專利名稱：一種oled生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于OLED生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法。
背景技術(shù)：
在OLED生產(chǎn)工藝中，大量使用氮氣，主要是用來隔離空氣，防止在生產(chǎn)過程中產(chǎn)品或藥液與空氣接觸發(fā)生氧化反應(yīng)，改變產(chǎn)品或藥液的性能，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。但是另一方面，特別是在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)中，使用氮氣的地方有涂膠前清洗機的CP冷卻板、顯影部分以及直板烘箱，這些地方大量使用高純氮氣，雖然保證了產(chǎn)品質(zhì)量，卻也使生產(chǎn)成本大幅提高造成成本昂貴的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，使用除濕除塵壓縮空氣來代替氮氣或直接取消部分工位的氮氣的使用，達到降低氮氣使用量的目的。為了達到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為30ml/s-50ml/s，吹氣時間設(shè)為 35sec-45sec;其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。通過使用除濕除塵壓縮空氣來代替氮氣或直接取消部分工位的氮氣的使用，達到降低氮氣使用量的目的。
具體實施例方式下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作更詳細的說明。實施例1 OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為30ml/s，吹氣時間為；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。實施例2:OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為40ml/s，吹氣時間為40seC ；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。實施例3:OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為50ml/s，吹氣時間為；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。通過使用除濕除塵壓縮空氣來代替氮氣或直接取消部分工位的氮氣的使用，達到降低氮氣使用量的目的。
權(quán)利要求
1.一種OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，其特征在于在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為30ml/s-50ml/s，吹氣時間設(shè)為；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，其特征在于在OLED 生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為 30ml/s，吹氣時間設(shè)為；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，其特征在于在OLED 生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為 40ml/s，吹氣時間設(shè)為40seC ；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，其特征在于在OLED 生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為 50ml/s，吹氣時間設(shè)為；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2 1 ；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣。
全文摘要
一種OLED生產(chǎn)工藝中減少氮氣用量的方法，在OLED生產(chǎn)工藝的黃光區(qū)的生產(chǎn)階段，首先將涂膠前清洗機上的冷卻部使用的氮氣吹氣量設(shè)為30ml/s-50ml/s，吹氣時間設(shè)為35sec-45sec；其次在顯影部分用除濕除塵壓縮空氣和氮氣的混合氣體來實現(xiàn)顯影隔絕，其中除濕除塵壓縮空氣和氮氣質(zhì)量比為2∶1；然后在感光膠壓送和直板烘箱用除濕除塵壓縮空氣來隔離外界空氣；由于使用除濕除塵壓縮空氣來代替氮氣或直接取消部分工位的氮氣的使用，達到降低氮氣使用量的目的。
文檔編號H01L51/56GK102255055SQ20111017968
公開日2011年11月23日 申請日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月29日
發(fā)明者丁和平 申請人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司