專利名稱：前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開(kāi)涉及一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法，更具體地講，涉及一種包括具有低電阻的陰極電極的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
背景技術(shù)：
信息技術(shù)(IT)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展讓顯示裝置的應(yīng)用顯著增長(zhǎng)。近來(lái)，已經(jīng)有對(duì)輕質(zhì)纖薄、功耗低且提供高分辨率的顯示裝置的需求。為了滿足這些需求，正在開(kāi)發(fā)液晶顯示器或利用有機(jī)發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光顯示器。在有機(jī)發(fā)光元件中，從外部源注入的空穴和電子在發(fā)光層中結(jié)合在一起，從而隨著它們的消失而形成激子。隨著激子從激發(fā)態(tài)躍遷至基態(tài)時(shí)，激子將能量轉(zhuǎn)移至發(fā)光層的熒光分子。然后，熒光分子發(fā)射光而形成圖像。就能態(tài)而言，激子具有一個(gè)單重態(tài)和三個(gè)三重態(tài)。就帶隙能的本質(zhì)來(lái)說(shuō)，激子在單重態(tài)發(fā)射光，但在三重態(tài)不發(fā)射光并且轉(zhuǎn)換為熱能。有機(jī)發(fā)光元件包括以預(yù)定圖案形成在基板上的陽(yáng)極層、順序地堆疊在陽(yáng)極層上的空穴傳輸層、發(fā)光層和電子傳輸層，以及沿著與陽(yáng)極層正交的方向以預(yù)定圖案形成在電子傳輸層的頂表面上的陰極層。此處，空穴傳輸層、發(fā)光層和電子傳輸層是由有機(jī)化合物制成的有機(jī)薄膜。有機(jī)發(fā)光顯示器是具有自發(fā)光特性的下一代顯示裝置，它在視角、對(duì)比度、響應(yīng)速度和功耗方面具有比液晶顯示器更好的特性，并且由于不需要背光而能被制造得薄且輕質(zhì)。以下，將參照?qǐng)DI至圖3描述有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)和有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法。在圖I至圖3中，將在圖I或圖2中向上發(fā)射光的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置作為示例來(lái)描述。圖I和圖2是有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。圖3是示出有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法的流程圖。參照?qǐng)D1，有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括形成在下基板I上的陽(yáng)極電極3、形成在陽(yáng)極電極3上的有機(jī)層4以及順序地堆疊在有機(jī)層4上的陰極電極5和上基板6。有機(jī)層4包括順序堆疊的空穴注入層4a、空穴傳輸層4b、發(fā)光層4c、電子傳輸層4d和電子注入層4e。如上所述，從空穴注入層4a注入的空穴和從電子注入層4e注入的電子在發(fā)光層4c中結(jié)合而產(chǎn)生光，并且在圖I中產(chǎn)生的光向上發(fā)射以穿過(guò)陰極電極5和上基板6，然后射出顯示裝置。在這樣的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，需要減小陰極電極5的厚度以改善透光性，如圖2所示。然而，陰極電極5的厚度的減小使陰極電極5的電阻值增大，造成不均勻的亮度。
此外，如圖3中所示，為了在有機(jī)發(fā)光顯示裝置的陰極電極5上實(shí)現(xiàn)用于包封的上基板6，應(yīng)當(dāng)執(zhí)行附加的包封工藝。該附加的包封工藝增加了制造時(shí)間。
背景技術(shù)：
部分的前述討論是為了提供大體的背景信息，并不構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的范圍。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的多個(gè)方面提供了一種包括具有高透光性和低電阻值的陰極電極的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置。本發(fā)明的多個(gè)方面也提供了可以在形成陰極電極之后不需要附加包封工藝也能制造的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置。
然而，本發(fā)明的多個(gè)方面不限于此處所闡述的一個(gè)方面。通過(guò)參照下文給出的詳細(xì)描述，對(duì)于本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，本發(fā)明的上述和其它方面將變得更加明顯。根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括基板；陽(yáng)極電極，形成在基板上方；有機(jī)層，形成在陽(yáng)極電極上方；陰極電極，形成在有機(jī)層上方；一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層，設(shè)置在陰極電極上方；以及金屬層，置于所述一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層之間。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括基板；陽(yáng)極電極，形成在基板上方；有機(jī)層，形成在陽(yáng)極電極上方；陰極電極，形成在有機(jī)層上方；多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層，電連接到陰極電極；以及多個(gè)金屬層，電連接到所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層，其中，多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層交替地堆疊以形成設(shè)置在陰極電極上方的多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層的堆疊件，其中，所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層中的一個(gè)設(shè)置在所述堆疊件的頂部。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括基板，具有像素區(qū)、晶體管區(qū)和電容器區(qū)；薄膜晶體管，形成在晶體管區(qū)中；陰極電極，形成在薄膜晶體管上方；多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層，電連接到陰極電極；以及多個(gè)金屬層，電連接到多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層，其中，多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層交替地堆疊以形成設(shè)置在陰極電極上的多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層的堆疊件，其中，多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層中的一個(gè)設(shè)置在堆疊件的頂部。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括提供下基板；限定下基板的薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)；在設(shè)置在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上方形成有機(jī)層；在有機(jī)層上方形成陰極電極；在陰極電極上方順序地提供透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層；以及在金屬層上方提供另外的透明導(dǎo)電氧化物層。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括提供下基板；限定下基板的薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)；在設(shè)置在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上方形成有機(jī)層；在有機(jī)層上方形成陰極電極；在陰極電極上方交替堆疊多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層以形成堆疊件；以及在多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層的堆疊件上方提供另外的透明導(dǎo)電氧化物層。


通過(guò)參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的上述和其它方面和特征將變得更加明顯，其中圖I和圖2是有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖；圖3是示出制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法的流程圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖；圖5和圖6是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖；圖7是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法的流程圖；圖8是示出根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在，將在下文中參照示出本發(fā)明的實(shí)施例的附圖更充分地描述本發(fā)明的實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以以不同的形式實(shí)施并且不應(yīng)解釋為限于在此闡述的實(shí)施例。相反，提供這些實(shí)施例以使本公開(kāi)將是徹底的和完全的，并且將把本發(fā)明的范圍充分地傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。在說(shuō)明書(shū)全文中，相同的標(biāo)號(hào)指示相同的組件。在附圖中，為了清晰起見(jiàn)，夸大了層和區(qū)域的厚度。也將理解的是，當(dāng)層被稱作“在”另一層或基板“上”時(shí)，它可直接在所述另一層或基板上，或者也可存在中間層。相反，當(dāng)元件被稱作“直接在”另一元件“上”時(shí)，不存在中間元件。在此可使用空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，例如，“在......下面”、“在......下方”、“下面的”、
“在......上方”、“上面的”及類似詞，以易于描述如圖所示的一個(gè)元件或特征與其它元件
或特征之間的關(guān)系。將理解的是，所述空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)意在包含除了在附圖中描述的方位之外的裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果圖中的裝置被翻轉(zhuǎn)，被描述為“在”其它元件或特征“下方”或“下面”的元件則將被定位為“在”其它元件或特征的“上方”。因此，
術(shù)語(yǔ)“在......下方”可包括“在......上方”和“在......下方”兩種方位。所述裝置
可被另外定位(旋轉(zhuǎn)90度或在其它方位)，并且相應(yīng)地解釋這里使用的空間相對(duì)描述符。除非在此另外指出或上下文明顯矛盾，否則在描述本發(fā)明的上下文中(尤其是在權(quán)利要求的上下文中)，術(shù)語(yǔ)“一個(gè)(種)”和“所述”及類似詞的使用將被解釋為覆蓋單數(shù)和復(fù)數(shù)。除非另外指出，否則術(shù)語(yǔ)“包含”、“具有”、“包括”以及“含有”將作為開(kāi)放式術(shù)語(yǔ)來(lái)解釋(即，是指“包括，但不限于”)。除非另有定義，否則這里使用的所有技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)具有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常所理解的含義相同的含義。需要注意的是，除非另有說(shuō)明，否則在此提供的術(shù)語(yǔ)或者任何示例和所有示例的使用僅是為了更好地闡明本發(fā)明，而不是對(duì)本發(fā)明范圍的限制。此外，除非另有定義，否則對(duì)通用的字典中所定義的所有術(shù)語(yǔ)不可被過(guò)度地解釋。以下，將參照?qǐng)D4至圖6描述根據(jù)實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置。圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。圖5和圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的剖視圖。參照?qǐng)D4，根據(jù)實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括基板11、形成在基板11上的陽(yáng)極電極13、形成在陽(yáng)極電極13上的有機(jī)層14、形成在有機(jī)層14上的陰極電極15、形成在陰極電極15上的一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層16a以及置于透明導(dǎo)電氧化物層16a之間的金屬層16b。具體地講，基板11可由包含SiO2作為主要組分的透明玻璃材料制成。然而，形成基板11的材料不限于透明玻璃材料?；?1也可由透明塑料材料制成。形成基板11的塑料材料可為從由聚醚砜(PES)、聚丙烯酸酯(PAR)、聚醚酰亞胺(PEI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚苯硫醚(PPS)、聚烯丙酯、聚酰亞胺、聚碳酸酯(PC)、三乙酸纖維素(TAC)和乙酸丙酯纖維素(CAP)組成的組中選擇的絕緣有機(jī)材料。形成有晶體管的晶體管區(qū)、形成有電容器的電容器區(qū)和形成有像素的像素區(qū)可限定在基板11上。在晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)之間沒(méi)有清楚的邊界。因此，將晶體管形成在基板11上的區(qū)域定義為晶體管區(qū)，將電容器形成在基板11上的區(qū)域定義為電容器區(qū)。在朝著基板11實(shí)現(xiàn)圖像的底部發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，基板11應(yīng)當(dāng)由透明材料制成。然而，在遠(yuǎn)離基板11實(shí)現(xiàn)圖像的頂部發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，基板11可以不必由透明材料制成。在這種情況下，基板11可由金屬制成。當(dāng)基板11由金屬制成時(shí)，它可包含從由Fe、Cr、Mn、Ni、Ti、Mo和不銹鋼組成的組中選擇的一種或多種材料。然而,形成基板11的材料不限于上述材料?；?1也可由金屬箔制成。還可在基板11上形成緩沖層(未示出)，以使基板11平坦并且防止雜質(zhì)滲透到基板11中。緩沖層可為SiOx、SiNx或SiO2Nx的單層，或者這些材料的多層結(jié)構(gòu)。如圖4所示，還可在基板11和陽(yáng)極電極13之間形成反射膜12。根據(jù)實(shí)施例的包括在前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中的反射膜12反射從發(fā)光層14c發(fā)射的朝向顯示裝置背側(cè)的光，使得光朝著前側(cè)行進(jìn)，從而改善了發(fā)光效率。反射膜12和陰極電極15之間的光學(xué)諧振效應(yīng)能夠使更多的光朝著陰極電極15行進(jìn)。反射膜12可由任意材料制成，優(yōu)選地，由諸如金屬的具有高光反射率的材料制成。反射膜12的厚度也可進(jìn)行調(diào)整以確保足夠的光反射。反射膜12可由Al、Ag、Cr或Mo制成，并且可形成為約1000 A的厚度。陽(yáng)極電極13形成在反射膜12上。在底部發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，陽(yáng)極電極13可為透明導(dǎo)電材料，例如，氧化銦錫(ITO)或氧化銦鋅(IZO)。在根據(jù)實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，可通過(guò)在反射膜12上沉積具有高逸出功的金屬氧化物(例如，Al2O3或ZnO)來(lái)形成陽(yáng)極電極13。有機(jī)層14形成在陽(yáng)極電極13上。如上所述，有機(jī)層14包括順序堆疊的空穴注入層14a、空穴傳輸層14b、發(fā)光層14c、電子傳輸層14d和電子注入層14e。從空穴注入層14a注入的空穴和從電子注入層14e注入的電子在發(fā)光層14c中結(jié)合在一起而產(chǎn)生光，并且在圖I中產(chǎn)生的光向上發(fā)射以穿過(guò)陰極電極15，然后射出顯示裝置。有機(jī)層14還可包括有助于空穴容易到達(dá)發(fā)光層14c的輔助空穴傳輸層。陰極電極15與其下方的陽(yáng)極電極13 —起產(chǎn)生電場(chǎng)，由此使發(fā)光層14c發(fā)射光。在根據(jù)實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，陰極電極15可由允許光穿過(guò)的材料制成，、具體地講，由具有低逸出功的金屬制成。陰極電極15可形成為薄的以能成為半透射反射件。具有低逸出功的金屬(如Mg、Ag、Al、Au或Cr)可用于陰極電極15。一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層16a堆疊在陰極電極15的上方，并且金屬層16b置于透明導(dǎo)電氧化物層16a之間。透明導(dǎo)電氧化物層16a和金屬層16b組成覆蓋層16。即，覆蓋層16可具有順序堆疊的TCO-金屬-TCO的多層結(jié)構(gòu)。透明導(dǎo)電氧化物層16a可包含選自于基于InO的材料和基于ZnO的材料中的一種或多種材料。置于透明導(dǎo)電氧化物層16a之間的金屬層16b使透明導(dǎo)電氧化物層16a之間的電阻降低。由于從發(fā)光層14c發(fā)射的光透射穿過(guò)金屬層16b以朝著顯示裝置的前側(cè)傳播，所以金屬層16可由透光率為大約80%或更高的金屬制成。具體地講，金屬層16b可由具有高透光率和高導(dǎo)電率的Ag制成。包括一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層16a和置于其間的金屬層16b的覆蓋層16具有高透光率和低電阻。因此，形成在被制造得薄且具有高電阻的陰極電極15上的覆蓋層16能夠降低陰極電極15的電阻。S卩，由于覆蓋層16和薄的陰極電極15電結(jié)合形成單陰極結(jié)構(gòu)， 所以能顯著地降低電阻。這使得橫跨顯示裝置的整個(gè)表面的亮度均勻。此外，陰極電極15、透明導(dǎo)電氧化物層16a和金屬層16b具有高的透光率。因此，能夠容易地實(shí)現(xiàn)前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置。一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層16a和置于其間的金屬層16b具有低的透濕性。這種低的透濕性容許它們用作保護(hù)內(nèi)部組件不受外部刺激或外來(lái)物質(zhì)影響的覆蓋結(jié)構(gòu)，而無(wú)需使用薄的包封膜或覆蓋玻璃。因此，不需要用于提供薄的包封膜或覆蓋玻璃的附加工藝。這使得制造時(shí)間縮短且制造成本降低。參照?qǐng)D5和圖6，根據(jù)實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括基板11、形成在基板11上的陽(yáng)極電極13、形成在陽(yáng)極電極13上的有機(jī)層14、形成在有機(jī)層14上的陰極電極15、電連接到陰極電極15的多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層16a以及電連接到透明導(dǎo)電氧化物層16a的多個(gè)金屬層16b。透明導(dǎo)電氧化物層16a和金屬層16b交替和/或重復(fù)地堆疊在陰極電極15上而形成透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層的堆疊件。將透明導(dǎo)電氧化物層16a之一設(shè)置在所述堆疊件的頂部。如圖5所示，除了提供兩個(gè)以上的透明導(dǎo)電氧化物層16a和兩個(gè)以上的金屬層16b以形成覆蓋層16并且所述透明導(dǎo)電氧化物層16a和金屬層16b交替和/或重復(fù)地堆疊在陰極電極15上之外，根據(jù)圖示的實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有與根據(jù)前述實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)。透明導(dǎo)電氧化物層16a中的一層設(shè)置在覆蓋層16的頂部。S卩，本實(shí)施例的覆蓋結(jié)構(gòu)相比于前述實(shí)施例而言，其在陰極電極15上堆疊有更多的層。因此，能夠進(jìn)一步降低本實(shí)施例的包括陰極電極15和層16a、16b的整個(gè)陰極結(jié)構(gòu)的電阻。重復(fù)堆疊的透明導(dǎo)電氧化物層16a和金屬層16b具有優(yōu)異的透光性。因此，如圖
6所示，從發(fā)光層14c發(fā)射的光能穿過(guò)陰極電極15和覆蓋層16而在顯示裝置上形成圖像。如上面在前述實(shí)施例中所描述的，透明導(dǎo)電氧化物層16a可包含從基于InO的材料和基于ZnO的材料中選擇的一種或多種材料。金屬層16b可由透光率為大約80%或更高的金屬制成。具體地講，金屬層16b可由Ag制成。雖然沒(méi)有在圖中明確地示出，但是根據(jù)上述實(shí)施例的陰極電極15和覆蓋層16可在形成在基板11的晶體管區(qū)上方的薄膜晶體管上形成。S卩，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括具有像素區(qū)、晶體管區(qū)和電容器區(qū)的基板11、形成在晶體管區(qū)上的薄膜晶體管、形成在薄膜晶體管上的陰極電極15、形成為電連接到陰極電極15的多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層16a以及電連接到透明導(dǎo)電氧化物層16a的多個(gè)金屬層16b。透明導(dǎo)電氧化物層16a和金屬層16b交替和/或重復(fù)地堆疊在陰極電極15上方以形成堆疊件。將一個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層16a設(shè)置在所述堆疊件的頂部。此處，薄膜晶體管連接到陽(yáng)極電極13。因此，可在薄膜晶體管的控制下將電流選擇性地供應(yīng)給陽(yáng)極電極13。這樣，薄膜晶體管控制陽(yáng)極電極13和陰極電極15之間電場(chǎng)的形成，并且最終控制發(fā)光層14c的光發(fā)射。以下，將參照?qǐng)D7和圖8描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法。圖7是示出根據(jù)圖4示出的實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法的流程圖。圖8是示出根據(jù)圖5和圖6示出的實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法的流程圖。參照?qǐng)D7，制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法包括提供下基板(操作Sll);在下基板上限定薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)(操作S12);在形成在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上形成有機(jī)層(操作S13);在有機(jī)層上形成陰極電極(操作S14);在陰極電極上順序地提供透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層(操作S15);以及在金屬層上提供另外的透明導(dǎo)電氧化物層(操作S16)。具體地講，提供下基板(操作Sll)。如上所述，下基板可由透明的玻璃材料或塑料材料制成。在頂部發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置中，下基板可以不必由透明材料制成。當(dāng)下基板由金屬制成時(shí)，它可包含從由Fe、Cr、Mn、Ni、Ti、Mo和不銹鋼組成的組中選擇的一種或多種材料。在下基板上限定薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)，并且在薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)上分別形成薄膜晶體管、電容器和像素(操作S12)。薄膜晶體管根據(jù)從外部源接收的柵極電壓來(lái)控制陽(yáng)極電極，并且電容器產(chǎn)生維持電壓，以使薄膜晶體管能夠以恒定電壓進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在像素區(qū)上，形成實(shí)際上利用其中的有機(jī)層發(fā)射光并且連接到陽(yáng)極電極的像素。接下來(lái)，在形成在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上形成有機(jī)層(操作S13)。如上所述，有機(jī)層包括提供和傳輸電子和空穴的層以及電子和空穴在其內(nèi)結(jié)合以產(chǎn)生光的發(fā)光層。在有機(jī)層上形成陰極電極(操作S14)，在陰極電極上順序地提供透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層(操作S15)，以及在金屬層上提供另外的透明導(dǎo)電氧化物層(操作S16)，由此完成整個(gè)覆蓋工藝。參照?qǐng)D8，根據(jù)實(shí)施例的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的制造方法包括提供下 基板(S21);在下基板上限定薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)(操作S22);在形成在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上形成有機(jī)層(操作S23);在有機(jī)層上形成陰極電極(操作S24);在陰極電極上交替和/或重復(fù)地堆疊透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層(操作S25);在透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層的堆疊件的頂部提供另外的透明導(dǎo)電氧化物層(操作S26)。除了在陰極電極上交替和/或重復(fù)地提供兩個(gè)以上的透明導(dǎo)電氧化物層和兩個(gè)以上的金屬層之外，根據(jù)圖8中示出的實(shí)施例的制造方法與根據(jù)圖7中示出的實(shí)施例的制造方法相同。
由于透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層形成覆蓋層，所以不需要附加的薄膜包封工藝就可以執(zhí)行覆蓋工藝。這樣簡(jiǎn)化了制造工藝，從時(shí)間和成本上帶來(lái)了優(yōu)勢(shì)。總結(jié)詳細(xì)的描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，在本質(zhì)上不脫離本發(fā)明的原理的情況下，可以對(duì)實(shí)施例進(jìn)行很多變化和修改。因此，本發(fā)明的公開(kāi)的實(shí)施例僅用于一般和描述性的意義，而不是出于限制性的目的。
權(quán)利要求
1.一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括 基板； 陽(yáng)極電極，形成在基板上方； 有機(jī)層，形成在陽(yáng)極電極上方； 陰極電極，形成在有機(jī)層上方； 一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層，設(shè)置在陰極電極上方；以及 金屬層，置于所述一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層之間。
2.一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括 基板； 陽(yáng)極電極，形成在基板上方； 有機(jī)層，形成在陽(yáng)極電極上方； 陰極電極，形成在有機(jī)層上方； 多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層，電連接到陰極電極；以及 多個(gè)金屬層，電連接到所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層， 其中，所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和所述多個(gè)金屬層交替地堆疊以形成設(shè)置在陰極電極上方的所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和所述多個(gè)金屬層的堆疊件，其中，所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層中的一個(gè)設(shè)置在所述堆疊件的頂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述有機(jī)層包括空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述有機(jī)層還包括輔助空穴傳輸層。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，每個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層包含從基于氧化銦的材料和基于氧化鋅的材料中選擇的一種或多種材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述金屬層由透光率為80%或更高的金屬制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述金屬層由銀制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置還包括位于基板和陽(yáng)極電極之間的反射膜。
9.一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，所述前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括 基板，具有像素區(qū)、晶體管區(qū)和電容器區(qū)； 薄膜晶體管，形成在晶體管區(qū)上； 陰極電極，形成在薄膜晶體管上方； 多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層，電連接到陰極電極；以及 多個(gè)金屬層，電連接到多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層， 其中，所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和所述多個(gè)金屬層交替地堆疊以形成設(shè)置在陰極電極上方的所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和所述多個(gè)金屬層的堆疊件，其中，所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層中的一個(gè)設(shè)置在所述堆疊件的頂部。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層中的每個(gè)包含從基于氧化銦的材料和基于氧化鋅的材料中選擇的一種或多種材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述金屬層由透光率為80%或更高的金屬制成。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置，其中，所述金屬層由銀制成。
13.—種制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā) 光顯示裝置的方法，所述方法包括 提供下基板； 限定下基板的薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)； 在設(shè)置在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上方形成有機(jī)層； 在有機(jī)層上方形成陰極電極； 在陰極電極上方順序地提供透明導(dǎo)電氧化物層和金屬層；以及 在金屬層上方形成另外的透明導(dǎo)電氧化物層。
14.一種制造前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括 提供下基板； 限定下基板的薄膜晶體管區(qū)、電容器區(qū)和像素區(qū)； 在設(shè)置在像素區(qū)上方的陽(yáng)極電極上方形成有機(jī)層； 在有機(jī)層上方形成陰極電極； 在陰極電極上方交替地堆疊多個(gè)透明導(dǎo)電氧化物層和多個(gè)金屬層以形成堆疊件；以及 在所述多個(gè)透明氧化物層和所述多個(gè)金屬層的所述堆疊件上方形成另外的透明導(dǎo)電氧化物層。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其中，形成有機(jī)層的步驟包括順序地形成空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，形成有機(jī)層的步驟還包括形成輔助空穴傳輸層。
17.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其中，所述透明導(dǎo)電氧化物層包含從基于氧化銦的材料和基于氧化鋅的材料中選擇的一種或多種材料。
18.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其中，所述金屬層由透光率為80%或更高的金屬制成。
19.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的方法，其中，所述金屬層由銀制成。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置及其制造方法。前側(cè)發(fā)射型有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括基板；陽(yáng)極電極，形成在基板上方；有機(jī)層，形成在陽(yáng)極電極上方；陰極電極，形成在有機(jī)層上方；一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層，設(shè)置在陰極電極上方；以及金屬層，置于所述一對(duì)透明導(dǎo)電氧化物層之間。
文檔編號(hào)H01L27/32GK102655162SQ20121001970
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2012年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月4日
發(fā)明者吳一洙, 宋炯俊, 宋英宇, 尹振渶, 李寶羅, 李昌浩, 李鐘赫, 趙世珍, 金圣哲, 高熙周 申請(qǐng)人:三星移動(dòng)顯示器株式會(huì)社