專利名稱：塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及實(shí)現(xiàn)柔性并防止外部光可見的塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件及其制造方法。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)有機(jī)電致發(fā)光顯示面板是自發(fā)光的，因而不需要背光，從而實(shí)現(xiàn)了重量輕、體型小，能以簡單工藝制造，并且由于優(yōu)越的性能(諸如大視角、快速響應(yīng)以及高對(duì)比度)而適合于下一代平板顯不器。特別是，從陽極產(chǎn)生的空穴與從陰極產(chǎn)生的電子在有機(jī)發(fā)光層中復(fù)合而產(chǎn)生激 子，所述激子返回到基態(tài)，由此釋放出能量。有機(jī)電致發(fā)光顯示面板基于這個(gè)能量而發(fā)光。由于有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的有機(jī)發(fā)光層易受濕氣和氧影響，因此使用由玻璃形成的密封蓋來保護(hù)有機(jī)發(fā)光層。但是，不利的是，傳統(tǒng)有機(jī)電致發(fā)光顯示面板因由玻璃形成的密封蓋而不能實(shí)現(xiàn)柔性。此外，所述有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的缺點(diǎn)在于入射的外部光從陽極或者陰極發(fā)生反射，并被發(fā)射到外部，于是使外部光可見。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明針對(duì)一種塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件及其制造方法，基本上避免了由于現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點(diǎn)導(dǎo)致的一個(gè)或多個(gè)問題。本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種能實(shí)現(xiàn)柔性并防止外部光可見的塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件及其制造方法。為了實(shí)現(xiàn)這些目的和其他優(yōu)點(diǎn)，并根據(jù)本發(fā)明的目的，如本文具體化的和概括描述的，提供了一種塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件，所述塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件包括發(fā)光單元，包括按下述順序布置在基板上的第一電極、有機(jī)發(fā)光層和第二電極；粘貼在設(shè)置有發(fā)光單元的基板上的阻擋膜，以密封發(fā)光單元，所述阻擋膜包括光學(xué)各向同性支撐膜；和粘貼在光學(xué)各向同性的阻擋膜上的圓偏振器。阻擋膜可包括光學(xué)各向同性支撐膜；具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋層，布置在光學(xué)各向同性支撐膜的前表面和背表面中的至少一個(gè)上；下部粘合劑，粘貼到設(shè)置有發(fā)光單元的基板上；和上部粘合劑，粘貼到圓偏振器上。光學(xué)各向同性支撐膜可由三乙酰纖維素(TAC)、環(huán)烯共聚物(C0C)、環(huán)烯聚合物(COP)或者環(huán)烯共聚物(COC)和環(huán)烯聚合物(COP)中的至少一種與玻璃纖維的混合物形成。光學(xué)各向同性支撐膜可具有O至5nm的延遲。在另一實(shí)施例中，所述器件還可包括具有單層結(jié)構(gòu)阻擋保護(hù)膜，夾在阻擋膜和第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物(AlxOy)、硅氮氧化物(SiONx)、硅氧化物(SiOx)或者娃氮化物(SiNx)形成。在另一實(shí)施例中，所述器件還可包括具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，布置在阻擋膜和第二電極之間，其中所述阻 擋保護(hù)膜具有有機(jī)阻擋保護(hù)膜和無機(jī)阻擋保護(hù)膜至少一次交替層疊的結(jié)構(gòu)，所述有機(jī)阻擋保護(hù)膜由諸如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺或者聚乙烯之類的聚合物材料形成，所述無機(jī)阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物(AlxOy)、硅氮氧化物(SiONx)、硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)形成。根據(jù)另一方面，提供一種用于制造塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的方法，所述方法包括在基板上順序地形成第一電極、有機(jī)發(fā)光層和第二電極以形成發(fā)光單元；將具有光學(xué)各向同性支撐膜的阻擋膜粘貼在設(shè)置有發(fā)光單元的基板上，以密封發(fā)光單元；以及將圓偏振器粘貼到光學(xué)各向同性的阻擋膜上。粘貼所述阻擋膜可通過利用熱層疊工藝將阻擋膜粘貼在設(shè)置有發(fā)光單元的基板上來執(zhí)行，所述阻擋膜包括所述光學(xué)各向同性支撐膜、具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋層、下部粘合劑和上部粘合劑，所述光學(xué)各向同性支撐膜是通過非拉伸擠壓方法或者非拉伸澆鑄方法而處理的，所述阻擋層形成在所述光學(xué)各向同性支撐膜的前表面和背表面中至少一個(gè)上，所述下部粘合劑粘貼到設(shè)置有所述發(fā)光單元的基板上，以及所述上部粘合劑粘貼到所述圓偏振器上。在另一實(shí)施例中，所述方法可進(jìn)一步包括形成具有單層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，夾在阻擋膜和第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜是由鋁氧化物(AlxOy)、硅氮氧化物(SiONx)、硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)形成。在另一實(shí)施例中，所述方法可進(jìn)一步包括形成具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，布置在阻擋膜和第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜是通過將有機(jī)阻擋保護(hù)膜和無機(jī)阻擋保護(hù)膜至少一次交替層疊來形成的，所述有機(jī)阻擋保護(hù)膜由諸如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺或者聚乙烯之類的聚合物材料形成，所述無機(jī)阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物(AlxOy)、硅氮氧化物(SiONx)、硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)形成。應(yīng)理解，前面的概括描述和下文對(duì)本發(fā)明的具體描述都是示例性和說明性的，且旨在提供對(duì)如所要求保護(hù)的本發(fā)明的進(jìn)一步解釋。


包括附圖以提供本發(fā)明的進(jìn)一步理解，且附圖結(jié)合到本申請(qǐng)中并構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，附示了本發(fā)明的實(shí)施例并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。圖中圖I是示出根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的截面圖；圖2A至圖2C是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的圖I的阻擋膜的截面圖；圖3是示出根據(jù)圖2A至圖2C中所示支撐膜的延遲值說明外部可見度的圖；圖4是說明其中使用圖I中所示的圓偏振器來阻擋外部光反射的過程的截面圖；圖5是說明根據(jù)另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯不面板的截面圖；圖6是說明根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的截面圖；圖7A至圖7G是說明根據(jù)本發(fā)明制造有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的方法的截面圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖根據(jù)以下具體描述可更清楚地理解本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。圖I是說明根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的截面圖。圖I中示出的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板包括設(shè)置有驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管和發(fā)光單元的基板101 ;粘貼在設(shè)置有發(fā)光單元和驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管的基板101上的阻擋膜140 ;和粘貼在阻擋膜140上的圓偏振器150。驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管包括柵極102、漏極110、面對(duì)漏極110的源極108、有源層114和歐姆接觸層116，所述柵極形成在由玻璃或者塑料形成的基板101上；所述漏極110接觸發(fā)光單元的第一電極124 ;所述有源層114與柵極102重疊，在柵極102和有源層114之間具有柵極絕緣膜106，以在源極108和漏極110之間形成溝道部分；以及所述歐姆接觸層116形成在除溝道部分外的有源層上，以實(shí)現(xiàn)源極108和漏極110之間的歐姆接觸。此外，由無機(jī)絕緣材料形成的無機(jī)保護(hù)膜118和由有機(jī)絕緣材料形成的有機(jī)保護(hù)膜120可以按此順序 形成在于基板101上形成的驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管上。形成有機(jī)保護(hù)膜120以平坦化設(shè)置有驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管的基板101，并且形成無機(jī)保護(hù)膜118以改善柵極絕緣膜106和源極108及漏極110中的每一個(gè)與有機(jī)保護(hù)膜120之間的界面穩(wěn)定性。發(fā)光單元包括形成在有機(jī)保護(hù)膜120上的第一電極124、具有形成在第一電極124上的包括發(fā)光層的有機(jī)發(fā)光層130和形成在有機(jī)發(fā)光層130上的第二電極132。有機(jī)發(fā)光層130包括按如下順序或者相反順序?qū)盈B在第一電極124上的空穴相關(guān)層、發(fā)光層和電子相關(guān)層。第一電極124通過像素接觸孔122電連接到驅(qū)動(dòng)薄膜晶體管的漏極110，所述像素接觸孔122穿過無機(jī)保護(hù)膜118和有機(jī)保護(hù)膜120。第一電極124由諸如鋁(Al)之類的高反射性且不透明的導(dǎo)電材料形成。堤絕緣膜126形成在除發(fā)光區(qū)域之外的區(qū)域中。結(jié)果，堤絕緣膜126包括堤孔128，以暴露出與發(fā)光區(qū)域?qū)?yīng)的第一電極124。第二電極132形成在有機(jī)發(fā)光層130上。第二電極132由諸如ITO之類的透明且導(dǎo)電的材料形成，以使自有機(jī)發(fā)光層130產(chǎn)生的光通過第二電極132發(fā)射到外部。可形成第二電極132至一厚度，允許諸如Mg: Ag或者Al之類的不透明導(dǎo)電材料透光。阻擋膜140形成在設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上以覆蓋所述發(fā)光單元。阻擋膜140不是直接形成在設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上，而是單獨(dú)形成，且之后用粘合劑將所述阻擋膜粘貼到設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上。這樣，當(dāng)將阻擋膜140用作密封蓋時(shí)，在5000勒克斯(Iux)下所述阻擋膜應(yīng)當(dāng)具有6或者更高的環(huán)境對(duì)比度。阻擋膜140阻擋濕氣或者氧滲透到發(fā)光單元中。出于這個(gè)目的，如圖2A中所示，阻擋膜140包括支撐膜142、布置在支撐膜142前表面上的上部阻擋層146、布置在支撐膜142背表面上的下部阻擋層144、布置在上部阻擋層146前表面上的上部粘合劑138和布置在下部阻擋層144背表面上的下部粘合劑148。另一方面，如圖2B和圖2C中所示，可在支撐膜142的一個(gè)表面上形成上部阻擋層146或者下部阻擋層144中的任一個(gè)。上部粘合劑138由自然固化(natural-setting)粘合劑(壓敏粘合劑,PSA)形成，并且上部粘合劑138將圓偏振器150粘貼到阻擋膜140上。下部粘合劑148由熱固性環(huán)氧基粘合劑或者自然固化環(huán)氧基粘合劑形成。下部粘合劑148將阻擋膜140粘貼到設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上。
另一方面，當(dāng)上部粘合劑138和下部粘合劑148是使用光固性粘合劑而形成的時(shí)，有機(jī)發(fā)光層130會(huì)被固化工藝期間使用的光損傷。出于這個(gè)原因，上部粘合劑138和下部粘合劑148是熱固性粘合劑或者是自然固化型粘合劑。上部阻擋層146和下部阻擋層144分別包括有機(jī)阻擋層146a和144a中的至少一個(gè)以及無機(jī)阻擋層146b和144b中的至少一個(gè)。例如，上部阻擋層146和下部阻擋層144中的每一個(gè)都具有多層結(jié)構(gòu)，在所述多層結(jié)構(gòu)中至少一次交替形成有機(jī)阻擋層146a或144a和無機(jī)阻擋層146b或144b。無機(jī)阻擋層146b或144b形成在有機(jī)阻擋層146a或144a上以首要地阻擋外部濕氣或者氧的滲入。無機(jī)阻擋層146b或144b由鋁氧化物(AlxOy)、硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)形成。有機(jī)阻擋層146a或144a形成在支撐膜142的一個(gè)或者兩個(gè)表面上，以便補(bǔ)充地阻擋濕氣或者氧的滲入。此外，有機(jī)阻擋層146a或144a補(bǔ)償由于有機(jī)發(fā)光顯示面板彎曲 造成的其他層之間的應(yīng)力，并且提高平整度。這些阻擋層146a和144a由諸如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺或者聚乙烯之類的聚合物材料形成。支撐膜142是光學(xué)各向同性的，且傳播入射在阻擋膜140上的光而沒有任何延遲。因此，可通過布置在阻擋膜140上的圓偏振器150阻擋外部光的反射，因而能防止外部光可見。就這點(diǎn)而論，將支撐膜142形成為使得所述支撐膜具有O至5nm的延遲，以致支撐膜142是光學(xué)各向同性的。為達(dá)此目的，支撐膜142由三乙酰纖維素(TAC)、環(huán)烯共聚物(COC)、環(huán)烯聚合物(COP)或者環(huán)烯共聚物(COC)和環(huán)烯聚合物(COP)中的至少一種與玻璃纖維的混合物形成。特別是，含有玻璃纖維的支撐膜142具有與設(shè)置有發(fā)光單元的基板101相似的熱膨脹系數(shù)，因而防止了因熱膨脹系數(shù)不同而導(dǎo)致的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板變形。另一方面，當(dāng)支撐膜142不含有玻璃纖維時(shí)，可通過在完成有機(jī)電致發(fā)光顯示面板之后使用激光去除布置在發(fā)光單元下方的基板101以使器件小型化，來防止因熱膨脹系數(shù)不同而導(dǎo)致的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板變形。同時(shí)，具有大于5nm的延遲的支撐膜是光學(xué)各向同性的，且由此入射到阻擋膜上的光被延遲。于是，外部光被所述光學(xué)各向同性支撐膜反射，而不被偏振，且所述外部光通過有機(jī)電致發(fā)光顯示面板發(fā)射到外部且可見。具體地說,如圖3中所示，由于由具有13nm延遲的聚醚砜(PES)和具有68nm延遲的聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)形成的支撐膜142是光學(xué)各向同性的，外部光不被圓偏振器150偏振，而被反射并可見。另一方面，由具有3nm延遲的環(huán)烯共聚物(COC)形成的支撐膜142是光學(xué)各向同性的。于是，外部光的反射能夠被布置在阻擋膜140上的圓偏振器150阻擋，因而能夠防止外部光可見。圓偏振器150透射自有機(jī)發(fā)光層130產(chǎn)生的光，而阻擋自不透明第一電極124產(chǎn)生的外部光，以提高有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的對(duì)比度。如圖4中所示，圓偏振器150包括延遲膜154和布置在延遲膜154上的線偏振器152。線偏振器152使從外部入射的外部光偏振，并阻擋從第一電極124反射的外部光。所述延遲膜154具有與線偏振器152的中心軸成夾角45度的中心軸，以將通過線偏振器152的外部光延遲λ/4。
將參考圖4描述，圓偏振器150阻擋而不是反射外部光的過程。通過線偏振器152，從圓偏振器150外部入射的外部光被轉(zhuǎn)換成與線偏振器152平行的線偏振光。通過延遲膜154,線偏振光被轉(zhuǎn)換成左圓偏振光。轉(zhuǎn)換后的左圓偏振光通過光學(xué)各向同性阻擋膜140而無延遲,接著被第一電極124反射并被轉(zhuǎn)換成右圓偏振光。轉(zhuǎn)換后的右圓偏振光透過光學(xué)各向同性阻擋膜140而無任何延遲，接著入射到延遲膜154上。通過延遲膜154,入射到延遲膜154上的右圓偏振光被轉(zhuǎn)換成與線偏振器152的傳輸軸垂直的線偏振光。被轉(zhuǎn)換成具有與線偏振器152的傳輸軸垂直的傳輸軸的線偏振光不能通過線偏振器152。這樣，外部光兩次通過具有λ/4延遲的延遲膜154，因而外部光的極性狀態(tài)改變了 90度。因此，由于通過延遲膜154兩次的外部光被轉(zhuǎn)換成使得所述外部光具有與線偏振器152的傳輸軸垂直的傳輸軸，所以外部光不能通過線偏振器152發(fā)射到外部，因而能夠防止外部光可見。這樣，根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板能夠使用光學(xué)各向同性阻擋膜140來保護(hù)設(shè)置有發(fā)光單元的基板101，并由此實(shí)現(xiàn)柔性并防止外部光可見。
圖5是說明根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的截面圖。除了還包括具有單層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜160外，圖5中示出的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板具有與圖I中示出的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板相同的元件。因此，將省略相同元件的具體描述。阻擋保護(hù)膜160形成在阻擋膜140的下部粘合劑148和第二電極132之間。阻擋保護(hù)膜160與阻擋膜140—起阻擋外部濕氣、氧或者熱滲入，因而提高了可靠性。因此，盡管阻擋膜140具有低于常規(guī)情況的每天10_3g/m2或更低的濕氣滲入率，但是本發(fā)明能阻擋外部濕氣或氧滲入。阻擋保護(hù)膜160具有由鋁氧化物(AlxOy)、硅氮氧化物(SiONx)、硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)形成的單層結(jié)構(gòu)。阻擋保護(hù)膜160具有I至2 μ m厚度。當(dāng)阻擋保護(hù)膜160的厚度低于I μ m時(shí)，難以保證高溫/高濕度可靠性。此外，當(dāng)阻擋保護(hù)膜160的厚度高于2μπι時(shí)，沉積時(shí)間延長，阻擋保護(hù)膜160應(yīng)力增加，因而阻擋保護(hù)膜160可能破裂。在設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上形成阻擋保護(hù)膜160。此時(shí)，通過80度至100度的低溫下執(zhí)行的PECVD將阻擋保護(hù)膜160形成在設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上，以保護(hù)在110度或更高的溫度下會(huì)被損壞的發(fā)光有機(jī)層130。這樣，在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，阻擋膜140以及具有單層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜160阻擋外部濕氣或氧滲入，從而提高可靠性。圖6是說明根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的截面圖。除了還包括具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜160外，圖6中示出的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板具有與圖I中所示有機(jī)電致發(fā)光顯示面板相同的元件。因此，省略相同元件的具體描述。具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜160形成在阻擋膜140的下部粘合劑148和第二電極132之間。阻擋保護(hù)膜160與阻擋膜140 —起阻擋外部濕氣、氧或者熱量滲入，從而提高可靠性。因此，盡管阻擋膜140具有低于常規(guī)情況的每天10_3g/m2或更低的濕氣滲入度，但本發(fā)明能阻擋外部濕氣或氧的滲入。通過將一或多個(gè)無機(jī)阻擋保護(hù)膜162和一或多個(gè)有機(jī)阻擋保護(hù)膜164交替層疊來形成具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜160。
使用諸如鋁氧化物(AlxOy)、硅氮氧化物(SiONx)、硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)之類的材料來形成厚度為I μ m至2 μ m的無機(jī)阻擋保護(hù)膜162。無機(jī)阻擋保護(hù)膜162阻擋濕氣或氧以及外部熱量的滲入，從而提高可靠性。通過在80度至100度的低溫下執(zhí)行的PECVD將無機(jī)阻擋保護(hù)膜162形成在設(shè)置有發(fā)光單元的基板101上，以保護(hù)在110度或更高的溫度下會(huì)被損壞的發(fā)光有機(jī)層130。使用諸如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺、或者聚乙烯之類的聚合物材料來形成厚度為8 μ m至10 μ m的有機(jī)阻擋保護(hù)膜164。有機(jī)阻擋保護(hù)膜164補(bǔ)償無機(jī)阻擋保護(hù)膜162的應(yīng)力，并且實(shí)現(xiàn)柔性和平整度。特別是，有機(jī)阻擋保護(hù)膜164遮蔽在無機(jī)阻擋保護(hù)膜162中形成的孔。具體地說，當(dāng)通過在低溫下沉積而形成無機(jī)阻擋保護(hù)膜162時(shí)，由于沉積工藝期間的低激活能量導(dǎo)致產(chǎn)生未反應(yīng)的物質(zhì)，且由此在無機(jī)阻擋保護(hù)膜162上形成顆粒。當(dāng)這些顆粒被通過洗滌工藝去除時(shí)，在無機(jī)阻擋保護(hù)膜162上的去除了顆粒的區(qū)域中形成孔。當(dāng)有機(jī)阻擋保護(hù)膜164形成在無機(jī)阻擋保護(hù)膜162上以防止?jié)駳鉂B入到這些孔中時(shí)，無機(jī)阻擋保護(hù)膜162的孔被有機(jī)阻擋保護(hù)膜164遮蔽。
這樣，在根據(jù)本發(fā)明該實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板中，阻擋膜140以及具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜160阻擋外部濕氣或氧的滲入，從而提高可靠性。圖7A至圖7G是說明用于根據(jù)各實(shí)施例的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的方法的截面圖。這里，作為例子，說明圖5中示出的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板。參考圖7A，柵極絕緣膜106、半導(dǎo)體圖案112、源極108和漏極110順序地形成在基板101上。
具體地，通過諸如濺射之類的沉積方法在基板101上順序地形成柵極金屬層。柵極金屬層是使用諸如鋁基金屬(Al、AlNd)J|f (Cu)、鈦(Ti)、鑰(Mo)和鎢(W)之類的金屬而形成的。隨后，通過光刻工藝和蝕刻工藝對(duì)柵極金屬層構(gòu)圖以形成柵極102。之后，在設(shè)置有柵極102的基板101整個(gè)表面上方使用諸如硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)之類的無機(jī)絕緣材料以形成柵極絕緣層106。之后，在設(shè)置有柵極絕緣膜106的基板101上順序地形成非晶硅層和其中摻雜有雜質(zhì)(η+或p+)的非晶硅層。之后，通過光刻工藝和蝕刻工藝對(duì)非晶硅層和其中摻雜有雜質(zhì)(η+或ρ+)的非晶硅層進(jìn)行構(gòu)圖，以形成包括有源層114和歐姆接觸層116的半導(dǎo)體圖案。之后，通過諸如濺射之類的沉積方法在設(shè)置有半導(dǎo)體圖案的基板101上形成數(shù)據(jù)金屬層。數(shù)據(jù)金屬層是使用諸如鈦(Ti)、鎢(W)、招(Al)、鑰(Mo)和銅(Cu)之類的金屬而形成的。之后，通過光刻工藝和蝕刻工藝對(duì)數(shù)據(jù)金屬層構(gòu)圖以形成源極108和漏極110。之后，使用源極108和漏極110作為掩模來去除夾在源極和漏極108和110之間的歐姆接觸層116，以暴露出有源層114。如上所述，由于分別形成半導(dǎo)體圖案和源極與漏極108和110，因此需要兩個(gè)掩模來形成半導(dǎo)體圖案和源極與漏極。此外，為了減少掩模數(shù)量，通過單個(gè)掩模工藝使用衍射掩?；蛘甙胪该餮谀硗瑫r(shí)形成半導(dǎo)體圖案以及源極和漏極108和110。參考圖7Β，在設(shè)置有源極和漏極108和110的基板101上形成包括像素接觸孔122的無機(jī)保護(hù)膜118和有機(jī)保護(hù)膜120。具體地，將諸如硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)之類的無機(jī)絕緣材料形成在設(shè)置有源極和漏極108和110的基板101整個(gè)表面上方以形成無機(jī)保護(hù)膜118。之后，將諸如丙烯酸樹脂之類的有機(jī)絕緣材料形成在無機(jī)保護(hù)膜118的整個(gè)表面上以形成有機(jī)保護(hù)膜120。之后，通過光刻工藝和蝕刻工藝對(duì)無機(jī)保護(hù)膜118和有機(jī)保護(hù)膜120構(gòu)圖，以形成像素接觸孔122。像素接觸孔122通過無機(jī)保護(hù)膜118和有機(jī)保護(hù)膜120以暴露出漏極110。參考圖7C，在設(shè)置有有機(jī)保護(hù)膜120的基板101上形成第一電極124。具體地，通過諸如濺射方法之類的沉積方法在設(shè)置有有機(jī)保護(hù)膜120的基板101上形成高反射的不透明導(dǎo)電層。之后，通過光刻工藝和蝕刻工藝對(duì)不透明導(dǎo)電層構(gòu)圖以形成第一電極124。參考圖7D，在設(shè)置有第一電極124的基板101上形成具有堤孔(bank hole) 128的堤絕緣層126。具體地，將諸如丙烯酸樹脂之類的有機(jī)絕緣材料形成在設(shè)置有第一電極124的基 板101整個(gè)表面上方，以形成堤絕緣膜126。之后，通過光刻工藝和蝕刻工藝對(duì)堤絕緣膜126構(gòu)圖以形成堤孔128。堤孔128通過每個(gè)像素區(qū)域中的堤絕緣膜126以暴露出第一電極 124。參考圖7E，在設(shè)置有堤絕緣膜126的基板101上順序地形成有機(jī)發(fā)光層130、第二電極132和阻擋保護(hù)層160。具體地，通過熱沉積方法、濺射方法或者上述方法的組合在通過堤絕緣膜126暴露出的第一電極124上順序地形成包括電子相關(guān)層、發(fā)光層和空穴相關(guān)層的有機(jī)發(fā)光層130。之后，將透明導(dǎo)電膜或者不透明導(dǎo)電材料施加到設(shè)置有有機(jī)發(fā)光層130的基板101上，以形成第二電極132。透明導(dǎo)電膜是使用氧化銦錫(ΙΤ0)、氧化錫(T0)、氧化銦鋅(IZ0)、Sn02、非晶氧化銦錫(a-ITO)或類似物來形成的。不透明導(dǎo)電膜是使用Mg:Ag、Al或類似物而形成至一透光的厚度。之后，將諸如硅氧化物(SiOx)或者硅氮化物(SiNx)之類的無機(jī)絕緣材料形成在設(shè)置有第二電極132的基板101整個(gè)表面上方，以形成阻擋保護(hù)層160。參考圖7F，通過下部粘合劑將阻擋膜140粘貼到阻擋保護(hù)層160上。具體地，通過熱層疊工藝將單獨(dú)制備的阻擋膜140粘貼到阻擋保護(hù)層160上。這時(shí)，阻擋膜140是通過用除拉伸工藝外的擠壓方法或者除拉伸工藝外的溶劑澆鑄方法在支撐膜前表面和后表面中的至少一個(gè)上形成阻擋層而提供的。參考圖7G，通過上部粘合劑將單獨(dú)制備的圓偏振器150粘貼到阻擋膜140上以完成有機(jī)電致發(fā)光顯示面板。同時(shí)，盡管已經(jīng)描述了具有下述結(jié)構(gòu)的根據(jù)本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示面板布置在有機(jī)發(fā)光層130上的阻擋膜140被用作滲水密封層，但是阻擋膜140可布置在有機(jī)發(fā)光層130下方并用作防水材料。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對(duì)本發(fā)明作出各種修改和變化。由此，只要各種修改和變化落入在所附權(quán)利要求及其等價(jià)物的范圍之內(nèi)，本發(fā)明旨在覆蓋本發(fā)明的這些修改和變化。
權(quán)利要求
1.一種塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件，包括發(fā)光單元，包括按下述順序形成在基板上的第一電極、有機(jī)發(fā)光層和第二電極；粘貼在設(shè)置有所述發(fā)光単元的基板上的阻擋膜，以密封所述發(fā)光単元，所述阻擋膜包括光學(xué)各向同性支撐膜；和粘貼在所述阻擋膜上的圓偏振器。
2.如權(quán)利要求I所述的器件，其中所述阻擋膜包括所述光學(xué)各向同性支撐膜；具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋層，形成在所述光學(xué)各向同性支撐膜的前表面和后表面的至少ー個(gè)上；下部粘合劑，粘貼到設(shè)置有所述發(fā)光単元的基板上；和上部粘合劑，粘貼到所述圓偏振器上。
3 如權(quán)利要求2所述的器件，其中所述光學(xué)各向同性支撐膜由三こ酰纖維素、環(huán)烯共聚物、環(huán)烯聚合物或者環(huán)烯共聚物和環(huán)烯聚合物中的至少ー個(gè)與玻璃纖維的混合物形成。
4 .如權(quán)利要求3所述的器件，其中所述光學(xué)各向同性支撐膜具有O至5nm的延遲。
5.如權(quán)利要求I所述的器件，所述器件還包括具有單層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，夾在所述阻擋膜和所述第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物、硅氮氧化物、硅氧化物或者硅氮化物形成。
6.如權(quán)利要求I所述的器件，所述器件還包括具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，形成在所述阻擋膜和所述第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜具有有機(jī)阻擋保護(hù)膜和無機(jī)阻擋保護(hù)膜至少一次交替層疊的結(jié)構(gòu)，所述有機(jī)阻擋保護(hù)膜由諸如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺或者聚こ烯的聚合物材料形成，所述無機(jī)阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物、硅氮氧化物、硅氧化物或者硅氮化物形成。
7.一種用于制造塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示面板的方法，包括在基板上順序地形成第一電極、有機(jī)發(fā)光層和第二電極，以形成發(fā)光單元；將具有光學(xué)各向同性支撐膜的阻擋膜粘貼到設(shè)置有所述發(fā)光単元的基板上，以密封發(fā)光単元；以及將圓偏振器粘貼到所述阻擋膜上。
8.如權(quán)利要求7所述的方法，其中粘貼所述阻擋膜是通過利用熱層疊エ藝將阻擋膜粘貼在設(shè)置有所述發(fā)光単元的基板上來執(zhí)行的，所述阻擋膜包括所述光學(xué)各向同性支撐膜、具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋層、下部粘合劑和上部粘合劑，所述光學(xué)各向同性支撐膜是通過非拉伸擠壓方法或者非拉伸澆鑄方法而處理的，所述阻擋層形成在所述光學(xué)各向同性支撐膜的前表面和背表面中至少ー個(gè)上，所述下部粘合劑粘貼到設(shè)置有所述發(fā)光単元的基板上，以及所述上部粘合劑粘貼到所述圓偏振器上。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中所述光學(xué)各向同性支撐膜由三こ酰纖維素、環(huán)烯共聚物、環(huán)烯聚合物或者環(huán)烯共聚物和環(huán)烯聚合物中的至少ー個(gè)與玻璃纖維的混合物形成。
10.如權(quán)利要求8所述的方法，其中所述光學(xué)各向同性支撐膜具有O至5nm的延遲。
11.如權(quán)利要求7所述的方法，所述方法進(jìn)ー步包括形成具有單層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，所述阻擋保護(hù)膜夾在所述阻擋膜和所述第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物、硅氮氧化物、硅氧化物或者硅氮化物形成。
12.如權(quán)利要求7所述的方法，所述方法進(jìn)ー步包括形成具有多層結(jié)構(gòu)的阻擋保護(hù)膜，所述阻擋保護(hù)膜布置在所述阻擋膜和所述第二電極之間，其中所述阻擋保護(hù)膜是通過至少一次交替層疊有機(jī)阻擋保護(hù)膜和無機(jī)阻擋保護(hù)膜來形成的，所述有機(jī)阻擋保護(hù)膜由諸如丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺或者聚こ烯的聚合物材料形成，所述無機(jī)阻擋保護(hù)膜由鋁氧化物、硅氮氧化物、硅氧化物或者硅氮化物形成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件及其制造方法，所述塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件能實(shí)現(xiàn)柔性并防止外部光可見。塑料有機(jī)電致發(fā)光顯示器件包括發(fā)光單元，所述發(fā)光單元包括按下述順序布置在基板上的第一電極、有機(jī)發(fā)光層和第二電極；粘貼到設(shè)置有所述發(fā)光單元的基板上的阻擋膜，以密封所述發(fā)光單元；包括光學(xué)各向同性支撐膜的阻擋膜；和粘貼到光學(xué)各向同性的阻擋膜上的圓偏振器。
文檔編號(hào)H01L51/56GK102832352SQ20111042411
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月14日
發(fā)明者李在暎, 梁源宰, 金明燮, 金泰鏡 申請(qǐng)人:樂金顯示有限公司