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氣體傳感器及使用它檢測(cè)流體中含有的氣體的方法和測(cè)定流體中含有的氣體的濃度的方...的制作方法

文檔序號(hào):7239776閱讀:309來源:國(guó)知局
專利名稱:氣體傳感器及使用它檢測(cè)流體中含有的氣體的方法和測(cè)定流體中含有的氣體的濃度的方 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及氣體傳感器及使用它檢測(cè)流體中含有的氣體的方法和測(cè)定流體中含有的氣體的濃度的方法、氣體檢測(cè)器以及氣體濃度測(cè)定器。
背景技術(shù)
專利文獻(xiàn)I、專利文獻(xiàn)2和專利文獻(xiàn)3公開有利用熱電變換元件的氣體傳感器。圖17表示專利文獻(xiàn)I的圖I所示的氣體傳感器。該氣 體傳感器在基板上具備熱電變換元件和配置于其上的催化劑層。當(dāng)所檢測(cè)的氣體吸附在催化劑層時(shí),催化劑層產(chǎn)生熱。熱電變換元件將該熱轉(zhuǎn)換為電力,檢測(cè)氣體。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本專利第4002969號(hào)公報(bào)(無同族專利)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2005-098844號(hào)公報(bào)(無同族專利)專利文獻(xiàn)3 :日本特開2005-098845號(hào)公報(bào)(無同族專利)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明的目的在于提供新的氣體傳感器。用于解決問題的方法本發(fā)明的檢測(cè)氣體的方法是使用氣體傳感器檢測(cè)流體中含有的氣體的方法,包括準(zhǔn)備上述氣體傳感器的エ序(a),其中,上述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件,上述管形狀的熱發(fā)電器件包括沿著上述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔;包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件;包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件;第一電極;和第二電極,其中,上述多個(gè)第一杯狀部件和上述多個(gè)第二杯狀部件沿著上述軸方向交替地反復(fù)配置,上述第一電極和上述第二電極分別設(shè)置在上述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另
一端,各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面,
各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔,各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔,各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,上述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成,各第一杯狀部件插入到相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與上述相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼,相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與上述相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且上述催化劑層設(shè)置在上述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面;向上述內(nèi)部貫通孔供給上述流體,使上述第一電極和上述第二電極之間產(chǎn)生電壓差的エ序(b);和基于上述電壓差檢測(cè)上述流體中含有的氣體的エ序(C)。本發(fā)明的檢測(cè)氣體的濃度的方法是使用氣體傳感器檢測(cè)流體中含有的氣體的濃度的方法,包括準(zhǔn)備上述氣體傳感器的エ序(a),其中,上述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件,上述管形狀的熱發(fā)電器件包括沿著上述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔;包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件;包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件;第一電極;和第二電極,其中,上述多個(gè)第一杯狀部件和上述多個(gè)第二杯狀部件沿著上述軸方向交替地反復(fù)配置,上述第一電極和上述第二電極分別設(shè)置在上述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另
一端,各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面,
各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔,各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔,各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,上述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成,各第一杯狀部件插入到相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與上述相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼,相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與上述相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且
上述催化劑層設(shè)置在上述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面;向上述內(nèi)部貫通孔供給上述流體,使上述第一電極和上述第二電極之間產(chǎn)生電壓差的エ序(b);和基于上述電壓差計(jì)算上述流體中含有的氣體的濃度的エ序(C)。本發(fā)明的氣體接觸器是檢測(cè)流體中含有的氣體的氣體檢測(cè)器,包括氣體傳感器;和通知部,其中,上述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件,上述管形狀的熱發(fā)電器件包括 沿著上述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔;包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件;包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件;第一電極;和第二電極,其中,上述多個(gè)第一杯狀部件和上述多個(gè)第二杯狀部件沿著上述軸方向交替地反復(fù)配置,上述第一電極和上述第二電極分別設(shè)置在上述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另
一端,各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面,各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔,各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔,各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,上述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成,各第一杯狀部件插入到相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與上述相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼,相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與上述相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且上述催化劑層設(shè)置在上述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面,而且上述通知部在上述第一電極與上述第二電極之間產(chǎn)生電壓差時(shí)通知檢測(cè)出了氣體。本發(fā)明的氣體濃度測(cè)定器是測(cè)定流體中含有的氣體的濃度的氣體濃度測(cè)定器,包括氣體傳感器;存儲(chǔ)部;和運(yùn)算部,其中,上述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件,上述管形狀的熱發(fā)電器件包括
沿著上述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔;包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件;包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件;第一電極;和第二電極,其中,上述多個(gè)第一杯狀部件和上述多個(gè)第二杯狀部件沿著上述軸方向交替地反復(fù)配置,上述第一電極和上述第二電極分別設(shè)置在上述管形狀的 熱發(fā)電器件的一端和另
一端,各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面,各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔,各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔,各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,上述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成,各第一杯狀部件插入到相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與上述相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼,相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與上述相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且上述催化劑層設(shè)置在上述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面,而且上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)上述第一電極與上述第二電極之間產(chǎn)生的電壓差和上述氣體的濃度之間的關(guān)系,上述運(yùn)算部電連接于上述第一電極與上述第二電極之間,上述運(yùn)算部參照上述存儲(chǔ)部并基于上述第一電極與上述第二電極之間產(chǎn)生的電壓差,計(jì)算上述氣體的濃度。本發(fā)明是ー種氣體傳感器,包括催化劑層;和管形狀的熱發(fā)電器件,其中,上述管形狀的熱發(fā)電器件包括沿著上述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔;包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件;包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件;第一電極;和第二電極,其中,上述多個(gè)第一杯狀部件和上述多個(gè)第二杯狀部件沿著上述軸方向交替地反復(fù)配置,上述第一電極和上述第二電極分別設(shè)置在上述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另
一端,
各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面,各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔,各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔,各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少,上述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成,
各第一杯狀部件插入到相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與上述相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼,相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與上述相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且上述催化劑層設(shè)置在上述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面。發(fā)明的效果本發(fā)明提供新的氣體傳感器。


圖I表示本實(shí)施方式中使用的管形狀的熱發(fā)電器件。圖2表示管形狀的熱發(fā)電器件的局部分解圖。圖3表示ー個(gè)第一杯狀部件11。圖4表示ー個(gè)第二杯狀部件12。圖5是在圖3描繪的A-A線截面圖。圖6是在圖4描繪的B-B線截面圖。圖7表示制造管形狀的熱發(fā)電器件的方法的ー個(gè)エ序。圖8表示制造管形狀的熱發(fā)電器件的方法的ー個(gè)エ序。圖9是圖8所示的管形狀的熱發(fā)電器件的分解圖。圖10表示制造管形狀的熱發(fā)電器件的其它方法的ー個(gè)エ序。圖11表示制造管形狀的熱發(fā)電器件的其它方法的ー個(gè)エ序。圖12表示本實(shí)施方式中使用的其它管形狀的熱發(fā)電器件。圖13表不本實(shí)施方式的氣體傳感器的截面圖。圖14表不本實(shí)施方式的其它氣體傳感器的截面圖。圖15表示使用本實(shí)施方式的氣體傳感器的氣體檢測(cè)器。圖16表示使用本實(shí)施方式的氣體傳感器的濃度測(cè)定裝置。圖17表示專利文獻(xiàn)I的圖I。
具體實(shí)施例方式以下,對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件。催化劑層后述。圖I表示該管形狀的熱發(fā)電器件。管形狀的熱發(fā)電器件包括內(nèi)部貫通孔18、多個(gè)第一杯狀部件11、多個(gè)第二杯狀部件12、第一電極15和第二電極16。內(nèi)部貫通孔18沿著管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向設(shè)置。該軸方向是由圖I中描繪的箭頭指示的方向。第一電極15和第二電極16分別配置在管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另一端。各第一杯狀部件11包括金屬。該金屬例如為鎳、鈷、銅、鋁、銀、金或它們的合金。優(yōu)選為鎳、鈷、銅或招。各第二杯狀部件12包括熱電變換材料。該熱電變換材料例如為Bi ,Bi2Te3或PbTe。Bi2Te3能夠含有Sb或Se。圖2表示管形狀的熱發(fā)電器件的局部分解圖。如圖2所示,三個(gè)第一杯狀部件
Ila Ilc和三個(gè)第二杯狀部件12a 12c沿軸方向交替地反復(fù)配置。各上述第一杯狀部件11具有相同的形狀。各上述第二杯狀部件12也具有相同的形狀。圖3表不一個(gè)第一杯狀部件11。如圖3所不,第一杯狀部件11具備第一內(nèi)表面112和第一外表面111。第一杯狀部件11在下端具備第一貫通孔113。在杯狀部件11的上端具有開ロ。第一杯狀部件11的截面積在其下端的方向減少。與第一杯狀部件11的形狀同樣,第二杯狀部件12也如圖4所示那樣具備第二內(nèi)表面122、第二外表面121和第二通孔123。第二杯狀部件12的截面積也向各第二杯狀部件12的下端的方向減少。如從圖I 圖4所能夠明白的那樣,內(nèi)部貫通孔18由多個(gè)第一貫通孔113和多個(gè)第二貫通孔123構(gòu)成。如圖2所示,第一杯狀部件Ilb插入到相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件12b,使得第一杯狀部件Ilb的第一外表面Illb與相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件12b的第二內(nèi)表面122b緊貼。相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件12a插入到第一杯狀部件11b,使得第一杯狀部件Ilb的第一內(nèi)部112b與相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件12a的第二外表面121a緊貼。這樣,ー個(gè)第一杯狀部件11與相鄰的兩個(gè)第二杯狀部件12緊貼。同樣,ー個(gè)第二杯狀部件12也與相鄰的兩個(gè)第一杯狀部件11緊貼。優(yōu)選第一杯狀部件Ilb的第一外表面Illb與相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件12b的第ニ內(nèi)表面122b接觸。代替這種方式,能夠利用被供給至第一杯狀部件Ilb的第一外表面Illb與相鄰的ー個(gè)第二杯狀部件12b的第二內(nèi)表面122之間的焊錫使得這些表面相互緊貼。與上述說明同樣,優(yōu)選第一杯狀部件Ilb的第一內(nèi)表面112b與相鄰的另ー個(gè)第二杯狀部件12a的第二外表面121a接觸。代替這種方式,能夠利用被供給至它們之間的焊錫使得這些表面相互緊貼。在第一杯狀部件11與第二杯狀部件12之間不能存在間隙。這是因?yàn)?,如后所述,?dāng)在內(nèi)部貫通孔18流動(dòng)流體吋,間隙阻礙熱電變換。進(jìn)ー步,從間隙漏出流體。根據(jù)需要,能夠如上述那樣在間隙填充焊錫。第一杯狀部件11的數(shù)量和第二杯狀部件12的數(shù)量例如為100個(gè)以上1000個(gè)以下。圖5是圖3中描繪的A-A線截面圖。圖6是圖4中描繪的B-B線截面圖。Q1和θ2分別表示第一杯狀部件11和第二杯狀部件12的傾斜角度。S卩,Q1表示由第一杯狀部件11的截面積在其下端的方向去減少的部分與第一杯狀部件11的軸方向形成的角度。同樣,Θ 2表示由第二杯狀部件12的截面積在其下端的方向去減少的部分與第二杯狀部件12的軸方向形成的角度。Q1的值和θ2的值相等。Q1和θ2的值依據(jù)第一杯狀部件11和第ニ杯狀部件12的材料適當(dāng)?shù)卣{(diào)整。優(yōu)選的Q1和θ2的值為5度以上45度以下。內(nèi)部貫通孔18的截面形狀并無特別限定。管形狀的熱發(fā)電器件的截面形狀也沒有特別限定。在第一杯狀部件11的截面形狀為圓的情況下,圖5所示的dll和dsl分別表示第一杯狀部件11的上端和下端的寬度。第一杯狀部件11具有高度hi和厚度Tl。與圖5的情況同樣,圖6所示的dl2、ds2、h2和T2分別表示第二杯狀部件12的上端的寬度、下端的
寬度、高度和厚度。管形狀的熱發(fā)電器件的截面形狀并無特別限定。管形狀的熱發(fā)電器件的截面例如為圓形、橢圓形或多角形。優(yōu)選圓形。即,優(yōu)選管形狀的熱發(fā)電器件為圓筒形狀。
如圖7所示,多個(gè)第一杯狀部件11和多個(gè)第二杯狀部件12交替地反復(fù)配置。之后,如圖8和圖9所示,在其一端和另一端分別接合第一電極15和第二電極16,從而制造管形狀的熱發(fā)電器件。圖9是圖8的分解圖。代替圖8和圖9所示的程序,能夠如下所述那樣將第一電極15和第二電極16接合。在圖7之后,如圖10所示,將其一端的一部分和另一端的一部分切除,使該一端和另ー端平坦。之后,如圖11所示,將板狀的第一電極15和板狀的第二電極16分別與一端和另 一端接合,從而制造管形狀的熱發(fā)電器件。以下,參照?qǐng)D13說明具備這樣的管形狀的熱發(fā)電器件的氣體傳感器。圖13表示圖I所示的管形狀的熱發(fā)電器件的截面圖。如圖13所示,催化劑層19設(shè)置在內(nèi)部貫通孔18的內(nèi)表面。在圖13中,內(nèi)部貫通孔18的內(nèi)表面被催化劑層19覆蓋。內(nèi)部貫通孔18的內(nèi)表面并不全部被催化劑層19覆蓋。換言之,內(nèi)部貫通孔18的內(nèi)表面的一部分能夠被催化劑層19覆蓋。在被檢測(cè)或測(cè)定的氣體為氫的情況下,催化劑層19包括含有鉬或鈀的陶瓷。陶瓷的優(yōu)選材料例如為氧化鋁。在被檢測(cè)或測(cè)定的氣體為CO或NOx的情況下,催化劑層19包括含有鉬或鈀的陶瓷。陶瓷的優(yōu)選材料例如為氧化錫或氧化鋯。在被檢測(cè)或測(cè)定的氣體為氫的情況下,催化劑層19包括鉬層或鈀層。在這種情況下,如圖14所示,在內(nèi)部貫通孔18和催化劑層19之間夾著電絕緣層21。催化劑層19通過加熱器被加熱,使催化劑層19的活性増加。這能夠提高氣體的檢測(cè)和氣體的濃度測(cè)定的準(zhǔn)確性。加熱器能夠配置在內(nèi)部貫通孔18的內(nèi)側(cè)或外側(cè)。接著,在下面說明使用氣體傳感器檢測(cè)氣體的方法。如圖15所示,含有所檢測(cè)的氣體的流體84流至內(nèi)部貫通孔18。氣體被吸附在催化劑層,催化劑層19產(chǎn)生熱。其結(jié)果是,在管型熱發(fā)電器件的內(nèi)表面與外表面之間產(chǎn)生溫度差。該溫度差被管型熱發(fā)電器件變換為在第一電極15和第二電極16之間產(chǎn)生的電壓差。這樣,只要流體84含有所檢測(cè)的氣體,就能夠在第一電極15與第二電極16之間產(chǎn)生電壓差。相反,只要流體84不含有所檢測(cè)的氣體,在第一電極15與第二電極16之間就不產(chǎn)生電壓差。在圖15,電燈87電連接于第一電極15與第二電極16之間。電壓差使電燈87點(diǎn)亮。能夠使用蜂鳴器代替電燈87。電燈87和蜂鳴器作為通知部發(fā)揮作用。本實(shí)施方式的氣體檢測(cè)器具備氣體傳感器和通知部。以下對(duì)使用氣體傳感器測(cè)定流體中含有的氣體的濃度的方法進(jìn)行說明。如圖16所示,本實(shí)施方式的濃度測(cè)定器包括存儲(chǔ)部89、運(yùn)算部88和氣體傳感器。與圖15的情況同樣,流體84流至內(nèi)部貫通孔18,產(chǎn)生電壓差。由后述的實(shí)施例可知,本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)電壓差與氣體的濃度為成比例的關(guān)系。該關(guān)系被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部89。運(yùn)算部88與第一電極15和第二電極16電連接。運(yùn)算部88基于在這些電極之間產(chǎn)生的電壓差、參照上述存儲(chǔ)部89計(jì)算氣體的濃度。這樣計(jì)算出的氣體的濃度能夠輸出至顯示器或揚(yáng)聲器(均未圖示)。如圖12所示,在管形狀的熱發(fā)電器件81,能夠沿軸方向形成槽20。槽20能夠?yàn)橹锌?,但是能夠根?jù)需要在槽20中填充絕緣體。槽20的角度Θ 3優(yōu)選為I度以上10度以 下。(實(shí)施例)列舉以下的實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)ー步進(jìn)行更詳細(xì)的說明。(實(shí)施例IA )根據(jù)以下的表1,得到了圖9所示的管形狀的熱發(fā)電器件81。(表I)
第一杯狀部件11的材料
第一杯狀部件11的個(gè)數(shù)199個(gè)
dll7毫米~
dsl5毫米
~hl4毫米~
Θ I10 度
第二杯狀部件12的材料Bi2Te3~
第二杯狀部件12的個(gè)數(shù)200個(gè)
dl27毫米~
ds25毫米
h23. 2暈米
Θ 210 度
第一電極15和第二電極16的材料 1
管形狀的熱發(fā)電器件81的各端部由螺母固定。在該螺母與第一電極15之間插入有鉻鎳鐵合金制的彈簧。管形狀的熱發(fā)電器件81被該彈簧向軸方向壓縮,并且進(jìn)入管形狀的爐中。管形狀的熱發(fā)電器件81以500°C被加熱2小吋。加熱后,將管形狀的熱發(fā)電器件81冷卻至室溫。這樣得到具有大致7毫米的外徑、大致5毫米的內(nèi)徑、大致500毫米的長(zhǎng)度的管形狀的熱發(fā)電器件81。將所得到的管形狀的熱發(fā)電器件81切斷為五個(gè)部分。各部分具有100暈米的長(zhǎng)度。在氯化鉬水溶液中添加氧化鋁粉末,調(diào)制了催化劑溶液。將催化劑溶液添加至こ醇,調(diào)制了膏狀材料。將該膏狀材料涂敷在內(nèi)部貫通孔18的內(nèi)表面。接著,將這樣得到的管形狀的熱發(fā)電器件81以200°C進(jìn)行燒結(jié),得到氣體傳感器。將氫和氮的混合氣體供給至內(nèi)部貫通孔18,使用納伏計(jì)(nanovoltmeter)測(cè)定在第一電極15與第二電極16之間產(chǎn)生的電壓差。以下的表2表不氫的濃度和所產(chǎn)生的電壓差。(實(shí)施例IB 1C)除了令θ 1=θ2=30或60以外,進(jìn)行了與實(shí)施例IA相同的測(cè)試。(表2)
權(quán)利要求
1.一種方法,其為使用氣體傳感器檢測(cè)流體中含有的氣體的方法,該方法的特征在于,包括 準(zhǔn)備所述氣體傳感器的工序(a),其中, 所述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件, 所述管形狀的熱發(fā)電器件包括 沿著所述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔; 包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件; 包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件; 第一電極;和 第二電極,其中, 所述多個(gè)第一杯狀部件和所述多個(gè)第二杯狀部件沿著所述軸方向交替地反復(fù)配置, 所述第一電極和所述第二電極分別設(shè)置在所述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另一端, 各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面, 各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔, 各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面, 各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔, 各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 所述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成, 各第一杯狀部件插入到相鄰的一個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼, 相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且所述催化劑層設(shè)置在所述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面; 向所述內(nèi)部貫通孔供給所述流體,使所述第一電極和所述第二電極之間產(chǎn)生電壓差的工序(b);和 基于所述電壓差檢測(cè)所述流體中含有的氣體的工序(C)。
2.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅、鋁、銀、金或它們的合金。
3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅或鋁。
4.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 所述熱電變換材料為Bi、Bi2Te3或PbTe。
5.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 所述熱電變換材料為含有Sb或Se的Bi2Te3。
6.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面接觸,而且 各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面接觸。
7.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 在各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面之間供給有焊錫,而且 在各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面之間供給有焊錫。
8.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,滿足以下的數(shù)學(xué)式 5 度≤0 I ≤45 度, 5度≤ 0 2≤45度,和 0 1= 0 2, 其中, 0 I表示由第一杯狀部件的截面積減少的部分與所述第一杯狀部件的軸方向形成的角度,而且 02表示由第二杯狀部件的截面積減少的部分與所述第二杯狀部件的軸方向形成的角度。
9.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 所述氣體是氫, 所述催化劑層包括鉬或鈀,而且 在所述內(nèi)部貫通孔與所述催化劑層之間夾著電絕緣層。
10.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 所述氣體是氫,而且 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
11.如權(quán)利要求10所述的方法,其特征在于 所述陶瓷包括氧化鋁。
12.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 所述氣體是CO或NOx, 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
13.如權(quán)利要求12所述的方法,其特征在于 所述陶瓷包括氧化錫或氧化鋯。
14.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于 沿軸方向形成有槽。
15.一種方法,其為使用氣體傳感器檢測(cè)流體中含有的氣體的濃度的方法,該方法的特征在于,包括 準(zhǔn)備所述氣體傳感器的工序(a),其中, 所述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件, 所述管形狀的熱發(fā)電器件包括 沿著所述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔; 包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件; 包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件; 第一電極;和第二電極,其中, 所述多個(gè)第一杯狀部件和所述多個(gè)第二杯狀部件沿著所述軸方向交替地反復(fù)配置, 所述第一電極和所述第二電極分別設(shè)置在所述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另一端, 各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面, 各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔, 各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面, 各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔, 各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 所述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成, 各第一杯狀部件插入到相鄰的一個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼, 相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且所述催化劑層設(shè)置在所述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面; 向所述內(nèi)部貫通孔供給所述流體,使所述第一電極和所述第二電極之間產(chǎn)生電壓差的工序(b);和 基于所述電壓差計(jì)算所述流體中含有的氣體的濃度的工序(C)。
16.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述氣體的濃度與所述電壓差成比例。
17.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅、鋁、銀、金或它們的合金。
18.如權(quán)利要求17所述的方法,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅或鋁。
19.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述熱電變換材料為Bi、Bi2Te3或PbTe。
20.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述熱電變換材料為含有Sb或Se的Bi2Te3。
21.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面接觸,而且 各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面接觸。
22.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 在各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面之間供給有焊錫,而且 在各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面之間供給有焊錫。
23.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于,滿足以下的數(shù)學(xué)式 ·5 度< 0 I < 45 度,.5度< 02 <45度,和 .0 1= 0 2, 其中, .0 I表示由第一杯狀部件的截面積減少的部分與所述第一杯狀部件的軸方向形成的角度,而且 .02表示由第二杯狀部件的截面積減少的部分與所述第二杯狀部件的軸方向形成的角度。
24.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述氣體是氫, 所述催化劑層包括鉬或鈀,而且 在所述內(nèi)部貫通孔與所述催化劑層之間夾著電絕緣層。
25.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述氣體是氫,而且 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
26.如權(quán)利要求25所述的方法,其特征在于 所述陶瓷包括氧化鋁。
27.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 所述氣體是CO或N0X, 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
28.如權(quán)利要求27所述的方法,其特征在于 所述陶瓷包括氧化錫或氧化鋯。
29.如權(quán)利要求15所述的方法,其特征在于 沿軸方向形成有槽。
30.一種氣體檢測(cè)器,其檢測(cè)流體中含有的氣體,該氣體檢測(cè)器的特征在于,包括 氣體傳感器;和 通知部,其中, 所述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件, 所述管形狀的熱發(fā)電器件包括 沿著所述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔; 包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件; 包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件; 第一電極;和 第二電極,其中, 所述多個(gè)第一杯狀部件和所述多個(gè)第二杯狀部件沿著所述軸方向交替地反復(fù)配置, 所述第一電極和所述第二電極分別設(shè)置在所述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另一端, 各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面, 各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔, 各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔, 各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 所述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成, 各第一杯狀部件插入到相鄰的一個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼, 相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼, 所述催化劑層設(shè)置在所述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面,而且 所述通知部在所述第一電極與所述第二電極之間產(chǎn)生電壓差時(shí)通知檢測(cè)出了氣體。
31.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅、鋁、銀、金或它們的合金。
32.如權(quán)利要求31所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅或鋁。
33.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述熱電變換材料為Bi、Bi2Te3或PbTe。
34.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述熱電變換材料為含有Sb或Se的Bi2Te3。
35.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面接觸,而且 各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面接觸。
36.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 在各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面之間供給有焊錫,而且 在各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面之間供給有焊錫。
37.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于,滿足以下的數(shù)學(xué)式 5 度< 0 I < 45 度, 5度< 02 <45度,和 0 1= 0 2, 其中, 0 I表示由第一杯狀部件的截面積減少的部分與所述第一杯狀部件的軸方向形成的角度,而且 02表示由第二杯狀部件的截面積減少的部分與所述第二杯狀部件的軸方向形成的角度。
38.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述氣體是氫, 所述催化劑層包括鉬或鈀,而且 在所述內(nèi)部貫通孔與所述催化劑層之間夾著電絕緣層。
39.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述氣體是氫,而且 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
40.如權(quán)利要求39所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述陶瓷包括氧化鋁。
41.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述氣體是CO或NOx, 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
42.如權(quán)利要求41所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 所述陶瓷包括氧化錫或氧化鋯。
43.如權(quán)利要求30所述的氣體檢測(cè)器,其特征在于 沿軸方向形成有槽。
44.一種氣體濃度檢測(cè)器,其測(cè)定流體中含有的氣體的濃度,該氣體濃度測(cè)定器的特征在于,包括 氣體傳感器; 存儲(chǔ)部;和 運(yùn)算部,其中, 所述氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件, 所述管形狀的熱發(fā)電器件包括 沿著所述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔; 包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件; 包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件; 第一電極;和 第二電極,其中, 所述多個(gè)第一杯狀部件和所述多個(gè)第二杯狀部件沿著所述軸方向交替地反復(fù)配置, 所述第一電極和所述第二電極分別設(shè)置在所述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另一端, 各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面, 各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔, 各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面, 各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔, 各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 所述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成, 各第一杯狀部件插入到相鄰的一個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼, 相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且所述催化劑層設(shè)置在所述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面,而且 所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)所述第一電極與所述第二電極之間產(chǎn)生的電壓差和所述氣體的濃度之間的關(guān)系, 所述運(yùn)算部電連接于所述第一電極與所述第二電極之間, 所述運(yùn)算部參照所述存儲(chǔ)部并基于所述第一電極與所述第二電極之間產(chǎn)生的電壓差,計(jì)算所述氣體的濃度。
45.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述氣體的濃度與所述電壓差成比例。
46.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅、鋁、銀、金或它們的合金。
47.如權(quán)利要求46所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅或鋁。
48.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述熱電變換材料為Bi、Bi2Te3或PbTe。
49.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述熱電變換材料為含有Sb或Se的Bi2Te3。
50.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面接觸,而且 各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面接觸。
51.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 在各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面之間供給有焊錫,而且 在各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面之間供給有焊錫。
52.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于,滿足以下的數(shù)學(xué)式 5 度< 0 I < 45 度, 5度< 0 2S45度,和 0 1= 0 2, 其中, 0 I表示由第一杯狀部件的截面積減少的部分與所述第一杯狀部件的軸方向形成的角度,而且 02表示由第二杯狀部件的截面積減少的部分與所述第二杯狀部件的軸方向形成的角度。
53.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述氣體是氫, 所述催化劑層包括鉬或鈀,而且 在所述內(nèi)部貫通孔與所述催化劑層之間夾著電絕緣層。
54.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述氣體是氫,而且 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
55.如權(quán)利要求54所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述陶瓷包括氧化鋁。
56.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述氣體是CO或N0X, 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
57.如權(quán)利要求56所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 所述陶瓷包括氧化錫或氧化鋯。
58.如權(quán)利要求44所述的氣體濃度測(cè)定器,其特征在于 沿軸方向形成有槽。
59.一種氣體傳感器,其特征在于,包括 催化劑層;和 管形狀的熱發(fā)電器件,其中, 所述管形狀的熱發(fā)電器件包括 沿著所述管形狀的熱發(fā)電器件的軸方向的內(nèi)部貫通孔; 包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件; 包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件; 第一電極;和 第二電極,其中, 所述多個(gè)第一杯狀部件和所述多個(gè)第二杯狀部件沿著所述軸方向交替地反復(fù)配置, 所述第一電極和所述第二電極分別設(shè)置在所述管形狀的熱發(fā)電器件的一端和另一端, 各第一杯狀部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面, 各第一杯狀部件在下端具備第一貫通孔, 各第一杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 各第二杯狀部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面, 各第二杯狀部件在下端具備第二貫通孔, 各第二杯狀部件的截面積在其下端的方向減少, 所述內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一貫通孔和多個(gè)第二貫通孔構(gòu)成, 各第一杯狀部件插入到相鄰的一個(gè)第二杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面緊貼, 相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件插入到各第一杯狀部件,使得各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面緊貼,而且所述催化劑層設(shè)置在所述內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面。
60.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅、鋁、銀、金或它們的合金。
61.如權(quán)利要求60所述的氣體傳感器,其特征在于 所述金屬為鎳、鈷、銅或鋁。
62.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 所述熱電變換材料為Bi、Bi2Te3或PbTe。
63.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于所述熱電變換材料為含有Sb或Se的Bi2Te3。
64.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面接觸,而且 各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面接觸。
65.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 在各第一杯狀部件的第一外表面與所述相鄰的一個(gè)第二杯狀部件的第二內(nèi)表面之間供給有焊錫,而且 在各第一杯狀部件的第一內(nèi)表面與所述相鄰的另一個(gè)第二杯狀部件的第二外表面之間供給有焊錫。
66.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于,滿足以下的數(shù)學(xué)式 5 度< 0 I < 45 度, 5度< 02 <45度,和 0 1= 0 2, 其中, 0 I表示由第一杯狀部件的截面積減少的部分與所述第一杯狀部件的軸方向形成的角度,而且 02表示由第二杯狀部件的截面積減少的部分與所述第二杯狀部件的軸方向形成的角度。
67.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 所述氣體是氫, 所述催化劑層包括鉬或鈀,而且 在所述內(nèi)部貫通孔與所述催化劑層之間夾著電絕緣層。
68.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 所述氣體是氫,而且 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
69.如權(quán)利要求68所述的氣體傳感器,其特征在于 所述陶瓷包括氧化鋁。
70.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 所述氣體是CO或NOx, 所述催化劑層包括含有鉬或鈀的陶瓷。
71.如權(quán)利要求70所述的氣體傳感器,其特征在于 所述陶瓷包括氧化錫或氧化鋯。
72.如權(quán)利要求59所述的氣體傳感器,其特征在于 沿軸方向形成有槽。
全文摘要
本發(fā)明提供氣體傳感器及使用它檢測(cè)流體中含有的氣體的方法和測(cè)定流體中含有的氣體的濃度的方法、氣體檢測(cè)器以及氣體濃度測(cè)定器。該氣體傳感器具備催化劑層和管形狀的熱發(fā)電器件,該器件包括沿著其軸方向的內(nèi)部貫通孔;包括金屬的多個(gè)第一杯狀部件;包括熱電變換材料的多個(gè)第二杯狀部件;第一電極;和第二電極。第一、第二部件沿著上述軸方向交替地反復(fù)配置。第一、第二電極分別設(shè)置在器件的一端和另一端。第一部件具備第一內(nèi)表面和第一外表面,在下端具備第一貫通孔,其截面積向下端的方向減少。第二部件具備第二內(nèi)表面和第二外表面,在下端具備第二貫通孔,其截面積向下端的方向減少。內(nèi)部貫通孔由多個(gè)第一、第二貫通孔構(gòu)成。第一部件插入到相鄰的一個(gè)第二部件,使得第一部件的第一外表面與該第二部件的第二內(nèi)表面緊貼。相鄰的另一個(gè)第二部件插入到第一部件,使得第一部件的第一內(nèi)表面與該第二部件的第二外表面緊貼。催化劑層設(shè)置在內(nèi)部貫通孔的內(nèi)表面。
文檔編號(hào)H01L35/30GK102713585SQ20118000523
公開日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月13日
發(fā)明者山田由佳, 菅野勉, 表篤志, 酒井章裕, 高橋宏平 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
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