專利名稱：具有阻擋層的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體器件，尤其涉及一種鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器。
背景技術(shù)：
作為市場上最炙手可熱的半導(dǎo)體材料，鋁鎵銦磷材料的應(yīng)用已經(jīng)得到迅猛的發(fā)展。業(yè)界一般使用導(dǎo)電銀漿把鋁鎵銦磷發(fā)光器固晶于金屬支架上。在鋁鎵銦磷系發(fā)光器件結(jié)構(gòu)上，N型金屬層處于器件底部，再通過導(dǎo)電銀漿和支架連接，起導(dǎo)通作用。常規(guī)的N型金屬層由N型歐姆接觸金屬層和保護金屬層組成，常規(guī)的N型歐姆接觸金屬層金屬組份為金鍺鎳合金，保護金屬層為金。在目前的鋁鎵銦磷系發(fā)光器件的使用中，經(jīng)常發(fā)生器件由于 N型金屬層和固晶銀漿脫離而導(dǎo)致器件失效的情況，后續(xù)分析發(fā)現(xiàn)N型金屬層中的N型歐姆接觸金屬層金屬鍺和鎳穿透出保護層，在表面氧化形成氧化鍺和氧化鎳，造成N型金屬層和銀漿脫離接觸，呈現(xiàn)開路現(xiàn)象，從而造成器件失效故障。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中N型金屬層可靠性較差的技術(shù)問題，提出一種改進的具有阻擋層的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提出的一種具有阻擋層的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器，包括依次層疊的N型金屬層、N型層、鋁鎵銦磷有源區(qū)、P型層、P型金屬層。所述的N型金屬層由N型歐姆接觸金屬層、阻擋金屬層和保護金屬層層疊而成。其中所述的阻擋金屬層可以由鉬、鎢或鉭任一種金屬材料制作。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的N型金屬層采用三明治結(jié)構(gòu)，由于在N型歐姆接觸金屬層5和保護金屬層7層之間增加了一阻擋金屬層6，則可以阻擋N型歐姆接觸金屬層5 內(nèi)的金屬鍺和鎳容易穿透出保護金屬層6，而造成器件失效的發(fā)生。大大提高了器件的可靠性。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作詳細的說明，其中

圖1是現(xiàn)有技術(shù)半導(dǎo)體發(fā)光器件的截面示意圖；圖2是本實用新型實施例的截面示意圖。
具體實施方式
請參閱圖1，現(xiàn)有的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器件包括順序疊加的N型金屬層、N型層4、鋁鎵銦磷有源區(qū)3、P型層2、P型金屬層1。而N型金屬層由歐姆接觸金屬層 5和保護金屬層6構(gòu)成。該結(jié)構(gòu)中N型歐姆接觸金屬層5內(nèi)的金屬鍺和鎳容易穿透出保護金屬層6，在表面氧化形成氧化鍺和氧化鎳，造成N型金屬層在金屬支架上開路，從而造成器件失效故障。[0011]圖2顯示出了本實用新型的實施例的結(jié)構(gòu)，其主體結(jié)構(gòu)與現(xiàn)有鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器件基本相同，也包括順序疊加的N型金屬層、N型層4、鋁鎵銦磷有源區(qū)3、P型層2、P型金屬層1。所不同的是N型金屬層采用三明治結(jié)構(gòu)，由N型歐姆接觸金屬層5、阻擋金屬層6和保護金屬層7層疊而成。阻擋金屬層6采用高密度的鉬、鎢或鉭任一種金屬制作。由于在N型歐姆接觸金屬層5和保護金屬層7層之間增加了一阻擋金屬層6，則可以阻擋N型歐姆接觸金屬層5內(nèi)的金屬鍺和鎳容易穿透出保護金屬層7，而造成器件失效的發(fā)生。大大提高了器件的可靠性。在半導(dǎo)體器件工藝過程中，通常采用金屬鍍膜的工藝將金屬層蒸鍍到半導(dǎo)體晶圓表面，通常N型金屬層鍍膜一次完成，即N型歐姆接觸金屬層，阻擋金屬層和保護金屬層在一次鍍膜工序中完成，相對于常規(guī)結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)工序沒有大的區(qū)別。實驗證明，本實用新型發(fā)光器件的可靠性穩(wěn)定提高，失效率降低萬分之 3(300ppm)。
權(quán)利要求1.一種具有阻擋層的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器，包括依次層疊的N型金屬層、N 型層、鋁鎵銦磷有源區(qū)、P型層、P型金屬層，其特征在于所述的N型金屬層由N型歐姆接觸金屬層、阻擋金屬層和保護金屬層層疊而成。
2.如權(quán)利要求1所述的具有阻擋層的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器，其特征在于 所述的阻擋金屬層由鉬、鎢或鉭任一種金屬材料制作。
專利摘要本實用新型公開了一種具有阻擋層的鋁鎵銦磷系化合物半導(dǎo)體發(fā)光器，包括依次層疊的N型金屬層、N型層、鋁鎵銦磷有源區(qū)、P型層、P型金屬層。所述的N型金屬層由N型歐姆接觸金屬層、阻擋金屬層和保護金屬層層疊而成。本實用新型提出的三明治結(jié)構(gòu)式的N型金屬層，使N電極的可靠性提高，從而降低了器件失效概率，提高了器件可靠性。
文檔編號H01L33/14GK201975414SQ20102068710
公開日2011年9月14日 申請日期2010年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月29日
發(fā)明者吳質(zhì)樸, 袁彤, 馬學(xué)進 申請人:深圳市奧倫德科技有限公司