專利名稱：搬運(yùn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬運(yùn)例如液晶顯示面板等工件的搬運(yùn)裝置。
背景技術(shù)：
一般來(lái)說(shuō)，已知將例如液晶顯示面板等顯示面板在其制造工序中吸附或者由夾具保持并且搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置。例如在專利文獻(xiàn)I中公開(kāi)了吸附保持液晶顯示面板的上表面、將該面板懸吊搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置。在此，對(duì)將液晶顯示面板懸吊搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置參照?qǐng)D7和圖8來(lái)說(shuō)明。圖7和圖8是示出搬運(yùn)裝置的概要構(gòu)成的側(cè)面圖。如圖7所示，搬運(yùn)裝置100具備軌道部101，其在水平方向上延伸；驅(qū)動(dòng)部102，其設(shè)置為能被軌道部101引導(dǎo)而在水平方向上移動(dòng)；臂部103，其設(shè)置于驅(qū)動(dòng)部102，能上下伸縮；連結(jié)部104，其形成于臂部103的下端；抓手支撐部105，其裝配固定于連結(jié)部104 ；以及抓手部106，其被抓手支撐部105以懸吊的狀態(tài)支撐。抓手支撐部105由緊固螺釘直接裝配固定于連結(jié)部104。在抓手部106的下端設(shè)置有多個(gè)吸附部107，該多個(gè)吸附部107用于吸附保持液晶顯示面板108的上表面。這樣，搬運(yùn)裝置100使臂部103伸展，由此使抓手部106下降來(lái)吸附保持液晶顯示面板108。接著，使臂部103收縮，由此使吸附保持有液晶顯示面板108的抓手部106上升。然后，使驅(qū)動(dòng)部102沿著軌道部101在水平方向上移動(dòng)，在希望的位置使臂部103伸展來(lái)使抓手部106下降。其后，吸附部107釋放，由此將液晶顯示面板108搬運(yùn)到規(guī)定位置。此外，在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了保護(hù)裝置，該保護(hù)裝置用于保護(hù)臂的連結(jié)部。圖9是示出臂連結(jié)部的保護(hù)裝置110的結(jié)構(gòu)的截面圖。保護(hù)裝置110具有保護(hù)罩114，該保護(hù)罩114覆蓋配設(shè)有連結(jié)部件113等的臂連結(jié)部的外周，該連結(jié)部件113等將各臂部件111、112可自由伸縮和旋轉(zhuǎn)地連結(jié)。該保護(hù)罩114具有保護(hù)部115，該保護(hù)部115覆蓋臂連結(jié)部件的外周，在該保護(hù)部115的兩個(gè)端部形成有裝配于各臂部件111、112的左右臂裝配部116、117。并且，至少保護(hù)部115的一部分用蛇紋管等形成為具有可撓性，在各臂部件111、112和左右臂裝配部116、117之間的至少一方配設(shè)有軸承118。由此，不會(huì)阻礙可自由伸縮和旋轉(zhuǎn)地連結(jié)的臂部件111、112的旋轉(zhuǎn)和伸縮動(dòng)作，且不使保護(hù)罩114損傷?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :特開(kāi)平11-254366號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :特開(kāi)平08-294893號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題在此，對(duì)于將上述的液晶顯示面板懸吊搬運(yùn)的搬運(yùn)裝置100，為了推進(jìn)制造工序的自動(dòng)化，優(yōu)選使上述液晶顯示面板108等工件高速移動(dòng)或高精度地驅(qū)動(dòng)抓手部106。然而，如果是能將上述抓手部106和驅(qū)動(dòng)部102等高速移動(dòng)并且高精度地驅(qū)動(dòng)的構(gòu)成，這些抓手部106等機(jī)構(gòu)會(huì)變得昂貴。另外，如圖8所示，通常在搬運(yùn)裝置100的周邊配置有用于各種計(jì)測(cè)的光學(xué)式設(shè)備等其它周邊設(shè)備120，但是這些設(shè)備也多是昂貴的。在這樣的裝置構(gòu)成中，搬運(yùn)裝置有可能由于其驅(qū)動(dòng)部等誤動(dòng)作導(dǎo)致昂貴的上述抓手部等與其它周邊設(shè)備碰撞而破損。這樣的誤動(dòng)作的原因考慮有作業(yè)者將搬運(yùn)目的地的位置、移動(dòng)速度等設(shè)定值錯(cuò)誤輸入，或搬運(yùn)裝置的控制軟件本身有錯(cuò)誤。另一方面，考慮有如上述專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的那樣，設(shè)置將2個(gè)部件可自由伸縮和旋轉(zhuǎn)地連結(jié)的連結(jié)部件，由此緩和上述碰撞導(dǎo)致抓手部等受到的沖擊。然而，即使是在設(shè)置了這樣的連結(jié)部件的情況下，能夠保護(hù)抓手部等的誤動(dòng)作的范圍即使最大化也會(huì)限于圖 9的寬度A的范圍。本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而完成的，其目的在于，即使是在搬運(yùn)裝置誤動(dòng)作的情況下，也要適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)其主要構(gòu)成機(jī)構(gòu)和周邊設(shè)備。用于解決問(wèn)題的方案為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明以具備保持機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)裝置為對(duì)象，上述保持機(jī)構(gòu)保持工件，上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使上述保持機(jī)構(gòu)以懸吊的狀態(tài)移動(dòng)。并且，上述保持機(jī)構(gòu)經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)與上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)，上述連結(jié)機(jī)構(gòu)具有第I支撐部件，其裝配固定于上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)；第2支撐部件，其裝配固定上述保持機(jī)構(gòu)；以及連結(jié)部件，其連結(jié)上述第I支撐部件和第2支撐部件，上述連結(jié)部件的機(jī)械強(qiáng)度比上述第I支撐部件和第2支撐部件各自的機(jī)械強(qiáng)度小，上述連結(jié)部件構(gòu)成為由于對(duì)上述第2支撐部件或者上述保持機(jī)構(gòu)施加的外力而斷開(kāi)，將上述第I支撐部件和第2支撐部件相互分離。-作用-接著，說(shuō)明本發(fā)明的作用。根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)裝置，保持工件的保持機(jī)構(gòu)由移動(dòng)機(jī)構(gòu)以懸吊的狀態(tài)移動(dòng)，由此將工件搬運(yùn)到規(guī)定位置。保持機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)連結(jié)，該連結(jié)機(jī)構(gòu)具有連結(jié)部件，上述連結(jié)部件連結(jié)第I支撐部件和第2支撐部件，上述第I支撐部件裝配固定于移動(dòng)機(jī)構(gòu)，上述第2支撐部件裝配固定于保持機(jī)構(gòu)。上述連結(jié)部件具有比上述第I支撐部件和上述第2支撐部件各自小的機(jī)械強(qiáng)度。因此，在搬運(yùn)裝置的誤動(dòng)作導(dǎo)致例如在工件的搬運(yùn)中第2支撐部件或者保持機(jī)構(gòu)與周圍的設(shè)備碰撞而對(duì)該第2支撐部件或者保持機(jī)構(gòu)施加了外力的情況下，該外力會(huì)導(dǎo)致上述連結(jié)部件斷開(kāi)，第I支撐部件和第2支撐部件會(huì)相互分離。因此，即使在工件的搬運(yùn)中第2支撐部件或者保持機(jī)構(gòu)與周圍的設(shè)備碰撞了，其沖擊力也會(huì)由連結(jié)部件吸收，從而能適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)作為搬運(yùn)裝置的主要構(gòu)成機(jī)構(gòu)的保持機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)、周邊設(shè)備。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，在對(duì)第2支撐部件或者保持機(jī)構(gòu)施加了外力的情況下，該外力會(huì)導(dǎo)致連結(jié)部件斷開(kāi)，第I支撐部件和第2支撐部件會(huì)相互分離，因此即使搬運(yùn)裝置的誤動(dòng)作導(dǎo)致在工件的搬運(yùn)中第2支撐部件或者保持機(jī)構(gòu)與周圍的設(shè)備碰撞了，其沖擊力也能夠由連結(jié)部件吸收，從而能夠適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)作為搬運(yùn)裝置的主要構(gòu)成機(jī)構(gòu)的保持機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)、周邊設(shè)備。


圖I是示出本實(shí)施方式I的搬運(yùn)裝置的外觀的主視圖。圖2是部分地剖開(kāi)連結(jié)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)而示出的主視圖。圖3是示出連結(jié)機(jī)構(gòu)的外觀的俯視圖。圖4是部分地剖開(kāi)連結(jié)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成部件而示出的分解主視圖。圖5是示出連結(jié)部件的外觀的俯視圖。圖6是示出連結(jié)部件的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖7是示出作為關(guān)聯(lián)技術(shù)的搬運(yùn)裝置的概要構(gòu)成的側(cè)面圖。圖8是示出與作為關(guān)聯(lián)技術(shù)的周邊設(shè)備碰撞了的搬運(yùn)裝置的側(cè)面圖。圖9是示出現(xiàn)有的臂連結(jié)部的保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。
具體實(shí)施例方式下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式基于附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明。此外，本發(fā)明不限于下面的實(shí)施方式。《發(fā)明的實(shí)施方式I》圖I 圖6示出本發(fā)明的實(shí)施方式I。圖I是示出本實(shí)施方式I的搬運(yùn)裝置I的外觀的主視圖。圖2是部分地剖開(kāi)連結(jié)機(jī)構(gòu)13的結(jié)構(gòu)而示出的主視圖。圖3是示出連結(jié)機(jī)構(gòu)13的外觀的俯視圖。另外，圖4是部分地剖開(kāi)連結(jié)機(jī)構(gòu)13的構(gòu)成部件而示出的分解主視圖。圖5是示出連結(jié)部件17的外觀的俯視圖。圖6是示出連結(jié)部件17的結(jié)構(gòu)的截面圖。在本實(shí)施方式I中，以圖I、圖2和圖4的上側(cè)為“上側(cè)”，將同圖中的下側(cè)稱為“下側(cè)”。如圖I所示，本實(shí)施方式I的搬運(yùn)裝置I具備保持機(jī)構(gòu)11，其保持作為工件的液晶顯示面板10 ;以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)12,其使保持機(jī)構(gòu)11以懸吊的狀態(tài)移動(dòng)。保持機(jī)構(gòu)11經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)13與移動(dòng)機(jī)構(gòu)12連結(jié)。這樣，以將該液晶顯示面板10懸吊搬運(yùn)的方式構(gòu)成。移動(dòng)機(jī)構(gòu)12具有軌道部31，其在水平方向上延伸；驅(qū)動(dòng)部32，其設(shè)置為能被軌道部31引導(dǎo)而在水平方向上移動(dòng)；以及臂部33，其設(shè)置于驅(qū)動(dòng)部32，能上下伸縮。驅(qū)動(dòng)部32沿著軌道部31移動(dòng)，并且構(gòu)成為伸縮驅(qū)動(dòng)臂部33。臂部33形成為圓柱狀的桿。保持機(jī)構(gòu)11包含多個(gè)抓手部25，該多個(gè)抓手部25吸附保持液晶顯示面板10。在各抓手部25的下端分別設(shè)置有多個(gè)吸盤(pán)26，該多個(gè)吸盤(pán)26用于吸附保持液晶顯示面板10的上表面。連結(jié)機(jī)構(gòu)13具有第I支撐部件15，其裝配固定于移動(dòng)機(jī)構(gòu)12的臂部33 ;第2支 撐部件16，其裝配固定于保持機(jī)構(gòu)11 ;以及連結(jié)部件17，其連結(jié)上述第I支撐部件15和第2支撐部件16。第I支撐部件15包含金屬材料，如圖2 圖4所示，具有主體部35，其由具有規(guī)定厚度的圓板狀的部件形成；以及凸起部36，其向主體部35的上表面中央突出形成。凸起部36和主體部35形成為一體。
凸起部36嵌插于在上述臂部33的下端形成的孔部(省略圖示)。由此，將第I支撐部件15安裝在臂部33上。另外，在凸起部36的主體部35形成有第I孔部37，其在上表面?zhèn)乳_(kāi)口 ；以及第2孔部38，其在與第I孔部37同心位置的下表面?zhèn)乳_(kāi)口。第I孔部37和第2孔部38相互連通，作為整體貫通主體部35的厚度方向。第2支撐部件16包含金屬材料，如圖I、圖2和圖4所示，由板狀的部件形成。在第2支撐部件16的端部裝配固定有上述多個(gè)抓手部25。另外，如圖2所示，在第2支撐部件16形成有第3孔部41，其在上表面?zhèn)乳_(kāi)口 ；以及第4孔部42，其在與第3孔部41同心位置的下表面?zhèn)乳_(kāi)口。第3孔部41和第4孔部42相互連通，作為整體貫通第2支撐部件16的厚度方向。如圖4 圖6所示，連結(jié)部件17包含內(nèi)部形成有貫通孔20的筒狀部件，例如由酚醛樹(shù)脂等樹(shù)脂材料來(lái)形成。另外，在連結(jié)部件17的貫通孔20的內(nèi)周面形成有螺紋牙23。 如圖2和圖4所示，連結(jié)部件17的一端側(cè)21嵌插于第I支撐部件15的主體部35的第2孔部38，由插入第I孔部37的第I緊固螺釘39連接固定于第I支撐部件15。SP，第I緊固螺釘39的軸40與作為螺紋孔的貫通孔20的一端側(cè)螺合。另一方面，連結(jié)部件17的另一端側(cè)22嵌插于第2支撐部件16的第3孔部41，由插入第4孔部42的第2緊固螺釘43連接固定于第2支撐部件16。即，第2緊固螺釘43的軸44與作為螺紋孔的貫通孔20的另一端側(cè)螺合。由此，第I支撐部件15和第2支撐部件16經(jīng)由連結(jié)部件17來(lái)連結(jié)。在此，如圖2所示，在第I支撐部件15和第2支撐部件16已連結(jié)的狀態(tài)下，在連結(jié)部件17的內(nèi)部，在第I緊固螺釘39的軸40的頂端和第2緊固螺釘43的軸44的頂端之間形成有規(guī)定的間隙45。并且，間隙45的至少一部分配置于第I支撐部件15的主體部35的下表面和第2支撐部件16的上表面之間的高度位置。并且，如上所述，包含例如樹(shù)脂材料的連結(jié)部件17的機(jī)械強(qiáng)度比包含例如金屬材料的第I支撐部件15和第2支撐部件16各自的機(jī)械強(qiáng)度小。這樣，連結(jié)部件17構(gòu)成為由于對(duì)第2支撐部件16或者保持機(jī)構(gòu)11施加的外力而斷開(kāi)，將第I支撐部件15和第2支撐部件16相互分離。-搬運(yùn)動(dòng)作-接著，說(shuō)明上述搬運(yùn)裝置I的搬運(yùn)動(dòng)作。搬運(yùn)裝置I使移動(dòng)機(jī)構(gòu)12的驅(qū)動(dòng)部32沿著軌道部31在水平方向上移動(dòng)，使保持機(jī)構(gòu)11的抓手部25移動(dòng)到接收液晶顯示面板10的位置。驅(qū)動(dòng)部32在上述接收位置對(duì)收縮狀態(tài)的臂部33進(jìn)行伸展驅(qū)動(dòng)，使抓手部25靠近在其下方配置的液晶顯示面板10。并且，由抓手部25下端的吸盤(pán)26將液晶顯示面板10的上表面利用真空力來(lái)吸附保持。其后，驅(qū)動(dòng)部32對(duì)臂部33進(jìn)行收縮驅(qū)動(dòng)，將液晶顯示面板10懸吊，使其上升。然后，搬運(yùn)裝置I使驅(qū)動(dòng)部32沿著軌道部31在水平方向上移動(dòng)，使吸附保持有液晶顯示面板10的抓手部25移動(dòng)到對(duì)該液晶顯示面板10進(jìn)行下一處理的交接位置。驅(qū)動(dòng)部32在上述交接位置對(duì)收縮狀態(tài)的臂部33進(jìn)行伸展驅(qū)動(dòng)，將液晶顯示面板10載置到其下方的載臺(tái)(省略圖示)。接著，將液晶顯示面板10從吸盤(pán)26釋放，然后驅(qū)動(dòng)部32對(duì)臂部33進(jìn)行收縮驅(qū)動(dòng)來(lái)使抓手部25上升。
在此，說(shuō)明假如搬運(yùn)裝置I誤動(dòng)作、在抓手部25的移動(dòng)中第2支撐部件16或者抓手部25(保持機(jī)構(gòu)11)與周邊設(shè)備(省略圖示)碰撞了的情況。在該情況下，由于連結(jié)部件17具有比第I支撐部件15和第2支撐部件16各自小的機(jī)械強(qiáng)度，因此由于上述碰撞而對(duì)第2支撐部件16或者保持機(jī)構(gòu)11施加的外力導(dǎo)致連結(jié)部件17斷開(kāi)，第I支撐部件15和第2支撐部件16會(huì)相互分離。因此，即使在液晶顯示面板10的搬運(yùn)中第2支撐部件16或者保持機(jī)構(gòu)11與周邊設(shè)備碰撞了，其沖擊力也會(huì)由連結(jié)部件17的斷開(kāi)或者破損來(lái)吸收，從而將作為搬運(yùn)裝置的主要構(gòu)成機(jī)構(gòu)的保持機(jī)構(gòu)11和移動(dòng)機(jī)構(gòu)12、周邊設(shè)備從上述碰撞導(dǎo)致的沖擊力中適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)。-實(shí)施方式I的效果-
因此，根據(jù)該實(shí)施方式1，假如在搬運(yùn)裝置I誤動(dòng)作，在抓手部25的移動(dòng)中第2支撐部件16或者抓手部25(保持機(jī)構(gòu)11)與周邊設(shè)備碰撞了的情況下，由于連結(jié)部件17具有比第I支撐部件15和第2支撐部件16各自小的機(jī)械強(qiáng)度，而且，在連結(jié)部件17的內(nèi)部形成的間隙45的至少一部分配置于第I支撐部件15的主體部35的下表面和第2支撐部件16的上表面之間的高度位置，由于上述碰撞而對(duì)第2支撐部件16或者保持機(jī)構(gòu)11施加的外力也會(huì)使連結(jié)部件17本身斷開(kāi)，使第I支撐部件15和第2支撐部件16相互分離。S卩，即使在液晶顯示面板10的搬運(yùn)中第2支撐部件16或者保持機(jī)構(gòu)11與周邊設(shè)備碰撞了，其沖擊力也能夠由連結(jié)部件17的斷開(kāi)或者破損來(lái)吸收，從而能夠?qū)⒆鳛榘徇\(yùn)裝置I的主要構(gòu)成機(jī)構(gòu)的保持機(jī)構(gòu)11和移動(dòng)機(jī)構(gòu)12、周邊設(shè)備從上述碰撞導(dǎo)致的沖擊力中適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)。而且，連結(jié)部件17包含筒狀部件，將其一端側(cè)連接固定于第I支撐部件15，另一方面將另一端側(cè)連接固定于第2支撐部件16，因此能夠合適地得到連結(jié)第I支撐部件15和第2支撐部件16并且能利用上述外力來(lái)分離的連結(jié)部件17。另外，第I支撐部件15和第2支撐部件16包含金屬材料，另一方面，連結(jié)部件17包含樹(shù)脂材料，因此能夠容易地使它們的機(jī)械強(qiáng)度不同。此外，在第2支撐部件16上裝配固定多個(gè)抓手部25，該多個(gè)抓手部25吸附保持液晶顯示面板10，因此能夠保護(hù)上述搬運(yùn)裝置I的主要構(gòu)成機(jī)構(gòu)、周邊設(shè)備并且合適地搬運(yùn)液晶顯示面板10?！镀渌鼘?shí)施方式》在上述實(shí)施方式I中，連結(jié)部件17包含樹(shù)脂材料，不過(guò)，只要是機(jī)械強(qiáng)度比第I支撐部件15和第2支撐部件16各自低的部件即可，也可以包含其它材料。另外，連結(jié)部件17的形狀也不限于如上所述的筒狀部件，只要連結(jié)部件17的機(jī)械強(qiáng)度足夠低即可，也可以是沒(méi)有上述間隙45的實(shí)心的構(gòu)成。另外，保持機(jī)構(gòu)11不限于如上所述對(duì)液晶顯示面板10等工件進(jìn)行真空吸附的機(jī)構(gòu)，也可以是將工件夾緊而保持的機(jī)構(gòu)。另外，不限于液晶顯不面板，有機(jī)EL顯不面板等其它顯不面板、玻璃基板等基板均能夠用作由上述保持機(jī)構(gòu)11搬運(yùn)的工件。工業(yè)上的可利用件如上所述，本發(fā)明對(duì)于搬運(yùn)例如液晶顯示面板等工件的搬運(yùn)裝置是有用的。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
I搬運(yùn)裝置
10液晶顯示面板
11保持機(jī)構(gòu)
12移動(dòng)機(jī)構(gòu)
13連結(jié)機(jī)構(gòu)
15第I支撐部件
16第2支撐部件
17連結(jié)部件
25抓手部
31軌道部
32驅(qū)動(dòng)部
33臂部
35主體部
36凸起部
權(quán)利要求
1.一種搬運(yùn)裝置，其特征在于， 具備 保持機(jī)構(gòu)，其保持工件；以及 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使上述保持機(jī)構(gòu)以懸吊的狀態(tài)移動(dòng)， 上述保持機(jī)構(gòu)經(jīng)由連結(jié)機(jī)構(gòu)與上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)， 上述連結(jié)機(jī)構(gòu)具有 第I支撐部件，其裝配固定于上述移動(dòng)機(jī)構(gòu);第2支撐部件，其裝配固定于上述保持機(jī)構(gòu)；以及連結(jié)部件，其連結(jié)上述第I支撐部件和第2支撐部件， 上述連結(jié)部件的機(jī)械強(qiáng)度比上述第I支撐部件和第2支撐部件各自的機(jī)械強(qiáng)度小，上述連結(jié)部件構(gòu)成為由于對(duì)上述第2支撐部件或者上述保持機(jī)構(gòu)施加的外力而斷開(kāi)，將上述第I支撐部件和第2支撐部件相互分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述連結(jié)部件包含筒狀部件，該連結(jié)部件的一端側(cè)連接固定于上述第I支撐部件，另一方面，該連結(jié)部件的另一端側(cè)連接固定于上述第2支撐部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述第I支撐部件和上述第2支撐部件包含金屬材料， 上述連結(jié)部件包含樹(shù)脂材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于， 在上述第2支撐部件上裝配固定有多個(gè)抓手部，該多個(gè)抓手部吸附保持上述工件。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中的任一項(xiàng)所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于， 上述工件是顯示面板。
全文摘要
搬運(yùn)裝置具備移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使保持工件的保持機(jī)構(gòu)以懸吊的狀態(tài)移動(dòng)。連結(jié)機(jī)構(gòu)連結(jié)保持機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)，該連結(jié)機(jī)構(gòu)具有第1支撐部件，其裝配固定于移動(dòng)機(jī)構(gòu)；第2支撐部件，其裝配固定于保持機(jī)構(gòu)；以及連結(jié)部件，其連結(jié)第1和第2支撐部件。連結(jié)部件的機(jī)械強(qiáng)度比第1和第2支撐部件各自小，連結(jié)部件構(gòu)成為由于對(duì)第2支撐部件或者保持機(jī)構(gòu)施加的外力而斷開(kāi)，將第1和第2支撐部件相互分離。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102686370SQ20108005972
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2010年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月2日
發(fā)明者西岡忠司 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社