專利名稱：壓印設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種壓印設(shè)備，該壓印設(shè)備被構(gòu)造為使壓模浸入到用于將半導(dǎo)體元件粘結(jié)到基板的樹脂材料中，而該樹脂材料被壓印到基板的表面上。
背景技術(shù)：
在基板上安裝特定的半導(dǎo)體元件或半導(dǎo)體芯片，隨后用封裝材料將安裝好的半導(dǎo)體元件或半導(dǎo)體芯片封裝起來。在基板上安裝特定的半導(dǎo)體元件或半導(dǎo)體芯片的處理可以包括將半導(dǎo)體元件粘結(jié)到基板的預(yù)定區(qū)域的處理。在半導(dǎo)體元件的尺寸很大的情況下，使用點(diǎn)膠機(jī)(dispenser) 將作為粘結(jié)材料的樹脂材料提供到位于基板的頂部的預(yù)定區(qū)域，隨后執(zhí)行將半導(dǎo)體元件粘結(jié)到基板的處理。另一方面，半導(dǎo)體元件的尺寸可以非常小。例如，在半導(dǎo)體元件是發(fā)光二極管 (LED)元件的情況下，難以利用標(biāo)準(zhǔn)的樹脂材料點(diǎn)膠工藝。在LED元件中，形成了利用半導(dǎo)體的p-n結(jié)結(jié)構(gòu)注入的少數(shù)載流子(電子或空穴)，并且通過少數(shù)載流子之間的再偶合(recoupling)而發(fā)射出光。與傳統(tǒng)的光源相比， LED元件尺寸小，使用壽命長(zhǎng)，并且將電能直接轉(zhuǎn)換為光能。結(jié)果是，LED元件表現(xiàn)出低功耗和高功效，因而LED元件已被逐漸地普及化。在使用LED元件作為光源的LED照明器件的情況中，LED元件粘結(jié)到基板上，隨后將LED元件封裝起來。亦即，LED元件是需要被粘結(jié)的半導(dǎo)體元件?？梢岳脤耗Ｔ跇渲牧现薪翰⒂脡耗渲牧蠅河〉交迳系姆椒?，將諸如LED元件的微尺度的半導(dǎo)體元件粘結(jié)到基板。然而，在使用壓模的傳統(tǒng)壓印處理中，壓模在樹脂材料提供單元和基板之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使得壓印效率非常的低。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種基本上克服了由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和不足所導(dǎo)致的一個(gè)或多個(gè)問題的壓印設(shè)備。本發(fā)明的目的是提供一種壓印設(shè)備，該壓印設(shè)備在半導(dǎo)體粘結(jié)處理中具有改進(jìn)的壓印效率并且具有可變的壓印條件。在隨后的說明書中將部分列出本發(fā)明的其它優(yōu)點(diǎn)、目的和特征，這些優(yōu)點(diǎn)、目的和特征的一部分經(jīng)隨后的檢驗(yàn)對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員是顯而易見的，或者可從本發(fā)明的實(shí)踐中獲知?？梢酝ㄟ^說明書文字部分和其權(quán)利要求以及所附附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和其它優(yōu)點(diǎn)。為了實(shí)現(xiàn)這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)，并根據(jù)本發(fā)明的意圖，如此處具體和廣義描述的， 一種壓印設(shè)備包括多個(gè)壓模，被構(gòu)造為浸蘸于樹脂材料提供單元中的樹脂材料中并將該樹脂材料壓印到基板上；多個(gè)壓模軸，用以支撐各個(gè)壓模，使得各個(gè)壓模的高度有所不同； 壓模旋轉(zhuǎn)裝置，用以同時(shí)旋轉(zhuǎn)壓模軸；和壓模高度調(diào)整裝置，用以在壓模的傳送處理、浸蘸處理或壓印處理中調(diào)整各個(gè)壓模的高度。壓模旋轉(zhuǎn)裝置可包括壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)、由壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸、和被構(gòu)造為由驅(qū)動(dòng)軸來旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，壓模軸以可置換的方式沿轉(zhuǎn)子的軸向方向插入到轉(zhuǎn)子中。另外，壓印設(shè)備還包括在提供在壓模軸或壓模高度調(diào)整裝置處的凸輪軸承、和提供在壓模高度調(diào)整裝置或壓模軸處的凸輪導(dǎo)件。凸輪軸承可以提供到各個(gè)壓模軸處，凸輪導(dǎo)件可以形成為環(huán)型形狀以圍繞壓模軸，凸輪導(dǎo)件設(shè)置在不同高度處，并且提供在各個(gè)壓模軸處的凸輪軸承可以在壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中沿著各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部和底部被引導(dǎo)。凸輪導(dǎo)件的每個(gè)的頂部和底部可以是平的。凸輪導(dǎo)件可以具有變化的厚度。壓模到達(dá)浸蘸區(qū)域時(shí)的所述凸輪導(dǎo)件的頂部高度或底部高度可以高于壓模到達(dá)壓印區(qū)域時(shí)的所述凸輪導(dǎo)件的頂部高度或底部高度，并且凸輪導(dǎo)件的頂部或底部是略微彎曲的。可以向壓模軸或凸輪軸承施加在一個(gè)方向上的力，以使提供在各個(gè)壓模軸處的凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸?？梢韵驂耗］S或凸輪施加來自彈簧的彈性力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸?？梢韵驂耗］S或凸輪施加來自永磁體或電磁體的電磁力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。可以向壓模軸或凸輪施加來自與壓模軸耦連的氣缸的氣動(dòng)力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。凸輪軸承可以包括設(shè)置在每個(gè)凸輪導(dǎo)件的頂部和底部的一對(duì)凸輪軸承，以同時(shí)按壓每個(gè)凸輪導(dǎo)件的頂部和底部。壓模高度調(diào)整裝置可以被固定至凸輪導(dǎo)件，以調(diào)整凸輪導(dǎo)件的高度。壓模高度調(diào)整裝置可以包括高度調(diào)整電機(jī)、由高度調(diào)整電機(jī)所驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠、 和固定至凸輪導(dǎo)件的滾珠絲杠螺母。另外，壓印設(shè)備還可以包括壓模臂，每個(gè)壓模臂具有連接到壓模軸中的相應(yīng)一個(gè)的下端的一端、和安裝有壓模中的相應(yīng)一個(gè)的另一端。壓模臂的每個(gè)的另一端在壓模旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)過程中可以具有大于壓模軸中的相應(yīng)一個(gè)的旋轉(zhuǎn)半徑。壓模的每個(gè)可以被可拆卸地安裝到壓模臂中的相應(yīng)一個(gè)的另一端。另外，壓印設(shè)備還可以包括圖像檢測(cè)單元，以捕獲和檢測(cè)基板的上面已由壓模執(zhí)行了壓印的壓印區(qū)域。圖像檢測(cè)單元可以被豎直地安裝在安裝于各個(gè)壓模臂的壓模的上方。圖像檢測(cè)單元可以在壓模中的特定一個(gè)的用以在執(zhí)行壓印處理后執(zhí)行浸蘸處理的旋轉(zhuǎn)過程中，捕獲基板的上面已執(zhí)行了壓印處理的壓印區(qū)域。壓模高度調(diào)整裝置可以在壓模旋轉(zhuǎn)裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中調(diào)整各個(gè)壓模的高度。壓模高度調(diào)整裝置可以在各個(gè)壓模被傳送至浸蘸區(qū)域或壓印區(qū)域上方時(shí)調(diào)整各個(gè)壓模的高度，以使各個(gè)壓模執(zhí)行浸蘸處理或壓印處理。
由壓模高度調(diào)整裝置所調(diào)整的各個(gè)壓模的高度可以根據(jù)各個(gè)壓模的位置而不同。壓模高度調(diào)整裝置可以調(diào)整各個(gè)壓模的高度，以使在各個(gè)壓模的壓印處理中，在各個(gè)壓模按壓基板的狀態(tài)下或在壓模未與基板接觸的狀態(tài)下，只將樹脂材料壓印到要在其上執(zhí)行壓印處理的基板上。壓模的每個(gè)可以具有壓印銷，該壓印銷被彈性支撐。壓模高度調(diào)整裝置可以同時(shí)調(diào)整這些壓模的高度。壓模高度調(diào)整裝置可以包括多個(gè)壓模高度調(diào)整裝置，以獨(dú)立地調(diào)整這些壓模的高度。另外，壓印設(shè)備還可以包括提供在壓模軸處的凸輪軸承和提供在壓模高度調(diào)整裝置處的凸輪導(dǎo)件，其中凸輪軸承可以在壓模旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)過程中被各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件引導(dǎo)，壓模高度調(diào)整裝置固定至凸輪導(dǎo)件。凸輪導(dǎo)件可以包括上凸輪導(dǎo)件和下凸輪導(dǎo)件，上凸輪導(dǎo)件和下凸輪導(dǎo)件彼此分開預(yù)定的距離以在其間限定導(dǎo)孔，凸輪軸承被插入到該導(dǎo)孔中以使凸輪軸承在導(dǎo)孔中被引導(dǎo)，壓模高度調(diào)整裝置可以既固定上凸輪導(dǎo)件也固定下凸輪導(dǎo)件。在本發(fā)明的另一方面，一種壓印設(shè)備包括一對(duì)壓模，被構(gòu)造為將樹脂材料壓印到基板上；一對(duì)壓模軸，用以支撐各個(gè)壓模，以使各個(gè)壓模的高度有所不同，在壓模軸的每個(gè)的外側(cè)提供有凸輪軸承；轉(zhuǎn)子，被構(gòu)造為在壓模軸被轉(zhuǎn)子支撐的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)；和一對(duì)凸輪導(dǎo)件，被構(gòu)造為在壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中引導(dǎo)各個(gè)凸輪軸承，以使各個(gè)壓模軸的凸輪軸承的高度有所不同，凸輪導(dǎo)件被設(shè)置在不同的高度處。另外，壓印設(shè)備還可以包括一對(duì)壓模高度調(diào)整裝置，用以獨(dú)立地調(diào)整各個(gè)壓模的尚度。壓模高度調(diào)整裝置可以調(diào)整各個(gè)凸輪導(dǎo)件的高度。在本發(fā)明的再一方面，一種壓印設(shè)備包括一對(duì)壓模，被構(gòu)造為以半圓的形式反復(fù)旋轉(zhuǎn)，以便往復(fù)運(yùn)動(dòng)于樹脂材料提供單元的浸蘸區(qū)域和基板的壓印區(qū)域之間；壓模高度調(diào)整裝置，被構(gòu)造為在各個(gè)壓模被傳送到浸蘸區(qū)域和壓印區(qū)域后將各個(gè)壓膜上下移動(dòng)，以使各個(gè)壓模在樹脂材料中浸蘸或?qū)渲牧蠅河〉交迳?；和圖像檢測(cè)單元，用以在壓模中的一個(gè)從壓印區(qū)域被傳送到浸蘸區(qū)域之時(shí)，捕獲和檢測(cè)基板的其上面已執(zhí)行了壓印處理的壓印區(qū)域。應(yīng)理解本發(fā)明的前述概括性描述和下面的具體描述都是示意性和解釋性的，意在提供如權(quán)利要求所保護(hù)的本發(fā)明的進(jìn)一步解釋。


所包含的用以提供本發(fā)明的進(jìn)一步理解并引入組成本申請(qǐng)的一部分的附解了本發(fā)明的實(shí)施例，并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中圖1是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的前視圖；圖2是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的凸輪導(dǎo)件的示意圖；圖3是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的第一和第二壓模被壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的示意圖；圖4是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的第一和第二壓模的浸蘸或壓印處理的示意圖；圖5是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的第一和第二壓模的另一浸蘸或壓印處理的示意圖；圖6是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的第一和第二壓模的浸蘸或壓印處理完成的狀態(tài)的示意圖；圖7是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的第一和第二壓模被壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的示意圖；圖8是表示安裝壓模到根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的壓模臂的處理的示意圖；圖9是表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的壓印設(shè)備的示意圖；圖10是表示根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的壓印設(shè)備的示意圖；圖11是表示意圖10中所示的根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的主要部分的放大透視圖；圖12是圖10中所示的根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的放大截面圖；圖13是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的芯片接合器的壓印設(shè)備的容器上下移動(dòng)單元的放大前視圖；圖14是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)的放大截面圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將具體參考本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，附圖中示出了實(shí)施例的一些例子。然而，本發(fā)明并不限制于圖示的實(shí)施例，而是可以按照其它形式實(shí)現(xiàn)。已給出了本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的具體描述，以使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)和實(shí)踐本發(fā)明。在可能的情況下，在所有附圖中使用相同的參考數(shù)字表示相同或相似的部件。圖1是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備(stamping apparatus) 1000的前視圖。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備包括多個(gè)壓模(stamp)，被構(gòu)造為浸蘸于樹脂材料提供單元中的樹脂材料中并將樹脂材料壓印到基板上；多個(gè)壓模軸，被構(gòu)造為支撐各自對(duì)應(yīng)的壓模，以使各個(gè)壓模的高度能夠調(diào)整；壓模旋轉(zhuǎn)裝置，用以同時(shí)地旋轉(zhuǎn)壓模軸；和壓模高度調(diào)整裝置，用以在各個(gè)壓模的傳送、浸蘸或壓印處理中調(diào)整各個(gè)壓模的高度。可以提供多個(gè)壓模高度調(diào)整裝置(例如，圖1至9所示的實(shí)施例)，以在各個(gè)壓模的傳送、浸蘸和壓印處理中獨(dú)立地調(diào)整各個(gè)壓模的高度?？蛇x地，可以提供單個(gè)壓模高度調(diào)整裝置(例如，圖10至13所示的實(shí)施例)，以在各個(gè)壓模的傳送、浸蘸和壓印處理中同時(shí)地調(diào)整各個(gè)壓模的高度。每個(gè)壓模100以半圓的形式反復(fù)旋轉(zhuǎn)，以在樹脂材料提供單元的浸蘸區(qū)域和基板的壓印區(qū)域之間往復(fù)運(yùn)動(dòng)。壓模高度調(diào)整裝置可以在傳送各個(gè)壓模到浸蘸區(qū)域和壓印區(qū)域之后，使各個(gè)壓模上下移動(dòng)，以使各個(gè)壓模浸蘸于樹脂材料中或者將樹脂材料壓印到基板上。在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000包括多個(gè)壓模100。每個(gè)壓模100在樹脂材料提供單元 600的樹脂材料容器680中的樹脂材料中，并將該樹脂材料壓印到基板的預(yù)定壓印區(qū)域上， 該樹脂材料用作將諸如發(fā)光二極管(LED)元件的半導(dǎo)體元件粘結(jié)到基板的粘結(jié)劑。樹脂材料容器680被旋轉(zhuǎn)軸650旋轉(zhuǎn)?？梢酝ㄟ^刀片670使樹脂材料容器680的表面平坦化。樹脂材料容器680的底部680b可以是平的。
在本實(shí)施例中，可以提供多個(gè)壓印設(shè)備。各個(gè)壓印設(shè)備可以被構(gòu)造成旋轉(zhuǎn)的。在本實(shí)施例中，如圖1所示，壓模的數(shù)量為兩個(gè)。然而，壓模的數(shù)量并不限制為兩個(gè)。例如，可以提供多數(shù)個(gè)壓模。為了敘述方便，將參照示出兩個(gè)壓模的圖1具體描述壓印設(shè)備。第一壓模IOOx和第二壓模IOOy分別固定到用以支撐第一壓模IOOx和第二壓模 IOOy的第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的下端。第一壓模IOOx和第二壓模IOOy分別固定到第一壓模軸200x和第二壓模軸200y 的下端。第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可以分別可拆卸地安裝到向下彎曲的壓模臂130x 和130y上。第一壓模IOOx和第二壓模IOOy被提供有處于其下端的壓印銷Illx和llly，以執(zhí)行浸蘸和壓印處理。壓印銷Illx和Illy可以通過彈性元件(未示出)以彈性支撐的狀態(tài)安裝到第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的主體上。亦即，壓印銷Illx和Illy可以提供有彈性元件(未示出)，從而可以在壓印銷 Illx和Illy按壓基板S時(shí)，防止將要在其上進(jìn)行壓印處理的基板S或壓印銷Illx和Illy 受到損壞。安裝有第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的壓模臂130x和130y可以向下彎曲。壓模臂130x和130y向下彎曲的原因在于，需要這樣構(gòu)造第一壓模IOOx和第二壓模100y， 以使得在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一壓模IOOx和第二壓模IOOy具有大于第一壓模軸 200x和第二壓模軸200y的旋轉(zhuǎn)半徑，在下文中將對(duì)此進(jìn)行說明。將壓模臂130x和130y構(gòu)造為在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)時(shí)具有大于第一壓模軸 200x和第二壓模軸200y的旋轉(zhuǎn)半徑的原因在于，需要相對(duì)于豎直方向設(shè)定將在下文中說明的圖像檢測(cè)單元(vision inspection unit)900的捕獲角度。在下文中對(duì)此進(jìn)行具體說明?？梢詫?duì)于第一壓模IOOx和第二壓模IOOy單獨(dú)地提供分別使第一壓模IOOx和第二壓模IOOy旋轉(zhuǎn)的第一壓模軸200x和第二壓模軸200y。在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000包括第一和第二壓模旋轉(zhuǎn)裝置，以同時(shí)旋轉(zhuǎn)這些壓模軸。第一和第二壓模旋轉(zhuǎn)裝置可以包括壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300、由壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸270、和被構(gòu)造為由驅(qū)動(dòng)軸270旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子250。第一壓模軸200x和第二壓模軸 200y其軸向方向以可置換的方式插入到轉(zhuǎn)子250中?？梢元?dú)立地提供壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300，以分別旋轉(zhuǎn)第一壓模IOOx和第二壓模100y。 在圖1所示的實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000使用單個(gè)電機(jī)。亦即，由單個(gè)壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300同時(shí)旋轉(zhuǎn)第一壓模IOOx和第二壓模100y。壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)單個(gè)驅(qū)動(dòng)軸270，而第一壓模IOOx和第二壓模IOOy被驅(qū)動(dòng)軸270旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備可以包括轉(zhuǎn)子250，第一壓模軸200x和第二壓模軸 200y沿其軸向方向以可置換的方式插入到轉(zhuǎn)子250中。由壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸270耦接到轉(zhuǎn)子250的一端。第一壓模軸200x 和第二壓模軸200y安裝到轉(zhuǎn)子250的下端，以使第一壓模軸200x和第二壓模軸200y可以在豎直方向上被置換。第一壓模軸200x和第二壓模軸200y可由驅(qū)動(dòng)軸270轉(zhuǎn)動(dòng)；但是，在第一壓模軸 200x和第二壓模軸200y被設(shè)置在轉(zhuǎn)子250中的狀態(tài)下，需要第一壓模軸200x和第二壓模軸200y不發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，出于下文中將要說明的原因，需要沿著豎直方向置換第一壓模軸200x和第二壓模軸200y。在下文中，當(dāng)描述到壓模高度調(diào)整裝置時(shí)，將具體說明第一壓模軸200x和第二壓模軸200y沿其軸向方向以可置換的方式安裝在轉(zhuǎn)子250中的原因。壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300的驅(qū)動(dòng)軸270被安裝到轉(zhuǎn)子250的旋轉(zhuǎn)中心；然而，分別旋轉(zhuǎn)第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的第一壓模軸200x和第二壓模軸200y可以安裝到轉(zhuǎn)子250 的偏心的位置而非旋轉(zhuǎn)中心。亦即，第一壓模軸200x和第二壓模軸200y安裝在轉(zhuǎn)子250 的使第一壓模軸200x和第二壓模軸200y繞轉(zhuǎn)子250的旋轉(zhuǎn)中心轉(zhuǎn)動(dòng)的位置上。第一壓模軸200x和第二壓模軸200y可以設(shè)置在沿截面方向的轉(zhuǎn)子250的直徑上。第一壓模軸200x和第二壓模軸200y可以安裝在轉(zhuǎn)子250上，以使第一壓模軸200x和第二壓模軸200y與轉(zhuǎn)子250的中心間隔開相同的距離，并且關(guān)于驅(qū)動(dòng)軸270對(duì)稱地設(shè)置。亦即，圖1所示的第一和第二兩個(gè)壓模軸200x和200y可以安裝在轉(zhuǎn)子250上，以使第一壓模軸200x和第二壓模軸200y與驅(qū)動(dòng)軸270間隔開相同的距離，并且在截面中關(guān)于驅(qū)動(dòng)軸270對(duì)稱地設(shè)置。壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子250，以使被轉(zhuǎn)子250所固持的第一壓模軸200x和第二壓模軸200y可以繞驅(qū)動(dòng)軸270旋轉(zhuǎn)。可以在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300和驅(qū)動(dòng)軸270之間提供減速器以調(diào)整速率比。壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300起到改變第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的位置的作用。通過經(jīng)由壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300來旋轉(zhuǎn)固定有第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的方法，實(shí)現(xiàn)了將第一壓模IOOx和第二壓模IOOy在樹脂材料提供單元600中的樹脂材料中浸蘸并將粘附了樹脂材料的第一壓模IOOx和第二壓模 IOOy傳送到將要在其上進(jìn)行壓印處理的基板S的壓印區(qū)域的方法、以及將已在基板的壓印區(qū)域完成了壓印處理的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy傳送至樹脂材料提供單元600的方法。亦即，在提供有第一和第二兩個(gè)壓模IOOx和IOOy的情況下，在轉(zhuǎn)子250旋轉(zhuǎn)180 度時(shí)，第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可以在樹脂材料提供單元600和基板之間轉(zhuǎn)換它們的位置，并且可以被傳送。從中提供樹脂材料的樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的高度可以與其上將要執(zhí)行壓印處理的基板S的高度不同。當(dāng)基板S的尺寸很大時(shí)，基板和樹脂材料容器 680被移動(dòng)至兩者之間重疊的位置，結(jié)果是基板和樹脂材料容器680可能相互干涉。為了避免這種干涉，可以調(diào)整基板S的高度和樹脂材料容器680的高度，使得基板S的高度與樹脂材料容器680的高度不同。因此，樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的高度調(diào)整為與基板S的高度不同，從而防止基板S和樹脂材料容器680之間的干涉。在樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的高度與基板S的高度不同的情況下，需要在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的旋轉(zhuǎn)過程中補(bǔ)償樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680和基板S之間的高度差。因此，在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000可以包括凸輪導(dǎo)件500，以補(bǔ)償樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680和基板S之間的高度差。另一方面，可以包括具有均勻高度或厚度的扁平型凸輪導(dǎo)件。這種情況中，只能利用高度調(diào)整裝置來調(diào)整每個(gè)壓模的高度。在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000的凸輪導(dǎo)件500根據(jù)各個(gè)壓模軸的旋轉(zhuǎn)而改變第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度。在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000可以包括兩個(gè)凸輪導(dǎo)件。在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300的旋轉(zhuǎn)過程中，上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001分別上下移動(dòng)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y，以分別改變固定有第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度。在根據(jù)圖1所示的實(shí)施例的壓印設(shè)備中，樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器 680的高度高于其上將要執(zhí)行壓印處理的基板S的高度。因而，當(dāng)?shù)谝粔耗OOx旋轉(zhuǎn)使得第一壓模IOOx從基板S傳送至樹脂材料容器680時(shí)，需要在第一壓模IOOx旋轉(zhuǎn)時(shí)增加第一壓模IOOx的高度。另一方面，需要降低第二壓模IOOy的高度。圖2是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的凸輪導(dǎo)件500的示意圖。凸輪導(dǎo)件500被構(gòu)造成具有形成在其中心的開口 510的環(huán)型形狀。如圖2所示，凸輪導(dǎo)件500的頂部520可以是平的，而在凸輪導(dǎo)件500的底部530 該凸輪導(dǎo)件500的高度可以有所不同。另一方面，盡管附圖中未示出，但在凸輪導(dǎo)件的頂部處的該凸輪導(dǎo)件的高度可以有所不同，而凸輪導(dǎo)件的底部可以是平的?？蛇x地，凸輪導(dǎo)件的頂部和底部可以都是平的。另外，當(dāng)相應(yīng)的壓模到達(dá)浸蘸區(qū)域時(shí)的凸輪導(dǎo)件的底部高度可以高于當(dāng)相應(yīng)的壓模到達(dá)壓印區(qū)域時(shí)的凸輪導(dǎo)件的底部高度，并且凸輪導(dǎo)件的底部可以是稍微地彎曲的。如上文所述，凸輪導(dǎo)件的頂部和/或底部可以是平的，結(jié)果是在凸輪導(dǎo)件的頂部和/或底部沒有高度變化。這種情況下，凸輪導(dǎo)件在壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中并不提供壓模的高度調(diào)整功能。替代地，可以由高度調(diào)整裝置來調(diào)整各個(gè)壓模的高度。這是因?yàn)椋鐖D1所示，樹脂材料容器的高度比基板的高度高。樹脂材料容器的高度比基板的高度高的原因在于，需要在基板的尺寸增大的情況下防止樹脂材料容器和基板之間的干涉。然而，上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001可以具有相同的底部形狀。這是因?yàn)檫@些壓模需要在這些壓模的傳送過程中具有對(duì)稱的壓模軌跡。另外，如圖1所示，凸輪軸承230x和230y被提供在第一壓模軸200x和第二壓模軸 200y的外側(cè)，以使在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的旋轉(zhuǎn)過程中，沿著上凸輪導(dǎo)件 500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部引導(dǎo)在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的外側(cè)提供的凸輪軸承230x和230y，以改變第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的高度，并且因此改變分別固定到第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的下端的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy 的高度。在圖1所示的實(shí)施例中，在各個(gè)壓模軸處提供凸輪軸承，而凸輪導(dǎo)件被固定到高度調(diào)整裝置?？蛇x地，在包括多個(gè)壓模和多個(gè)壓模軸的壓印設(shè)備中，可以在壓模軸或高度調(diào)整裝置處提供凸輪軸承，而可以在高度調(diào)整裝置或壓模軸處提供凸輪導(dǎo)件。在本實(shí)施例中，為了便于描述，在各個(gè)壓模軸處提供凸輪軸承，每個(gè)凸輪導(dǎo)件形成為環(huán)型形狀，以圍繞壓模軸中的相應(yīng)的一個(gè)，凸輪軸承設(shè)置在不同的高度處，在壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中，沿著各個(gè)凸輪導(dǎo)件的底部引導(dǎo)在各個(gè)壓模軸處提供的凸輪軸承?？蛇x地，可以沿著各個(gè)凸輪導(dǎo)件的頂部引導(dǎo)凸輪軸承，或可以在凸輪導(dǎo)件的頂部和底部提供凸輪軸承，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部和底部同時(shí)緊密接觸。在這種情況中，需要改變施力的方向。需要向第一壓模軸200x和第二壓模軸200y施加均勻的向上的力，以使在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，沿著上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部引導(dǎo)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y。需要沿著各個(gè)凸輪導(dǎo)件的頂部或底部引導(dǎo)凸輪軸承，以便利用頂部或底部的高度或厚度有變化的凸輪導(dǎo)件來改變壓模的高度。亦即，需要提供均勻的力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的表面緊密接觸。特別地，可以給壓模軸或凸輪施加來自彈簧的彈性力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。另外，可以給壓模軸或凸輪施加來自永磁體或電磁體的電磁力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。另外，可以給壓模軸或凸輪施加來自耦連到壓模軸的氣缸的氣動(dòng)力，以使凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。在本實(shí)施例中，一對(duì)凸輪被提供在各凸輪導(dǎo)件的頂部和底部，以同時(shí)按壓各凸輪導(dǎo)件的頂部和底部。在圖1所示的實(shí)施例中，向壓模軸施加來自彈簧的彈性力，以使在壓模軸處提供的凸輪軸承被設(shè)置為與凸輪導(dǎo)件的底部緊密接觸。需要向第一壓模軸200x和第二壓模軸200y施加均勻的向上的力，以使在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，沿著上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部引導(dǎo)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y。因此，可以向壓模軸施加來自彈簧的彈性力，以使在各自對(duì)應(yīng)的壓模軸處提供的凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的底部緊密接觸。因此，可以分別在具有固定位置的支撐元件800與第一和第二壓模軸200x和200y 之間提供作為彈性元件的彈簧810x和810y。支撐元件800支撐彈簧SlOx的一端和彈簧810y的一端。在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的預(yù)定位置處提供的凸緣210x和210y分別支撐彈簧SlOx的另一端和彈簧810y的另一端。因此，在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，彈性排斥力沿著與第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的向下運(yùn)動(dòng)方向相反的方向施加給第一壓模軸 200x和第二壓模軸200y。結(jié)果是，可以沿著上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部引導(dǎo)提供在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的外側(cè)的凸輪軸承230x和230y。第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的下端被分別固定到安裝有第一壓模IOOx 和第二壓模IOOy的壓模臂130x和130y上。第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的上端被安裝到轉(zhuǎn)子250，以使第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的上端可以上下移動(dòng)。由于在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的旋轉(zhuǎn)過程中，提供在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y處的凸輪軸承沿著固定于預(yù)定高度的上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部被引導(dǎo)，因而可以在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300的轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，與凸輪導(dǎo)件500的底部之間的高度差相對(duì)應(yīng)地上下移動(dòng)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y。以這種方式，第一壓模IOOx和第二壓模IOOy往復(fù)運(yùn)動(dòng)于樹脂材料提供單元600 的樹脂材料容器680的浸蘸區(qū)域和基板S的壓印區(qū)域之間，同時(shí)補(bǔ)償了樹脂材料提供單元 600的樹脂材料容器和基板S之間的高度差。將第一壓模IOOx和第二壓模IOOy傳送至樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器和基板S的處理是這樣處理，其在第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的壓印處理和浸蘸處理完成之后，改變第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的位置，以便反復(fù)地執(zhí)行第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的壓印處理和浸蘸處理。在第一壓模IOOx和第二壓模IOOy傳送至浸蘸區(qū)域和壓印區(qū)域之后，需要進(jìn)一步地向下移動(dòng)第一壓模IOOx和第二壓模IOOy —預(yù)定的高度，以便執(zhí)行壓印操作或浸蘸操作。因此，在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000可以包括壓模高度調(diào)整裝置，以調(diào)整第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度?？梢栽诘谝粔耗OOx和第二壓模IOOy處單獨(dú)地提供壓模高度調(diào)整裝置，以便在壓印處理或浸蘸處理過程中，單獨(dú)地調(diào)整第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度。在參照?qǐng)D2所描述的凸輪導(dǎo)件的厚度是均勻的情況中，壓模高度調(diào)整裝置可以在浸蘸處理過程中或壓印處理過程中，甚至是在壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中單獨(dú)地調(diào)整壓模的高度，以改變壓模的位置。因此，經(jīng)由高度調(diào)整裝置即使在旋轉(zhuǎn)過程中也能夠補(bǔ)償高度差，以基于凸輪導(dǎo)件的形狀傳送壓模。在圖1所示的實(shí)施例中，可以根據(jù)壓模的位置改變壓模高度調(diào)整裝置所調(diào)整的壓模高度。例如，可以將在浸蘸處理過程中的壓模的向下運(yùn)動(dòng)高度設(shè)定為大于在壓印處理過程中的壓模的向下運(yùn)動(dòng)高度?？梢詥为?dú)地提供壓模高度調(diào)整裝置，以基于各個(gè)壓模要被傳送到的位置獨(dú)立地進(jìn)一步調(diào)整壓模的高度。亦即，在圖1所示的實(shí)施例中，第一和第二壓模IOOx和IOOy的數(shù)量為兩個(gè)，因此提供兩個(gè)壓模高度調(diào)整裝置以調(diào)整第一壓模IOOx和第二壓模100y。在本實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000的壓模高度調(diào)整裝置并不直接調(diào)整第一壓模IOOx 和第二壓模IOOy的高度，而是調(diào)整上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的高度，上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001分別改變第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度。如上文所述，由于上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001改變了第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的凸輪軸承的高度，其中所述凸輪軸承基于上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部之間的高度差沿著上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的底部轉(zhuǎn)動(dòng)，因此能夠調(diào)整第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的高度，其中該第一壓模軸200x和第二壓模軸 200y被提供有由上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001所固持的凸輪軸承，以便能夠通過調(diào)整上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的高度來調(diào)整凸輪軸承的高度。結(jié)果是，能夠分別調(diào)整固定至第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度。
因此，壓模高度調(diào)整裝置可以分別包括高度調(diào)整電機(jī)400a和400b、分別由高度調(diào)整電機(jī)400a和400b驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠440a和440b、以及固定至凸輪導(dǎo)件500h和5001以便調(diào)整上凸輪導(dǎo)件500h和下凸輪導(dǎo)件5001的高度的滾珠絲杠螺母(未示出)。各個(gè)高度調(diào)整電機(jī)400a和400b可以通過減速器410a和410b以及滾珠螺旋起重器430a和430b驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠440a和440b。各個(gè)滾珠絲杠440a和440b可以在其中安裝有滾珠絲杠螺母的調(diào)整單元460a和460b中安裝。各個(gè)調(diào)整單元460a和460b被固定至在不同高度處提供的凸輪導(dǎo)件500h和5001。因此，在不同高度處提供的凸輪導(dǎo)件500h和5001的高度可以隨著高度調(diào)整電機(jī) 400a和400b的旋轉(zhuǎn)而變化，從而可以精密地(minutely)調(diào)整各個(gè)壓模的高度。下文中，將參考圖3至8具體說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的操作。圖3是表示通過壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300使根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的示意圖。當(dāng)旋轉(zhuǎn)壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300以旋轉(zhuǎn)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y時(shí)，安裝到第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可以被傳送至樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的浸蘸區(qū)域和基板S的壓印區(qū)域。因此，被旋轉(zhuǎn)且傳送至樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的浸蘸區(qū)域的第一壓模IOOx被浸蘸于樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料中，而傳送到基板S的壓印區(qū)域的第二壓模IOOy將樹脂材料壓印到基板上。由于樹脂材料已在壓印處理過程中耗費(fèi)，被旋轉(zhuǎn)且傳送至樹脂材料提供單元600 的樹脂材料容器680的浸蘸區(qū)域的第一壓模IOOx的壓印銷Illx上沒有粘附樹脂材料。在傳送至基板S的壓印區(qū)域的第二壓模IOOy的壓印銷Illy上粘附有樹脂材料。當(dāng)旋轉(zhuǎn)壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300以旋轉(zhuǎn)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y時(shí)，在安裝至第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy被傳送至樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的浸蘸區(qū)域和基板S的壓印區(qū)域的同時(shí)，第一壓模 IOOx和第二壓模IOOy的高度被各自對(duì)應(yīng)的壓模高度調(diào)整裝置所提高。亦即，壓印處理和浸蘸處理完成后，在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的同時(shí)，各個(gè)壓模高度調(diào)整裝置可以將第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度調(diào)整至防止干涉發(fā)生的高度。在第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度被各自對(duì)應(yīng)的壓模高度調(diào)整裝置調(diào)整之后，可以使壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)。圖4是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy 的浸蘸或壓印處理的示意圖。當(dāng)壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)以旋轉(zhuǎn)第一壓模軸200x和第二壓模軸200y時(shí)，安裝到第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可以被傳送至樹脂材料提供單元600的樹脂材料容器680的浸蘸區(qū)域和基板S的壓印區(qū)域，而接下來第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可以執(zhí)行浸蘸處理和壓印處理。如圖4所示，當(dāng)?shù)谝粔耗OOx和第二壓模IOOy分別到達(dá)浸蘸區(qū)域和壓印區(qū)域時(shí)， 第一壓模IOOx和第二壓模IOOy向下移動(dòng)并執(zhí)行浸蘸處理和壓印處理。因此，組成壓模高度調(diào)整裝置的高度調(diào)整電機(jī)沿著預(yù)定方向旋轉(zhuǎn)，以將第一壓模 IOOx和第二壓模IOOy的高度調(diào)整至浸蘸高度和壓印高度，其中所述壓模高度調(diào)整裝置用以調(diào)整第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度。盡管第一壓模IOOx的第一壓印銷Illx與樹脂材料容器680中所容納的樹脂的表面輕微地接觸，然而第一壓模IOOx的第一壓印銷Illx可以浸蘸于樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料中。然而，在壓印處理中，第二壓模IOOy的第二壓印銷Illy需要與基板S 充分地接觸達(dá)到第二壓模IOOy的第二壓印銷Illy按壓基板S的程度。亦即，考慮到樹脂材料的表面張力的粘度，第二壓模IOOy的第二壓印銷Illy需要按壓基板S —段預(yù)定的時(shí)間，以便用樹脂材料壓印基板S的預(yù)定區(qū)域，以使樹脂材料被充分地提供到基板S的壓印區(qū)域。因此，第一壓模IOOx和第二壓模IOOy浸蘸于樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料中的時(shí)間可以與第一壓模IOOx和第二壓模IOOy被設(shè)置為與基板S的壓印區(qū)域相接觸的時(shí)間不同。當(dāng)然，如圖4所示，壓模高度調(diào)整裝置可以被構(gòu)造為在壓模的壓印處理過程中，按壓或不按壓基板S。另外，壓模高度調(diào)整裝置可以調(diào)整壓模的高度，以使在壓模未與基板接觸的狀態(tài)下，只有樹脂材料被壓印到基板上。圖5是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy 的另一浸蘸或壓印處理的示意圖。舉例來說，如果浸蘸時(shí)間比壓印時(shí)間短，則已完成浸蘸處理的第一壓模IOOx的壓印銷Illx可以與樹脂材料的表面分離，結(jié)果是，第一壓模IOOx的壓印銷Illx可以比第二壓模IOOy的壓印銷Illy更早地向上移動(dòng)。如果浸蘸時(shí)間比預(yù)定時(shí)間長(zhǎng)，則不必要地大量的樹脂材料可能會(huì)粘附到第一壓模 IOOx的壓印銷Illx上，結(jié)果是半導(dǎo)體元件可能會(huì)以有缺陷狀態(tài)而粘結(jié)到基板上。因此，通過高度調(diào)整電機(jī)400a的旋轉(zhuǎn)來調(diào)整第一壓模IOOx的凸輪導(dǎo)件的高度，可以使浸蘸于樹脂材料中的第一壓模IOOx向上移動(dòng)。樹脂材料粘附到向上移動(dòng)的第一壓模 IOOx的壓印銷Illx的下端。在壓印處理過程中，第二壓模IOOy可以接觸或按壓基板S的壓印區(qū)域一段壓印時(shí)間。因此，停止了用以調(diào)整第二壓模IOOy的凸輪導(dǎo)件的高度的高度調(diào)整電機(jī)400b的旋轉(zhuǎn)， 以使第二壓模IOOy按壓基板。在壓印處理過程中，如果第二壓模IOOy接觸或按壓基板S的壓印區(qū)域一段壓印時(shí)間，那么粘附到第二壓模IOOy的壓印銷Illy的樹脂材料被緩慢地施加到基板上。根據(jù)樹脂材料的粘度、表面張力或重力，樹脂材料被緩慢地施加到基板上。圖6是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy 的浸蘸或壓印處理完成的狀態(tài)的示意圖。壓印處理完成后，通過高度調(diào)整電機(jī)400b的旋轉(zhuǎn)來調(diào)整第二壓模IOOy的凸輪導(dǎo)件的高度，可以使第二壓模IOOy向上移動(dòng)。如果完成了壓印處理的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的高度被升高，則通過壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300的旋轉(zhuǎn)來改變第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的位置。圖7是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的第一壓模IOOx和第二壓模IOOy 被壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)的示意圖。在浸蘸處理和壓印處理完成后，如圖5和6所示，構(gòu)成各個(gè)壓模高度調(diào)整裝置的高度調(diào)整電機(jī)旋轉(zhuǎn)，以將第一壓模IOOx和第二壓模IOOy與樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料的表面或基板S的頂部分離。當(dāng)?shù)谝粔耗OOx和第二壓模IOOy與樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料的表面或基板S的頂部分離時(shí)，壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)，以使第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可以執(zhí)行后續(xù)的處理。這種情況下，在固定有第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的轉(zhuǎn)子250旋轉(zhuǎn)時(shí)，在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的表面提供的凸輪軸承230x和230y沿著各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件500h和5001的底部被引導(dǎo)，以調(diào)整第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的高度，從而補(bǔ)償樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料的表面和基板S的頂部之間的高度差。接下來，第一壓模IOOx和第二壓模IOOy可傳送至將要執(zhí)行后續(xù)處理的位置。當(dāng)提供在第一壓模軸200x和第二壓模軸200y的外側(cè)的凸輪軸承230x和230y沿著各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件500h和5001的底部被引導(dǎo)的同時(shí)，樹脂材料提供單元600和基板 S之間的高度差可以被補(bǔ)償。由于基于凸輪導(dǎo)件500h和5001的底部之間的高度差補(bǔ)償了樹脂材料提供單元 600和基板S之間的高度差，因而在第一壓模IOOx和第二壓模IOOy的傳送過程中，可以不運(yùn)轉(zhuǎn)用以調(diào)整各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件500h和5001的高度的高度調(diào)整電機(jī)400a和400b。然而，在凸輪導(dǎo)件500h和5001的底部之間的高度差不足以補(bǔ)償樹脂材料提供單元600和基板S之間的高度差的情況下，可以使用高度調(diào)整電機(jī)400a和400b來調(diào)整各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件500h和5001的高度，即使是在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中。圖8是表示將壓模100安裝到根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備1000的壓模臂130 的處理的示意圖。壓模100可以通過壓模臂130與壓模軸200連接。壓模臂130的上端與壓模軸200的下端連接。壓模100安裝到壓模臂130的下端?？梢栽趬耗?00的下端提供用以壓印樹脂材料的壓印銷111。如上文所述，可以通過彈性元件將壓印銷111安裝到壓模100的主體上。壓印銷111可以是可置換的?？梢栽趬耗?00的主體的外側(cè)提供扣槽110g?？鄄跧OOg是其中可以卡入由壓模臂130的臂彈簧133所彈性支撐的扣凸135的部分。臂彈簧133可以將扣凸135朝向壓模100的扣槽IlOg彈性支撐。當(dāng)壓模100被安裝在形成于壓模臂130的下端的安裝孔131h中時(shí)，來自臂彈簧133的彈性力被施加給滑動(dòng)地安裝于壓模臂130的導(dǎo)槽131g中的扣凸135。結(jié)果是，扣凸135卡扣在壓模100的扣槽IlOg中，由此甚至是在壓模100的旋轉(zhuǎn)或上下運(yùn)動(dòng)過程中，防止了壓模100與壓模臂130 輕易地分離。如果需要更換壓模100，可以使扣凸135從壓模100的扣槽IlOg中退出，由此可以容易地實(shí)現(xiàn)壓模100和壓模臂130之間的分離?？弁?35的外部形狀對(duì)應(yīng)于扣槽IlOg的內(nèi)部形狀，以使扣凸135適當(dāng)?shù)貒Ш显诳鄄跧lOg中。壓模臂130的上端與壓模軸200耦接。壓模臂130的下端以傾斜的狀態(tài)向下延伸。 壓模100被安裝到壓模臂130的下端。在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)過程中，壓模臂130的下端可以具有大于壓模軸200的旋轉(zhuǎn)半徑。
亦即，如上文中參考圖1所述，壓模軸200繞著驅(qū)動(dòng)軸270旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子250，同時(shí)具有預(yù)定的旋轉(zhuǎn)半徑。在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300的旋轉(zhuǎn)過程中，壓模臂130延伸以致具有大于壓模軸200的旋轉(zhuǎn)半徑。壓模臂130在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300旋轉(zhuǎn)時(shí)延伸以致具有大于壓模軸200的旋轉(zhuǎn)半徑的原因在于，圖像檢測(cè)單元900需要在豎直方向上捕獲的壓印區(qū)域以及需要檢測(cè)基板S的壓印區(qū)域的被壓印狀態(tài)。亦即，在圖1至8所示的實(shí)施例中，壓印設(shè)備1000包括圖像檢測(cè)單元900。壓印設(shè)備1000可以進(jìn)一步包括圖像檢測(cè)單元，以捕獲和檢測(cè)基板的由壓模已在其上壓印了樹脂材料的壓印區(qū)域。圖像檢測(cè)單元900被提供在基板S的上方。圖像檢測(cè)單元900設(shè)置在可以對(duì)由第一壓模IOOx和第二壓模IOOy在其上壓印了樹脂材料的壓印區(qū)域進(jìn)行捕獲的位置。在壓印處理完成之后的壓模100的旋轉(zhuǎn)過程中，即在另一壓模100在該壓模100 的浸蘸處理完成后被傳送至新的壓印區(qū)域上方之前，圖像檢測(cè)單元900捕獲已進(jìn)行了壓印處理的區(qū)域。壓印處理過程中的檢測(cè)是一種測(cè)量進(jìn)行了壓印處理的區(qū)域的面積以便確定施加到壓印區(qū)域的樹脂材料的量是否合適的處理。由于需要準(zhǔn)確地測(cè)量進(jìn)行了壓印處理的區(qū)域的面積，因此需要包括從壓印區(qū)域上方對(duì)壓印區(qū)域進(jìn)行捕獲的處理。優(yōu)選地，從上方沿豎直方向?qū)河^(qū)域進(jìn)行捕獲，以便準(zhǔn)確地測(cè)量進(jìn)行了壓印處理的區(qū)域的面積。因此，可以在安裝至壓模臂的壓模的上方豎直地安裝圖像檢測(cè)單元900。圖像檢測(cè)單元900可以在特定壓模的旋轉(zhuǎn)過程中捕獲基板的執(zhí)行了壓印處理的區(qū)域，以在壓印處理完成之后執(zhí)行浸蘸處理。如果將壓模100安裝為使壓模100和壓模軸200位于同一直線上，則即使壓模臂旋轉(zhuǎn)，也不能在豎直方向上捕獲基板的壓印區(qū)域。由于對(duì)應(yīng)于壓模軸200的旋轉(zhuǎn)半徑的凸輪導(dǎo)件與圖像檢測(cè)單元900的捕獲區(qū)域重疊，因而圖像檢測(cè)單元900不能被安裝為使該圖像檢測(cè)單元900可以在豎直方向上執(zhí)行捕獲操作。由于不能在豎直方向上安裝圖像檢測(cè)單元900，圖像檢測(cè)單元900不能捕獲豎直圖像，結(jié)果是很難準(zhǔn)確地測(cè)量壓印區(qū)域的面積。為了這個(gè)原因，需要包括計(jì)算步驟，以通過檢測(cè)處理的算法中的另外的計(jì)算處理來估計(jì)壓印區(qū)域的面積。然而，計(jì)算步驟可能降低檢測(cè)處理的速度，從而不利地影響總處理效率。因此，如圖1至7所示，圖像檢測(cè)單元900與第一壓模軸200x和第二壓模軸200y 平行地安裝，如圖8 (b)所示，該圖像檢測(cè)單元900在垂直于基板S的捕獲方向D上捕獲特定壓印區(qū)域。這時(shí)，壓?？梢宰詨河^(qū)域旋轉(zhuǎn)，以使圖像檢測(cè)單元900具有用于捕獲的視野。圖9是表示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的壓印設(shè)備的示意圖。在下文中僅說明參考圖 1至8描述的根據(jù)前一實(shí)施例的壓印設(shè)備和根據(jù)本實(shí)施例的壓印設(shè)備之間的差別。圖9中所示出的實(shí)施例與前一實(shí)施例的差別在于用以引導(dǎo)凸輪軸承的上凸輪導(dǎo)件和下凸輪導(dǎo)件的形狀不同，以及沒有提供作為彈性元件安裝在支撐元件的上端以支撐壓模軸和施加彈性力的彈簧，其中提供在壓模軸處的凸輪軸承利用該彈簧按壓上凸輪導(dǎo)件和下凸輪導(dǎo)件的底部。在圖9所示出的實(shí)施例中，用以引導(dǎo)凸輪軸承23x和23y的上凸輪導(dǎo)件50h和下凸輪導(dǎo)件501的頂部和底部是平的。因此，即使壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30旋轉(zhuǎn)，壓模IOx和IOy的高度也不隨著凸輪導(dǎo)件的底部形狀而變化。因此，在圖9所示出的實(shí)施例中，沒有利用凸輪導(dǎo)件50h和501的形狀和彈性元件，但利用了上文所描述的高度調(diào)整裝置，以便在壓模IOx和IOy的傳送過程中，補(bǔ)償壓模 IOx和IOy所需的豎直高度。在圖1至8所示的實(shí)施例中，高度調(diào)整裝置起到在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)和凸輪導(dǎo)件改變了各個(gè)壓模的位置之后的各個(gè)壓模的浸蘸處理或壓印處理過程中調(diào)整各個(gè)壓模的高度的作用。亦即，在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30的旋轉(zhuǎn)過程中，高度調(diào)整裝置并不運(yùn)轉(zhuǎn)以調(diào)整壓模IOx和 IOy的豎直高度。然而，在圖9所示出的實(shí)施例中，凸輪導(dǎo)件的頂部和底部是平的，并且除去了彈性元件。因此，即使圖9中所示的壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30旋轉(zhuǎn)，也不會(huì)改變壓模IOx和IOy的高度。因此，與前一實(shí)施例不同，甚至是在壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30旋轉(zhuǎn)以旋轉(zhuǎn)和傳送壓模的過程中，高度調(diào)整電機(jī)40a和40b旋轉(zhuǎn)，以旋轉(zhuǎn)各個(gè)壓模IOx和IOy。亦即，在壓模的傳送過程中，壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30和構(gòu)成高度調(diào)整裝置的高度調(diào)整電機(jī)40a及40b被同時(shí)驅(qū)動(dòng)。在壓模的浸蘸處理和壓印處理過程中，構(gòu)成高度調(diào)整裝置的高度調(diào)整電機(jī)40a和40b運(yùn)轉(zhuǎn)，但是壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30沒有運(yùn)轉(zhuǎn)。亦即，在壓模傳送于樹脂材料容器680和其上將要執(zhí)行壓印處理的基板S之間的過程中，其中該樹脂材料容器680和該基板S具有不同的高度，可以利用凸輪導(dǎo)件和彈性元件之間的高度差。然而，在高速傳送處理過程中，可以防止凸輪導(dǎo)件和彈性元件磨損或損壞。另外，省去了作為彈性元件的彈簧。因此，當(dāng)壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30和構(gòu)成高度調(diào)整裝置的高度調(diào)整電機(jī)40a及40b同時(shí)旋轉(zhuǎn)時(shí)，各個(gè)凸輪軸承23x和23y同時(shí)支撐各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件50h和501的頂部和底部，以使各個(gè)凸輪軸承23x和23y緊隨各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件。如圖9所示，各個(gè)凸輪軸承23x和23y同時(shí)支撐上凸輪導(dǎo)件50h和下凸輪導(dǎo)件501 的頂部和底部。因此，當(dāng)壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)30和構(gòu)成高度調(diào)整裝置的高度調(diào)整電機(jī)40a及40b 同時(shí)旋轉(zhuǎn)以傳送壓模時(shí)，各個(gè)凸輪軸承23x和23y緊隨著凸輪導(dǎo)件的上下運(yùn)動(dòng)，以調(diào)整各個(gè)壓模的高度。圖10是表示根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例的壓印設(shè)備的示意圖，圖11是表示意圖10中所示的根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的主要部分的放大透視圖，圖12是圖10中所示的根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的放大截面圖。在下文中僅說明參考圖1至8所描述的根據(jù)前一實(shí)施例的壓印設(shè)備和根據(jù)本實(shí)施例的壓印設(shè)備之間的差別。在前一實(shí)施例中，用以在浸蘸處理或壓印處理過程中使各個(gè)壓模在豎直方向上下移動(dòng)的高度調(diào)整裝置被構(gòu)造為獨(dú)立地上下移動(dòng)各個(gè)壓模。另一方面，圖10所示出的高度調(diào)整裝置使壓模同時(shí)上下移動(dòng)。亦即，可以在不需要獨(dú)立地調(diào)整各個(gè)壓模的高度的情況下，共享高度調(diào)整電機(jī)400。壓印設(shè)備的壓印體30被構(gòu)造為通過基板S的縱向方向上(即X軸方向上)的軌道和驅(qū)動(dòng)單元(未示出)來移動(dòng)。可以在壓印體30處提供用于支撐壓模ΙΟΟχ’和100y’的壓印基座31。該壓印基座31被構(gòu)造為在被軌道支撐的同時(shí)，被水平軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)32在基板S的側(cè)向方向上(即水平軸方向上)移動(dòng)。隨著壓印體30的X軸移動(dòng)和壓印基座31的水平軸移動(dòng)，壓模IOOx’和IOOy ’可以在豎直軸線或水平軸線方向上移動(dòng)，以將樹脂材料施加或壓印于基板S的要被施加樹脂材料的區(qū)域，施加或壓印到基板S的要被施加樹脂材料的區(qū)域上?？梢栽趬河』?1的正面提供兩個(gè)壓模100x’、100y’和壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’。另外，可以與壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300，平行地安裝用于在豎直方向上使壓模上下移動(dòng)的高度調(diào)整電機(jī)400’?？梢栽趬耗＆│帧虸OOy’的一側(cè)以樹脂材料容器680和容器上下移動(dòng)單元彼此平行的狀態(tài)設(shè)置樹脂材料容器680和用于調(diào)整樹脂材料容器680的高度的容器上下移動(dòng)單元，其中所述樹脂材料容器680被安裝為在壓印基座31的下端被支撐。與之前的實(shí)施例不同，在本實(shí)施例中，調(diào)節(jié)樹脂材料容器的高度，以解決沒有獨(dú)立驅(qū)動(dòng)一對(duì)壓模時(shí)所造成的問題。亦即，根據(jù)基板S設(shè)定壓模的上下移動(dòng)高度，并在樹脂材料容器680的高度與壓模的高度不相等時(shí)，驅(qū)動(dòng)用于調(diào)整樹脂材料容器的高度的容器上下移動(dòng)單元，以補(bǔ)償該高度差。同時(shí)，在壓印基座31的一側(cè)安裝圖像檢測(cè)單元900。圖像檢測(cè)單元900捕獲樹脂材料被施加到基板上的狀態(tài)和基板的施加有樹脂材料的位置，以便利用捕獲的圖像，檢測(cè)樹脂材料被施加到基板上的狀態(tài)和基板的施加有樹脂材料的位置。圖像檢測(cè)單元900安裝在對(duì)被壓模施加了樹脂材料的區(qū)域可視的位置處。特別地，以傾斜的狀態(tài)安裝該圖像檢測(cè)單元900。在這種情況下，圖像檢測(cè)單元 900檢測(cè)樹脂材料被施加到基板上的狀態(tài)和基板的施加有樹脂材料的位置。由于與先前的實(shí)施例不同，安裝有壓模的壓模臂130沒有彎曲，因此不能在以在豎直方向安裝圖像檢測(cè)單元的狀態(tài)下，在豎直方向上捕獲的壓印區(qū)域。為了這個(gè)原因，以傾斜的狀態(tài)安裝圖像檢測(cè)單元900以捕獲該壓印區(qū)域。另外，由于圖像檢測(cè)單元900在傾斜的狀態(tài)下執(zhí)行檢測(cè)，因而能夠在只有避免了與壓模ΙΟΟχ’和100y’的操作相關(guān)的干涉的范圍內(nèi)執(zhí)行圖像檢測(cè)。在本實(shí)施例中，以傾斜地狀態(tài)將圖像檢測(cè)單元900設(shè)置為臨近于壓模ΙΟΟχ’和 100y’，以執(zhí)行圖像檢測(cè)。因此，與在豎直方向上將圖像檢測(cè)單元安裝在壓印頭的頂部以在整個(gè)壓印頭退出后執(zhí)行圖像檢測(cè)的情況相比，能夠在壓模ΙΟΟχ’和100y’脫離圖像檢測(cè)單元900的干涉范圍的當(dāng)下，立即快速地執(zhí)行圖像檢測(cè)，從而提高了與圖像檢測(cè)相關(guān)的設(shè)計(jì)邏輯的自由度。在本實(shí)施例中，壓模ΙΟΟχ’和100y’通過其上下的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)，交替地執(zhí)行壓印操作，即樹脂材料施加操作。壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’被支撐于壓印基座31的上方，同時(shí)位于壓印設(shè)備的上部，以便能夠使壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’正向或反向旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動(dòng)壓模。轉(zhuǎn)子250’可以與壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī) 300，的軸連接。轉(zhuǎn)子250’與壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’ 一起旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子250’起到使壓模100x’和IOOy ’ 旋轉(zhuǎn)同時(shí)支撐壓模ΙΟΟχ’和100y’的作用。為此，在轉(zhuǎn)子250’的相對(duì)側(cè)提供有沿著縱向方向延伸的狹縫251，。壓模ΙΟΟχ，和100y，的隨托架(follow bracket) 220卡在狹縫251， 中，以使兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和100y’可以在外殼旋轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)。亦即，在轉(zhuǎn)子250’旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于與安裝有壓模ΙΟΟχ’和100y’的壓模軸220x和220y固定的隨托架220卡在狹縫251，中，壓模IOOx，和IOOy，也一起旋轉(zhuǎn)。在轉(zhuǎn)子250’的下端內(nèi)側(cè)的兩個(gè)位置處提供滾珠花鍵225。滾珠花鍵225起到在支撐壓模ΙΟΟχ’和100y’的同時(shí)，對(duì)裝配于滾珠花鍵225中的壓模100x’和100y’的上下運(yùn)動(dòng)進(jìn)行引導(dǎo)的作用。以180度的間隔布置兩個(gè)壓模IOOx，和IOOy ’。壓模IOOx，和IOOy ’被裝配在轉(zhuǎn)子250’的滾珠花鍵225中，以便在可滑動(dòng)地上下引導(dǎo)壓模ΙΟΟχ’和100y’時(shí)，可以由轉(zhuǎn)子 250’的滾珠花鍵225對(duì)其進(jìn)行支撐。壓模ΙΟΟχ’和IOOy’在旋轉(zhuǎn)同時(shí)一起進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)。壓模100χ’和IOOy’的旋轉(zhuǎn)通過由壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’的操作而執(zhí)行的轉(zhuǎn)子250’的旋轉(zhuǎn)來實(shí)現(xiàn)，而壓模ΙΟΟχ’和100y’ 的上下運(yùn)動(dòng)通過沿著凸輪導(dǎo)件500’驅(qū)動(dòng)的凸輪軸承的操作而實(shí)現(xiàn)。為此，凸輪導(dǎo)件500，包括管狀的上凸輪導(dǎo)件500h，和管狀的下凸輪導(dǎo)件5001，，上凸輪導(dǎo)件500h，和下凸輪導(dǎo)件5001，以這樣的狀態(tài)被設(shè)置，在該狀態(tài)中在上凸輪導(dǎo)件500h， 和管狀的下凸輪導(dǎo)件5001’之間限定有預(yù)定間隙，即導(dǎo)孔520。這時(shí)，上凸輪導(dǎo)件500h’和管狀的下凸輪導(dǎo)件5001’被支托件550支撐，將在下文中對(duì)其進(jìn)行說明。導(dǎo)孔520被構(gòu)造為有高有低的彎曲的形式。導(dǎo)孔520將每一凸輪導(dǎo)件500’的圓周截面分為對(duì)稱的兩部分。在凸輪的彎曲的軌跡中，壓模將樹脂材料壓印到基板上時(shí)的導(dǎo)孔520的高度可以低于壓模在樹脂材料中浸蘸時(shí)的導(dǎo)孔520的高度。導(dǎo)孔520可以是傾斜的，舉例來說，以便在沿著導(dǎo)孔520被引導(dǎo)的同時(shí)上下運(yùn)動(dòng)的壓模的移動(dòng)中，即在壓模的從基板到容器的移動(dòng)中，位于最低高度處的相應(yīng)的壓模在壓模旋轉(zhuǎn)的同時(shí)沿著導(dǎo)孔520向上移動(dòng)，其中在該最低高度處壓模將樹脂材料壓印到基板上， 并在到達(dá)最高位置后，壓模稍微向下移動(dòng)，以使壓模到達(dá)中間高度位置，其中在該中間高度位置壓模浸蘸于容器中的樹脂材料中。在轉(zhuǎn)子250’的外圓周處以同心圓的形式設(shè)置具有導(dǎo)孔520的凸輪導(dǎo)件500’?？梢栽趯耗＆│帧?00y’裝配于凸輪導(dǎo)件500’的導(dǎo)孔520的結(jié)構(gòu)中支撐壓模100x’和 IOOy'，以使得可以由固定安裝至隨托架220上的凸輪軸承230χ和230y來引導(dǎo)壓模100x’ 和 100y’?？梢栽趬耗＆│帧?00y’中設(shè)置用作補(bǔ)償兩個(gè)壓模100x’和100y’之間的高度
差的元件的彈簧。因此，當(dāng)壓模ΙΟΟχ’和IOOy，上下移動(dòng)以使壓模100χ，和IOOy’浸蘸于樹脂材料中或?qū)渲牧蠅河〉交迳蠒r(shí)，來自彈簧的彈性力可以為壓模ΙΟΟχ’和100y’起到緩沖作用。以180度的間隔布置兩個(gè)壓模ΙΟΟχ，和IOOy’。壓模100χ，和IOOy’交替地往復(fù)運(yùn)動(dòng)于樹脂材料容器和基板之間。壓模ΙΟΟχ’和IOOy’通過這種往復(fù)運(yùn)動(dòng)交替地執(zhí)行壓印操作。同時(shí)，由于壓模在同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和上下運(yùn)動(dòng)之時(shí)執(zhí)行壓印操作，因此當(dāng)壓模將樹脂材料壓印到基板上時(shí)，或當(dāng)壓模的端部浸蘸于樹脂材料之中時(shí)，壓模的端部可能會(huì)在傾斜的方向上略微地移動(dòng)。在這種情況下，壓?？赡茉谶M(jìn)行滑動(dòng)的同時(shí)將樹脂材料壓印到基板上，結(jié)果是樹脂材料可能會(huì)壓印到偏離了基板的樹脂材料施加位置的區(qū)域上。在本實(shí)施例中，提供了解決該問題的單元。
為此，在包括壓模ΙΟΟχ’和100y’和壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’的組件的一側(cè)設(shè)置高度調(diào)整電機(jī)400’，以使高度調(diào)整電機(jī)400’設(shè)置為平行于壓模ΙΟΟχ’和100y’以及壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300，。支托件550固定到滾珠絲杠440或與高度調(diào)整電機(jī)400，的軸連接的滾珠絲杠螺母460’。這時(shí)，可以經(jīng)由延伸臂(未示出)將支托件550固定至上凸輪導(dǎo)件500h’和下凸輪導(dǎo)件5001，。在壓模ΙΟΟχ’和100y’浸蘸于樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料中的浸蘸操作過程中，或在樹脂材料被壓印到基板上的壓印操作過程中，高度調(diào)整電機(jī)400’在豎直方向上將壓模ΙΟΟχ，和100y’上下移動(dòng)，以執(zhí)行浸蘸處理和壓印處理。因此，在高度調(diào)整電機(jī)400’的運(yùn)轉(zhuǎn)中，支托件550也由于絲桿傳動(dòng)而向下運(yùn)動(dòng)，結(jié)果是凸輪導(dǎo)件500’向下運(yùn)動(dòng)，由此兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和100y’進(jìn)行豎直運(yùn)動(dòng)。由于剛好在兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和100y’的壓印操作之前和之后，即剛好在樹脂材料壓印到基板上之前和剛好在樹脂材料壓印到基板上之后，壓模ΙΟΟχ’和100y’在豎直方向上運(yùn)動(dòng)，因此樹脂材料被壓印到基板的精確位置上。圖13是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的芯片接合器的壓印設(shè)備的容器上下移動(dòng)單元的放大正視圖。圖13示出了樹脂材料容器680和設(shè)置在樹脂材料容器680周圍的部件之間的組件關(guān)系。樹脂材料容器680容納樹脂材料，該樹脂材料為用于將芯片粘結(jié)到基板上的粘結(jié)劑。樹脂材料容器680被安裝至容器旋轉(zhuǎn)電機(jī)610，以使樹脂材料容器680的中心被支撐于容器旋轉(zhuǎn)電機(jī)610的軸。容器旋轉(zhuǎn)電機(jī)610通過在支撐狀態(tài)下的電機(jī)支撐元件635安裝到將在下文中說明的容器上下移動(dòng)單元。樹脂材料容器680可以上下移動(dòng)，以使樹脂材料容器680的位置能夠根據(jù)壓模 IOOx'和100y’的長(zhǎng)度而調(diào)整。容器上下移動(dòng)單元起到將樹脂材料容器680上下移動(dòng)的功能。容器上下移動(dòng)單元可以包括兩個(gè)部件。例如，容器上下移動(dòng)單元可以包括在樹脂材料容器680的上下移動(dòng)過程中起到導(dǎo)件功能的滑動(dòng)部件617、和允許用戶控制樹脂材料容器680的運(yùn)動(dòng)高度的微型部件618。可以將標(biāo)準(zhǔn)的LM單元用作滑動(dòng)部件617。從壓印基座31延伸出的托架633支撐該滑動(dòng)部件617。電機(jī)支撐元件35與滑動(dòng)部件617的移動(dòng)塊耦接，因此支撐了包括樹脂材料容器680的整個(gè)容器旋轉(zhuǎn)電機(jī)610。微型部件618是一種微米型部件。參考數(shù)字6 表示起到止動(dòng)件那種功能的錨桿。另外，可以在需要重新設(shè)定樹脂材料容器680的高度時(shí)，例如在改變壓模的規(guī)格時(shí)，使用該錨桿。另外，樹脂材料容器680被提供有樹脂材料刀片670。該樹脂材料刀片670用于使樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料的水平面一致。可以通過刀片上下移動(dòng)單元擬8調(diào)整樹脂材料刀片670的高度，例如，刀片的下端和容器的底部之間的高度。刀片上下移動(dòng)單元628也可以包括微型部件或滑動(dòng)部件。同時(shí)，在本實(shí)施例中，可以采用通過電傳導(dǎo)調(diào)整壓模之間的高度差的方法為調(diào)整壓模之間的高度差的方法的例子。
例如，正電極與基板連接而負(fù)電極與壓印設(shè)備連接，并且壓模與基板連接，從而在基板和壓印設(shè)備之間實(shí)現(xiàn)了電傳導(dǎo)。這時(shí)，測(cè)量壓模的豎直高度即壓模的豎直距離，可以改變壓模的豎直高度以調(diào)整壓模之間的高度差。
然而，在這種情況中，仍存在問題。亦即，如果將各個(gè)壓模的高度設(shè)定為相對(duì)于樹脂材料容器680是一致的，那么在基板側(cè)的高度可能不同。如果將各個(gè)壓模的高度設(shè)定為相對(duì)于基板側(cè)是一致的，那么在樹脂材料容器680處的高度可能不同。為了解決這個(gè)問題，可以使容器上下移動(dòng)單元自動(dòng)化。下文中，將具體說明具有上述構(gòu)造的芯片接合器的壓印設(shè)備的操作。圖14是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的壓印設(shè)備的操作的放大截面圖。如圖14所示，當(dāng)基板S被裝載到壓印區(qū)域中時(shí)，交替得運(yùn)轉(zhuǎn)兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和 100y’，以在同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和上下運(yùn)動(dòng)之時(shí)執(zhí)行壓印操作。在圖14的左側(cè)圖中，兩個(gè)壓模IOOx’和IOOy’中的一個(gè)IOOx’位于樹脂材料容器 680處，以使壓模ΙΟΟχ’浸蘸于樹脂材料中。另一壓模IOOy’位于基板S處，以將樹脂材料壓印到基板S的樹脂材料施加區(qū)域上。在圖14的中間圖中，兩個(gè)壓模ΙΟΟχ，和IOOy，旋轉(zhuǎn)約90度。亦即，轉(zhuǎn)子250’和兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和100y’隨著壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)300’的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。這時(shí)，各個(gè)壓模ΙΟΟχ’和100y’沿著導(dǎo)孔520的軌跡被引導(dǎo)，以使壓模100x’和100y’
可以向上運(yùn)動(dòng)。前面的壓模ΙΟΟχ’在向著基板S運(yùn)動(dòng)，以將樹脂材料壓印到基板S上，而后面的壓模100y’在向著樹脂材料容器680運(yùn)動(dòng)，以使壓模100y’浸蘸于樹脂材料中。在圖14的右側(cè)圖中，兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和IOOy’旋轉(zhuǎn)約180度，使壓模100χ’和 IOOy'的位置完全對(duì)調(diào)。亦即，粘附有樹脂材料的壓模100y’沿著凸輪軸承的軌跡向下運(yùn)動(dòng)，以將樹脂材料壓印到基板S上，而運(yùn)動(dòng)至樹脂材料容器680的壓模ΙΟΟχ’浸蘸于樹脂材料容器680中所容納的樹脂材料中。這時(shí)，基板S可以在水平方向上移動(dòng)一個(gè)螺距(pitch)。在壓模ΙΟΟχ’和IOOy’剛好最終執(zhí)行完浸蘸處理或壓印處理后，壓模ΙΟΟχ’和100y’可以通過豎直驅(qū)動(dòng)電機(jī)上下移動(dòng)。以這種方式，兩個(gè)壓模ΙΟΟχ’和IOOy’交替的往復(fù)運(yùn)動(dòng)于基板S和樹脂材料容器 680之間，并且與之同時(shí)，在同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和上下運(yùn)動(dòng)之時(shí)，反復(fù)地進(jìn)行壓印操作。另外，基板S根據(jù)壓模的操作在水平方向上進(jìn)行螺距移動(dòng)，而壓印基座31朝向地面運(yùn)動(dòng)。因此，可以將樹脂材料施加于整個(gè)基板。在根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例的壓印設(shè)備中，交替地利用壓模執(zhí)行壓印處理，因此能夠提高將半導(dǎo)體粘結(jié)到基板上時(shí)的壓印效率。另外，在根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例的壓印設(shè)備中，能夠在檢測(cè)壓印操作時(shí)提高精確度。另外，在根據(jù)本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施例的壓印設(shè)備中，簡(jiǎn)單地將壓模與壓印設(shè)備分離， 因此能夠容易地維修和置換壓模。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種更改和變換而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。因此，本發(fā)明意欲覆蓋發(fā)明的更改和變換，只要它們落入所附權(quán)利要求及其等價(jià)物的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種壓印設(shè)備，包括多個(gè)壓模，被構(gòu)造為浸蘸于樹脂材料提供單元中的樹脂材料中并將該樹脂材料壓印到基板上；多個(gè)壓模軸，用以支撐各個(gè)壓模，以使各個(gè)壓模的高度有所不同；壓模旋轉(zhuǎn)裝置，用以同時(shí)旋轉(zhuǎn)所述壓模軸；和壓模高度調(diào)整裝置，用以在壓模的傳送處理、浸蘸處理或壓印處理中調(diào)整各個(gè)壓模的尚度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模旋轉(zhuǎn)裝置包括壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)、由所述壓模旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)軸、和被構(gòu)造為由所述驅(qū)動(dòng)軸來旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，所述壓模軸以可置換的方式沿轉(zhuǎn)子的軸向方向插入到所述轉(zhuǎn)子中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，還包括在所述壓模軸或所述壓模高度調(diào)整裝置處提供的凸輪軸承、和在所述高度調(diào)整裝置或所述壓模軸處提供的凸輪導(dǎo)件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印設(shè)備，其中所述凸輪軸承被提供在各個(gè)壓模軸處，所述凸輪導(dǎo)件形成為環(huán)型形狀以圍繞所述壓模軸，所述凸輪導(dǎo)件設(shè)置在不同高度處，而提供在各個(gè)壓模軸處的所述凸輪軸承在壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中沿著各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部和底部被引導(dǎo)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓印設(shè)備，其中所述凸輪導(dǎo)件的每個(gè)的頂部和底部是平的。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓印設(shè)備，其中所述凸輪導(dǎo)件具有相同的變化的厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模到達(dá)浸蘸區(qū)域時(shí)的所述凸輪導(dǎo)件的頂部高度或底部高度高于所述壓模到達(dá)壓印區(qū)域時(shí)的所述凸輪導(dǎo)件的頂部高度或底部高度，并且所述凸輪導(dǎo)件的頂部或底部是略微彎曲的。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓印設(shè)備，其中向所述壓模軸或所述凸輪軸承施加在一個(gè)方向上的力，以使在各個(gè)壓模軸處提供的所述凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓印設(shè)備，其中向所述壓模軸或凸輪施加來自彈簧的彈性力，以使所述凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓印設(shè)備，其中向所述壓模軸或凸輪施加來自永磁體或電磁體的電磁力，以使所述凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓印設(shè)備，其中向所述壓模軸或凸輪施加來自與所述壓模軸耦連的氣缸的氣動(dòng)力，以使所述凸輪軸承被設(shè)置為與各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件的頂部或底部緊密接觸。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的壓印設(shè)備，其中所述凸輪軸承包括設(shè)置在每個(gè)凸輪導(dǎo)件的頂部和底部的一對(duì)凸輪軸承，以同時(shí)按壓每個(gè)凸輪導(dǎo)件的頂部和底部。
13.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置被固定至所述凸輪導(dǎo)件，以調(diào)整所述凸輪導(dǎo)件的高度。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置包括高度調(diào)整電機(jī)、由所述高度調(diào)整電機(jī)驅(qū)動(dòng)的滾珠絲杠、和固定至所述凸輪導(dǎo)件的滾珠絲杠螺母。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，還包括壓模臂，每個(gè)壓模臂具有連接到所述壓模軸中的相應(yīng)一個(gè)的下端的一端、和安裝有所述壓模中的相應(yīng)一個(gè)的另一端。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模臂的每個(gè)的另一端在壓模旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)過程中具有大于所述壓模軸中的相應(yīng)一個(gè)的旋轉(zhuǎn)半徑。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模的每個(gè)被可拆卸地安裝到所述壓模臂中的相應(yīng)一個(gè)的另一端。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的壓印設(shè)備，還包括圖像檢測(cè)單元，用以捕獲和檢測(cè)所述基板的上面已由所述壓模執(zhí)行了壓印的壓印區(qū)域。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的壓印設(shè)備，其中所述圖像檢測(cè)單元被豎直地安裝在安裝于各個(gè)壓模臂的所述壓模的上方。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的壓印設(shè)備，其中所述圖像檢測(cè)單元在所述壓模中的特定一個(gè)的用以在執(zhí)行所述壓印處理后執(zhí)行所述浸蘸處理的旋轉(zhuǎn)過程中，捕獲所述基板的上面已執(zhí)行了壓印處理的壓印區(qū)域。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置在所述壓模旋轉(zhuǎn)裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)過程中調(diào)整各個(gè)壓模的高度。
22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置在各個(gè)壓模被傳送至浸蘸區(qū)域或壓印區(qū)域上方時(shí)，調(diào)整各個(gè)壓模的高度，以使各個(gè)壓模執(zhí)行浸蘸處理或壓印處理。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置所調(diào)整的各個(gè)壓模的高度根據(jù)各個(gè)壓模的位置而不同。
24.根據(jù)權(quán)利要求22所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置調(diào)整各個(gè)壓模的高度，以使在各個(gè)壓模的壓印處理過程中，在各個(gè)壓模按壓所述基板的狀態(tài)下或在所述壓模未與所述基板接觸的狀態(tài)下，只將樹脂材料壓印到要在上面執(zhí)行壓印處理的基板上。
25.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模的每個(gè)具有壓印銷，所述壓印銷被彈性支撐。
26.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置同時(shí)調(diào)整所述多個(gè)壓模軸的高度。
27.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置包括多個(gè)壓模高度調(diào)整裝置，以獨(dú)立地調(diào)整所述多個(gè)壓模軸的高度。
28.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，還包括在所述壓模軸處提供的凸輪軸承和在所述壓模高度調(diào)整裝置處提供的凸輪導(dǎo)件，其中所述凸輪軸承在所述壓模旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)過程中被各自對(duì)應(yīng)的凸輪導(dǎo)件引導(dǎo)，所述壓模高度調(diào)整裝置被固定至所述凸輪導(dǎo)件。
29.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印設(shè)備，其中所述凸輪導(dǎo)件包括上凸輪導(dǎo)件和下凸輪導(dǎo)件，所述上凸輪導(dǎo)件和下凸輪導(dǎo)件彼此分開預(yù)定的距離以在其間限定導(dǎo)孔，所述凸輪軸承被插入到所述導(dǎo)孔中以使所述凸輪軸承在所述導(dǎo)孔中被引導(dǎo)，所述壓模高度調(diào)整裝置既固定所述上凸輪導(dǎo)件也固定所述下凸輪導(dǎo)件。
30.一種壓印設(shè)備，包括一對(duì)壓模，被構(gòu)造為將樹脂材料壓印到基板上；一對(duì)壓模軸，用以支撐各個(gè)壓模，以使各個(gè)壓模的高度有所不同，在所述壓模軸的每個(gè)的外側(cè)提供有凸輪軸承；轉(zhuǎn)子，被構(gòu)造為在所述壓模軸被所述轉(zhuǎn)子支撐的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)；和一對(duì)凸輪導(dǎo)件，被構(gòu)造為在所述壓模軸的旋轉(zhuǎn)過程中引導(dǎo)各個(gè)凸輪軸承，以使各個(gè)壓模軸的凸輪軸承的高度有所不同，所述凸輪導(dǎo)件被設(shè)置在不同的高度處。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的壓印設(shè)備，還包括一對(duì)壓模高度調(diào)整裝置，用以獨(dú)立地調(diào)整各個(gè)壓模的高度。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的壓印設(shè)備，其中所述壓模高度調(diào)整裝置調(diào)整各個(gè)凸輪導(dǎo)件的高度。
33.一種壓印設(shè)備，包括一對(duì)壓模，被構(gòu)造為以半圓的形式反復(fù)旋轉(zhuǎn)，以便往復(fù)運(yùn)動(dòng)于樹脂材料提供單元的浸蘸區(qū)域和基板的壓印區(qū)域之間；壓模高度調(diào)整裝置，被構(gòu)造為在各個(gè)壓模被傳送到浸蘸區(qū)域和壓印區(qū)域之后，將各個(gè)壓模上下移動(dòng)，以使各個(gè)壓模在樹脂材料中浸蘸或?qū)渲牧蠅河〉交迳希缓蛨D像檢測(cè)單元，用以在所述壓模中的一個(gè)從壓印區(qū)域被傳送到浸蘸區(qū)域之時(shí)，捕獲和檢測(cè)基板的上面已執(zhí)行了壓印處理的壓印區(qū)域。
全文摘要
公開了一種壓印設(shè)備。壓模浸入到用于將半導(dǎo)體元件粘結(jié)到基板上的樹脂材料中，且樹脂材料被壓印到基板的表面上。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102222602SQ20111003607
公開日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2011年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月3日
發(fā)明者任昶民, 地昇龍, 崔薰宰, 徐硬錫, 沈武燮 申請(qǐng)人:韓美半導(dǎo)體株式會(huì)社