一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，包括：旋轉(zhuǎn)軸(1)、控制器(2)、晶體定位臺(3)、晶片(4)和遮光式光電傳感器(5)。在將晶片(4)置于晶體定位臺(3)后，晶片(4)有一部分將置于遮光式光電傳感器(5)中。由于部分光線的遮擋，遮光式光電傳感器(5)將向控制器(2)傳送光強度編碼?？刂破?2)控制旋轉(zhuǎn)軸(1)勻速旋轉(zhuǎn)，并定時獲得光強度編碼。在晶片(4)旋轉(zhuǎn)一周后，控制器(2)將計算出晶片(4)圓心與旋轉(zhuǎn)軸(1)中心的偏移矢量。
【專利說明】一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件制造控制系統(tǒng)，尤其涉及離子注入機的一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]離子注入機是一種通過引導(dǎo)雜質(zhì)注入半導(dǎo)體晶片，從而改變晶片的傳導(dǎo)率的設(shè)備，其中晶片傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性直接關(guān)乎設(shè)備的生產(chǎn)效率以及企業(yè)的效益，因此一套行之有效的晶片傳輸控制系統(tǒng)就至關(guān)重要，而在晶片傳輸控制系統(tǒng)中機械手是唯一的傳輸載體，因此如果能夠提高機械手傳送晶片的穩(wěn)定性和精準度，那么整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性就大幅度地提高。要提高機械手傳送晶片的穩(wěn)定性和精準度，就要定位晶片在定位臺的位置，進而指示機械手能正確地抓取晶片，將之精確地送到靶臺上。否則，晶片由于沒有正確的抓取或放置，將導(dǎo)致晶片固定不穩(wěn)而滑落。在計算出圓心偏移矢量后，我們就能通過調(diào)節(jié)機械手的方向和位置來抵消掉這些誤差，達到精確地傳送的目的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)中無法確定定位臺上晶片圓心與轉(zhuǎn)軸中心的偏移誤差，導(dǎo)致晶片放置不正引起的晶片滑落，影響設(shè)備穩(wěn)定性，給客戶造成重大損失，而開發(fā)出的一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法。
[0004]如圖1所示，本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn): [0005]1.一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，包括:旋轉(zhuǎn)軸(I)、控制器(2)、晶體定位臺(3)、晶片(4)和遮光式光電傳感器(5)。
[0006]2.一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，其過程為:在將晶片(4)置于晶體定位臺(3)后，晶片(4)有一部分將置于遮光式光電傳感器(5)中。由于部分光線的遮擋，遮光式光電傳感器(5)將向控制器(2)傳送光強度編碼?？刂破?2)控制旋轉(zhuǎn)軸(I)勻速旋轉(zhuǎn)，并定時獲得光強度編碼。在晶片(4)旋轉(zhuǎn)一周后，控制器(2)將計算出晶片(4)圓心與旋轉(zhuǎn)軸(I)中心的偏移矢量。
[0007]3.一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，如圖2中所不:晶片⑷圓心圓心是B，旋轉(zhuǎn)軸⑴的圓心是A。由于A與B沒有重疊，因此，當旋轉(zhuǎn)軸⑴旋轉(zhuǎn)時，晶片(4)在遮光式光電傳感器(5)中遮擋光的多少是變化的。因此遮光式光電傳感器(5)送給控制器(2)的光強度編碼值是變化的。當A點、B點在遮光式光電傳感器(5)處于一條基準線
(6)上時，光強度編碼值要么最大Emax，要么最小Emin。在基準線(6)上，如果B點在A點左邊，光強度編碼值最小的話，則B點在A點右邊時，光強度編碼值將最大。根據(jù)Emax和Emin,我們就能得出矢量:S的模丨丨。根據(jù)控制器⑵開始轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)軸⑴時采樣到的第一個光強度編碼Etl，我們能算出Etl與Emax的距離，從而獲得矢量^與基準線(6)的夾角0。
[0008]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點:
[0009][0010]
[0011]1.能在旋轉(zhuǎn)晶片一周后，就能計算圓心與旋轉(zhuǎn)軸中心的偏移矢量。因此，效率高，速度快。不用多次轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)軸。
[0012]2.偏移矢量的模就是晶片圓心與旋轉(zhuǎn)軸中心的偏移量。根據(jù)這個量，就能決定是否需要通過機械手移動晶片，使得晶片與定位臺之間中心重疊。
[0013]3.由于知道偏移矢量，就能有效地指示機械手再次修正性地放置晶片到定位臺上。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為定位晶片與定位體系結(jié)構(gòu)圖。
[0015]圖2為晶片圓心與旋轉(zhuǎn)軸中心偏離矢量計算的實施圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖1和附圖2對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0017]機械臂將晶片⑷置于晶體定位臺(3)后，控制器⑵開始勻速轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)軸(1)，與此同時，開始從遮光式光電傳感器(5)采集光強度編碼。
[0018]控制器(2)勻速轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)軸(I) 一周后，采集到n個光強度編碼數(shù)據(jù)Ei (i = 0，，n~l) o
[0019]由于是勻速運動，我們可以知道任意兩個相鄰的Ei和￡1+1之間的旋轉(zhuǎn)角度Co是360/n?！?br> [0020]在序列Ei(i = 0，，n-D中，我們確定出最大的E_。根據(jù)Emax的下標值k，我們就計算出矢量Zg與基準線(6)的夾角0為kX360/n。
[0021]矢量巧的模(￡_))/2。其中，函數(shù)Emax和Fmin根據(jù)B點在基準線(6)上時，依據(jù)光強編碼計算的B點與A點的偏移值。計算方式是通過大規(guī)范實驗，獲取光強編碼與B點與A點的偏移值的對應(yīng)表，通過查表獲得。
[0022]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應(yīng)的法律責任。
【權(quán)利要求】
1.一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，包括:旋轉(zhuǎn)軸(I)、控制器(2)、晶體定位臺(3)、晶片(4)和遮光式光電傳感器(5)。在將晶片(4)置于晶體定位臺(3)后，晶片(4)有一部分將置于遮光式光電傳感器(5)中。由于部分光線的遮擋,遮光式光電傳感器(5)將向控制器(2)傳送光強度編碼。控制器(2)控制旋轉(zhuǎn)軸(I)勻速旋轉(zhuǎn)，并定時獲得光強度編碼。在晶片(4)旋轉(zhuǎn)一周后，控制器(2)將根據(jù)旋轉(zhuǎn)一周時采集的光強度編碼計算出晶片(4)圓心與旋轉(zhuǎn)軸(I)中心的偏移矢量。
2.如權(quán)利要求1所述的一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，其特征在于:控制器(2)通過均勻旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)軸(I)和采集遮光式光電傳感器(5)光強度編碼，就可以快速地計算晶片(4)的圓心與旋轉(zhuǎn)軸(I)中心的偏移矢量。
3.如權(quán)利要求1所述的一種定位臺上確定晶片圓心偏移矢量的方法，其特征在于:確定晶片(4)圓心的偏移后，就能夠準確有效地控制傳輸?shù)木龋ＷC未來機械臂獲取晶片(4)時，能夠準確地握住晶片的有效位置，并傳送到靶臺上。
【文檔編號】H01L21/66GK103794529SQ201210452403
【公開日】2014年5月14日 申請日期:2012年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月13日
【發(fā)明者】鐘武 申請人:北京中科信電子裝備有限公司