專利名稱：晶圓干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓干燥裝置。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間，對(duì)于晶圓的干燥處理，通常采用的是離心脫水方式處理，即在充滿混合蒸汽的干燥室內(nèi)通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)晶圓的方式實(shí)現(xiàn)晶圓的干燥作業(yè)。當(dāng)晶圓的旋轉(zhuǎn)速度越快，晶圓表面上的水滴的甩干效率越高。然而，從機(jī)械運(yùn)動(dòng)來(lái)講，高速旋轉(zhuǎn)本身就具有一定危險(xiǎn)性，容易出現(xiàn)甩片和破片現(xiàn)象。對(duì)于更大尺寸晶圓，如450mm晶圓而言，對(duì)于夾持晶圓的可靠度就有一定的挑戰(zhàn)。而若降低轉(zhuǎn)速，則又難以到達(dá)良好的干燥效率。另外，從エ藝角度講，現(xiàn)有的離心脫水方式也容易在晶圓表面形成水漬缺陷。因此，如何提供一種可以在晶圓不轉(zhuǎn)動(dòng)或者降低晶圓旋轉(zhuǎn)速度的前提下提高干燥效率和生產(chǎn)安全性的晶圓干燥裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的ー個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓干燥裝置，可以在晶圓不旋轉(zhuǎn)或者降低晶圓旋轉(zhuǎn)速度的前提下實(shí)現(xiàn)較高的干燥效率，尤其可以提高對(duì)于大尺寸晶圓的干燥效率和安全性。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種晶圓干燥裝置，用于干燥晶圓，包括用于向晶圓的表面旋轉(zhuǎn)噴射干燥氣體的旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器相對(duì)所述晶圓的表面設(shè)置。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器包括蒸汽發(fā)生器和至少一組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述晶圓的正面和/或背面，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和噴淋組件，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)帶動(dòng)所述噴淋組件轉(zhuǎn)動(dòng)，所述蒸汽發(fā)生器通過(guò)供氣管和所述噴淋組件連通。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，所述噴淋組件包括中心支架和若干噴淋管，所述噴淋管的一端分別與所述中心支架固定連接，所述噴淋管的另一端分別向外延伸，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出部和所述中心支架連接，所述蒸汽發(fā)生器通過(guò)供氣管分別和所述噴淋管連通。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，所述噴淋管沿管身縱向排列設(shè)有若干噴ロ，所述噴ロ的噴射方向與所述晶圓的夾角的范圍是50-80度。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，所述噴ロ的噴射方向與所述晶圓的夾角是70度。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，所述噴淋組件包括三根噴淋管，所述噴淋管按 120度間隔布置。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，還包括用于帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的晶圓夾持器，所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和所述噴淋組件的旋轉(zhuǎn)方向相反。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，還包括至少ー對(duì)相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊固定設(shè)置于相應(yīng)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器包括兩組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)， 所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述晶圓的正面與背面。優(yōu)選地，在上述的晶圓干燥裝置中，還包括兩對(duì)相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊分別沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊分別固定設(shè)置于對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型提供的晶圓干燥裝置，通過(guò)設(shè)置可以向晶圓的表面旋轉(zhuǎn)噴射干燥氣體的旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器，可以在晶圓不旋轉(zhuǎn)的前提下實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的干燥，避免出現(xiàn)現(xiàn)有的離心脫水干燥方式中由于晶圓旋轉(zhuǎn)速度過(guò)快而出現(xiàn)甩片或破片的現(xiàn)象，從而有效提高了晶圓干燥的效率和安全性，尤其適用于大尺寸的晶圓干燥エ藝，有效提高了大尺寸晶圓干燥的安全性。另外，通過(guò)設(shè)置用于帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的晶圓夾持器，所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和所述噴淋組件的旋轉(zhuǎn)方向相反吋，可以進(jìn)ー步提高干燥氣體和晶圓表面的相對(duì)速度，從而可以在晶圓較低旋轉(zhuǎn)速度的前提下提高晶圓的干燥效率。再者，通過(guò)設(shè)置相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊固定設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面，從而，通過(guò)移動(dòng)滑塊可以帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)及噴淋組件移動(dòng)，可以進(jìn)一步提高晶圓的干燥效率。

本實(shí)用新型的晶圓干燥裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的噴淋管噴射方向示意圖；圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)的俯視示意圖；圖4是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)和所述晶圓反向旋轉(zhuǎn)的俯視示意圖；圖5是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)和所述晶圓反向旋轉(zhuǎn)的側(cè)視示意圖；圖6是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)偏離所述晶圓的示意圖。圖中，1-晶圓、2-蒸汽發(fā)生器、3-旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、4-供氣管、5-中心支架、6_噴淋管、 7-晶圓夾持器、8-導(dǎo)軌、9-風(fēng)刀、10-晶圓表面的水滴、11-噴淋組件的噴射范圍、α -噴ロ 的噴射方向與晶圓的夾角。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的晶圓干燥裝置作進(jìn)ー步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱愆`個(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)ー步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖1，圖1所示是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。這種晶圓干燥裝置，用于干燥晶圓1，包括用于向晶圓1的表面旋轉(zhuǎn)噴射干燥氣體的旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器相對(duì)所述晶圓1的表面設(shè)置。本實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器包括蒸汽發(fā)生器2、至少ー組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述晶圓1的正面和/或背面，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)3 和噴淋組件，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)3帶動(dòng)所述噴淋組件轉(zhuǎn)動(dòng)，所述蒸汽發(fā)生器2通過(guò)供氣管4和所述噴淋組件連通。本實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器包括ー組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述晶圓1的正面。所述蒸汽發(fā)生器2負(fù)責(zé)控制旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)所用的干燥氣體，一般為混合蒸汽。也就是說(shuō)，所述蒸汽發(fā)生器是蒸汽發(fā)生混合的場(chǎng)所，向噴淋組件供應(yīng)蒸汽，同時(shí)負(fù)責(zé)控所供應(yīng)蒸汽的壓力大小。所述混合物蒸汽可選用具有一定揮發(fā)性，能改變晶圓1表面對(duì)水的附著能力的化學(xué)品，如IPA(異丙醇)與氮?dú)獾幕旌险羝?。較佳地，本實(shí)施例中，所述噴淋組件包括中心支架5和若干噴淋管6，所述噴淋管6 的一端分別與所述中心支架5固定連接，所述噴淋管6的另一端分別向外延伸，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)3的輸出部和所述中心支架5連接，所述蒸汽發(fā)生器2通過(guò)供氣管4分別和所述噴淋管 6連通，從而向噴淋管6提供用于干燥晶圓1的混合蒸汽。較佳地，請(qǐng)結(jié)合參閱圖1和圖2，其中，圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的噴淋管噴射方向示意圖。所述噴淋管6沿管身縱向排列設(shè)有若干噴ロ(圖中未示意)，所述噴ロ噴射出的混合蒸汽形成風(fēng)刀9，所述噴ロ的噴射方向宜與所述晶圓1的夾角α的范圍是50-80度，如此，可以獲得較好的去除晶圓1表面上的水滴10的效果。本實(shí)施例中，所述噴ロ的噴射方向與所述晶圓1的夾角α是70度。較佳地，請(qǐng)結(jié)合參閱圖1和圖3，其中，圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)的俯視示意圖。本實(shí)施例中，所述噴淋組件包括三根噴淋管6，所述噴淋管6按120度間隔布置。如此在噴淋組件的噴射范圍11內(nèi)可以均勻地向晶圓1噴灑混合蒸汽，從而，提高晶圓1干燥的效率和均勻性。較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1、圖4和圖5，其中，圖4是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)和所述晶圓反向旋轉(zhuǎn)的俯視示意圖；圖5是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)和所述晶圓反向旋轉(zhuǎn)的側(cè)視示意圖。本實(shí)施例的晶圓干燥裝置，還包括用于帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的晶圓夾持器7，所述晶圓1轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和所述噴淋組件的旋轉(zhuǎn)方向相反。由于所述晶圓1轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和所述噴淋組件的旋轉(zhuǎn)方向相反，因此可以顯著提高混合蒸汽和晶圓1表面的相対速度，從而可以有效提升晶圓1的干燥效率。較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1和圖6，圖6是本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓干燥裝置的旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)偏離所述晶圓的示意圖。本實(shí)施例的晶圓干燥裝置，還包括至少ー對(duì)相匹配的滑塊(圖中未示意)和導(dǎo)軌8，所述滑塊沿所述導(dǎo)軌8滑動(dòng)，所述滑塊固定設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)3的側(cè)面。通過(guò)移動(dòng)滑塊可以帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)3及噴淋組件移動(dòng)，可以進(jìn)ー步提高晶圓 1的干燥效率。所述滑塊和導(dǎo)軌8的數(shù)量分別所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)的數(shù)量相同，本實(shí)施例中， 包括一對(duì)相匹配的滑塊和導(dǎo)軌8.當(dāng)然，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器還可以包括兩組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述晶圓的正面與背面。相應(yīng)地，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器還可以包括兩對(duì)相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊分別沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊分別固定設(shè)置于對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面。從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓正、反表面的干燥。由于兩組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同，如上所述，故結(jié)構(gòu)不再贅述。綜上所述，本實(shí)用新型提供的晶圓干燥裝置，通過(guò)設(shè)置可以向晶圓的表面旋轉(zhuǎn)噴射干燥氣體的旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器，可以在晶圓不旋轉(zhuǎn)的前提下實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的干燥，避免出現(xiàn)現(xiàn)有的離心脫水干燥方式中由于晶圓旋轉(zhuǎn)速度過(guò)快而出現(xiàn)甩片或破片的現(xiàn)象，從而有效提高了晶圓干燥的效率和安全性。尤其適用于大尺寸的晶圓干燥エ藝，有效提高了大尺寸晶圓干燥的安全性。另外，通過(guò)設(shè)置用于帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的晶圓夾持器，所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和所述噴淋組件的旋轉(zhuǎn)方向相反吋，可以進(jìn)ー步提高干燥氣體和晶圓表面的相對(duì)速度，從而可以在晶圓較低旋轉(zhuǎn)速度的前提下提高晶圓的干燥效率。再者，通過(guò)設(shè)置相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊固定設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面。從而，通過(guò)移動(dòng)滑塊可以帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)及噴淋組件移動(dòng)，可以進(jìn)一步提高晶圓的干燥效率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓干燥裝置，用于干燥晶圓，其特征在干，包括用于向晶圓的表面旋轉(zhuǎn)噴射干燥氣體的旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器相對(duì)所述晶圓的表面設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器包括蒸汽發(fā)生器和至少ー組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述晶圓的正面和/或背面， 所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和噴淋組件，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)帶動(dòng)所述噴淋組件轉(zhuǎn)動(dòng)，所述蒸汽發(fā)生器通過(guò)供氣管和所述噴淋組件連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述噴淋組件包括中心支架和若干噴淋管，所述噴淋管的一端分別與所述中心支架固定連接，所述噴淋管的另一端分別向外延伸，所述旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出部和所述中心支架連接，所述蒸汽發(fā)生器通過(guò)供氣管分別和所述噴淋管連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述噴淋管沿管身縱向排列設(shè)有若干噴ロ，所述噴ロ的噴射方向與所述晶圓的夾角的范圍是50-80度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述噴ロ的噴射方向與所述晶圓的夾角是70度。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述噴淋組件包括三根噴淋管， 所述噴淋管按120度間隔布置。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述晶圓干燥裝置還包括用于帶動(dòng)所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的晶圓夾持器，所述晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)的方向和所述噴淋組件的旋轉(zhuǎn)方向相反。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述晶圓干燥裝置還包括至少一對(duì)相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊固定設(shè)置于相應(yīng)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面。
9.根據(jù)權(quán)利要求2-8中任意一項(xiàng)所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器包括兩組旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)噴淋機(jī)構(gòu)分別設(shè)置于所述晶圓的正面與背面。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶圓干燥裝置，其特征在干，所述晶圓干燥裝置包括兩對(duì)相匹配的滑塊和導(dǎo)軌，所述滑塊分別沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，所述滑塊分別固定設(shè)置于對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的側(cè)面。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓干燥裝置，用于干燥晶圓，包括用于向晶圓的表面旋轉(zhuǎn)噴射干燥氣體的旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器，所述旋轉(zhuǎn)風(fēng)刀干燥器相對(duì)所述晶圓的表面設(shè)置，本實(shí)用新型可以在晶圓不旋轉(zhuǎn)或較低旋轉(zhuǎn)速度的前提下實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的干燥，避免出現(xiàn)現(xiàn)有的離心脫水干燥方式中由于晶圓旋轉(zhuǎn)速度過(guò)快而出現(xiàn)甩片或破片的現(xiàn)象，從而有效提高了晶圓干燥的效率和安全性，尤其適用于大尺寸的晶圓干燥工藝，有效提高了大尺寸晶圓干燥的安全性。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202307832SQ20112042069
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月29日
發(fā)明者沙酉鶴 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司