專利名稱：一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體激光器領(lǐng)域。
技術(shù)背景
脈沖放電泵浦類型的氣體激光器正常工作時(shí)是處于輝光放電狀態(tài)，在放電過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一定量的濺射物塵粒，在每個(gè)放電脈沖過(guò)程中，電極間的氣體都會(huì)因?yàn)榉烹姲l(fā)生氣體膨脹，會(huì)有一部分氣體向輸出鏡內(nèi)側(cè)方向膨脹，這部分向輸出鏡內(nèi)側(cè)方向膨脹的氣體會(huì)將放電濺射物運(yùn)送至輸出鏡內(nèi)側(cè)并使其附著在輸出鏡內(nèi)側(cè)，輸出鏡內(nèi)側(cè)受到濺射物塵粒污染后會(huì)使輸出鏡的透光率下降，輸出鏡損耗增加而發(fā)熱，隨著激光器工作時(shí)間的增加，輸出鏡內(nèi)側(cè)污染物越來(lái)越多，發(fā)熱越來(lái)越嚴(yán)重，最后會(huì)使輸出鏡內(nèi)側(cè)的鍍膜損壞或輸出鏡炸裂。 另一方面，氣體激光器真空腔的體積有限，而氣體激光器工作放電工作時(shí)會(huì)使氣體逐漸劣化，氣體劣化后激光器的輸出激光器功率逐漸下降。因此，必須設(shè)置防止輸出鏡污染和使激光器真空腔內(nèi)的氣體進(jìn)行更新的裝置。使激光器能夠長(zhǎng)壽命可靠工作，能在很大程度上提高這類激光器的可靠性。經(jīng)過(guò)查詢沒(méi)有發(fā)現(xiàn)與本發(fā)明相同的裝置。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決現(xiàn)有激光器在放電過(guò)程中產(chǎn)生濺射物塵粒，導(dǎo)致輸出鏡內(nèi)側(cè)受到濺射物塵粒污染后使輸出鏡的透光率下降，最終導(dǎo)致輸出鏡內(nèi)側(cè)的鍍膜損壞或輸出鏡炸裂的問(wèn)題，提供一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置。
一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置，該裝置包括上電極、下電極、進(jìn)氣管、導(dǎo)氣筒、排氣筒、排氣軟管、進(jìn)氣軟管、反射鏡、輸出鏡和激光器真空腔，該裝置還包括軸流風(fēng)機(jī)和氣體過(guò)濾布，所述上電極和下電極相對(duì)放置在激光器真空腔內(nèi)，上電極1與下電極2之間的空間組成激光器的放電區(qū)，反射鏡設(shè)置在激光器真空腔外部的后側(cè)位置，輸出鏡設(shè)置在激光器真空腔外部的前側(cè)位置，反射鏡與輸出鏡組成激光諧振腔，激光諧振腔用于激光諧振，激光經(jīng)過(guò)諧振后從輸出鏡輸出激光；排氣軟管經(jīng)激光器真空腔的右側(cè)穿入，進(jìn)氣軟管經(jīng)激光器真空腔的左側(cè)穿入并與進(jìn)氣管連通；所述進(jìn)氣管放置在上電極與下電極之間靠近下電極處，進(jìn)氣管上設(shè)置多個(gè)出氣孔；所述導(dǎo)氣筒內(nèi)依次設(shè)置軸流風(fēng)機(jī)和氣體過(guò)濾布，導(dǎo)氣筒與排氣筒連通。
本發(fā)明的工作原理本發(fā)明所述的氣體激光器在工作時(shí)，激光器真空腔內(nèi)的新鮮工作氣體從進(jìn)氣軟管進(jìn)入進(jìn)氣管中，出氣孔的方向朝向放電區(qū)的方向，新鮮的工作氣體從出氣孔流出，經(jīng)過(guò)上電極與下電極之間的左側(cè)流入，從上電極與下電極之間的右側(cè)流出，同時(shí)排氣管排出與進(jìn)氣量相對(duì)應(yīng)的氣體。所述軸流風(fēng)機(jī)將激光器真空腔內(nèi)的氣體吹進(jìn)導(dǎo)氣筒中，經(jīng)過(guò)氣體過(guò)濾布過(guò)濾掉氣體中的放電濺射物塵粒后，吹入排氣筒中，排氣筒再將這些氣體吹向放電區(qū)，使輸出鏡內(nèi)側(cè)的氣體流向放電區(qū)，因此，放電區(qū)中的放電濺射物無(wú)法附著在輸出鏡內(nèi)側(cè)面，輸出鏡內(nèi)側(cè)得到保護(hù)，延長(zhǎng)了輸出鏡的使用壽命。
本發(fā)明的有益效果本發(fā)明所述的激光器運(yùn)行保障裝置防止了激光器正常工作時(shí)在放電過(guò)程中產(chǎn)生的濺射物塵粒附著在輸出鏡內(nèi)側(cè)，不會(huì)使輸出鏡內(nèi)側(cè)受到濺射物塵粒污染而使輸出鏡的透光率下降，本發(fā)明所述的輸出鏡的鍍膜不會(huì)出現(xiàn)損壞及炸裂，延長(zhǎng)了輸出鏡的使用壽命。


圖1為本發(fā)明所述的一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置的主視圖2為本發(fā)明所述的一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置的俯視圖3為本發(fā)明所述的一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置的左視圖。
圖中1、上電極，2、下電極，3、進(jìn)氣管，4、軸流風(fēng)機(jī)，5、氣體過(guò)濾布6、導(dǎo)氣筒，7、反射鏡，8、排氣軟管，9、排氣筒，10、輸出鏡，11、出氣孔，12、進(jìn)氣軟管，13、激光真空腔。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖1至圖3說(shuō)明本實(shí)施方式，一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置，該裝置包括上電極1、下電極2、進(jìn)氣管3、導(dǎo)氣筒6、排氣筒9、排氣軟管8、進(jìn)氣軟管12、反射鏡7、 輸出鏡10和激光器真空腔13，該裝置還包括軸流風(fēng)機(jī)4和氣體過(guò)濾布5，所述上電極1和下電極2相對(duì)放置在激光器真空腔13內(nèi)，上電極1與下電極2之間的空間為激光器的放電區(qū)，反射鏡7設(shè)置在激光器真空腔13外部的后側(cè)位置，輸出鏡10設(shè)置在激光器真空腔13 外部的前側(cè)位置，反射鏡7與輸出鏡10組成激光諧振腔，激光諧振腔用于激光諧振，激光經(jīng)過(guò)諧振后從輸出鏡10輸出激光；排氣軟管8經(jīng)激光器真空腔13的右側(cè)穿入，進(jìn)氣軟管12 經(jīng)激光器真空腔13的左側(cè)穿入并與進(jìn)氣管3連通；所述進(jìn)氣管3放置在上電極1與下電極 2之間靠近下電極2處，進(jìn)氣管3上設(shè)置多個(gè)出氣孔11 ；所述導(dǎo)氣筒內(nèi)依次設(shè)置軸流風(fēng)機(jī)4 和氣體過(guò)濾布5，所述導(dǎo)氣筒6與排氣筒9連通。
本實(shí)施方式所述的上電極1與下電極2可由不銹鋼材料加工制成，進(jìn)氣管3可由鋼材料加工制成，軸流風(fēng)機(jī)4可由上海東升儀器儀表有限公式生產(chǎn)的AFB0A812MB軸流風(fēng)機(jī)構(gòu)成，氣體過(guò)濾布可由上?？聘袼钩龎m布袋有限公司生產(chǎn)的PPS過(guò)濾氈構(gòu)成，導(dǎo)氣筒6可由鋼材料構(gòu)成，反射鏡7可由純銅材料制成，排氣軟管8可由直徑8mm的聚乙烯管構(gòu)成，排氣筒9可由鋼材料制成，輸出鏡10可由ZnS材料制成，出氣孔11可在進(jìn)氣管3的一側(cè)鉆一排直徑3mm的孔，排孔的長(zhǎng)度等于放電區(qū)的長(zhǎng)度，進(jìn)氣軟管12可由直徑8mm的聚乙烯管構(gòu)成， 激光真空腔13可由鋼材料制成。
激光器工作時(shí)，將新鮮的工作氣體從進(jìn)氣管3進(jìn)入，從出氣孔11進(jìn)入放電區(qū)，放完電后的氣體不斷地由排氣軟管8排出，因此，由于放電區(qū)始終混有一定的新鮮氣體，基本不存在氣體放電劣化問(wèn)題，激光器可由保持長(zhǎng)壽可靠運(yùn)行。
權(quán)利要求
1.一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置，該裝置包括上電極(1)、下電極O)、進(jìn)氣管(3)、導(dǎo)氣筒(6)、排氣筒(9)、排氣軟管(8)、進(jìn)氣軟管(12)、反射鏡(7)、輸出鏡(10)和激光器真空腔(13)，其特征是，該裝置還包括軸流風(fēng)機(jī)(4)和氣體過(guò)濾布(5)，所述上電極 ⑴和下電極⑵相對(duì)放置在激光器真空腔(13)內(nèi)，上電極⑴與下電極(2)之間的空間為激光器的放電區(qū)，反射鏡(7)設(shè)置在激光器真空腔(1 外部的后側(cè)位置，輸出鏡(10)設(shè)置在激光器真空腔(1 外部的前側(cè)位置，反射鏡(7)與輸出鏡(10)組成激光諧振腔，排氣軟管(8)經(jīng)激光器真空腔(1 的右側(cè)穿入，進(jìn)氣軟管(1 經(jīng)激光器真空腔(1 的左側(cè)穿入并與進(jìn)氣管C3)連通；所述進(jìn)氣管C3)放置在上電極(1)與下電極( 之間靠近下電極 (2)處，進(jìn)氣管C3)上設(shè)置多個(gè)出氣孔(11)；所述導(dǎo)氣筒內(nèi)依次設(shè)置軸流風(fēng)機(jī)(4)和氣體過(guò)濾布(5)，所述導(dǎo)氣筒(6)與排氣筒(9)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣管⑶的一側(cè)設(shè)置一排出氣孔(11)，所述每個(gè)出氣孔(11)的直徑3mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置，其特征在于，所述出氣孔(11)的長(zhǎng)度與上電極⑴和下電極⑵組成的放電區(qū)的長(zhǎng)度相同。
全文摘要
一種氣體激光器的長(zhǎng)壽命運(yùn)行保障裝置，涉及氣體激光器領(lǐng)域，它解決現(xiàn)有激光器在放電過(guò)程中產(chǎn)生濺射物塵粒，導(dǎo)致輸出鏡內(nèi)側(cè)受到濺射物塵粒污染后使輸出鏡的透光率下降，最終導(dǎo)致輸出鏡內(nèi)側(cè)的鍍膜損壞或輸出鏡炸裂的問(wèn)題，該裝置包括上電極、下電極、進(jìn)氣管、導(dǎo)氣筒、排氣筒、排氣軟管、進(jìn)氣軟管、反射鏡、輸出鏡和激光器真空腔，還包括軸流風(fēng)機(jī)和氣體過(guò)濾布，激光器在工作時(shí)，真空腔內(nèi)的氣體從進(jìn)氣軟管進(jìn)入進(jìn)氣管中，同時(shí)排氣管排出與進(jìn)氣量相對(duì)應(yīng)的氣體；軸流風(fēng)機(jī)將真空腔內(nèi)的氣體吹進(jìn)導(dǎo)氣筒中，經(jīng)過(guò)氣體過(guò)濾布后氣體中的放電濺射物塵粒后，吹入排氣筒中，排氣筒再將氣體吹向放電區(qū)，使輸出鏡內(nèi)側(cè)的氣體流向放電區(qū)，延長(zhǎng)了輸出鏡的使用壽命。
文檔編號(hào)H01S3/036GK102496836SQ20111040904
公開(kāi)日2012年6月13日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者孟范江, 郭勁, 郭立紅 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所