專利名稱：真空處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
薄膜太陽(yáng)能電池是在玻璃、金屬或塑料等基板上沉積很薄(幾微米至幾十微米)的光電材料形成的一種太陽(yáng)能電池。薄膜太陽(yáng)能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產(chǎn)過(guò)程能耗低，具備大幅度降低原料和制造成本的潛力，因此，市場(chǎng)對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池的需求正逐漸增長(zhǎng)，而薄膜太陽(yáng)能電池技術(shù)更成為近年來(lái)的研究熱點(diǎn)。一般而言，薄膜太陽(yáng)能電池依次包括:基板、透明電極、P型摻雜硅薄膜、i層(非摻雜或本征的硅薄膜)、η型摻雜硅薄膜、以及背電極和保護(hù)板，其中P型摻雜硅薄膜、i層、η型摻雜硅薄膜組成一個(gè)光電單元，現(xiàn)有技術(shù)中薄膜太陽(yáng)能電池通常還可以包括兩個(gè)或多個(gè)疊加的光電單元。等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PlasmaEnhanced Chemical VaporDeposition,PECVD)是最常用的沉積光電單元中各層硅薄膜的方法。沉積薄膜太陽(yáng)能電池的真空處理系統(tǒng)包括=PECVD處理腔和與PECVD處理腔相連的傳輸腔，所述傳輸腔用于將基板傳入或傳出PECVD處理腔，所述PECVD處理腔和傳輸腔之間設(shè)置有閥門結(jié)構(gòu)。在專利號(hào)為US6647665的美國(guó)專利中公開(kāi)了一種用于真空系統(tǒng)的閥門結(jié)構(gòu),所述真空系統(tǒng)I包括處理腔12和傳輸腔11，所述傳輸腔11和處理腔12之間的腔壁中設(shè)置有開(kāi)口 131，所述閥門結(jié)構(gòu)13包括連通傳輸腔11和處理腔12的開(kāi)口 131，還包括覆蓋所述開(kāi)口131的密封部132，所述密封部132放置于傳輸腔11的一側(cè)，并且所述密封部132的面積大于所述開(kāi)口 131的面積，從而可以完全覆蓋所述開(kāi)口 131，進(jìn)而起到阻隔傳輸腔11和處理腔12的作用，避免傳輸腔11和處理腔12之間漏氣現(xiàn)象的發(fā)生。使所述密封部132露出所述開(kāi)口 131，可使傳輸腔11和處理腔12之間連通，傳輸腔11可以將基板傳輸至處理腔12中。所述密封部132覆蓋于所述開(kāi)口 131，所述密封部132與腔壁相接觸處形成密封面，如圖1所示，所述密封面與傳輸腔11和處理腔12之間氣體流通方向相垂直，這樣傳輸腔11和處理腔12之間的氣壓差所形成的壓力差容易使密封部132與腔壁接觸不夠緊密從而造成閥門結(jié)構(gòu)13密封不嚴(yán)的問(wèn)題，從而使閥門結(jié)構(gòu)13的密封性能下降，因而所述閥門結(jié)構(gòu)13的可靠性較低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種可靠性高、可承受雙向壓力的真空處理系統(tǒng)。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種真空處理系統(tǒng)，包括第一腔室、第二腔室以及位于所述第一腔室和第二腔室之間的閥門結(jié)構(gòu)，所述閥門結(jié)構(gòu)包括:背板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之間，所述背板上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口，所述多個(gè)開(kāi)口沿平行所述背板的第一直線方向間隔排列，用于連通所述第一腔室和所述第二腔室；
多個(gè)閥門單元，裝配于背板的第一面上，所述多個(gè)閥門單元與所述多個(gè)開(kāi)口相對(duì)應(yīng)，所述閥門單元包括固定部和移動(dòng)部；所述固定部固定于所述背板，其包括一與所述背板上的開(kāi)口相對(duì)應(yīng)的通孔和圍繞所述通孔的第一密封面，所述第一密封面與所述背板垂直；所述移動(dòng)部，包括與所述第一密封面相對(duì)應(yīng)的第二密封面，用于與所述第一密封面相配合密封所述通孔；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部連接，用于同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部向相應(yīng)的固定部移動(dòng)，使得所述第一密封面與所述第二密封面相接觸，從而密封所述通孔?？蛇x地，所述第一密封面包括第一密封部、第二密封部和兩個(gè)連接密封面；所述第一密封部和所述第二密封部沿垂直所述背板的方向上錯(cuò)開(kāi)；所述第一密封部的兩端分別通過(guò)所述兩個(gè)連接密封面與所述第二密封部的兩端連接?？蛇x地，所述固定部為長(zhǎng)條形的具有通孔的部件，所述通孔為狹縫；所述第一密封部處于所述狹縫沿著所述第一直線第一方向的一側(cè)，所述第二密封部處于所述狹縫沿著所述第一直線第二方向的一側(cè)；在垂直于背板的方向上，所述第二密封部靠近背板，所述第一密封部位于所述第二密封部遠(yuǎn)離背板的一側(cè)；所述兩個(gè)連接密封面位于所述狹縫的兩端。可選地，所述第一密封部的兩端和所述第二密封部的兩端分別平滑地過(guò)渡到所述兩個(gè)連接密封面?？蛇x地，所述固定部包括一底板和一凸沿，所述狹縫為穿透所述底板的窄長(zhǎng)縫，所述凸沿從所述狹縫第一直線第一方向側(cè)背離所述背板的方向突出，所述凸沿朝向所述第一直線第二方向的面為第一密封部；所述底板朝向所述第一直線第二方向的面為第二密封部?？蛇x地，所述固定部包括位于所述狹縫第一直線第一方向側(cè)的第一凸沿結(jié)構(gòu)，還包括位于所述狹縫第一直線方向第二方向側(cè)的第二凸沿結(jié)構(gòu)；所述第一凸沿結(jié)構(gòu)包括第一底座和第一凸起部，所述第一凸起部從所述第一底座朝背向所述背板的方向凸起，所述第一凸起部朝向所述第一直線第二方向的面為第一密封部；所述第二凸沿結(jié)構(gòu)包括第二底座和第二凸起部，所述第二凸起部從所述第二底座朝背向所述背板方向凸起，所述第二凸起部朝向所述第一直線第二方向的面為第二密封部?？蛇x地，所述移動(dòng)部為長(zhǎng)條形部件；所述移動(dòng)部包括底板和突起部，所述突起部從所述底板朝向所述背板方向突起；所述底板包括朝向所述第一直線第一方向的第一面，所述突起部包括朝向所述第一直線第一方向的第二面，所述第一面與所述第一密封部相配合，所述第二面與第二密封部相配合，以密封所述通孔?？蛇x地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)部沿著平行所述第一直線第一方向移動(dòng)，以密封所述通孔；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)部沿著所述第一直線第二方向移動(dòng)，以打開(kāi)所述通孔?？蛇x地，所述開(kāi)口的形狀為狹縫，所述通孔的形狀也為狹縫?？蛇x地，所述第一密封部、第二密封部沿所述狹縫的延伸方向?yàn)椴ɡ诵??？蛇x地，所述第一密封部、第二密封部為平面。可選地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)桿和氣缸，其中，所述驅(qū)動(dòng)桿裝配于背板的第一面上，并且與所述各閥門單元的移動(dòng)部均連接；所述氣缸位于第一腔室和第二腔室之外，且與所述驅(qū)動(dòng)桿相連接，所述氣缸驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿所述第一直線的第一方向和第二方向運(yùn)動(dòng)?？蛇x地，所述移動(dòng)部為長(zhǎng)條形；所述驅(qū)動(dòng)桿包括相互平行的第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿，所述移動(dòng)部的兩端分別與所述第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿連接?？蛇x地，所述驅(qū)動(dòng)桿還包括平行于第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿的第三驅(qū)動(dòng)桿，長(zhǎng)條形的移動(dòng)部的中部連接于所述第三驅(qū)動(dòng)桿。可選地，所述第一直線為豎直線，所述氣缸用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿，沿著所述豎直線進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)?？蛇x地，所述氣缸與所述驅(qū)動(dòng)桿的頂部相連，所述氣缸產(chǎn)生自下而上的拉力，用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿豎直線進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)?？蛇x地，所述氣缸與所述驅(qū)動(dòng)桿的底部相連，所述氣缸產(chǎn)生自下而上的推力，用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿豎直線進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)?？蛇x地，所述閥門結(jié)構(gòu)還包括固定于背板上第一面上的一個(gè)或多個(gè)環(huán)形件，所述環(huán)形件沿第一直線方向排布；所述驅(qū)動(dòng)桿穿過(guò)所述環(huán)形件，以裝配于所述背板的第一面上。
可選地，所述閥門結(jié)構(gòu)還包括連接部，用于連接所述移動(dòng)部和所述驅(qū)動(dòng)桿?？蛇x地，所述連接部包括用于夾持驅(qū)動(dòng)桿的鎖扣部件，所述鎖扣部件通過(guò)鉚接或卡扣方式使移動(dòng)部、驅(qū)動(dòng)桿連接在一起。可選地，所述移動(dòng)部還包括背向所述開(kāi)口、與所述背板平行的表面，所述表面上設(shè)置有多個(gè)凹槽。可選地，所述背板的第二面上設(shè)置有多個(gè)加強(qiáng)肋，所述多個(gè)加強(qiáng)肋位于各開(kāi)口之間。可選地，所述第二腔室為PECVD處理腔室，第一腔室為傳輸腔室，所述背板的第一面朝向所述傳輸腔室。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):1.所述第一密封面和第二密封面均垂直于所述背板，所述第一密封面和第二密封面相接觸形成的密封面與所述背板垂直，所述密封面與第一腔室和第二腔室之間氣體的流通方向相平行，當(dāng)所述移動(dòng)部在所述第一腔室和第二腔室之間形成的壓力差的作用下相對(duì)固定部發(fā)生移動(dòng)時(shí)，所述密封面仍然可以起到良好的密封效果，提高了閥門結(jié)構(gòu)的可靠性。2.所述移動(dòng)部和固定部之間形成垂直于背板的密封面，所述密封面和第一腔室、第二腔室之間壓力的方向相平行，所述密封面可以承受第一腔室至第二腔室或第二腔室至第一腔室的雙向壓力，提高了閥門結(jié)構(gòu)的使用范圍。3.可選地，所述第一密封部、第二密封部沿所述狹縫的延伸方向?yàn)椴ɡ诵?，波浪形的所述第一密封部和第二密封部可以承受較強(qiáng)的力，進(jìn)而可以增加閥門結(jié)構(gòu)的壽命，此外，波浪形的所述第一密封部和第二密封部增大了密封面的面積，可以提高密封效果，從而提高了閥門結(jié)構(gòu)的可靠性。4.可選地，氣缸與所述驅(qū)動(dòng)桿的頂部相連，所述氣缸產(chǎn)生自下而上的拉力，用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿背板進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)，不會(huì)產(chǎn)生使驅(qū)動(dòng)桿旋轉(zhuǎn)的力矩，因此不會(huì)增大驅(qū)動(dòng)桿與其鄰近部件的摩擦力，從而減小了磨損，提高了驅(qū)動(dòng)桿的壽命。
5.可選地，移動(dòng)部為長(zhǎng)條形，所述驅(qū)動(dòng)桿包括分別與移動(dòng)部?jī)啥讼噙B接的第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿，還包括與長(zhǎng)條形的移動(dòng)部的中部相連接的第三驅(qū)動(dòng)桿，所述第三驅(qū)動(dòng)桿用于對(duì)密封部中部進(jìn)行支撐，可以防止長(zhǎng)條狀密封部的中部向上彎曲而引起的變形，從而保證所述第一密封面和第二密封面之間緊密接觸，提高密封性能，同時(shí)也能提高閥門結(jié)構(gòu)的使用壽命。6.可選地，所述第一腔室為傳輸腔室，所述第二腔室為PECVD處理腔室，所述閥門結(jié)構(gòu)的大部分器件位于傳輸腔室中，可以避免氣體對(duì)閥門結(jié)構(gòu)的污染，提高了閥門結(jié)構(gòu)的使用壽命。7.可選地，背板朝向第二腔室的面上還設(shè)置有多個(gè)加強(qiáng)肋，可以防止背板因第一腔室和第二腔室之間的壓力差而變形，從而提高了背板的使用壽命。8.可選地，移動(dòng)部背向所述開(kāi)口的面上設(shè)置有多個(gè)凹槽，所述凹槽可以提供移動(dòng)部受熱膨脹的余量，從而防止移動(dòng)部受熱后變形，進(jìn)而提高密封部的使用壽命。9.可選地，氣缸驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿，使驅(qū)動(dòng)桿沿著所述豎直線進(jìn)行簡(jiǎn)單的上、下運(yùn)動(dòng)即可實(shí)現(xiàn)閥門結(jié)構(gòu)的關(guān)閉和打開(kāi)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)真空處理系統(tǒng)中的閥門結(jié)構(gòu)一實(shí)施例的示意圖；圖2是本發(fā)明真空處理系統(tǒng)一實(shí)施例處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)的立體圖；圖3是圖2所示真空處理系統(tǒng)處于打開(kāi)狀態(tài)時(shí)的立體圖；圖4是圖2所示閥門結(jié)構(gòu)的局部放大圖；圖5是圖3所示閥門結(jié)構(gòu)沿CC’方向的剖視圖；圖6是圖3所示閥門結(jié)構(gòu)的局部立體圖；圖7是圖2所示閥門結(jié)構(gòu)沿DD’方向的剖視圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，因此本發(fā)明不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種真空處理系統(tǒng)，包括第一腔室、第二腔室以及位于所述第一腔室和第二腔室之間的閥門結(jié)構(gòu)，所述閥門結(jié)構(gòu)包括:背板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之間，所述背板上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口，所述多個(gè)開(kāi)口沿平行所述背板的第一直線方向間隔排列，用于連通所述第一腔室和所述第二腔室；多個(gè)閥門單元，裝配于背板的第一面上，所述多個(gè)閥門單元與所述多個(gè)開(kāi)口相對(duì)應(yīng)，所述閥門單元包括固定部和移動(dòng)部；所述固定部固定于所述背板，其包括一與所述背板上的開(kāi)口相對(duì)應(yīng)的通孔和圍繞所述通孔的第一密封面，所述第一密封面與所述背板垂直；所述移動(dòng)部，包括與所述第一密封面相對(duì)應(yīng)的第二密封面，用于與所述第一密封面相配合密封所述通孔；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部連接，用于同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部向相應(yīng)的固定部移動(dòng)，使得所述第一密封面與所述第二密封面相接觸，從而密封所述通孔。本發(fā)明中所述第一密封面和第二密封面均垂直于所述背板，所述第一密封面和第二密封面相接觸形成的密封面與所述背板垂直，所述密封面與第一腔室和第二腔室之間氣體的流通方向相平行，當(dāng)所述移動(dòng)部在第一腔室和第二腔室之間形成的壓力差的作用下相對(duì)固定部發(fā)生移動(dòng)時(shí)，所述密封面仍然可以起到良好的密封效果，提高閥門結(jié)構(gòu)的可靠性。為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。圖2和圖3分別示出了本發(fā)明真空處理系統(tǒng)一實(shí)施例關(guān)閉狀態(tài)的立體圖、打開(kāi)狀態(tài)的立體圖。在圖2和圖3中背板沿豎直面延伸，為了說(shuō)明清楚，此處以第一直線沿豎直方向?yàn)槔?，所述多個(gè)開(kāi)口沿豎直方向間隔排列，但是本發(fā)明對(duì)此不做限制。所述真空處理系統(tǒng)包括第一腔室10、第二腔室20以及位于所述第一腔室10和第二腔室20之間的閥門結(jié)構(gòu)30。本實(shí)施例中，所述第二腔室20包括多個(gè)子腔室(圖未示)，所述閥門結(jié)構(gòu)30位于第一腔室10和第二腔室20的多個(gè)子腔室之間，用于起到密封或連通第一腔室10與各子腔室的作用。具體地，所述閥門結(jié)構(gòu)30包括設(shè)置有開(kāi)口 300的背板301、裝配于背板301上的多個(gè)閥門單元303、與所述閥門單元303相連的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304。以下對(duì)閥門結(jié)構(gòu)30的各個(gè)組成部件進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。背板301，位于所述第一腔室10和所述第二腔室之20間，所述背板301上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口 300，所述多個(gè)開(kāi)口 300沿豎直方向間隔排列，用于連通所述第一腔室10和所述第
二腔室20的各子腔室。多個(gè)閥門單元303，裝配于背板301朝向第一腔室10的一面上，所述多個(gè)閥門單元303與所述多個(gè)開(kāi)口 300相對(duì)應(yīng)。為了使所述閥門單元303對(duì)每個(gè)開(kāi)口 300均進(jìn)行密封或連通，優(yōu)選地，所述多個(gè)閥門單元303與所述多個(gè)開(kāi)口 300的數(shù)量相同，并且所述閥門單元303分別位于相對(duì)應(yīng)的所述開(kāi)口 300的位置處，但是本發(fā)明對(duì)此不做限制，在其他實(shí)施例中，所述閥門單元303與所述開(kāi)口 300的數(shù)量還可以不同。所述閥門單元303包括固定部308和移動(dòng)部302 ;所述固定部308為固定于背板301上露出開(kāi)口 300的部件，所述移動(dòng)部302在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304的作用下相對(duì)所述固定部308沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)，以覆蓋或者露出所述開(kāi)口 300，從而與所述固定部308相配合實(shí)現(xiàn)第一腔室10和第二腔室20之間的密封或連通。本實(shí)施例中，所述固定部308為長(zhǎng)條形的具有通孔311的部件，所述固定部308包括與所述背板301上的開(kāi)口 300相對(duì)應(yīng)的通孔311和圍繞所述通孔311的第一密封面312，所述第一密封面312與所述背板301垂直。所述固定部308的通孔311露出所述開(kāi)口 300，本實(shí)施例中，所述開(kāi)口 300為沿水平方向延伸的狹縫，所述通孔311也為沿水平方向延伸的狹縫，所述通孔311的形狀、尺寸和所述開(kāi)口 300的形狀、尺寸相同，所述通孔311剛好可以完全露出所述開(kāi)口 300，但是本發(fā)明并不限制于此。所述第一密封面312圍繞所述通孔311 —周，以形成圍繞所述通孔311 —周的密封面，以實(shí)現(xiàn)通過(guò)密封面密封所述通孔311進(jìn)而密封所述開(kāi)口 300的目的。結(jié)合參考圖4，示出了圖3所示閥門單元的放大圖。具體地，所述第一密封面312包括位于通孔311上方的第一密封部3121，位于通孔311下方的第二密封部3122，以及位于狹縫狀通孔311兩端的兩個(gè)連接密封面3123，所述第一密封部3121的兩端分別通過(guò)兩個(gè)連接密封面3123與所述第二密封部3122的兩端連接。所述第一密封部3121和所述第二密封部3122沿垂直所述背板301的方向上錯(cuò)開(kāi)，本實(shí)施例中，在垂直于背板301的方向上，所述第二密封部3122靠近背板301，所述第一密封部3121位于所述第二密封部3122遠(yuǎn)離背板301的一側(cè)。本實(shí)施例中，所述固定部308的第一密封部3121和第二密封部3122朝下，所述第一密封部3121的兩端和第二密封部3122的兩端分別延伸至狹縫狀的通孔311的兩端，所述第一密封部3121和第二密封部3122在通孔311兩端的位置處相接觸，并經(jīng)由連接密封面3123連接在一起。所述第一密封部3121的兩端和所述第二密封部3122的兩端分別平滑地過(guò)渡到所述兩個(gè)連接密封面3123。具體地，所述第一密封部3122、所述第二密封部3123的兩端相接觸的位置處具有一定的弧度，從而平滑地過(guò)渡到所述兩個(gè)連接密封面3123。所述移動(dòng)部302為長(zhǎng)條形的板狀部件，包括沿豎直方向延伸的、用于覆蓋所述通孔311的覆蓋面，以及圍繞所述覆蓋面一周、垂直于背板301且與所述第一密封面312相對(duì)應(yīng)的第二密封面313，所述第二密封面313用于與所述第一密封面312相配合密封所述通孔311。具體地，所述第二密封面313包括與所述第一密封部3121相配合的第一面3131，與第二密封部3122相配合的第二面(圖中未示出)。本實(shí)施例中，所述第一面3131和第二面均朝上。為了實(shí)現(xiàn)密封，所述第一面3131的形狀需與所述第一密封部3121的形狀相匹配，所述第二面與所述第二密封部3122的形狀相匹配。繼續(xù)參考圖2和圖3，本實(shí)施例中所述開(kāi)口 300為狹縫，所述第一密封部3121和第二密封部3122均為平面。但是本發(fā)明并不限制于此，所述第一密封部3121和第二密封部3122還可以為沿所述狹縫延伸方向的波浪形，所述波浪形的第一密封部3121和第二密封部3122可以承受較強(qiáng)的力，進(jìn)而可以增加閥門結(jié)構(gòu)30的壽命，此外，所述波浪形的第一密封部3121和第二密封部3122可以增大密封面的面積，從而進(jìn)一步提高閥門結(jié)構(gòu)30的可靠性。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304，與所述多個(gè)閥門單元303的移動(dòng)部302均連接，適于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)部302沿著平行于背板301所在的豎直平面進(jìn)行上、下移動(dòng)。本實(shí)施例中，所述移動(dòng)部302在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304的驅(qū)動(dòng)下向上移動(dòng)，直至移動(dòng)部302的第二密封面313與固定部308的第一密封面312相接觸，從而形成垂直于所述背板301的密封面，所述密封面密封所述通孔311，從而實(shí)現(xiàn)閥門結(jié)構(gòu)30的關(guān)閉，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)第一腔室10和第二腔室20的各子腔室之間的隔離。所述垂直于背板301的密封面與第一腔室10和第二腔室20之間氣體的流通方向相平行，也就是說(shuō)所述密封面與第一腔室10和第二腔室20之間的壓力方向相平行，這樣，當(dāng)所述移動(dòng)部302在壓力差的作用下相對(duì)固定部308發(fā)生移動(dòng)時(shí)，所述密封面仍然可以起到良好的密封效果，提高了閥門結(jié)構(gòu)30的可靠性。所述移動(dòng)部302在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304的驅(qū)動(dòng)下還可以向下移動(dòng)，直至露出通孔11，從而露出所述開(kāi)口 300，進(jìn)而連通第一腔室10和第二腔室20的各子腔室。在其他實(shí)施例中，將所述固定部308沿背板301所在平面旋轉(zhuǎn)180度裝配在背板301上，并將移動(dòng)部302沿背板301所在平面旋轉(zhuǎn)180度與驅(qū)動(dòng)桿305固定，那么所述移動(dòng)部302還可以在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304的驅(qū)動(dòng)下向上移動(dòng)，以連通第一腔室10和第二腔室20的各子腔室，所述移動(dòng)部302在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304的驅(qū)動(dòng)下向下移動(dòng)，以隔離第一腔室10和第二腔室20的各子腔室，本發(fā)明對(duì)此不做限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進(jìn)行相應(yīng)地修改、替換和變形。繼續(xù)參考圖2和圖3，本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304包括驅(qū)動(dòng)桿305和氣缸(圖未示)，其中，所述驅(qū)動(dòng)桿305裝配于背板301朝向第一腔室10的一面上，所述驅(qū)動(dòng)桿305與各閥門單元303的移動(dòng)部302均連接，所述驅(qū)動(dòng)桿305在所述氣缸所產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力的作用下沿平行于背板301的平面進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。所述氣缸位于第一腔室10和第二腔室20之外，所述氣缸與所述驅(qū)動(dòng)桿305相連接，所述氣缸用于產(chǎn)生使驅(qū)動(dòng)桿305沿平行于背板301所在平面運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力。為了使所述驅(qū)動(dòng)桿305沿豎直方向上下運(yùn)動(dòng)，所述氣缸可以與驅(qū)動(dòng)桿305的上端部相連，用于產(chǎn)生自下至上的拉力，所述拉力使所述驅(qū)動(dòng)桿305進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。所述氣缸還可以與驅(qū)動(dòng)桿305的下端部相連，用于產(chǎn)生自下至上的推力，所述推力可以使驅(qū)動(dòng)桿305進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。需要說(shuō)明的是，對(duì)于氣缸與驅(qū)動(dòng)桿305的下端部相連，用于產(chǎn)生自下至上的推力的實(shí)施例，由于驅(qū)動(dòng)桿305本身具有一定的質(zhì)量，驅(qū)動(dòng)桿305本身的重力作用不可忽略，而驅(qū)動(dòng)桿305的重力作用點(diǎn)位于所述驅(qū)動(dòng)桿305的重心、且重力方向向下，而推力的作用點(diǎn)位于驅(qū)動(dòng)桿305的下端部、且推力方向向上，所述推力的方向如果和所述重力的方向不重合，在與重力的共同作用下，會(huì)形成使驅(qū)動(dòng)桿305旋轉(zhuǎn)的力矩，從而增大驅(qū)動(dòng)桿305與其鄰近部件的之間的摩擦力。而對(duì)于氣缸可以與驅(qū)動(dòng)桿305的上端部相連，用于產(chǎn)生自下至上的拉力的實(shí)施例，則不會(huì)產(chǎn)生使驅(qū)動(dòng)桿305旋轉(zhuǎn)的力矩，因此不會(huì)增大驅(qū)動(dòng)桿305與其鄰近部件的摩擦力。因此，氣缸與驅(qū)動(dòng)桿305的上端部相連，用于產(chǎn)生自下至上的拉力為優(yōu)選的技術(shù)方案。本發(fā)明通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304帶動(dòng)移動(dòng)部302進(jìn)行簡(jiǎn)單的上、下運(yùn)動(dòng)，即可實(shí)現(xiàn)閥門單元303的關(guān)閉和打開(kāi)，結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單。本實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304包括氣缸和驅(qū)動(dòng)桿305，但是本發(fā)明并不限制于此，在其他實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304還可以包括其他制動(dòng)裝置和連動(dòng)裝置。如圖2和圖3所示，本實(shí)施例中，所述移動(dòng)部302為長(zhǎng)條形的板狀部件，所述驅(qū)動(dòng)桿305包括沿豎直方向放置、相互平行的第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿，所述第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿分別與移動(dòng)部302的兩端固定連接。所述第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿在氣缸驅(qū)動(dòng)下，可以沿豎直方向進(jìn)行同步地上、下運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述移動(dòng)部302進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施例以驅(qū)動(dòng)桿305包括第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿為例，但是本發(fā)明并不限制于此，在其他實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)桿305還可以包括平行于所述第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿的第三驅(qū)動(dòng)桿，所述第三驅(qū)動(dòng)桿與長(zhǎng)條形的移動(dòng)部302的中部相連接，所述第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿、第三驅(qū)動(dòng)桿在氣缸驅(qū)動(dòng)下，可以沿豎直方向進(jìn)行同步地上、下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)所述第三驅(qū)動(dòng)桿對(duì)移動(dòng)部302中部進(jìn)行支撐，可以防止長(zhǎng)條狀移動(dòng)部302的中部向上彎曲而引起的變形，從而保證所述第一密封面312和第二密封面313之間的緊密接觸，提高密封性能，同時(shí)還可以提高閥門結(jié)構(gòu)30的使用壽命。繼續(xù)參考圖2和圖3，背板301的第一面上固定有一個(gè)或多個(gè)環(huán)形件306，所述環(huán)形件306用于將驅(qū)動(dòng)桿305裝配在背板301上，還用于限制驅(qū)動(dòng)桿305的位置。具體地，所述環(huán)形件306具有中心軸，所述環(huán)形件306按照所述中心軸沿豎直方向的方式固定于所述背板301上。所述多個(gè)環(huán)形件306沿豎直方向排布，所述驅(qū)動(dòng)桿305穿過(guò)各環(huán)形件306，從而裝配于所述背板301上。所述沿豎直方向排布的環(huán)形件306還可以起到限制驅(qū)動(dòng)桿305運(yùn)動(dòng)方向的作用，所述環(huán)形件306與氣缸相配合，使驅(qū)動(dòng)桿305沿豎直方向進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。繼續(xù)參考圖2，本發(fā)明真空處理系統(tǒng)中的閥門結(jié)構(gòu)30還包括多個(gè)連接部307，用于連接驅(qū)動(dòng)桿305和移動(dòng)部302，本實(shí)施例中，驅(qū)動(dòng)桿305包括第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿，移動(dòng)部302的兩端分別通過(guò)一連接部307與所述第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿固定在一起。具體地，所述連接部307包括與驅(qū)動(dòng)桿305 (第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿)相匹配的鎖扣部件，所述鎖扣部件用于夾持固定所述驅(qū)動(dòng)桿(第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿)，所述鎖扣部件通過(guò)鉚接或卡扣的方式將移動(dòng)部302和驅(qū)動(dòng)桿305連接在一起。這樣，驅(qū)動(dòng)桿305 (第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿)在上、下運(yùn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)移動(dòng)部302沿著平行于背板301所在平面上、下運(yùn)動(dòng)，從而覆蓋并密封固定部308的通孔311或露出固定部308的通孔311，以分別實(shí)現(xiàn)第一腔室10和第二腔室20之間的隔離或第一腔室10和第二腔室20之間的連通。下面結(jié)合閥門單元的放大圖，對(duì)閥門單元的技術(shù)方案做進(jìn)一步說(shuō)明。如圖3所示的實(shí)施例中，所述固定部308為長(zhǎng)條形的具有通孔311的部件，所述通孔311為狹縫；所述固定部308包括一底板和一凸沿，所述狹縫為穿透所述底板的窄長(zhǎng)縫，所述凸沿從所述狹縫上方背離所述背板301的方向突出，所述凸沿朝下的面為第一密封部3121 ;所述底板朝向下的面為第二密封部3122。請(qǐng)參閱圖5和圖6，分別示出了在閥門單元在打開(kāi)狀態(tài)時(shí)的剖視圖和立體圖。如圖5所示的剖視圖中，所述固定部308還可以是包括被通孔311隔開(kāi)的位于通孔311上方的第一凸沿結(jié)構(gòu)3081、位于通孔311下方的第二凸沿結(jié)構(gòu)3082。所述第一凸沿結(jié)構(gòu)3081包括第一底座321和第一凸起部322，所述第一凸起部322從所述第一底座321背向所述背板301方向凸起，本實(shí)施例中，所述第一凸起部322在所述通孔311上側(cè)、沿背向所述背板301的方向從所述第一底座321突出，所述第一凸起部322從所述第一底座321突出從而形成向下的第一延伸面，所述第一延伸面為所述固定部308的第一密封部3121。所述第二凸沿結(jié)構(gòu)3082包括第二底座323和第二凸起部324，所述第二凸起部324從所述第二底座323背向所述背板301方向凸起，本實(shí)施例中，所述第二凸起部324在所述通孔311下側(cè)、沿背向所述背板301的方向從所述第二底座323突出，所述第二凸起部324從所述第二底座323突出從而形成向下的第二延伸面，所述第二延伸面為所述固定部308的第二密封部3122。
具體地，所述第二凸沿結(jié)構(gòu)3082的第二凸起部324背離背板301的平面與第一凸沿結(jié)構(gòu)3081的第一底座321背離背板301的平面相齊平，所述第二凸沿結(jié)構(gòu)3082的第二凸起部324與所述第一凸沿結(jié)構(gòu)3081的第一底座321用于圍成通孔311。此外，所述第二凸沿結(jié)構(gòu)3082的第二凸起部324遠(yuǎn)離背板301的平面與第一凸沿結(jié)構(gòu)3081的第一底座321遠(yuǎn)離背板301的平面相齊平，從而使所述第二延伸面位于第一底座321靠近背板301的一側(cè)，使所述第一延伸面位于第一底座321遠(yuǎn)離背板301的一側(cè)，因此，所述第一延伸面和第二延伸面沿垂直于背板301的方向上錯(cuò)開(kāi)，也就是說(shuō)，所述第一密封部3121和第二密封部3122沿垂直于背板301的方向上錯(cuò)開(kāi)，并且第二密封部3122靠近背板，而第一密封部3121位于第二密封部3122遠(yuǎn)離背板的一側(cè)。本實(shí)施例中，所述固定部308在第一凸沿結(jié)構(gòu)3081的第一凸起部322的位置處、在第二凸沿結(jié)構(gòu)3082的第二底座323的位置處均設(shè)置有垂直于背板301的螺孔，通過(guò)與所述螺孔相匹配的螺釘可以將所述固定部308固定在所述背板301上。所述移動(dòng)部302朝向所述通孔311的一側(cè)呈臺(tái)階狀,具體地,所述移動(dòng)部302包括底板325和凸起部326，所述凸起部326從所述底板325朝向所述背板301方向凸起。在本具體實(shí)施例中，閥門單元處于密封狀態(tài)時(shí)，移動(dòng)部302的底板325與所述第二凸沿結(jié)構(gòu)3081的第二凸起部324背離背板301的平面、與所述第一凸沿結(jié)構(gòu)3081的第一底座321背離背板301的平面均相接觸，起到覆蓋所述通孔311的作用，所述底板325朝向通孔311的面為移動(dòng)部302的覆蓋面。本實(shí)施例中，所述底板325朝上的面為與所述第一密封部3121相配合的第一面3131，所述突起部324朝上的面為與所述第二密封部3122相配合的第二面3132。結(jié)合參考圖7，示出了圖2所示真空處理系統(tǒng)沿DD’方向的剖示圖，附圖7以閥門結(jié)構(gòu)30處于關(guān)閉狀態(tài)的真空處理系統(tǒng)為例，附圖7中同樣示出了閥門單元局部區(qū)域放大圖。移動(dòng)部302在驅(qū)動(dòng)桿305的帶動(dòng)下移動(dòng)至通孔311對(duì)應(yīng)的位置處，所述移動(dòng)部302中所述底板325朝向通孔311的面與固定部308的第二凸沿結(jié)構(gòu)3082的第二凸起部324相貼合，并且與第一凸沿結(jié)構(gòu)3081的第一底座321相貼合，從而覆蓋通孔311，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)開(kāi)口 300的覆蓋。而移動(dòng)部302中所述底板325朝上的第一面3131與固定部308中第一凸起部322向下的第一延伸面相貼合，移動(dòng)部302中突起部326朝上的第一面3132與固定部308第二凸起部324向下的延伸面相貼合，形成圍繞所述通孔311—周的密封面，并且所述密封面與背板301相垂直。所述垂直于背板301的密封面與第一腔室10和第二腔室20之間的氣體的流向相平行，即使所述移動(dòng)部302在第一腔室10和第二腔室20之間的壓力差的作用下相對(duì)于固定部308發(fā)生移動(dòng)時(shí)，所述密封面仍可以起到良好的密封效果，提高了可靠性。由于第一腔室10和第二腔室20之間壓力差也垂直于背板301，因此密封面的方向與第一腔室10和第二腔室20之間壓力差的方向同向。所述密封面可以承受朝向第一腔室10或朝向第二腔室20的雙向壓力，提高了閥門結(jié)構(gòu)30的使用范圍。需要說(shuō)明的是，如圖5、圖6或圖7所示，所述背板301朝向第二腔室20的一面上還設(shè)置有多個(gè)加強(qiáng)肋309，用于防止背板301因第一腔室10和第二腔室20之間的壓力差而變形。本實(shí)施例中，所述加強(qiáng)肋309位于各開(kāi)口 300之間，在其他實(shí)施例中，所述加強(qiáng)肋309還可以位于部分開(kāi)口 300之間，本發(fā)明對(duì)此不做限制。繼續(xù)參考圖2，較佳地，所述移動(dòng)部302背離開(kāi)口 300的面上設(shè)置有多個(gè)凹槽310，用于提供移動(dòng)部302受熱膨脹的空間余量，從而防止移動(dòng)部302因受熱膨脹而變形。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明真空處理系統(tǒng)中，較佳地，所述第一腔室10為傳輸腔室，所述第二腔室20為PECVD處理腔室，所述閥門結(jié)構(gòu)30的大部分器件均位于傳輸腔室中，可以避免處理腔室內(nèi)的氣體對(duì)閥門結(jié)構(gòu)30的污染，提高了使用壽命。本發(fā)明雖然已以較佳實(shí)施例公開(kāi)如上，但其并不是用來(lái)限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空處理系統(tǒng)，包括第一腔室、第二腔室以及位于所述第一腔室和第二腔室之間的閥門結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述閥門結(jié)構(gòu)包括: 背板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之間，所述背板上設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口，所述多個(gè)開(kāi)口沿平行所述背板的第一直線方向間隔排列，用于連通所述第一腔室和所述第二腔室；多個(gè)閥門單元，裝配于背板的第一面上，所述多個(gè)閥門單元與所述多個(gè)開(kāi)口相對(duì)應(yīng)，所述閥門單元包括固定部和移動(dòng)部； 所述固定部固定于所述背板，其包括一與所述背板上的開(kāi)口相對(duì)應(yīng)的通孔和圍繞所述通孔的第一密封面，所述第一密封面與所述背板垂直； 所述移動(dòng)部，包括與所述第一密封 面相對(duì)應(yīng)的第二密封面，用于與所述第一密封面相配合密封所述通孔； 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，與所述多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部連接，用于同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部向相應(yīng)的固定部移動(dòng)，使得所述第一密封面與所述第二密封面相接觸，從而密封所述通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述第一密封面包括第一密封部、第二密封部和兩個(gè)連接密封面； 所述第一密封部和所述第二密封部沿垂直所述背板的方向上錯(cuò)開(kāi)； 所述第一密封部的兩端分別通過(guò)所述兩個(gè)連接密封面與所述第二密封部的兩端連接。
3.如權(quán)利要求2所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述固定部為長(zhǎng)條形的具有通孔的部件，所述通孔為狹縫； 所述第一密封部處于所述狹縫沿著所述第一直線第一方向的一側(cè)，所述第二密封部處于所述狹縫沿著所述第一直線第二方向的一側(cè)； 在垂直于背板的方向上，所述第二密封部靠近背板，所述第一密封部位于所述第二密封部遠(yuǎn)離背板的一側(cè)； 所述兩個(gè)連接密封面位于所述狹縫的兩端。
4.如權(quán)利要求2或3所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第一密封部的兩端和所述第二密封部的兩端分別平滑地過(guò)渡到所述兩個(gè)連接密封面。
5.如權(quán)利要求3所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述固定部包括一底板和一凸沿，所述狹縫為穿透所述底板的窄長(zhǎng)縫，所述凸沿從所述狹縫第一直線第一方向側(cè)背離所述背板的方向突出，所述凸沿朝向所述第一直線第二方向的面為第一密封部；所述底板朝向所述第一直線第二方向的面為第二密封部。
6.如權(quán)利要求3所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述固定部包括位于所述狹縫第一直線第一方向側(cè)的第一凸沿結(jié)構(gòu)，還包括位于所述狹縫第一直線方向第二方向側(cè)的第二凸沿結(jié)構(gòu)； 所述第一凸沿結(jié)構(gòu)包括第一底座和第一凸起部，所述第一凸起部從所述第一底座朝背向所述背板的方向凸起，所述第一凸起部朝向所述第一直線第二方向的面為第一密封部；所述第二凸沿結(jié)構(gòu)包括第二底座和第二凸起部，所述第二凸起部從所述第二底座朝背向所述背板方向凸起，所述第二凸起部朝向所述第一直線第二方向的面為第二密封部。
7.如權(quán)利要求5或6所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述移動(dòng)部為長(zhǎng)條形部件；所述移動(dòng)部包括底板和突起部，所述突起部從所述底板朝向所述背板方向突起； 所述底板包括朝向所述第一直線第一方向的第一面，所述突起部包括朝向所述第一直線第一方向的第二面，所述第一面與所述第一密封部相配合，所述第二面與第二密封部相配合，以密封所述通孔。
8.如權(quán)利要求6所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)部沿著平行所述第一直線第一方向移動(dòng)，以密封所述通孔； 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)部沿著所述第一直線第二方向移動(dòng)，以打開(kāi)所述通孔。
9.如權(quán)利要求1所述的真空處理系 統(tǒng)，其特征在于，所述開(kāi)口的形狀為狹縫，所述通孔的形狀也為狹縫。
10.如權(quán)利要求9所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第一密封部、第二密封部沿所述狹縫的延伸方向?yàn)椴ɡ诵巍?br> 11.如權(quán)利要求9所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第一密封部、第二密封部為平面。
12.如權(quán)利要求1所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)桿和氣缸，其中， 所述驅(qū)動(dòng)桿裝配于背板的第一面上，并且與所述各閥門單元的移動(dòng)部均連接； 所述氣缸位于第一腔室和第二腔室之外，且與所述驅(qū)動(dòng)桿相連接，所述氣缸驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿所述第一直線的第一方向和第二方向運(yùn)動(dòng)。
13.如權(quán)利要求12所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于， 所述移動(dòng)部為長(zhǎng)條形； 所述驅(qū)動(dòng)桿包括相互平行的第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿， 所述移動(dòng)部的兩端分別與所述第一驅(qū)動(dòng)桿和第二驅(qū)動(dòng)桿連接。
14.如權(quán)利要求13所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)桿還包括平行于第一驅(qū)動(dòng)桿、第二驅(qū)動(dòng)桿的第三驅(qū)動(dòng)桿，長(zhǎng)條形的移動(dòng)部的中部連接于所述第三驅(qū)動(dòng)桿。
15.如權(quán)利要求12所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第一直線為豎直線，所述氣缸用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿，沿著所述豎直線進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。
16.如權(quán)利要求15所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述氣缸與所述驅(qū)動(dòng)桿的頂部相連，所述氣缸產(chǎn)生自下而上的拉力，用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿豎直線進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。
17.如權(quán)利要求15所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述氣缸與所述驅(qū)動(dòng)桿的底部相連，所述氣缸產(chǎn)生自下而上的推力，用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)桿沿豎直線進(jìn)行上、下運(yùn)動(dòng)。
18.如權(quán)利要求12所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門結(jié)構(gòu)還包括固定于背板上第一面上的一個(gè)或多個(gè)環(huán)形件，所述環(huán)形件沿第一直線方向排布； 所述驅(qū)動(dòng)桿穿過(guò)所述環(huán)形件，以裝配于所述背板的第一面上。
19.如權(quán)利要求12所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述閥門結(jié)構(gòu)還包括連接部，用于連接所述移動(dòng)部和所述驅(qū)動(dòng)桿。
20.如權(quán)利要求19所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述連接部包括用于夾持驅(qū)動(dòng)桿的鎖扣部件，所述鎖扣部件通過(guò)鉚接或卡扣方式使移動(dòng)部、驅(qū)動(dòng)桿連接在一起。
21.如權(quán)利要求1所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述移動(dòng)部還包括背向所述開(kāi)口、與所述背板平行的表面，所述表面上設(shè)置有多個(gè)凹槽。
22.如權(quán)利要求1所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述背板的第二面上設(shè)置有多個(gè)加強(qiáng)肋，所述多個(gè)加強(qiáng)肋位于各開(kāi)口之間。
23.如權(quán)利要求1所述的真空處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第二腔室為PECVD處理腔室，第一腔室為傳輸腔室 ，所述背板的第一面朝向所述傳輸腔室。
全文摘要
一種真空處理系統(tǒng)，包括第一腔室、第二腔室以及位于兩者之間的閥門結(jié)構(gòu)，閥門結(jié)構(gòu)包括背板，設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口，多個(gè)開(kāi)口沿平行背板的第一直線方向間隔排列，用于連通第一腔室和第二腔室；多個(gè)閥門單元，裝配于背板第一面上，多個(gè)閥門單元與多個(gè)開(kāi)口相對(duì)應(yīng)，閥門單元包括固定部和移動(dòng)部；固定部固定于背板，其包括一與背板上的開(kāi)口相對(duì)應(yīng)的通孔和圍繞通孔的垂直于背板的第一密封面；移動(dòng)部，包括與第一密封面相對(duì)應(yīng)的第二密封面，用于與第一密封面相配合密封通孔；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于同時(shí)驅(qū)動(dòng)多個(gè)閥門單元的移動(dòng)部向相應(yīng)的固定部移動(dòng)，使得第一密封面與第二密封面相接觸，從而密封通孔。本發(fā)明真空處理系統(tǒng)中的閥門結(jié)構(gòu)可靠性較高、可承受雙向壓力。
文檔編號(hào)H01L21/67GK103199034SQ20121000225
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者胡兵, 吳紅星, 周艷, 王謙 申請(qǐng)人:理想能源設(shè)備(上海)有限公司