專利名稱：一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶片加工設(shè)備，尤其涉及一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺。
背景技術(shù)：
目前，Mattson Strip機臺每個反應(yīng)腔有兩套溫度系統(tǒng)，分別由watlow溫控器和過溫溫控器來控制。反應(yīng)腔有兩組熱電偶來感應(yīng)溫度，軟件默認(rèn)的溫度值是watlow溫控器對熱電偶的讀值，反應(yīng)腔的控溫設(shè)定也只由watlow溫控器來控制。過溫溫控器只執(zhí)行過溫保護(hù)，對反應(yīng)腔溫度無控制功能，也沒有低溫報警功能。如圖1所示，即為該機臺目前溫度系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中帶箭頭的線路為電源線路，不帶箭頭的線路為信號線路。所以在該機臺加工晶片的過程中，反應(yīng)腔實際溫度因機臺異常而降溫時，watlow 溫控器也因異常而送給機臺正常溫度值的信號，因此，機臺不會升溫，不會報警，異常將不被發(fā)現(xiàn)。而溫度對半導(dǎo)體加工工藝來說是很重要的參數(shù)，溫度出現(xiàn)異?？赡軙?dǎo)致產(chǎn)品異常甚至報廢。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，它能夠監(jiān)測出機臺的溫度異常情況并進(jìn)行報警。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，包括反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔上設(shè)置有兩個溫控器，其中，所述晶片加工機臺上還設(shè)置有比較器，所述比較器的輸入端分別與所述兩個溫控器相連，所述比較器的輸出端與報警器相連。進(jìn)一步地，所述兩個溫控器分別為watlow溫控器和過溫溫控器。進(jìn)一步地，所述報警器為所述晶片加工機臺的聯(lián)鎖裝置。進(jìn)一步地，所述晶片加工機臺為Mattson Strip機臺。本發(fā)明提供的具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，是將一個反應(yīng)腔上的兩個溫控器的溫度信號利用比較器進(jìn)行比較，當(dāng)溫度差值大于設(shè)定值時將輸出信號來進(jìn)行報警。因此，本發(fā)明能夠監(jiān)測出機臺的溫度異常情況并進(jìn)行報警，從而避免產(chǎn)品異?；驁髲U問題的產(chǎn)生。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中Mattson Strip機臺上溫度系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的Mattson Strip機臺上溫度系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。如圖2所示，本發(fā)明提供一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，包括反應(yīng)腔，該反應(yīng)腔上設(shè)置有兩個溫控器，其中，所述晶片加工機臺上還設(shè)置有比較器，所述比較器的輸入端分別與所述兩個溫控器相連，所述比較器的輸出端與報警器相連。本發(fā)明的具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，是將一個反應(yīng)腔上的兩個溫控器的溫度信號利用比較器進(jìn)行比較，當(dāng)溫度差值大于設(shè)定值時將輸出信號來進(jìn)行報警，使得異常及時發(fā)現(xiàn)。因此，本發(fā)明能夠監(jiān)測出機臺的溫度異常情況并進(jìn)行報警，從而避免產(chǎn)品異?；驁髲U問題的產(chǎn)生。本發(fā)明中，兩個溫控器可以分別為watlow溫控器和過溫溫控器。而報警器可以優(yōu)選為晶片加工機臺的聯(lián)鎖裝置(interlock)。并且，本發(fā)明特別適用于Mattson Strip機臺。如圖2所示，本發(fā)明是將watlow讀取的與溫度信號成正比的電壓信號和過溫溫控器讀取的與溫度信號成正比的電壓信號用比較器進(jìn)行比較，當(dāng)溫度差值大于設(shè)定值時將輸出信號來進(jìn)行報警。由于本發(fā)明利用了同一反應(yīng)腔的兩個熱電偶傳感器所檢測的溫度差， 所以不管其溫度是過高還是過低都可以檢測到，兩路溫度控制系統(tǒng)同時出同樣問題的幾率很低。本發(fā)明通過上述溫度控制方式的改善，可以有效預(yù)防產(chǎn)品大批量異常，達(dá)到溫度自動偵測控制的目的。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用來限定本發(fā)明的實施范圍；如果不脫離本發(fā)明的精神和范圍，對本發(fā)明進(jìn)行修改或者等同替換，均應(yīng)涵蓋在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求
1.一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，包括反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔上設(shè)置有兩個溫控器，其特征在于，所述晶片加工機臺上還設(shè)置有比較器，所述比較器的輸入端分別與所述兩個溫控器相連，所述比較器的輸出端與報警器相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，其特征在于，所述兩個溫控器分別為watlow溫控器和過溫溫控器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，其特征在于，所述報警器為所述晶片加工機臺的聯(lián)鎖裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，其特征在于，所述晶片加工機臺為Mattson Strip機臺。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種具有溫度自動控制功能的晶片加工機臺，其包括反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔上設(shè)置有兩個watlow溫控器和過溫溫控器，所述晶片加工機臺上還設(shè)置有比較器，所述比較器的輸入端分別與所述watlow溫控器和過溫兩個溫控器相連，所述比較器的輸出端與報警器相連。本發(fā)明是將一個反應(yīng)腔上的兩個溫控器的溫度信號利用比較器進(jìn)行比較，當(dāng)溫度差值大于設(shè)定值時將輸出信號來進(jìn)行報警。因此，本發(fā)明能夠監(jiān)測出機臺的溫度異常情況并進(jìn)行報警，從而避免產(chǎn)品異?；驁髲U問題的產(chǎn)生。
文檔編號H01L21/67GK102412169SQ20101028946
公開日2012年4月11日 申請日期2010年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月21日
發(fā)明者王浩明 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司