專利名稱：蒸鍍氣體供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及均勻地供給蒸鍍物質(zhì)的蒸鍍氣體供給裝置。更具體而言，涉及在用于制造半導(dǎo)體元件或平板顯示器的薄膜蒸鍍エ序時(shí)每個(gè)蒸鍍エ序都能夠供給均勻量的蒸鍍氣體的蒸鍍氣體供給裝置。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體元件或平板顯示器吋，蒸鍍多種薄膜。作為這種薄膜蒸鍍方法，大體可以例舉物理氣相蒸鍍法(PVD physical vapor deposition)和化學(xué)氣相蒸鍍法(CVD chemical vapor deposition;。化學(xué)氣相蒸鍍法是將作為蒸鍍對(duì)象的物質(zhì)以氣體形態(tài)移動(dòng)到基板表面上，并通過氣體的反應(yīng)在基板表面上蒸鍍薄膜的方法，根據(jù)蒸鍍物質(zhì)的不同的選擇，能夠形成各種薄膜，具有通過較簡(jiǎn)單的エ序能夠進(jìn)行大量的作業(yè)處理的優(yōu)點(diǎn)，因而得到廣泛應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題在化學(xué)氣相蒸鍍法的情況下，蒸鍍壓カ直接受到從供給蒸鍍物質(zhì)的蒸鍍氣體供給裝置供給的蒸鍍氣體的流量(即，蒸鍍氣體壓力)的影響。即，在化學(xué)氣相蒸鍍法中，為了適當(dāng)控制蒸鍍壓力，尤其需要正確調(diào)節(jié)蒸鍍氣體供給裝置的蒸鍍氣體的壓力。蒸鍍氣體的壓カ調(diào)節(jié)在需要精密且一定地調(diào)節(jié)蒸鍍速度時(shí)尤其重要。但是，在以往的蒸鍍氣體供給裝置中，根據(jù)產(chǎn)生蒸鍍氣體的蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部中所殘留的蒸鍍物質(zhì)的量，蒸鍍物質(zhì)的蒸發(fā)量不同，因此不能夠正確調(diào)節(jié)蒸鍍氣體的壓力。此外，隨著蒸鍍物質(zhì)被加熱而重復(fù)揮發(fā)以及凝縮過程，在蒸鍍物質(zhì)的表面形成的凹凸形狀及表面積持續(xù)變化，同吋，在蒸鍍物質(zhì)的表面產(chǎn)生的蒸鍍氣體的蒸發(fā)量發(fā)生變化，所以不能夠正確調(diào)節(jié)蒸鍍氣體的壓力。如上所示，若在不能夠正確調(diào)節(jié)蒸鍍氣體的壓カ的狀態(tài)下執(zhí)行蒸鍍エ序，則存在形成在基板上的薄膜的重復(fù)性和合格率降低的問題。技術(shù)方案本發(fā)明是為了解決上述技術(shù)問題而做出的，其目的在干，提供ー種蒸鍍氣體供給裝置，該蒸鍍氣體供給裝置向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部供給均勻量的蒸鍍物質(zhì)，從而在每個(gè)蒸鍍エ 序能夠供給均勻量的蒸鍍氣體。此外，本發(fā)明的目的在干，提供ー種蒸鍍氣體供給裝置，該蒸鍍氣體供給裝置在執(zhí)行完蒸鍍エ序之后，將殘留在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的蒸鍍物質(zhì)排出到外部，從而在每個(gè)蒸鍍エ 序能夠供給均勻量的蒸鍍氣體。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，在薄膜蒸鍍ェ序時(shí)每個(gè)蒸鍍ェ序都能夠供給均勻量的蒸鍍氣體，所以具有大幅提高薄膜蒸鍍ェ序的重復(fù)性和合格率的效果。



100蒸鍍氣體供給裝置
200蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部
210吹洗供氣管
220過濾部
250蒸鍍物質(zhì)供給管
260第二監(jiān)視窗
270冷卻単元
300蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部
310加熱器
312電源線
314溫度測(cè)定器
400載氣供給部
410供氣管
420排氣管
500蒸鍍物質(zhì)供給部
510主體
520旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)
530充填部
540隔離板
550供給孔
560第一傳感器
570第二傳感器
580逆流防止氣體供給
590飛散防止凸緣
600 蒸鍍物質(zhì)排出部610 蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)620 翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器622:第一空氣壓カ管624 第三傳感器630 蒸鍍物質(zhì)保管筒640 第三監(jiān)視窗642:透明窗650 閘閥652 閘主體654 閘660 氣缸662 第二空氣壓カ管技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，包括蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部，儲(chǔ)藏蒸鍍物質(zhì)；蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部，對(duì)上述蒸鍍物質(zhì)加熱而產(chǎn)生蒸鍍氣體；以及載氣供給部，供給載氣，該蒸鍍氣體供給裝置還包括蒸鍍物質(zhì)供給部，該蒸鍍物質(zhì)供給部配置在上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部和上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部之間，上述蒸鍍物質(zhì)供給部在每個(gè)蒸鍍エ序，向上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部供給規(guī)定量的上述蒸鍍物質(zhì)。該蒸鍍氣體供給裝置還包括蒸鍍物質(zhì)排出部，該蒸鍍物質(zhì)排出部與上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部連接而配置，上述蒸鍍物質(zhì)排出部在每個(gè)蒸鍍エ序排出殘留在上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部中的上述蒸鍍物質(zhì)。該蒸鍍氣體供給裝置還包括加熱器，該加熱器配置在上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的內(nèi)側(cè)。上述加熱器還包括用于檢測(cè)溫度的溫度檢測(cè)器。上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部包括過濾部，該過濾部只使規(guī)定大小以下的上述蒸鍍物質(zhì)通
Xlo上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部還包括第一監(jiān)視窗，通過該第一監(jiān)視窗能夠觀察儲(chǔ)藏在內(nèi)部的上述蒸鍍物質(zhì)。該蒸鍍氣體供給裝置還包括第二監(jiān)視窗，通過該第二監(jiān)視窗能夠觀察從上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部向上述蒸鍍物質(zhì)供給部供給上述蒸鍍物質(zhì)。上述蒸鍍物質(zhì)供給部包括主體；旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)，以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在上述主體內(nèi)部；充填部，形成在上述旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)；隔離板，把上述主體內(nèi)部上下劃分；以及供給孔， 與上述充填部對(duì)應(yīng)地形成在上述隔離板上，當(dāng)在上述充填部中填充從外部供給的上述蒸鍍物質(zhì)，上述旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)旋轉(zhuǎn)任意角度而上述充填部位于上述供給孔的上部吋，填充在上述充填部中的上述蒸鍍物質(zhì)通過上述供給孔落下而被供給到上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部。還能夠包括第一傳感器，該第一傳感器用于檢測(cè)上述旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)是否旋轉(zhuǎn)。還能夠包括第二傳感器，該第二傳感器檢測(cè)上述蒸鍍物質(zhì)是否落下。還能夠包括逆流防止氣體供給部，該逆流防止氣體供給部用于防止蒸鍍氣體從上
6述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部向上述蒸鍍物質(zhì)供給部回流。上述蒸鍍物質(zhì)通過蒸鍍物質(zhì)供給管供給到上述充填部，上述供給孔能夠形成為， 與上述蒸鍍物質(zhì)供給管之間具有任意的角度距離。上述蒸鍍物質(zhì)排出部包括蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)，以能夠上下翻轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的內(nèi)部；翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器，連接到上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)的一端；以及蒸鍍物質(zhì)保管筒，用于保管從上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部排出的上述蒸鍍物質(zhì)，通過上述翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器的動(dòng)作，上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)翻轉(zhuǎn)，從而能夠?qū)⑸鲜稣翦兾镔|(zhì)支撐臺(tái)上的上述蒸鍍物質(zhì)移動(dòng)到上述蒸鍍物質(zhì)保管筒。還能夠包括管形狀的加熱器連接軸，該加熱器連接軸形成在上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)，在該加熱器連接軸的內(nèi)側(cè)插入上述加熱器，上述加熱器連接軸配置成與上述翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)軸同軸。還能夠包括第三傳感器，該第三傳感器用于檢測(cè)上述翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器是否旋轉(zhuǎn)。還能夠包括閘閥，與上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)聯(lián)動(dòng)地進(jìn)行開閉；以及氣壓氣缸，連接到上述間閥，在上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)翻轉(zhuǎn)時(shí)，上述氣壓氣缸開放上述間閥來排出上述蒸鍍物質(zhì)。上述蒸鍍物質(zhì)保管筒還能夠包括第三監(jiān)視窗，該第三監(jiān)視窗用于確認(rèn)上述蒸鍍物質(zhì)排出。上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部還能夠包括分散部，該分散部使上述蒸鍍物質(zhì)均勻地分散。上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部還包括配置在內(nèi)側(cè)的導(dǎo)熱部，通過上述導(dǎo)熱部，上述加熱器的熱能夠傳導(dǎo)到上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的中心部。
具體實(shí)施例方式后述的對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)說明是能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的特定實(shí)施例的例子，參照所圖示的附圖。為了使得本領(lǐng)域的技術(shù)人員足以實(shí)施本發(fā)明，對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明的多種實(shí)施例相互不同，但是應(yīng)理解為沒必要相互排斥。例如，在此記載的一個(gè)實(shí)施例的特定形狀、結(jié)構(gòu)及特性，只要不脫離本發(fā)明的精神及范圍就能夠通過其他實(shí)施例來實(shí)現(xiàn)。此外，各個(gè)公開的實(shí)施例內(nèi)的個(gè)別構(gòu)成要素的位置或配置只要不脫離本發(fā)明的精神及范圍， 就能夠做出變更。因此，后述的詳細(xì)說明并不意圖限定本發(fā)明，適當(dāng)?shù)刂v，本發(fā)明的范圍只由與其權(quán)利要求所主張的范圍均等的所有范圍以及所附的權(quán)利要求限定。圖中類似的參照標(biāo)記表示在多方面相同或類似的功能，長(zhǎng)度、面積和厚度等以及形態(tài)為了便于說明，也可以夸張表現(xiàn)。下面，為了使得在本發(fā)明所屬的技術(shù)領(lǐng)域中具有一般知識(shí)的技術(shù)人員容易實(shí)施本發(fā)明，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1是示出本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍氣體供給裝置100的結(jié)構(gòu)的圖。首先，參照?qǐng)D1，本發(fā)明的蒸鍍氣體供給裝置100包括蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200、蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300、載氣供給部400以及蒸鍍物質(zhì)供給部500。在此，利用蒸鍍物質(zhì)供給管250、蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200、蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300及蒸鍍物質(zhì)供給部500從上部配置到下部，蒸鍍物質(zhì)從蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200被供給到蒸鍍物質(zhì)供給部500，并通過自由落下的原理，能夠從蒸鍍物質(zhì)供給部500被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部
7300。下面，參照?qǐng)D2 圖5，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍氣體供給裝置100的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。首先，蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200能夠執(zhí)行儲(chǔ)藏規(guī)定量的蒸鍍物質(zhì)的功能。此外，蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200能夠執(zhí)行向后述的蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300供給蒸鍍物質(zhì)的功能。圖2是示出本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的一例的圖。參照?qǐng)D2，蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200可以構(gòu)成為具有規(guī)定的內(nèi)部容積的容器，以便儲(chǔ)藏蒸鍍物質(zhì)。蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200優(yōu)選制成很堅(jiān)固，以防止外部的異物侵入或者內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)流出。蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的材質(zhì)可以包括不銹鋼。參照?qǐng)D2，能夠確認(rèn)蒸鍍物質(zhì)供給管250與蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200連接。蒸鍍物質(zhì)供給管250連接蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200和蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300，使儲(chǔ)藏在蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200 的蒸鍍物質(zhì)能夠被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。未說明的附圖標(biāo)記210表示用于向蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200供給吹洗氣體的吹洗供氣管。圖3是示出本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的另一例的圖。參照?qǐng)D3，在蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的內(nèi)側(cè)，可以配置具有規(guī)定的網(wǎng)眼大小的過濾部 220。作為過濾部220，可以使用具有一定的網(wǎng)眼大小的網(wǎng)。過濾部220的材質(zhì)可以包括鐵或鋁。過濾部220能夠使從外部供給的蒸鍍物質(zhì)中只有規(guī)定大小即比網(wǎng)眼小的大小的蒸鍍物質(zhì)被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。隨之，只有規(guī)定大小以下的蒸鍍物質(zhì)被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300，因此，能夠防止因蒸鍍物質(zhì)的粒子大小的不均勻?qū)е抡翦兾镔|(zhì)供給管250 被堵住的現(xiàn)象。為了提高過濾部220的過濾效果，可以設(shè)置多個(gè)過濾部220，此時(shí)，過濾部 220可以構(gòu)成為網(wǎng)眼的大小相互不同。此外，雖然未圖示，在蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的ー側(cè)還可以配置第一監(jiān)視窗，通過該第一監(jiān)視窗能夠觀察蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的內(nèi)部。作業(yè)人員通過第一監(jiān)視窗，能夠以肉眼確認(rèn)蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)的量和蒸鍍物質(zhì)狀態(tài)。圖3所示的蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的結(jié)構(gòu)和作用，除了過濾部220和第一監(jiān)視窗之外，其他與圖2所示的蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200相同，所以省略對(duì)此的詳細(xì)說明。另ー方面，再次參照?qǐng)D1，可以確認(rèn)在用于連接蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200和蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的蒸鍍物質(zhì)供給管250上設(shè)有閥V。閥V起到如下作用在進(jìn)行蒸鍍氣體供給裝置100的維護(hù)作業(yè)時(shí)，限制從蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200向蒸鍍物質(zhì)供給部500供給蒸鍍物質(zhì)，或者，在蒸鍍物質(zhì)供給部500向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300供給了定量的蒸鍍物質(zhì)之后，完全封閉蒸鍍物質(zhì)供給管250，以防止向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300追加供給蒸鍍物質(zhì)。為了確認(rèn)向蒸鍍物質(zhì)供給部500的蒸鍍物質(zhì)供給，也可以在從蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部 200連接到蒸鍍物質(zhì)供給部500的蒸鍍物質(zhì)供給管250中設(shè)置第二監(jiān)視窗沈0。作業(yè)人員通過設(shè)在閥V的下端的第二監(jiān)視窗沈0，能夠確認(rèn)蒸鍍物質(zhì)經(jīng)由閥V供給到蒸鍍物質(zhì)供給部 500的情況。第二監(jiān)視窗沈0的材質(zhì)可以包含石英。此外，若進(jìn)ー步參照?qǐng)D1，在用于連接后述的蒸鍍物質(zhì)供給部500和蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的蒸鍍物質(zhì)供給管250上，可以設(shè)置冷卻単元270。冷卻単元270能夠執(zhí)行如下功能防止為了在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300生成蒸鍍氣體而施加的熱經(jīng)由蒸鍍物質(zhì)供給管250傳遞到蒸鍍物質(zhì)供給部500。下面，蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300由具有規(guī)定的內(nèi)部容積的容器構(gòu)成，能夠執(zhí)行向被供給的蒸鍍物質(zhì)施加熱來產(chǎn)生蒸鍍氣體的功能。在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300和蒸鍍物質(zhì)供給管 250的連接部位，能夠配置密封(sealing)用的0型環(huán)302。關(guān)于蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的具體結(jié)構(gòu)，參照?qǐng)D6 圖8，在后面進(jìn)行說明。此外，載氣供給部400能夠執(zhí)行將載氣供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的功能。在此， 載氣能夠執(zhí)行將在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300產(chǎn)生的蒸鍍氣體移動(dòng)到蒸鍍腔中(未圖示)的功能。再次參照?qǐng)D1，載氣供給部400可包括供氣管410及排氣管420。供氣管410及排氣管420可以連接到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的ー側(cè)。此外，在供氣管410及排氣管420上，可以連接用于限制氣體的移動(dòng)的閥。另ー方面，載氣能夠使用惰性的能把蒸鍍氣體容易移動(dòng)到蒸鍍腔中的高純度的氬氣、氦氣、氮?dú)獾?。此外，蒸鍍物質(zhì)供給部500能夠執(zhí)行對(duì)經(jīng)由蒸鍍物質(zhì)供給管250供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的蒸鍍物質(zhì)的量進(jìn)行調(diào)節(jié)的功能。尤其是，本發(fā)明的蒸鍍物質(zhì)供給部500在每一蒸鍍エ序，都能夠把均勻量的蒸鍍物質(zhì)供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。下面，參照?qǐng)D4及圖 5，對(duì)蒸鍍物質(zhì)供給部500的結(jié)構(gòu)及各構(gòu)成要素的功能進(jìn)行說明。圖4和圖5是示出本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍物質(zhì)供給部500的結(jié)構(gòu)的分解立體圖和局部截面立體圖。參照?qǐng)D4和圖5，蒸鍍物質(zhì)供給部500基本上能夠包括主體510，旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520， 充填部530，隔離板540及供給孔55。此外，蒸鍍物質(zhì)供給部500還可以包括第一傳感器560和第二傳感器570。另外，蒸鍍物質(zhì)供給部500還可以包括逆流防止氣體供給部580。首先，主體510能夠起到用于設(shè)置蒸鍍物質(zhì)供給部500的構(gòu)成要素的骨架的作用。 主體510能夠連接到蒸鍍物質(zhì)供給管250的中間部分，能夠構(gòu)成為在內(nèi)部具有規(guī)定空間的圓筒形態(tài)。此外，主體510能夠制作成很堅(jiān)固，以防止外部的異物侵入或內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)流出，主體510的材質(zhì)可以包括不銹鋼。此外，主體510的內(nèi)側(cè)下端構(gòu)成為倒三角形的截面形態(tài)，以使得蒸鍍物質(zhì)容易排出到主體510的外部。為了對(duì)主體510內(nèi)部中所設(shè)置的各構(gòu)成要素進(jìn)行維護(hù)和管理，在主體510的上部， 能夠以可開閉的方式設(shè)置蓋512。蓋512的材質(zhì)也和主體510同樣，能夠包括不銹鋼。在蓋 512和主體510的連接部位，可以配置密封用0型環(huán)514。另ー方面，在主體510的ー側(cè)能夠連接ー對(duì)冷卻管502，在主體510的上部能夠連接后述的逆流防止氣體供給部580。接著，旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在主體510的內(nèi)部，以執(zhí)行從蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300供給一定量的蒸鍍物質(zhì)的功能。旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520能夠構(gòu)成為具有規(guī)定厚度的圓板形狀。旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的中心軸能夠連接到旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522，旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520能夠隨著旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522的動(dòng)作而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。此時(shí)，旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520能夠旋轉(zhuǎn)任意設(shè)定的角度，例如毎次旋轉(zhuǎn)90度。另ー方面，旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522能夠配置到主體 510的上部。為了使得旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的旋轉(zhuǎn)變得容易，在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的上部和下部還能夠配置特氟隆(Teflon)材質(zhì)的環(huán)516。接著，充填部530形成在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的規(guī)定位置，執(zhí)行用于填充通過蒸鍍物質(zhì)供給管250供給的蒸鍍物質(zhì)的空間的功能。充填部530能夠構(gòu)成為具有規(guī)定體積的圓筒形狀的空間。充填部530的體積優(yōu)選為能夠儲(chǔ)存一次蒸鍍エ序所需的蒸鍍氣體的生成所需量的蒸鍍物質(zhì)。參照?qǐng)D4和圖5，兩個(gè)充填部530之間形成90度角度，但是不一定限定于此，也可以形成為該角度以上的角度，能夠形成為180度的角度。接著，隔離板540能夠設(shè)置在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的下側(cè)，執(zhí)行把主體510的內(nèi)部空間劃分為上部和下部的功能。此外，如后所述，隔離板40能夠執(zhí)行調(diào)節(jié)經(jīng)由供給孔550填充到充填部530中的蒸鍍物質(zhì)的供給的功能。其次，供給孔550形成在隔離板540上，能夠使通過了充填部530的蒸鍍物質(zhì)被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300中。供給孔550優(yōu)選與蒸鍍物質(zhì)供給管250的正下方之間具有規(guī)定的角度距離，例如，在與充填部530之間形成90度的角度距離。此外，供給孔550的直徑優(yōu)選被設(shè)定為與充填部530的下端部的直徑相同。在具有如上所述結(jié)構(gòu)的蒸鍍物質(zhì)供給部500中，蒸鍍物質(zhì)依次通過旋轉(zhuǎn)供給臺(tái) 520的充填部530及隔離板MO的供給孔550而被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。此時(shí)，旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的充填部530每次位于供給孔550正上方時(shí)，對(duì)應(yīng)于充填部530的體積的量的蒸鍍物質(zhì)被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。在此，充填部530的體積恒定，隨之，填充到充填部530中的蒸鍍物質(zhì)的量也恒定，所以能夠根據(jù)旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的旋轉(zhuǎn)周期，向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300供給一定量的蒸鍍物質(zhì)。再次參照?qǐng)D4及圖5，形成在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520上的充填部530的個(gè)數(shù)是2個(gè)，但是， 并不限定于此，能夠根據(jù)蒸鍍物質(zhì)的単位時(shí)間內(nèi)的供給量來做出多種變更。此吋，為了提高蒸鍍物質(zhì)的単位時(shí)間內(nèi)的供給量，能夠在充填部530的個(gè)數(shù)相同的情況下縮短旋轉(zhuǎn)供給臺(tái) 520的旋轉(zhuǎn)周期，并且，能夠增加充填部530的容積，例如充填部530的直徑或高度(即，旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的厚度)。換言之，在本發(fā)明中，通過變更旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的旋轉(zhuǎn)周期、充填部530的個(gè)數(shù)及充填部530的容積等，能夠調(diào)節(jié)単位時(shí)間內(nèi)的經(jīng)由蒸鍍物質(zhì)供給部500供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的蒸鍍物質(zhì)量，并且，在本發(fā)明中，任何情況下，都能夠使向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300提供的蒸鍍物質(zhì)的単位時(shí)間內(nèi)的供給量恒定。此外，第一傳感器560設(shè)置在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520和旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522的連接部位，能夠執(zhí)行用于檢測(cè)旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520是否旋轉(zhuǎn)了設(shè)定的角度的功能。第一傳感器560能夠包括兩個(gè)傳感元件(Sensor Dog)(未圖示)和檢測(cè)部(未圖示)。傳感元件和檢測(cè)部能夠設(shè)置在連接旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520和旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522的軸的規(guī)定地點(diǎn)。此時(shí)，作業(yè)人員能夠通過確認(rèn)傳感元件和檢測(cè)部是否接觸，能夠確認(rèn)旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520是否旋轉(zhuǎn)了已設(shè)定的旋轉(zhuǎn)角度，例如 90度。此外，第二傳感器570設(shè)置在主體510的下部一側(cè)，能夠執(zhí)行用于檢測(cè)蒸鍍物質(zhì)是否通過供給孔550落下的功能。第二傳感器570可以包括利用可見光的光傳感器。第二傳感器570能夠利用固定托架572配置到連接帽576的一側(cè)，該連接帽576配置在主體510 的外側(cè)下部。另ー方面，為了容易設(shè)置第二傳感器570和第一透明窗574，連接帽576配置在主體510的外側(cè)下部，在主體510和連接帽576的連接部位，還可以配置密封用的0型環(huán)
10518。此外，逆流防止氣體供給部580連接到主體510的上部，執(zhí)行防止在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300產(chǎn)生的蒸鍍氣體回流到蒸鍍物質(zhì)供給部500中的功能。為此，逆流防止氣體供給部 580能夠向主體510供給逆流防止氣體。供給到主體510的逆流防止氣體不僅執(zhí)行使得主體510的內(nèi)側(cè)維持規(guī)定的壓カ狀態(tài)的功能，還能夠執(zhí)行排出殘留在主體510內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)的功能。逆流防止氣體能夠通過與載氣供給部400相同的線路供給到逆流防止氣體供給部580。逆流防止氣體可以是氬氣。另ー方面，再次參照?qǐng)D1，本發(fā)明的蒸鍍氣體供給裝置100還可以包括蒸鍍物質(zhì)排出部600。蒸鍍物質(zhì)排出部600能夠執(zhí)行排出殘留在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300中的蒸鍍物質(zhì)的功能。換言之，蒸鍍物質(zhì)排出部600能夠通過自由落下原理排出被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300 的蒸鍍物質(zhì)中的沒有供給到蒸鍍腔中的蒸鍍物質(zhì)。下面，參照?qǐng)D6及圖8，對(duì)蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300及蒸鍍物質(zhì)排出部600的結(jié)構(gòu)及各構(gòu)成要素的功能進(jìn)行說明。圖6、圖7及圖8示出是本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300及蒸鍍物質(zhì)排出部600的結(jié)構(gòu)的圖、分解立體圖和截面圖。參照?qǐng)D6及圖8，蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300還可以包括加熱器310。加熱器310配置在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的內(nèi)部，能夠執(zhí)行產(chǎn)生蒸鍍物質(zhì)的氣化所需的熱的功能。在加熱器310產(chǎn)生的熱能夠被施加到安裝在蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610上的蒸鍍物質(zhì)。加熱器310能夠構(gòu)成為具有規(guī)定長(zhǎng)度的圓形桿形態(tài)。為了提高基于加熱器310的加熱效果，在加熱器310的端部即接觸蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的加熱器310的端部的發(fā)熱可以集中。在加熱器310上能夠連接用于供電源的電源線312和溫度測(cè)定器314，該溫度測(cè)定器314用于測(cè)定所發(fā)的熱。作為溫度測(cè)定器314，優(yōu)選使用熱電偶(thermocouple)。熱電偶是本技術(shù)領(lǐng)域中廣泛知曉的公知的構(gòu)成要素，所以省略對(duì)熱電偶的結(jié)構(gòu)和作用的詳細(xì)說明。加熱器310的端部能夠與后述的蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610緊密相連。對(duì)于加熱器310 和蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的連接，將在后面進(jìn)行說明。另ー方面，雖然未圖示，在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的內(nèi)側(cè)下部可以配置圓錐形狀的分散部(未圖示)。分散部能夠執(zhí)行使被供給到的蒸鍍物質(zhì)沉積到分散部的上部之后在分散部上均勻擴(kuò)散而分散的功能。隨之，能夠向被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300內(nèi)的蒸鍍物質(zhì)迅速且均勻地傳遞加熱器310的熱，所以能夠使蒸鍍物質(zhì)更加容易變換為蒸鍍氣體。在圓錐形狀的分散部的相互対稱的傾斜面，能夠形成階梯形狀的圖案(未圖示)。 階梯形狀的圖案能夠執(zhí)行使得蒸鍍物質(zhì)以一定的規(guī)則分布到分散部的功能。此時(shí)，位于分散部的端部的階梯的寬度形成為比位于分散部的中央部的階梯的寬度大。通過這種階梯形狀的圖案，加熱器310的熱能夠高效傳遞到蒸鍍物質(zhì)。此外，在圓錐形狀的分散部，在相互対稱的傾斜面，還能夠形成1/4球形狀的圖案 (未圖示)而非階段形狀的圖案。根據(jù)情況，與四邊形的階梯形狀的圖案相比，具有直徑的、 1/4球形狀的圖案更有利于分散蒸鍍物質(zhì)。另ー方面，雖然未圖示，在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的內(nèi)側(cè)能夠配置導(dǎo)熱部(未圖示)。
11導(dǎo)熱部能夠執(zhí)行使得在加熱器310產(chǎn)生的熱從蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的外壁迅速傳遞到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的中心部的功能。這樣，蒸鍍物質(zhì)的加熱在整體上能夠均勻進(jìn)行，能夠防止蒸鍍物質(zhì)的局部凝結(jié)及固化。導(dǎo)熱部能夠形成為球(ball)、網(wǎng)(mesh)及熱板等的形態(tài)。導(dǎo)熱部的材質(zhì)可以包括銅、鋁或不銹鋼。參照?qǐng)D6 圖8，蒸鍍物質(zhì)排出部600可以包括蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610，翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器 620及蒸鍍物質(zhì)保管筒630。此外，蒸鍍物質(zhì)排出部600還可以包括閘閥650和氣缸660。首先，蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610以能夠上下翻轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的內(nèi)側(cè)，能夠執(zhí)行使經(jīng)由蒸鍍物質(zhì)供給部500被供給的蒸鍍物質(zhì)暫時(shí)停留的功能。此時(shí)，優(yōu)選把蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的上部面形成為平板狀，以便于蒸鍍物質(zhì)停留到蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái) 610上。此外，優(yōu)選使得蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的端部緊密貼合到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的內(nèi)周面，由此防止蒸鍍物質(zhì)通過蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610和蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的內(nèi)壁之間泄漏。在蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的下部，還能夠形成加熱器連接軸612。加熱器連接軸612 能夠構(gòu)成為具有規(guī)定的長(zhǎng)度的管形態(tài)。在加熱器連接軸612的內(nèi)側(cè)還能夠嵌入加熱器310。 加熱器連接軸612的中心軸優(yōu)選與后述的翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)軸的中心軸同軸。在向加熱器連接軸612嵌入加熱器310時(shí)，為了防止加熱器310脫離或松動(dòng)等，還能夠配置凸緣 616和固定環(huán)618。蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610和加熱器連接軸612能夠由容易導(dǎo)熱的金屬材質(zhì)構(gòu)成，能夠由相同的材質(zhì)構(gòu)成。此外，翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620連接到蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的ー側(cè)，能夠執(zhí)行使得蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610翻轉(zhuǎn)的功能。為此，翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)軸能夠連接到蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610 的ー側(cè)。為了使得蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610和翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的連接牢固，還能夠配置固定凸緣626和固定環(huán)628。翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620能夠通過空氣壓カ而動(dòng)作。為了如上所述的翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的動(dòng)作，在翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的ー側(cè)能夠連接ー對(duì)第一空氣壓カ管622。向ー對(duì)第一空氣壓カ管 622中的任意的第一空氣壓カ管622供給空氣壓力，在另ー第一空氣壓カ管622排出空氣壓力，使得翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620執(zhí)行旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。若經(jīng)由第一空氣壓カ管622的空氣壓カ供給方向發(fā)生變更，則能夠變更翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)方向。在本實(shí)施例中，翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620 —次能旋轉(zhuǎn)180度。另ー方面，為了檢測(cè)翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，可以設(shè)置多個(gè)第三傳感器624。 第三傳感器6M優(yōu)選以翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)軸作為基準(zhǔn)以180度間隔設(shè)置。作業(yè)人員能夠通過確認(rèn)設(shè)在翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)軸上的傳感元件625和第三傳感器6M是否接觸， 來確認(rèn)翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620是否旋轉(zhuǎn)了 180度。通過具有如上所述的結(jié)構(gòu)的翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的動(dòng)作，能夠使蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610 翻轉(zhuǎn)。隨著蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610翻轉(zhuǎn)，原來停留在蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610上的蒸鍍物質(zhì)能夠向下方落下。此外，蒸鍍物質(zhì)保管筒630配置在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300的下部，能夠執(zhí)行保管所排出的蒸鍍物質(zhì)的功能。保管在蒸鍍物質(zhì)保管筒630中的蒸鍍物質(zhì)能夠再使用于之后的蒸鍍 エ序或完全廢棄。蒸鍍物質(zhì)保管筒630能夠構(gòu)成為具有規(guī)定的內(nèi)部容積的圓筒形態(tài)。只要能夠保管蒸鍍物質(zhì)，除了圓筒形態(tài)之外，則蒸鍍物質(zhì)保管筒630還能夠構(gòu)成為各種形態(tài)。
在蒸鍍物質(zhì)保管筒630的ー側(cè)，能夠以規(guī)定的大小形成第三監(jiān)視窗640，通過該第三監(jiān)視窗640能夠通過肉眼觀察蒸鍍物質(zhì)保管筒630內(nèi)部的蒸鍍物質(zhì)。在第三監(jiān)視窗640 上能夠配置第二透明窗642，以便隔離蒸鍍物質(zhì)保管筒630的內(nèi)部和外部，并容易確認(rèn)蒸鍍物質(zhì)。這種第二透明窗642的材質(zhì)能夠包括石英。在此，在與第三監(jiān)視窗640的大小匹配地制作第二透明窗642的大小的情況下，在第二透明窗642的外周面和第三監(jiān)視窗640的內(nèi)周面之間可能發(fā)生游隙。為了防止這種情況，優(yōu)選以第二透明窗642的外周面能夠貼緊蒸鍍物質(zhì)保管筒630的內(nèi)周面的方式配置第 ニ透明窗642。另ー方面，在本實(shí)施例中，以與蒸鍍物質(zhì)保管筒630的形狀匹配的方式，把第 ニ透明窗642形成為圓筒形。蒸鍍物質(zhì)保管筒630和閘閥650能夠通過密封用0型環(huán)632和固定板634牢固連接。此外，間閥650配置在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300和蒸鍍物質(zhì)保管筒630之間，能夠執(zhí)行約束所排出的蒸鍍物質(zhì)的移動(dòng)的功能。閘閥650能夠與蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地開閉。更具體而言，當(dāng)蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)61翻轉(zhuǎn)時(shí)，閘閥650打開以使從蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610 落下的蒸鍍物質(zhì)通過，當(dāng)蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610返回到原位置吋，閘閥650關(guān)閉，從而使蒸鍍物質(zhì)不能通過。參照?qǐng)D8，閘閥650可以包括閥主體652及閘654。首先，閥主體652能夠執(zhí)行連接蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300和蒸鍍物質(zhì)保管筒630的功能。閥主體652能夠構(gòu)成為管形態(tài)，能夠通過閘6M來開閉。此外，閘6M構(gòu)成為平板形態(tài)，能夠執(zhí)行被氣缸660水平移動(dòng)的功能。在此，為了使閘6M的移動(dòng)及氣缸660的設(shè)置變得容易，可在閥主體652的一側(cè)連接間殼體656。在閘殼體656的內(nèi)部，可形成閘6M能夠水平移動(dòng)的空間。此外，氣缸660能夠執(zhí)行通過從外部供給的空氣壓カ使閘閥650水平移動(dòng)的功能。 在氣缸660上能夠連接ー對(duì)第二空氣壓カ管662。向ー對(duì)第二空氣壓カ管662中任意的第 ニ空氣壓カ管662供給空氣壓力，從另ー第二空氣壓カ管662排出空氣壓力，從而氣缸660 能夠進(jìn)行伸縮動(dòng)作。此時(shí)，隨著變更通過第二空氣壓カ管662供給的空氣壓カ的供給方向， 氣缸660的動(dòng)作方向發(fā)生變更，從而能夠容易變更閘6M的移動(dòng)方向。下面，參照?qǐng)D9 圖12，對(duì)本發(fā)明的一實(shí)施例的蒸鍍氣體供給裝置100的動(dòng)作進(jìn)行說明。圖9 圖12是示出本發(fā)明的蒸鍍物質(zhì)供給部500的動(dòng)作的圖。在此，圖9 圖10 是示出從圖5的A方向觀察的結(jié)構(gòu)的圖，圖11 圖12是從圖5的B方向觀察的結(jié)構(gòu)的圖。 圖9 圖12中，陰影的部分表示蒸鍍物質(zhì)。首先，作業(yè)人員能夠開放連接在蒸鍍物質(zhì)供給管250上的閥V，使蒸鍍物質(zhì)能夠通過蒸鍍物質(zhì)供給管250而自由移動(dòng)。此外，參照?qǐng)D9，儲(chǔ)藏在蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部200的蒸鍍物質(zhì)根據(jù)自由落下原理，能夠通過蒸鍍物質(zhì)供給管250向蒸鍍物質(zhì)供給部500移動(dòng)。之后，蒸鍍物質(zhì)供給部500的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522使旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520旋轉(zhuǎn)，從而使得旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520的充填部530位于蒸鍍物質(zhì)供給管250的正下方。由此，通過蒸鍍物質(zhì)供給管250被供給的蒸鍍物質(zhì)能夠移動(dòng)到充填部530并填充到充填部530。蒸鍍物質(zhì)被供給到充填部530來填充，但是，由于充填部530的下端被隔離板540封閉，所以不會(huì)排出到下部。此外，當(dāng)在充填部530的內(nèi)側(cè)填充完蒸鍍物質(zhì)時(shí)，旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522能夠使旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520旋轉(zhuǎn)。參照?qǐng)D10可知，隨著旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520旋轉(zhuǎn)，充填部530從蒸鍍物質(zhì)供給管250 的正下方脫離。此外，參照?qǐng)D11，旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器522能夠使旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520旋轉(zhuǎn)設(shè)定的任意角度，例如90度，以使得充填部530位于隔離板MO的供給孔550的正上方。此時(shí)，作業(yè)人員能夠通過第一傳感器560檢測(cè)旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520是否旋轉(zhuǎn)了設(shè)定的角度。隨著充填部530位于隔離板討0的供給孔550的正上方，儲(chǔ)藏在充填部530中的蒸鍍物質(zhì)能夠通過充填部530下部的供給孔550被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。此時(shí)，作業(yè)人員能夠通過第二傳感器570檢測(cè)蒸鍍物質(zhì)是否通過供給孔550落下而被供給。另ー方面，在從蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300產(chǎn)生蒸鍍氣體而供給到蒸鍍腔中吋，需要防止蒸鍍氣體回流到蒸鍍物質(zhì)供給部500。此外，在供給完用于執(zhí)行蒸鍍エ序的蒸鍍氣體之后，為了之后的蒸鍍エ序，需要消除殘留在蒸鍍物質(zhì)供給部500中的蒸鍍物質(zhì)。為此，參照?qǐng)D12，能夠通過逆流防止氣體供給部580供給逆流防止氣體。S卩，若在使得充填部530位于逆流防止氣體供給部580的正下方之后供給逆流防止氣體，則被供給的逆流防止氣體能夠通過充填部530供給到主體510的內(nèi)部。由于這樣被供給的氣體，主體510的內(nèi)部維持規(guī)定的壓力，從而能夠防止蒸鍍氣體從蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300向蒸鍍物質(zhì)供給部500逆流。此外，通過逆流防止氣體供給部580被供給的氣體能夠排出殘留在充填部530中的蒸鍍物質(zhì)。所排出的蒸鍍物質(zhì)通過供給孔陽0向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300移動(dòng)，隨之，能夠從蒸鍍物質(zhì)供給部500排出所殘留的蒸鍍物質(zhì)。其次，通過蒸鍍物質(zhì)供給部500定量供給的蒸鍍物質(zhì)能夠停留到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部 300的內(nèi)側(cè)的蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610上。之后，當(dāng)啟動(dòng)加熱器310吋，在加熱器310發(fā)出的熱被施加到蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610上的蒸鍍物質(zhì)，蒸鍍物質(zhì)變成蒸鍍氣體，與經(jīng)由供氣管610供給的載氣一同通過排氣管620供給到蒸鍍腔中。此外，在蒸鍍エ序結(jié)束后，為了排出殘留在蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610上的蒸鍍物質(zhì)，向翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的ー側(cè)的第一空氣壓カ管622供給空氣壓力，以使翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620動(dòng)作。通過翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610的上部和下部翻轉(zhuǎn)，由此使得所殘留的蒸鍍物質(zhì)落下。此時(shí)，作業(yè)人員能夠通過第三傳感器6M檢測(cè)翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620是否翻轉(zhuǎn)了 180 度。此外，通過與上述的翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地進(jìn)行閘閥650的開閉動(dòng)作。 即，若向任意的第一空氣壓カ管622供給空氣壓カ以使翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620翻轉(zhuǎn)，則能夠同時(shí)向與氣缸660連接的任意的第二空氣壓カ管662也供給空氣壓力。隨之，當(dāng)蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái) 610翻轉(zhuǎn)時(shí)，閘654向開放閘主體652的方向移動(dòng)，從蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610落下的蒸鍍物質(zhì)能夠容易向蒸鍍物質(zhì)保管筒630移動(dòng)。此外，在蒸鍍物質(zhì)落下之后，空氣壓カ通過翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器620的第一空氣壓カ管622 被逆向供給，蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)610能夠恢復(fù)原狀態(tài)。此時(shí)，隨著向氣缸660的第二空氣壓カ 管662也逆向供給空氣壓力，閘654向關(guān)閉閘主體652的方向移動(dòng)，從而能夠關(guān)閉通向蒸鍍物質(zhì)保管筒630的路徑。
最后，所落下的蒸鍍物質(zhì)還能夠保管到蒸鍍物質(zhì)保管筒630中。此時(shí)，作業(yè)人員能夠通過第三監(jiān)視窗640確認(rèn)蒸鍍物質(zhì)的量，保管在蒸鍍物質(zhì)保管筒630中的蒸鍍物質(zhì)能夠用于之后的蒸鍍エ序，或被完全廢棄。圖13是示出本發(fā)明的另ー實(shí)施例的蒸鍍物質(zhì)供給部500的結(jié)構(gòu)的截面圖。蒸鍍物質(zhì)供給部500構(gòu)成為以中心軸作為基準(zhǔn)対稱的形態(tài)，因此，在圖中，以中心軸為基準(zhǔn)只示出ー側(cè)，以便容易把握蒸鍍物質(zhì)供給部500的結(jié)構(gòu)。參照?qǐng)D13可知，在旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)620的上部以規(guī)定的高度形成飛散防止凸緣590。飛散防止凸緣590能夠執(zhí)行防止從蒸鍍物質(zhì)供給管250供給到充填部530的蒸鍍物質(zhì)飛散到充填部530的周圍的功能。為此，飛散防止凸緣590與旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)520形成同心圓，在多個(gè)飛散防止凸緣590之間設(shè)有充填部530。此外，在飛散防止凸緣590和充填部 530之間能夠形成飛散防止凹陷部592。飛散防止凹陷部592形成為具有規(guī)定的容積，能夠執(zhí)行使得未飛散的蒸鍍物質(zhì)暫時(shí)停留的功能。通過具有如上所述的結(jié)構(gòu)的飛散防止凸緣590及飛散防止凹陷部592，能夠防止蒸鍍物質(zhì)向充填部530的周圍飛散，從而能夠防止對(duì)蒸鍍物質(zhì)供給部500的動(dòng)作造成影響。 圖13所示的蒸鍍物質(zhì)供給部的結(jié)構(gòu)和作用，除了飛散防止凸緣590和飛散防止凹陷部592 之外，其他結(jié)構(gòu)與圖4和圖5所示的蒸鍍物質(zhì)供給部500相同，因此，在此省略對(duì)此的說明。具有如上所述的結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的蒸鍍氣體供給裝置100，在每個(gè)蒸鍍エ序吋，能夠?qū)⒑愣康恼翦兾镔|(zhì)供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300。在如上能夠使被供給到蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部 300的蒸鍍物質(zhì)全部氣化而供給到蒸鍍腔吋，每個(gè)蒸鍍エ序都能夠把蒸鍍氣體的壓カ維持恒定，因此，能夠重復(fù)地提高配置間蒸鍍エ序的重復(fù)性及合格率。尤其是，本發(fā)明的蒸鍍氣體供給裝置100在每個(gè)蒸鍍エ序執(zhí)行完之后，能夠把殘留在蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部300中的蒸鍍物質(zhì)排出到外部。隨之，每個(gè)蒸鍍エ序都能夠進(jìn)一歩使蒸鍍氣體的壓カ保持恒定，因此能夠進(jìn)ー步提高配置間蒸鍍エ序的重復(fù)性及合格率。本發(fā)明如上所示，舉出優(yōu)選例來圖示并進(jìn)行了說明，但是不限定于上述實(shí)施例，在沒有脫離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)，在屬于該發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域中具有一般知識(shí)的技術(shù)人員能夠進(jìn)行多種變形和變更。這種變形例和變更例應(yīng)認(rèn)為是屬于所附的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
1權(quán)利要求
1.ー種蒸鍍氣體供給裝置，包括蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部，用于儲(chǔ)藏蒸鍍物質(zhì)；蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部，加熱上述蒸鍍物質(zhì)而產(chǎn)生蒸鍍氣體；以及載氣供給部，用于供給載氣，其特征在干，該蒸鍍氣體供給裝置還包括配置在上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部和上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部之間的蒸鍍物質(zhì)供給部，上述蒸鍍物質(zhì)供給部在每個(gè)蒸鍍エ序，向上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部供給恒定量的上述蒸鍍物質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干， 還包括與上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部連接配置的蒸鍍物質(zhì)排出部，上述蒸鍍物質(zhì)排出部在每個(gè)蒸鍍エ序排出殘留在上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部中的上述蒸鍍物質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干， 還包括配置在上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的內(nèi)側(cè)的加熱器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干， 上述加熱器還包括用于檢測(cè)溫度的溫度檢測(cè)器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部包括過濾部，該過濾部只使規(guī)定大小以下的上述蒸鍍物質(zhì)通過。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部還包括第一監(jiān)視窗，通過該第一監(jiān)視窗能夠觀察儲(chǔ)藏在內(nèi)部的上述蒸鍍物質(zhì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，還包括第二監(jiān)視窗，通過該第二監(jiān)視窗能夠觀察從上述蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部向上述蒸鍍物質(zhì)供給部供給上述蒸鍍物質(zhì)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)供給部包括 主體；旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)，以能夠旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在上述主體內(nèi)部； 充填部，形成在上述旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)； 隔離板，把上述主體內(nèi)部上下劃分；以及供給孔，與上述充填部對(duì)應(yīng)地形成在上述隔離板上，當(dāng)從外部供給的上述蒸鍍物質(zhì)填充在上述充填部中，上述旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)旋轉(zhuǎn)任意角度使上述充填部位于上述供給孔的上部吋，填充在上述充填部中的上述蒸鍍物質(zhì)通過上述供給孔落下而被供給到上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，還包括第一傳感器，該第一傳感器用于檢測(cè)上述旋轉(zhuǎn)供給臺(tái)是否旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干， 還包括第二傳感器，該第二傳感器檢測(cè)上述蒸鍍物質(zhì)是否落下。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，還包括逆流防止氣體供給部，該逆流防止氣體供給部用于防止蒸鍍氣體從上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部向上述蒸鍍物質(zhì)供給部回流。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)通過蒸鍍物質(zhì)供給管供給到上述充填部，上述供給孔形成為，與上述蒸鍍物質(zhì)供給管之間具有任意的角度距離。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)排出部包括蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)，以能夠上下翻轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的內(nèi)部； 翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器，連接在上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)的一端；以及蒸鍍物質(zhì)保管筒，用于保管從上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部排出的上述蒸鍍物質(zhì)， 通過上述翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器的動(dòng)作，上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)翻轉(zhuǎn)，從而使上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)上的上述蒸鍍物質(zhì)移動(dòng)到上述蒸鍍物質(zhì)保管筒。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，還包括管形狀的加熱器連接軸，該加熱器連接軸形成在上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)，在該加熱器連接軸的內(nèi)側(cè)插入有上述加熱器，上述加熱器連接軸配置成與上述翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器的旋轉(zhuǎn)軸同軸。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，還包括第三傳感器，該第三傳感器用于檢測(cè)上述翻轉(zhuǎn)致動(dòng)器是否旋轉(zhuǎn)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在于，還包括 閘閥，與上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)聯(lián)動(dòng)地進(jìn)行開閉；以及氣壓氣缸，連接到上述閘閥，上述蒸鍍物質(zhì)支撐臺(tái)翻轉(zhuǎn)時(shí)，上述氣壓氣缸開放上述間閥來排出上述蒸鍍物質(zhì)。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)保管筒還包括第三監(jiān)視窗，該第三監(jiān)視窗用于確認(rèn)上述蒸鍍物質(zhì)排出。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干，上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部還包括分散部，該分散部使上述蒸鍍物質(zhì)均勻地分散。
19.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍氣體供給裝置，其特征在干， 上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部還包括配置在內(nèi)側(cè)的導(dǎo)熱部，通過上述導(dǎo)熱部，上述加熱器的熱傳導(dǎo)到上述蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部的中心部。
全文摘要
本發(fā)明公開蒸鍍氣體供給裝置，該蒸鍍氣體供給裝置在用于制造半導(dǎo)體元件或平板顯示器的薄膜蒸鍍工序時(shí)，在每個(gè)蒸鍍工序能夠供給均勻量的蒸鍍氣體。本發(fā)明的蒸鍍氣體供給裝置(100)，包括蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部(200)，用于儲(chǔ)藏蒸鍍物質(zhì)；蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部(300)，用于對(duì)蒸鍍物質(zhì)加熱而產(chǎn)生蒸鍍氣體；以及載氣供給部(400)，用于供給載氣，該蒸鍍氣體供給裝置還包括蒸鍍物質(zhì)供給部(500)，該蒸鍍物質(zhì)供給部配置在蒸鍍物質(zhì)儲(chǔ)藏部(200)和蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部(300)之間，蒸鍍物質(zhì)供給部(500)在每個(gè)蒸鍍工序，向蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)部(300)供給恒定量的蒸鍍物質(zhì)。
文檔編號(hào)H01L21/205GK102576665SQ201080037560
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月26日
發(fā)明者宋鐘鎬, 康浩榮, 樸暻完, 李炳一, 金徹鎬 申請(qǐng)人:泰拉半導(dǎo)體株式會(huì)社