專利名稱：太陽能電池硅片擴(kuò)散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽能硅片制造設(shè)備，尤其是一種太陽能電池硅片擴(kuò)散爐。
背景技術(shù)：
目前使用的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，擴(kuò)散氣體進(jìn)入爐體后垂直于硅片表面流動(dòng)， 難以在硅片背面及硅片間隙內(nèi)均勻分布，造成硅片表面方塊電阻均勻性較差，中部方阻偏大，四周偏小。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種有效改善硅片表面方塊電阻均勻性的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的石英舟、用于使擴(kuò)散氣體進(jìn)入所述爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管；所述進(jìn)氣管位于所述石英舟的上方，設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，設(shè)有多個(gè)排放孔，所述石英舟底面設(shè)有多個(gè)流通孔，以便進(jìn)氣管進(jìn)入的擴(kuò)散氣體通過流通孔從排放孔排出，使得擴(kuò)散氣體沿著平行于硅片表面的方向流動(dòng)，從而有效地改善了硅片表面方塊電阻的均勻性。所述流通孔為密集分布的多個(gè)小圓孔。所述流通孔為垂直與硅片分布的多個(gè)長(zhǎng)條孔。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，由于在石英舟底面設(shè)有多個(gè)流通孔，保證擴(kuò)散氣體沿著平行于硅片表面的方向流動(dòng)，從而有效地改善了硅片表面方塊電阻的均勻性。

圖1為本實(shí)用新型太陽能電池硅片擴(kuò)散爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的實(shí)施例如下如圖1所示，本實(shí)用新型的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體1、設(shè)置在所述爐體1 內(nèi)的石英舟2、用于使擴(kuò)散氣體進(jìn)入所述爐體1內(nèi)的進(jìn)氣管4和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管5 ；所述進(jìn)氣管4位于所述石英舟2的上方，設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣孔41 ；所述排放管5位于所述石英舟2的下方，設(shè)有多個(gè)排放孔51，所述石英舟2底面設(shè)有多個(gè)流通孔21，以便進(jìn)氣管4 進(jìn)入的擴(kuò)散氣體通過流通孔21從排放孔排出，使得擴(kuò)散氣體沿著平行于硅片3表面的方向流動(dòng)，從而有效地改善了硅片3表面方塊電阻的均勻性。所述流通孔21可以為密集分布的多個(gè)小圓孔，也可以是垂直與硅片3分布的多個(gè)長(zhǎng)條孔。 上面所述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行描述，并非對(duì)本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神前提下，本領(lǐng)域普通工程技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案做出的各種變形和改進(jìn)，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的權(quán)利要求書確定的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的石英舟、用于使擴(kuò)散氣體進(jìn)入所述爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管；其特征在于所述進(jìn)氣管位于所述石英舟的上方，設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，設(shè)有多個(gè)排放孔，所述石英舟底面設(shè)有多個(gè)流通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，其特征在于所述流通孔為密集分布的多個(gè)小圓孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，其特征在于所述流通孔為垂直與硅片分布的多個(gè)長(zhǎng)條孔。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種有效改善硅片表面方塊電阻均勻性的太陽能電池硅片擴(kuò)散爐，包括爐體、設(shè)置在所述爐體內(nèi)的石英舟、用于使擴(kuò)散氣體進(jìn)入所述爐體內(nèi)的進(jìn)氣管和擴(kuò)散處理后排放尾氣的排放管；所述進(jìn)氣管位于所述石英舟的上方，設(shè)有多個(gè)進(jìn)氣孔；所述排放管位于所述石英舟的下方，設(shè)有多個(gè)排放孔，所述石英舟底面設(shè)有多個(gè)流通孔，以便進(jìn)氣管進(jìn)入的擴(kuò)散氣體通過流通孔從排放孔排出，使得擴(kuò)散氣體沿著平行于硅片表面的方向流動(dòng)，從而有效地改善了硅片表面方塊電阻的均勻性。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202099414SQ20112015964
公開日2012年1月4日 申請(qǐng)日期2011年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月10日
發(fā)明者呂定先 申請(qǐng)人:湖南華威太陽能高科技有限公司