專利名稱：曲面薄膜太陽能電池及配套設(shè)計的襯底加熱板和均流板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種曲面薄膜太陽能電池及配套設(shè)計的制備工具組合，屬于太陽 能電池制造領(lǐng)域，特別是一種曲面狀的薄膜太陽能電池，可應(yīng)用到汽車玻璃以及玻璃展品 等領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在薄膜太陽能電池迅速發(fā)展的今天，其應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴展，柔性電池、透明電池的 相繼出現(xiàn)都為薄膜電池開辟了新的市場。然而，目前的薄膜電池除柔性電池外都是沉積在 平面基板上。在曲面狀襯底基板上直接形成均勻的薄膜太陽能電池還沒有前例，造成產(chǎn)品 系列化上明顯的空缺。在特殊需要的場合例如附著在汽車天窗或者汽車后玻璃上的太陽能 薄膜電池，其最終產(chǎn)品是先制作好條、塊狀平板太陽能薄膜電池，然后借助拼裝定位工藝將 平板太陽能電池組配成為與汽車玻璃適配的曲面、拼裝后形成組合式的太陽能薄膜電池。 這種帶太陽能薄膜電池的汽車玻璃的制作工藝繁瑣，由于太陽能電池板是由一個個小的平 板太陽能薄膜電池拼接而成，其連接線路復(fù)雜，長期使用，常因其中連接線路的節(jié)點老化導(dǎo) 致不能正常工作。如果能開發(fā)出一種在曲面襯底上直接沉積曲面太陽能電池層的技術(shù)，將 使薄膜電池的應(yīng)用更加廣泛。同時，在薄膜太陽能電池的加工工藝中，電池的整體結(jié)構(gòu)和幾何形狀決定了加工 過程中所使用的襯底加熱板和反應(yīng)氣體充氣均流板的重新設(shè)計，也是現(xiàn)有技術(shù)中要加以克 服的障礙。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型要解決由于平面薄膜太陽能電池拼接組合形成曲面太陽能電池板，導(dǎo) 致電池線路繁瑣、節(jié)點易老化的技術(shù)問題，設(shè)計了一種曲面薄膜太陽能電池新結(jié)構(gòu)形式以 及工藝中配套使用的加熱板和均流板的配套改進，通過改變襯底基板的形狀，以及配套形 狀的均流板和加熱板，可在任意曲面結(jié)構(gòu)的襯底基板上制備出均勻的薄膜太陽能電池層， 以解決平面薄膜太陽能電池拼接組合形成曲面太陽能電池板應(yīng)用局限性、以及導(dǎo)致電池線 路連接繁瑣、節(jié)點易老化、失效的技術(shù)問題。本實用新型為實現(xiàn)發(fā)明目的采用的技術(shù)方案是，一種曲面薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu) 中包括襯底基板，以及在襯底基板上制備的太陽能電池層，上述的襯底基板的外表面是曲 面狀，太陽能電池層結(jié)合定位在曲面狀的襯底基板上。一種在上述的曲面薄膜太陽能電池的配套設(shè)計、加工中使用的襯底加熱板，襯底 加熱板的上表面是與襯底基板的下表面各個對應(yīng)接觸點具有相同曲率半徑的曲面結(jié)構(gòu)?！N在上述的曲面薄膜太陽能電池的配套設(shè)計、加工中反應(yīng)氣體的均流板，結(jié)構(gòu) 中包括設(shè)置在均流板上層蓋板上的進氣孔、以及分布在均流板下層蓋板上的出氣孔，均流 板借助進氣孔與沉積腔室的工藝氣體進氣口連通，上述的均流板的下層蓋板的外表面是與 襯底基板的上表面相吻合的曲面結(jié)構(gòu)。
3[0008]本實用新型的有益效果是，在制備薄膜太陽能電池的工藝中，通過改變襯底基板 的形狀，以及配套形狀的均流板和加熱板，可在任意曲面結(jié)構(gòu)的襯底基板上制備出均勻的 薄膜太陽能電池層，以解決平面薄膜太陽能電池拼接組合形成曲面太陽能電池板應(yīng)用局限 性、以及導(dǎo)致電池線路連接繁瑣、節(jié)點易老化、失效的技術(shù)問題。
以下結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細說明。

圖1是本實用新型中襯底加熱板和均流板的工位圖。圖2是本實用新型中襯底加熱板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實用新型中均流板的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中，1代表均流板，IA代表上層蓋板，IA-I代表進氣孔，IB代表下層蓋板，IB-I 代表出氣孔，2代表襯底加熱板，3代表襯底基板。
具體實施方式
一種曲面薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu)中包括襯底基板，以及在襯底基板3上制備的太 陽能電池層，上述的襯底基板3的外表面是曲面狀，太陽能電池層結(jié)合定位在曲面狀的襯 底基板3上。一種在上述的曲面薄膜太陽能電池的配套設(shè)計、加工中使用的襯底加熱板，襯底 加熱板2的上表面是與襯底基板3的下表面各個對應(yīng)接觸點具有相同曲率半徑的曲面結(jié) 構(gòu)。上所述的襯底加熱板2比襯底基板3的周邊尺寸寬出50 70mm。一種在上述的曲面薄膜太陽能電池的配套設(shè)計、加工中反應(yīng)氣體的均流板，結(jié)構(gòu) 中包括設(shè)置在均流板1上層蓋板IA上的進氣孔1A-1、以及分布在均流板1下層蓋板IB上 的出氣孔1B-1，均流板1借助進氣孔IA-I與沉積腔室的工藝氣體進氣口連通，上述的均流 板1的下層蓋板IB的外表面是與襯底基板3的上表面相吻合的曲面結(jié)構(gòu)。上述的出氣孔IB-I的中心線與襯底基板3對應(yīng)上表面的切線垂直。上述的均流板1比襯底基板3的周邊尺寸寬出50 70mm。本實用新型在具體實施時，參看圖1，以弧形曲面襯底基板3為例，根據(jù)襯底基板 3的形狀，調(diào)整均流板1和襯底加熱板2的形狀分別與弧形曲面襯底基板3的上、下表面相 吻合。同時需要注意的是出氣孔IB-I在下層蓋板IB的分布遠離處在中心位置的進氣孔 IA-I的出氣孔IB-I分布應(yīng)密集，拐角位置的出氣孔IB-I應(yīng)密集。在沉積腔室中安裝均流板1和襯底加熱板2，均流板1的進氣孔IA-I與工藝氣體 的進氣口連通，將曲面襯底基板3放置在襯底加熱板2上。開啟進氣閥，然后連接射頻電源， 兩個電極分別連接至均流板1和襯底加熱板2上，連接襯底加熱板2的電源。然后依據(jù)現(xiàn) 有技術(shù)的制備工藝在曲面襯底基板3上制備太陽能電池層。由于出氣孔IB-I在下層蓋板IB上的分布是根據(jù)襯底基板3的形狀決定的，遠離 進氣孔IA-I地方的出氣孔IB-I應(yīng)密集，拐角地方的出氣孔IB-I應(yīng)密集，且出氣孔IB-I的 中心線和襯底基板3對應(yīng)上的表面的切線垂直，有效的保證了沉積薄膜的均勻性，解決了 在曲面襯底上沉積薄膜不均勻的問題，從而使薄膜電池的應(yīng)用更加廣泛。
權(quán)利要求1.一種曲面薄膜太陽能電池，結(jié)構(gòu)中包括襯底基板，以及在襯底基板(3)上制備的太 陽能電池層，其特征在于所述的襯底基板(3)的外表面是曲面狀，太陽能電池層結(jié)合定位 在曲面狀的襯底基板(3)上。
2.一種在權(quán)利要求1所述的曲面薄膜太陽能電池的配套設(shè)計、加工中使用的襯底加熱 板，其特征在于襯底加熱板(2)的上表面是與襯底基板(3)的下表面各個對應(yīng)接觸點具有 相同曲率半徑的曲面結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種襯底加熱板，其特征在于所述的襯底加熱板(2)比襯 底基板(3)的周邊尺寸寬出50 70mm。
4.一種在權(quán)利要求1所述的曲面薄膜太陽能電池的配套設(shè)計、加工中反應(yīng)氣體的均 流板，結(jié)構(gòu)中包括設(shè)置在均流板(1)上層蓋板(IA)上的進氣孔(1A-1)、以及分布在均流板 (1)下層蓋板(IB)上的出氣孔(1B-1)，均流板⑴借助進氣孔(1A-1)與沉積腔室的工藝 氣體進氣口連通，其特征在于所述的均流板(1)的下層蓋板(IB)的外表面是與襯底基板 (3)的上表面相吻合的曲面結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種均流板，其特征在于所述的出氣孔(1B-1)的中心線與 襯底基板(3)對應(yīng)上表面的切線垂直。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種均流板，其特征在于所述的均流板(1)比襯底基板(3) 的周邊尺寸寬出50 70mm。
專利摘要曲面薄膜太陽能電池及配套設(shè)計的襯底加熱板和均流板，解決了由于平面薄膜太陽能電池拼接組合形成曲面太陽能電池板，導(dǎo)致電池線路繁瑣、節(jié)點易老化的技術(shù)問題，在制備薄膜太陽能電池的工藝中，通過改變襯底基板的形狀，以及配套形狀的均流板和加熱板，可在任意曲面結(jié)構(gòu)的襯底基板上制備出均勻的薄膜太陽能電池層，以解決平面薄膜太陽能電池拼接組合形成曲面太陽能電池板應(yīng)用局限性、以及導(dǎo)致電池線路連接繁瑣、節(jié)點易老化、失效的技術(shù)問題。
文檔編號H01L31/0352GK201853718SQ201020600878
公開日2011年6月1日 申請日期2010年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月11日
發(fā)明者李兆廷, 李鵬, 王恩忠, 陳啟聰, 陳志維 申請人:成都泰軼斯太陽能科技有限公司, 河北東旭投資集團有限公司