寸較大時(shí)，這些公差積累后導(dǎo)致的尺寸不匹配是不能忽略的。比如在蓋合時(shí)支撐臂長度偏短，在開啟蓋體時(shí)受到蓋體上下氣壓差和蓋體本身重力的合力，原來用于輔助的氣缸支撐臂由于氣缸已經(jīng)存在拉伸，所以向上的支撐力不夠，操作人員很難靠手臂力量將蓋體拉起。相反的在支撐臂長度偏長的情況下，在蓋合過程中支撐臂的向上支撐力較大，可能會(huì)造成蓋體與腔體間出現(xiàn)縫隙，影響氣密效果。由于傳統(tǒng)支撐臂的尺寸是固定的所以無法再做補(bǔ)充調(diào)整，所以除了更換尺寸更合適的部件，沒有其它辦法。上述尺寸偏差太大時(shí)甚至?xí)l(fā)生蓋體與腔體卡死等極端情況。 [0003]所以業(yè)內(nèi)需要一種更好的蓋體支撐裝置，能夠克服尺寸偏差帶來的蓋合不緊密或者，蓋體打開困難的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種柔性開關(guān)提供更好的蓋體支撐裝置，能夠克服尺寸偏差帶來的蓋合不緊密或者，蓋體打開困難的問題。
[0005]本發(fā)明的應(yīng)用于一種容器包括:一個(gè)腔體，一個(gè)蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)而相對(duì)腔體移動(dòng)一個(gè)支撐臂包括第一端連接到腔體，第二端通過一個(gè)柔性關(guān)節(jié)連接到所述蓋體，其中所述柔性關(guān)節(jié)包括一個(gè)本體和一個(gè)中心旋轉(zhuǎn)軸，本體上還包括一個(gè)離心旋轉(zhuǎn)軸，所述中心旋轉(zhuǎn)軸固定到蓋體上，所述支撐臂的第二端固定到所述離心旋轉(zhuǎn)軸上。柔性關(guān)節(jié)本體上包括一個(gè)限位槽，與蓋體上的限位突出部配合限制本體的旋轉(zhuǎn)角度，或者可以是柔性關(guān)節(jié)本體上包括一個(gè)限位突出部，與蓋體上的限位槽配合限制本體的旋轉(zhuǎn)角度。
[0006]其中柔性關(guān)節(jié)也可以設(shè)置在支撐臂第一端與腔體之間。
[0007]支撐臂包括一個(gè)氣缸和一個(gè)支撐桿。
[0008]支撐臂的兩端均可以通過一個(gè)柔性關(guān)節(jié)分別連接到腔體和蓋體?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0009]圖1a為本發(fā)明容器處于蓋合狀態(tài)整體示意圖；
[0010]圖1b為本發(fā)明容器處于打開狀態(tài)整體示意圖；
[0011]圖2a為本發(fā)明圖支撐臂柔性關(guān)節(jié)外側(cè)示意圖；
[0012]圖2b為本發(fā)明圖支撐臂柔性關(guān)節(jié)內(nèi)側(cè)示意圖；
[0013]圖3為本發(fā)明圖2b中柔性關(guān)節(jié)剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]以下結(jié)合圖1至3，詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施例。
[0015]如圖1a所示，本發(fā)明容器包括腔體10蓋體20，蓋體20的一端通過鉸鏈12固定到腔體，另一端隨鉸鏈旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。一個(gè)支撐臂33包括一個(gè)氣缸30和支撐桿31，氣缸的第一端也就是支撐臂33的第一端通過一個(gè)固定關(guān)節(jié)連接到腔體10，氣缸的另一端與支撐桿31的相連。支撐臂的第二端固定到一個(gè)柔性關(guān)節(jié)32，柔性關(guān)節(jié)連接到蓋體20。如圖1a中所示在腔體與蓋體接觸界面或者其附近包括一個(gè)卡固裝置40，在蓋體與腔體處于閉合狀態(tài)時(shí)鎖定蓋體，在要進(jìn)入圖1b所述開啟狀態(tài)時(shí)解除鎖定掀起蓋體。
[0016]圖2a為圖1所示柔性關(guān)節(jié)32的外側(cè)視角的局部放大圖，柔性關(guān)節(jié)32包括一個(gè)關(guān)節(jié)本體320，在本體中心包括一個(gè)中心旋轉(zhuǎn)軸321，在本體320外圍包括一個(gè)離心旋轉(zhuǎn)軸322。離心旋轉(zhuǎn)軸與支撐臂第二端的支撐桿31相固定，離心旋轉(zhuǎn)軸可以相對(duì)本體320轉(zhuǎn)動(dòng)。中心旋轉(zhuǎn)軸321固定到蓋體上，使本體320可以沿中心旋轉(zhuǎn)軸321相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。中心旋轉(zhuǎn)軸和離心旋轉(zhuǎn)軸的配合轉(zhuǎn)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)支撐臂33第二端可以圍繞中心旋轉(zhuǎn)軸231作圓周運(yùn)動(dòng)。
[0017]如圖1a和Ib所示在蓋體開啟狀態(tài)時(shí)離心旋轉(zhuǎn)軸322也就是支撐臂33的第二端相對(duì)中心旋轉(zhuǎn)軸具有第一位置。在蓋體處于閉合狀態(tài)時(shí)離心旋轉(zhuǎn)軸322也就是支撐臂33的第二端相對(duì)中心旋轉(zhuǎn)軸具有第二位置。在蓋合過程中如果出現(xiàn)支撐臂尺寸不匹配狀況，如支撐臂較長時(shí)，多余的長度可以通過離心旋轉(zhuǎn)軸相對(duì)中心旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)抵消。如支撐臂較短時(shí)離心軸可以旋轉(zhuǎn)到離氣缸第一端更近的另一個(gè)位置。通過離心軸322相對(duì)中心旋轉(zhuǎn)軸321的轉(zhuǎn)動(dòng)可以補(bǔ)償尺寸的誤差，從而保證在蓋體相對(duì)腔體閉合時(shí)的氣密性。在開啟蓋體時(shí)，操作人員在支撐臂提供的升力輔助下將蓋體舉起。
[0018]圖2b所示為柔性關(guān)節(jié)內(nèi)側(cè)示意圖，也就是從腔體側(cè)看向柔性關(guān)節(jié)32的視角。圖中本體320上包括一個(gè)限位槽323。限位槽323與固定在蓋體上的限位突出部相匹配，可以限制本體320相對(duì)中心旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度，也就限制了支撐臂固定到柔性關(guān)節(jié)的一端的可移動(dòng)范圍。本發(fā)明限位功能也可以通過其它結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，比如本體320上包括一個(gè)限位突出部與位于蓋體上的槽相匹配實(shí)現(xiàn)限位。
[0019]本發(fā)明的柔性關(guān)節(jié)32也可以是位于支撐臂33的第一端處，此時(shí)支撐臂33的第二端可以是柔性關(guān)節(jié)也可以是固定關(guān)節(jié)。
[0020]圖3為圖2b在X平面的剖面示意 圖，如圖所示離心旋轉(zhuǎn)軸322相對(duì)中心旋轉(zhuǎn)軸處的本體320具有較小的厚度，便于外側(cè)支撐桿固定安裝到離心旋轉(zhuǎn)軸上。中心旋轉(zhuǎn)軸321包括一個(gè)延伸部伸入蓋體或腔體的固定孔中，離心旋轉(zhuǎn)322也包括一個(gè)延伸部向外側(cè)突出，
以安裝支撐臂的第二端。
[0021]本發(fā)明通過可旋轉(zhuǎn)的柔性關(guān)節(jié)的設(shè)計(jì)可以使得支撐部件在設(shè)計(jì)和制造時(shí)可以具有更大裕量，同時(shí)結(jié)構(gòu)簡單，能夠保證蓋體相對(duì)腔體的開關(guān)效果。
[0022]盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不應(yīng)被認(rèn)為是對(duì)本發(fā)明的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對(duì)于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易 見的。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
【權(quán)利要求】
1.一種容器,包括: 一個(gè)腔體，一個(gè)蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)而相對(duì)腔體移動(dòng) 一個(gè)支撐臂包括第一端連接到腔體，第二端通過一個(gè)柔性關(guān)節(jié)連接到所述蓋體，其中所述柔性關(guān)節(jié)包括一個(gè)本體和一個(gè)中心旋轉(zhuǎn)軸，本體上還包括 一個(gè)離心旋轉(zhuǎn)軸，所述中心旋轉(zhuǎn)軸固定到蓋體上，所述支撐臂的第二端固定到所述離心旋轉(zhuǎn)軸上。
2.如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于:所述柔性關(guān)節(jié)本體上包括一個(gè)限位槽，與蓋體上的限位突出部配合限制本體的旋轉(zhuǎn)角度。
3.如權(quán)利要求1所述的容器，其特征在于:所述柔性關(guān)節(jié)本體上包括一個(gè)限位突出部，與蓋體上的限位槽配合限制本體的旋轉(zhuǎn)角度。
4.如權(quán)利要求1所述容器，其特征在于:所述支撐臂包括一個(gè)氣缸和一個(gè)支撐桿。
5.—種容器,包括: 一個(gè)腔體，一個(gè)蓋體，所述蓋體包括第一部分通過鉸鏈固定到腔體，第二部分隨鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)而相對(duì)腔體移動(dòng) 一個(gè)支撐臂包括第二端連接到蓋體，第一端通過一個(gè)柔性關(guān)節(jié)連接到所述腔體，其中所述柔性關(guān)節(jié)包括本體和位于本體中心的中心旋轉(zhuǎn)軸，本體上 還包括一個(gè)離心旋轉(zhuǎn)軸，所述中心旋轉(zhuǎn)軸固定到腔上，所述支撐臂的第一端固定到所述離心旋轉(zhuǎn)軸上。
6.如權(quán)利要求5所述的容器，其特征在于:所述柔性關(guān)節(jié)本體上包括一個(gè)限位槽，與腔體上的限位突出部配合限制本體的旋轉(zhuǎn)角度。
7.如權(quán)利要求5所述的容器，其特征在于:所述柔性關(guān)節(jié)本體上包括一個(gè)限位突出部，與腔體上的限位槽配合限制本體的旋轉(zhuǎn)角度。
8.如權(quán)利要求5所述容器，其特征在于:所述支撐臂包括一個(gè)氣缸和一個(gè)支撐桿。
9.如權(quán)利要求5所述的容 器，其特征在于:所述支撐臂的第二端也通過一個(gè)柔性關(guān)節(jié)連接到蓋體。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103904004SQ201210575313
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2012年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月26日
【發(fā)明者】虞龍斌, 陳妙娟, 徐朝陽, 王正友 申請(qǐng)人:中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司