專利名稱：一種用于轉(zhuǎn)移硅片的工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池的制作工具，尤其涉及一種用于轉(zhuǎn)移硅片的工具。
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能電池是一種將光能直接轉(zhuǎn)化為電能的器件，其基本原理是利用PN結(jié)的光 生伏特效應(yīng)將光能轉(zhuǎn)化成電能，由于其清潔、無(wú)污染，取之不盡，用之不竭，逐漸成為一種重 要的發(fā)電方式，近年來(lái)備受矚目。其中，晶體硅太陽(yáng)能電池占有絕大部分的份額。目前，在晶體硅太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過程中，用于制作PN結(jié)的擴(kuò)散制結(jié)工序是關(guān)鍵 工序之一。該工序要求嚴(yán)格的工藝衛(wèi)生，需要一種專用的工具來(lái)轉(zhuǎn)移硅片，以避免人手直接 接觸硅片，從而保證硅片的潔凈度，減少硅片表面少子復(fù)合，增強(qiáng)了太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的 穩(wěn)定性。現(xiàn)有的晶體硅太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散工藝均采用水平臥式擴(kuò)散爐，擴(kuò)散爐內(nèi)配有水平臥 式石英舟承載硅片，生產(chǎn)時(shí)需要人工向石英舟槽內(nèi)插入硅片。為了保證擴(kuò)散環(huán)境的潔凈度， 在進(jìn)行擴(kuò)散插片作業(yè)時(shí)，人員需佩戴無(wú)塵手套進(jìn)行操作，同時(shí)需要使用輕巧、方便、少污染 的硅片轉(zhuǎn)移工具；而硅片出爐后溫度較高，又要求該工具能耐較高的溫度而不變形。因此， 現(xiàn)有的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具均采用石英材料制成。現(xiàn)有的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具主要包括吸盤、中空的石英握管和中空真空管，所述 中空真空管設(shè)于吸盤和石英握管之間，中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管 連通；石英握管的頂部還設(shè)有抽真空接管。工作時(shí)，先將抽真空接管與抽真空設(shè)備(如真空 泵)連接，啟動(dòng)抽真空，用手握持石英握管，將吸盤輕輕放在硅片邊緣，吸起硅片，將硅片插 于石英舟槽內(nèi)，然后斷開氣路，即可完成硅片的轉(zhuǎn)移操作。上述工具的吸盤的表面中央是一個(gè)圓形的吸口，吸口的尾端與所述中空真空管連 通。在實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，由于吸盤表面只有一個(gè)吸口，因此吸力都集中在靠近中空真空管的 吸口尾端，而在吸口的前端則吸力較小，這便造成了吸力的不均勻性，使得抽真空的力度較 難控制，如果抽真空力度較小，則無(wú)法吸起硅片，而如果抽真空力度較大，則會(huì)導(dǎo)致硅片發(fā) 生破碎，提高了生產(chǎn)過程的碎片率，增加了制造成本。因此，用于硅片轉(zhuǎn)移的工具在設(shè)計(jì)時(shí) 需要充分考慮現(xiàn)場(chǎng)的可操作性、實(shí)用性和工藝潔凈度的要求。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型目的是提供一種適于實(shí)用的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，包括 吸盤、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管設(shè)于吸盤和石英握管之間，中空真空 管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管連通；石英握管的頂部還設(shè)有抽真空接管，所述吸 盤的表面設(shè)有至少2個(gè)吸口，吸口的總面積占吸盤表面面積的5 30%。上文中，所述吸口的總面積是指各個(gè)吸口的面積之和，該總面積不能太小，否則會(huì)無(wú)法吸起硅片，總面積也不能太大，否則會(huì)提高碎片率。所述石英握管一般為普通的石英管，其管徑一般大于所述中空真空管的管徑，以 便于握持。本實(shí)用新型將吸盤的吸口分為多個(gè)小吸口，使其吸力更加均勻，充分考慮了硅片 受力的均勻性，防止硅片發(fā)生破碎。進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述吸口為5 20個(gè)，均布于吸盤的表面中央，吸口的總面積 占吸盤表面面積的5 15%。進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述吸口呈內(nèi)外環(huán)形分布，外環(huán)設(shè)有5 20個(gè)外環(huán)吸口，外環(huán) 吸口的面積為4平方毫米，內(nèi)環(huán)設(shè)有5 20內(nèi)環(huán)吸口，內(nèi)環(huán)吸口的面積為2平方毫米。上述技術(shù)方案中，所述內(nèi)外環(huán)為同心圓環(huán)結(jié)構(gòu)，其圓心設(shè)有1個(gè)面積為2平方毫米 的吸口。上述技術(shù)方案中，所述吸口為圓形吸口。當(dāng)然也可以是三角形或其它不規(guī)則圖形。進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述抽真空接管的外表面設(shè)有防滑結(jié)構(gòu)。該防滑結(jié)構(gòu)可以是 磨砂結(jié)構(gòu)或凹凸結(jié)構(gòu)等。防滑結(jié)構(gòu)的作用是使得抽真空接管與抽真空設(shè)備(如真空泵)的軟 管連接時(shí)，增加摩擦力，防止兩者滑脫。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點(diǎn)是1、本實(shí)用新型在吸盤的表面設(shè)置了多個(gè)吸口，使其吸力分布更加均勻，并可以緩 沖抽真空吸力，充分考慮了硅片受力的均勻性，有效減少硅片碎片率，具有現(xiàn)實(shí)的積極意 義；2、本實(shí)用新型在抽真空接管的外表面設(shè)置了防滑結(jié)構(gòu)?？梢允沟贸檎婵战庸芘c抽 真空設(shè)備(如真空泵)的軟管連接時(shí)，增加摩擦力，防止兩者滑脫；3、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于制備，且具有良好的可操作性、實(shí)用性，適于推廣應(yīng)用。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一中吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、吸盤；2、石英握管；3、中空真空管；4、抽真空接管；5、外環(huán)吸口 ；6、內(nèi)環(huán) 吸口。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述實(shí)施例一參見圖廣2所示，一種用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，包括吸盤1、中空的石英握管2和中 空真空管3，所述中空真空管3設(shè)于吸盤和石英握管之間，中空真空管的一端與吸盤連通， 另一端與石英握管連通；石英握管2的頂部還設(shè)有抽真空接管4，所述吸盤1的表面設(shè)有17 個(gè)圓形吸口，均布于吸盤的表面中央，上述吸口呈內(nèi)外環(huán)形分布，外環(huán)設(shè)有8個(gè)外環(huán)吸口 5， 外環(huán)吸口的面積為4平方毫米，內(nèi)環(huán)設(shè)有8內(nèi)環(huán)吸口 6，內(nèi)環(huán)吸口的面積為2平方毫米；內(nèi) 外環(huán)為同心圓環(huán)結(jié)構(gòu)，其圓心設(shè)有1個(gè)面積為2平方毫米的吸口，吸口的總面積占吸盤表面面積的7%。 所述抽真空接管的外表面設(shè)有防滑結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求1.一種用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，包括吸盤(1)、中空的石英握管(2)和中空真空管(3)，所 述中空真空管(3)設(shè)于吸盤和石英握管之間，中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石 英握管連通；石英握管O)的頂部還設(shè)有抽真空接管G)，其特征在于所述吸盤(1)的表 面設(shè)有至少2個(gè)吸口，吸口的總面積占吸盤表面面積的5 30%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，其特征在于所述吸口為5 20個(gè)，均 布于吸盤的表面中央，吸口的總面積占吸盤表面面積的5 15 %。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，其特征在于所述吸口呈內(nèi)外環(huán)形分 布，外環(huán)設(shè)有5 20個(gè)外環(huán)吸口( ，外環(huán)吸口的面積為4平方毫米，內(nèi)環(huán)設(shè)有5 20內(nèi)環(huán)吸口 (6)，內(nèi)環(huán)吸口的面積為2平方毫米。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，其特征在于所述內(nèi)外環(huán)為同心圓環(huán) 結(jié)構(gòu)，其圓心設(shè)有1個(gè)面積為2平方毫米的吸口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，其特征在于所述吸口為圓形吸口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，其特征在于所述抽真空接管的外表 面設(shè)有防滑結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于轉(zhuǎn)移硅片的工具，包括吸盤、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管設(shè)于吸盤和石英握管之間，中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管連通；石英握管的頂部還設(shè)有抽真空接管，所述吸盤的表面設(shè)有至少2個(gè)吸口，吸口的總面積占吸盤表面面積的5~30%。本實(shí)用新型使吸盤的吸力分布更加均勻，并可以緩沖抽真空吸力，充分考慮了硅片受力的均勻性，有效減少硅片碎片率，具有現(xiàn)實(shí)的積極意義。
文檔編號(hào)H01L31/18GK201877410SQ201020640328
公開日2011年6月22日 申請(qǐng)日期2010年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月2日
發(fā)明者黨繼東, 孟祥熙, 朱娟娟, 李文, 王虎, 章靈軍, 辛國(guó)軍 申請(qǐng)人:蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司, 阿特斯(中國(guó))投資有限公司