專利名稱：有機(jī)el裝置的制造方法、有機(jī)el裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
有機(jī)EL(電致發(fā)光)裝置具有在陽(yáng)極和陰極之間夾持了含有發(fā)光層的發(fā)光功能層 的結(jié)構(gòu)。作為發(fā)光功能層，例如可以舉出從陽(yáng)極側(cè)依次層疊了空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸 送層的構(gòu)成。而且，通過(guò)向陽(yáng)極和陰極之間施加電壓，空穴從空穴輸送層被注入到發(fā)光層， 電子從電子輸送層被注入到發(fā)光層，在它們復(fù)合時(shí)進(jìn)行發(fā)光。有機(jī)EL裝置的制造方法例如可使用構(gòu)圖性高、大面積化容易且材料的使用效率 高的涂敷法。但是，雖然涂敷法中的紅色發(fā)光層(R)、綠色發(fā)光層(G)為實(shí)用水平(例如發(fā) 光壽命特性等)，但很難說(shuō)藍(lán)色發(fā)光層(B)已經(jīng)達(dá)到了實(shí)用水平。另一方面，蒸鍍法中的藍(lán) 色發(fā)光層(B)正在達(dá)到實(shí)用水平。因此，例如如專利文獻(xiàn)1 3所記載的那樣，公開(kāi)了一種紅色發(fā)光層(R)和綠色發(fā) 光層(G)通過(guò)涂敷法形成，藍(lán)色發(fā)光層(B)通過(guò)蒸鍍法在包括紅色發(fā)光層(R)及綠色發(fā)光 層(G)的整個(gè)面上形成的方法。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2007-73532號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2003-332055號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)平10-153967號(hào)公報(bào)但是，存在著在涂敷法所使用的高分子材料與蒸鍍法所使用的低分子材料之間電 荷的移動(dòng)不能順暢地進(jìn)行的問(wèn)題。即，有電子向想要激勵(lì)發(fā)光的發(fā)光層注入的注入性差的 問(wèn)題。由此，存在發(fā)光效率降低或壽命降低的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述課題的至少一部分而提出，可以作為以下的方式或應(yīng)用例來(lái) 實(shí)現(xiàn)。另外，在以下的方式或應(yīng)用例中，“上”表示從基板觀察配置有有機(jī)EL元件的方向，當(dāng) 記載為“在〇〇上”時(shí)，表示按照與〇〇上相接的方式被配置的情況；或在〇〇上隔著其他 構(gòu)成物而配置的情況；或按照一部分相接在〇〇上的方式配置、一部分隔著其他構(gòu)成物配 置的情況。[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法包括第一發(fā)光層涂敷工序， 利用涂敷法在基板上的第一陽(yáng)極上形成發(fā)出第一色光的第一發(fā)光層；第二發(fā)光層涂敷工 序，利用涂敷法在上述基板上的第二陽(yáng)極上形成發(fā)出第二色光的第二發(fā)光層；中間層形成 工序，在上述第一發(fā)光層及上述第二發(fā)光層上形成具有電子注入性的中間層；第三發(fā)光層 蒸鍍工序，利用蒸鍍法在包括上述中間層上及上述基板上的第三陽(yáng)極上的區(qū)域，形成發(fā)出 第三色光的第三發(fā)光層；和在上述第三發(fā)光層上形成陰極的陰極形成工序。根據(jù)該方法，由于隔著具有電子注入性的中間層，層疊了利用涂敷法形成的第一 發(fā)光層及第二發(fā)光層、和利用蒸鍍法形成的第三發(fā)光層，所以可以在第三發(fā)光層、與第一發(fā)光層及第二發(fā)光層之間促進(jìn)(確保)電子注入。由此，可以使來(lái)自陰極的電子順暢地從第 三發(fā)光層向第一發(fā)光層及第二發(fā)光層移動(dòng)。結(jié)果，能夠使發(fā)光元件長(zhǎng)時(shí)間發(fā)光，可以提高壽 命。結(jié)果，可以制造發(fā)光效率高且壽命長(zhǎng)的有機(jī)EL裝置。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述第一發(fā)光層 是紅色發(fā)光層，上述第二發(fā)光層是綠色發(fā)光層，上述第三發(fā)光層是藍(lán)色發(fā)光層。根據(jù)該方法，由于利用涂敷法形成紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層，利用蒸鍍法形成藍(lán) 色發(fā)光層，所以能夠使藍(lán)色的發(fā)光特性(例如壽命等)接近紅色及綠色的發(fā)光特性。由此， 可以改善有機(jī)EL裝置的顯示質(zhì)量。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述第三發(fā)光層 至少包括具有空穴輸送性的層、和具有電子輸送性的層。根據(jù)該方法，由于第三發(fā)光層包括具有空穴輸送性的層、和具有電子輸送性的層， 所以通過(guò)在第三陽(yáng)極與陰極之間形成第三發(fā)光層，能夠使空穴及電子移動(dòng)，可以使第三色 高效發(fā)光。[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選在上述第一陽(yáng)極 和上述第一發(fā)光層之間、以及在上述第二陽(yáng)極和上述第二發(fā)光層之間，至少形成空穴注入 層及空穴輸送層中的任意一方。根據(jù)該方法，由于至少形成空穴注入層及空穴輸送層的任意一方，所以可以改善 空穴從陽(yáng)極向發(fā)光層的輸送性。[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選在上述第三陽(yáng)極 和上述第三發(fā)光層之間，形成空穴注入層及空穴輸送層的至少任意一方。根據(jù)該方法，由于形成空穴注入層及空穴輸送層的至少任意一方，所以可以改善 空穴從陽(yáng)極向發(fā)光層的輸送性。[應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述中間層形成 工序在上述空穴注入層或上述空穴輸送層與上述第三發(fā)光層之間形成上述中間層。[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述中間層形成 工序在包括上述第三陽(yáng)極和上述第三發(fā)光層之間的區(qū)域形成上述中間層。根據(jù)該方法，由于在第三陽(yáng)極和第三發(fā)光層之間具有中間層，所以可以改善來(lái)自 陰極的電子注入性。[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述中間層形成 工序利用涂敷法形成上述中間層。根據(jù)該方法，由于利用涂敷法形成中間層，所以可以按各發(fā)光層選擇性形成。由 此，與在基板上的整個(gè)面形成中間層的情況相比，可以減少所使用的材料。[應(yīng)用例9]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述中間層形成 工序利用蒸鍍法形成上述中間層。根據(jù)該方法，由于利用蒸鍍法形成中間層，所以可以一次形成在整個(gè)基板上，并且 可以形成均勻的膜質(zhì)。另外，由于使用蒸鍍法，所以可以提高使用材料的選擇性。[應(yīng)用例10]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述涂敷法是 噴墨法。根據(jù)該方法，由于使用噴墨法，所以可以通過(guò)向各發(fā)光層的每個(gè)區(qū)域噴出液滴來(lái)形成膜。換言之，可以選擇性地形成具有功能性的功能膜。[應(yīng)用例11]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選上述中間層是 碳酸銫。[應(yīng)用例12]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置的制造方法中，優(yōu)選具有形成顏色 轉(zhuǎn)換層的顏色轉(zhuǎn)換層形成工序。根據(jù)該方法，由于借助顏色轉(zhuǎn)換層(濾色器)輸出光，所以例如可以使光著色，或 者將已混色的顏色除去。即，可以得到具有想要的波長(zhǎng)分布的光。[應(yīng)用例13]本應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置具有利用涂敷法在基板上的第一陽(yáng)極 上形成的發(fā)出第一色光的第一發(fā)光層；利用涂敷法在上述基板上的第二陽(yáng)極上形成的發(fā)出 第二色光的第二發(fā)光層；利用蒸鍍法在上述第一發(fā)光層上、上述第二發(fā)光層上、包括上述基 板上的第三陽(yáng)極的區(qū)域形成的發(fā)出第三色光的第三發(fā)光層；和設(shè)置在上述第三發(fā)光層上的 陰極；至少在上述第一發(fā)光層和上述第三發(fā)光層之間、以及上述第二發(fā)光層和上述第三發(fā) 光層之間，設(shè)置有具有電子注入性的中間層。根據(jù)該構(gòu)成，由于隔著具有電子注入性的中間層，層疊了利用涂敷法形成的第一 發(fā)光層及第二發(fā)光層、和利用蒸鍍法形成的第三發(fā)光層，所以可以促進(jìn)(確保)第三發(fā)光層 與第一發(fā)光層及第二發(fā)光層之間的電子注入。由此，可以使來(lái)自陰極的電子從第三發(fā)光層 順暢地向第一發(fā)光層及第二發(fā)光層移動(dòng)。結(jié)果，能夠使發(fā)光元件長(zhǎng)時(shí)間發(fā)光，可以延長(zhǎng)壽 命。結(jié)果，可以提供發(fā)光效率高且壽命長(zhǎng)的有機(jī)EL裝置。[應(yīng)用例14]在上述應(yīng)用例涉及的有機(jī)EL裝置中，優(yōu)選上述第一發(fā)光層是紅色發(fā) 光層，上述第二發(fā)光層是綠色發(fā)光層，上述第三發(fā)光層是藍(lán)色發(fā)光層。根據(jù)該構(gòu)成，由于利用涂敷法形成紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層，利用蒸鍍法形成藍(lán) 色發(fā)光層，所以能夠使藍(lán)色的發(fā)光特性(例如壽命等)接近紅色及綠色的發(fā)光特性。由此， 可以改善有機(jī)EL裝置的顯示質(zhì)量。[應(yīng)用例15]本應(yīng)用例涉及的電子設(shè)備具備使用上述的有機(jī)EL裝置的制造方法制 造的有機(jī)EL裝置、或者上述的有機(jī)EL裝置。根據(jù)該構(gòu)成，可以提供能夠顯示高顯示質(zhì)量圖像的電子設(shè)備。


圖1是表示第一實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的電氣構(gòu)成的等效電路圖。圖2是表示有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的示意俯視圖。圖3是表示有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。 圖4是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。
圖5是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。
圖6是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖7是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。
圖8是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖9是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。 圖10是表示第二實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。
圖11是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。
圖12是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖13是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖14是表示第三實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。圖15是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖16是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖17是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖18是表示第四實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。圖19是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖20是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖21是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖22是表示第五實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。圖23是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖M是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖25是按照工序順序表示有機(jī)EL裝置的制造方法的示意剖面圖。圖沈是作為具備有機(jī)EL裝置的電子設(shè)備的一例，示意地表示電視的構(gòu)成的簡(jiǎn)要 立體圖。圖27是表示有機(jī)EL裝置的變形例的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。圖中11、71、81、91、211_有機(jī)EL裝置，12-掃描線，13-信號(hào)線，14-電源線，15-信 號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路，16-掃描線驅(qū)動(dòng)電路，21-開(kāi)關(guān)用TFT，22-保持電容器，23-TFT元件，24、 24R.24G.24B-陽(yáng)極(第一陽(yáng)極、第二陽(yáng)極、第三陽(yáng)極)，25-陰極，26-發(fā)光功能層，27-發(fā)光 元件，27R-紅色發(fā)光元件，27G-綠色發(fā)光元件，27B-藍(lán)色發(fā)光元件，31-作為基板的元件基 板，32-顯示區(qū)域，32a-實(shí)際顯示區(qū)域，32b-虛設(shè)區(qū)域，33-非顯示區(qū)域，34-子像素，35-檢 查電路，36-柔性基板，37-驅(qū)動(dòng)用IC，42-發(fā)光區(qū)域，43-電路元件層，44-發(fā)光元件層， 45-基底保護(hù)膜，46-半導(dǎo)體膜，47-源極區(qū)域，48-漏極區(qū)域，51-溝道區(qū)域，52-柵極絕緣 膜，53-柵電極，54-第一層間絕緣膜，55-第二層間絕緣膜，56-接觸孔，57-接觸孔，58-絕 緣層，59-隔壁，61、61R、61G、61B-空穴注入層，62、62R、62G、62B_ 空穴輸送層，63、63R、63G、 63B-發(fā)光層(第一發(fā)光層、第二發(fā)光層、第三發(fā)光層)，64、64R、64G、84-中間層，66-紅色 發(fā)光區(qū)域，67-綠色發(fā)光區(qū)域，68-藍(lán)色發(fā)光區(qū)域，101-作為電子設(shè)備的電視，102-顯示部， 103-框部，104-腿部，105-遙控器，212-遮光層，213-濾色器。
具體實(shí)施例方式下面，根據(jù)附圖，對(duì)將本發(fā)明具體化的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是，所使用 的附圖被適當(dāng)放大或縮小后進(jìn)行表示，以便要說(shuō)明的部分達(dá)到可以識(shí)別的狀態(tài)。(第一實(shí)施方式)〈有機(jī)EL裝置的構(gòu)成〉圖1是表示有機(jī)EL裝置的電氣構(gòu)成的等效電路圖。下面，一邊參照?qǐng)D1，一邊對(duì)有 機(jī)EL裝置的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。其中，本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置作為一例，對(duì)底部發(fā)射結(jié)構(gòu)進(jìn) 行說(shuō)明，但也可以用于頂部發(fā)射結(jié)構(gòu)。如圖1所示，對(duì)有機(jī)EL裝置11而言，多條掃描線12、在與掃描線12交叉的方向延
7伸的多條信號(hào)線13、與信 號(hào)線13并行延伸的多條電源線14分別被布線成格子狀。而且， 被掃描線12和信號(hào)線13劃分的區(qū)域構(gòu)成為像素區(qū)域。信號(hào)線13與信號(hào)線驅(qū)動(dòng)電路15連 接。而掃描線12與掃描線驅(qū)動(dòng)電路16連接。在各像素區(qū)域中，設(shè)置有借助掃描線12將掃描信號(hào)提供給柵電極的開(kāi)關(guān)用 TFT (Thin Film Transistor) 21、對(duì)借助該開(kāi)關(guān)用TFT21從信號(hào)線13供給的像素信號(hào) 進(jìn)行保持的保持電容器22、和柵電極被提供由保持電容器22保持的像素信號(hào)的驅(qū)動(dòng)用 TFT23(以下稱為“TFT元件23”)。并且，在各像素區(qū)域中，設(shè)置有當(dāng)借助TFT元件23與電 源線14電連接時(shí)驅(qū)動(dòng)電流從電源線14流入的陽(yáng)極24、陰極25、和夾持在該陽(yáng)極24與陰極 25之間的作為功能層的發(fā)光功能層26。有機(jī)EL裝置11具備多個(gè)由陽(yáng)極24、陰極25和發(fā)光功能層26構(gòu)成的發(fā)光元件27。 而且，有機(jī)EL裝置11具備由多個(gè)發(fā)光元件27構(gòu)成的顯示區(qū)域。根據(jù)該構(gòu)成，如果掃描線12被驅(qū)動(dòng)，開(kāi)關(guān)用TFT21成為接通狀態(tài)，則此時(shí)的信號(hào)線 13的電位由保持電容器22保持，根據(jù)保持電容器22的狀態(tài)，來(lái)決定TFT元件23的接通、斷 開(kāi)狀態(tài)。然后，借助TFT元件23的溝道，電流從電源線14流向陽(yáng)極24，進(jìn)而，借助發(fā)光功能 層26，電流流向陰極25。發(fā)光功能層26以與流過(guò)其的電流量對(duì)應(yīng)的亮度發(fā)光。圖2是表示有機(jī)EL裝置的構(gòu)成的示意俯視圖。下面，參照?qǐng)D2，對(duì)有機(jī)EL裝置的 構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。如圖2所示，有機(jī)EL裝置11構(gòu)成為在由玻璃等構(gòu)成的作為基板的元件基板31上， 具有顯示區(qū)域32(圖中點(diǎn)劃線內(nèi)側(cè)的區(qū)域)和非顯示區(qū)域33(點(diǎn)劃線外側(cè)的區(qū)域)。在顯 示區(qū)域32中設(shè)置有實(shí)際顯示區(qū)域32a(雙點(diǎn)劃線內(nèi)側(cè)的區(qū)域)和虛設(shè)區(qū)域32b (圖中雙點(diǎn) 劃線外側(cè)的區(qū)域)。在實(shí)際顯示區(qū)域32a內(nèi)，射出光的子像素34(發(fā)光區(qū)域)排列成矩陣狀。該子像 素34的每一個(gè)都構(gòu)成為隨著開(kāi)關(guān)用TFT21及TFT元件23 (參照?qǐng)D1)的動(dòng)作，發(fā)出作為第 一色的R(紅色)、作為第二色的G(綠)、作為第三色的B (藍(lán))各種顏色的光。在虛設(shè)區(qū)域32b中設(shè)置有主要用于使各子像素34發(fā)光的電路。例如，按照沿著實(shí) 際顯示區(qū)域32a的圖中左邊及右邊的方式配置了掃描線驅(qū)動(dòng)電路16，按照沿著實(shí)際顯示區(qū) 域32a的圖中上邊的方式配置了檢查電路35。在元件基板31的下邊設(shè)置有柔性基板36。在柔性基板36上具備與各布線連接的 驅(qū)動(dòng)用IC37。圖3是表示有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)的示意剖面圖。下面，參照?qǐng)D3，對(duì)有機(jī)EL裝置的 結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。其中，圖3表示了各構(gòu)成要素的剖面位置關(guān)系，以能夠明示的比例示出。如圖3所示，有機(jī)EL裝置11在發(fā)光區(qū)域42進(jìn)行發(fā)光，具有元件基板31、形成在 元件基板31上的電路元件層43、形成在電路元件層43上的發(fā)光元件層44、和形成在發(fā)光 元件層44上的陰極(公共電極)25。作為元件基板31，例如可以舉出具有透光性的玻璃基 板。電路元件層43中，在元件基板31上形成有由硅氧化膜(SiO2)構(gòu)成的基底保護(hù)膜 45，在基底保護(hù)膜45上形成有TFT元件23。詳細(xì)而言，在基底保護(hù)膜45上，形成有由多晶 硅膜構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜46。在半導(dǎo)體膜46中，通過(guò)雜質(zhì)的導(dǎo)入形成有源極區(qū)域47及漏 極區(qū)域48。而且，未被導(dǎo)入雜質(zhì)的部分成為溝道區(qū)域51。
并且，在電路元件層43中，形成有覆蓋基底保護(hù)膜45及半導(dǎo)體膜46的由硅氧化 膜等構(gòu)成的透明柵極絕緣膜52。在柵極絕緣膜52上，形成有由鋁(Al)、鉬(Mo)、鉭(Ta)、 鈦(Ti)、鎢(W)等構(gòu)成的柵電極53 (掃描線)。在柵極絕緣膜52及柵電極53上，形成有透明的第一層間絕緣膜M、第二層間絕緣 膜陽(yáng)。第一層間絕緣膜M及第二層間絕緣膜陽(yáng)例如由硅氧化膜(SiO2)、鈦氧化膜(TiO2) 等構(gòu)成。柵電極53被設(shè)置在與半導(dǎo)體膜46的溝道區(qū)域51對(duì)應(yīng)的位置。半導(dǎo)體膜46的源極區(qū)域47借助貫通柵極絕緣膜52及第一層間絕緣膜M而設(shè)置 的接觸孔56，與形成在第一層間絕緣膜M上的信號(hào)線13電連接。另一方面，漏極區(qū)域48 借助貫通柵極絕緣膜52、第一層間絕緣膜M、第二層間絕緣膜55而設(shè)置的接觸孔57，與形 成在第二層間絕緣膜55上的陽(yáng)極MQ4R、24G、24B)電連接。陽(yáng)極M例如按各個(gè)發(fā)光區(qū)域42形成。而且，陽(yáng)極M由透明的ITO(銦錫氧化物 Indium Tin Oxide)膜形成，例如成為俯視近似為矩形形狀的形狀。其中，在電路元件層43 中，形成有未圖示的保持電容器及開(kāi)關(guān)用晶體管。而且，如上所述，在電路元件層43中，形 成有與各陽(yáng)極M連接的驅(qū)動(dòng)用晶體管(TFT元件23)。在陽(yáng)極M的周圍，絕緣層58及隔壁(圍堰)59被設(shè)置成俯視近似為格子狀。作 為絕緣層58，例如可以舉出硅氧化膜(SiO2)等無(wú)機(jī)材料。為了確保相鄰的陽(yáng)極M間的絕 緣性，并使發(fā)光區(qū)域42的形狀成為所希望的形狀(例如軌道形狀)，絕緣層58被形成為越 到陽(yáng)極M的周緣部上。即，陽(yáng)極M和絕緣層58成為俯視一部分重疊的構(gòu)造。換言之，絕 緣層58形成在除了發(fā)光區(qū)域42之外的區(qū)域。隔壁59例如是截面具有傾斜面的梯形形狀，按照包圍發(fā)光區(qū)域42 (發(fā)光元件27R、 27G、27B)的方式形成。S卩，被包圍的區(qū)域成為隔壁59的開(kāi)口部(發(fā)光區(qū)域42)。作為隔壁 59的材料，例如可以舉出丙烯酸系樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂等具有耐熱性、耐溶劑性的有機(jī)材 料。設(shè)置在陽(yáng)極M上的各種膜，按各種顏色的發(fā)光元件27R、27G、27B而不同。具體而 言，紅色發(fā)光元件27R在由隔壁59包圍的作為第一陽(yáng)極的陽(yáng)極24R上，通過(guò)涂敷法依次形 成有空穴注入層61R、空穴輸送層62R、作為第一發(fā)光層(紅色發(fā)光層)的發(fā)光層63R。進(jìn) 而，在發(fā)光層63R上，通過(guò)涂敷法設(shè)置有用于促進(jìn)電子注入性(換言之，用于使電荷順暢移 動(dòng))的中間層64R。綠色發(fā)光元件27G在由隔壁59包圍的第二陽(yáng)極的陽(yáng)極24G上，通過(guò)噴墨法依次形 成有空穴注入層61G、空穴輸送層62G、作為第二發(fā)光層(綠色發(fā)光層)的發(fā)光層63G，。進(jìn) 而，在發(fā)光層63G上，與紅色發(fā)光元件27R同樣，通過(guò)涂敷法設(shè)置有用于促進(jìn)電子注入性的 中間層64G。空穴注入層61(61R、61G)由在導(dǎo)電性高分子材料中含有摻雜劑的導(dǎo)電性高分子 層構(gòu)成。這樣的空穴注入層61例如可以由含有聚苯乙烯磺酸作為摻雜劑的3，4_聚乙撐二 氧噻吩(PED0T-PSS)等構(gòu)成。作為空穴輸送層62(62R、62G)的構(gòu)成材料，例如可以使用含有下述化1所示的TFB 等三苯基胺系聚合物的材料。化1
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，包括第一發(fā)光層涂敷工序，利用涂敷法在基板上的第一陽(yáng)極上形成發(fā)出第一色光的第一發(fā) 光層；第二發(fā)光層涂敷工序，利用涂敷法在上述基板上的第二陽(yáng)極上形成發(fā)出第二色光的第 二發(fā)光層；中間層形成工序，在上述第一發(fā)光層上及上述第二發(fā)光層上形成具有電子注入性的中 間層；第三發(fā)光層蒸鍍工序，利用蒸鍍法在上述中間層上及上述基板上的第三陽(yáng)極上形成發(fā) 出第三色光的第三發(fā)光層；和在上述第三發(fā)光層上形成陰極的陰極形成工序。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述第一發(fā)光層是紅色發(fā)光層，上述第二發(fā)光層是綠色發(fā)光層， 上述第三發(fā)光層是藍(lán)色發(fā)光層。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述第三發(fā)光層至少包括具有空穴輸送性的層、和具有電子輸送性的層。
4.如權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，在上述第一陽(yáng)極和上述第一發(fā)光層之間、以及上述第二陽(yáng)極和上述第二發(fā)光層之間， 至少形成空穴注入層及空穴輸送層中的任意一方。
5.如權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，在上述第三陽(yáng)極和上述第三發(fā)光層之間，形成空穴注入層及空穴輸送層的至少任意一方。
6.如權(quán)利要求5所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于，上述中間層形成工序在上述空穴注入層或上述空穴輸送層和上述第三發(fā)光層之間形 成上述中間層。
7.如權(quán)利要求1 6中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述中間層形成工序在包括上述第三陽(yáng)極和上述第三發(fā)光層之間的區(qū)域形成上述中間層。
8.如權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述中間層形成工序利用涂敷法形成上述中間層。
9.如權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述中間層形成工序利用蒸鍍法形成上述中間層。
10.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述涂敷法是噴墨法。
11.如權(quán)利要求1 10中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 上述中間層是碳酸銫。
12.如權(quán)利要求1 11中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法，其特征在于， 具有形成顏色轉(zhuǎn)換層的顏色轉(zhuǎn)換層形成工序。
13.一種有機(jī)EL裝置，其特征在于，具有利用涂敷法在基板上的第一陽(yáng)極上形成的發(fā)出第一色光的第一發(fā)光層； 利用涂敷法在上述基板上的第二陽(yáng)極上形成的發(fā)出第二色光的第二發(fā)光層； 利用蒸鍍法在上述第一發(fā)光層上、上述第二發(fā)光層上、包括上述基板上的第三陽(yáng)極的 區(qū)域形成的發(fā)出第三色光的第三發(fā)光層；和 設(shè)置在上述第三發(fā)光層上的陰極；至少在上述第一發(fā)光層和上述第三發(fā)光層之間、以及上述第二發(fā)光層和上述第三發(fā)光 層之間，設(shè)置有具有電子注入性的中間層。
14.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 上述第一發(fā)光層是紅色發(fā)光層，上述第二發(fā)光層是綠色發(fā)光層， 上述第三發(fā)光層是藍(lán)色發(fā)光層。
15.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備使用權(quán)利要求1 10中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置的制造方法而制造的有機(jī)EL 裝置、或者權(quán)利要求13或14所述的有機(jī)EL裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供能使顯示質(zhì)量提高的有機(jī)EL裝置的制造方法、有機(jī)EL裝置及電子設(shè)備。所述制造方法包括利用涂敷法在元件基板(31)上的陽(yáng)極(24R)上形成發(fā)出紅色光的發(fā)光層(63R)的工序；利用涂敷法在元件基板(31)上的陽(yáng)極(24G)上形成發(fā)出綠色光的發(fā)光層(63G)的工序；在發(fā)光層(63R、63G)上形成具有電子注入性的中間層(64R、64G)的工序；利用蒸鍍法在包括中間層(64R、64G)上及元件基板(31)上的陽(yáng)極(24B)上的區(qū)域，形成發(fā)出藍(lán)色光的發(fā)光層(63B)的工序；和在發(fā)光層(63B)上形成陰極(25)的工序。
文檔編號(hào)H01L51/52GK102130306SQ201010534150
公開(kāi)日2011年7月20日 申請(qǐng)日期2010年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月3日
發(fā)明者內(nèi)田昌宏 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社