專利名稱：高功率氣體CO₂激光器光學(xué)諧振腔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣體激光器，特別是涉及高功率激光、高脈沖能量和高重復(fù)頻率 的氣體TEA C02激光器的光學(xué)諧振腔裝置。
背景技術(shù)：
光學(xué)諧振腔是激光器的重要部件，對(duì)于脈沖輸出激光或是連續(xù)輸出激光的氣體 co2激光器，設(shè)計(jì)適合的光學(xué)諧振腔，是氣體co2激光器獲得高功率激光輸出和高光束質(zhì)量 輸出的必要條件之一。沒有光學(xué)諧振腔就不能產(chǎn)生激光輸出，光學(xué)諧振腔可以使光脈沖信 號(hào)多次反復(fù)地沿著一定方向通過工作物質(zhì)激勵(lì)諧振獲得多次的放大，并使脈沖信號(hào)越來越 強(qiáng)形成激光輸出。由于高功率氣體co2激光器一般是在多模狀態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn)工作的(包括縱流 與橫流)，從而導(dǎo)致復(fù)雜的時(shí)間和空間模式相干性存在。對(duì)于激光光束的兩個(gè)相干性而言， 是沿著光束傳播的光功率強(qiáng)度分布明顯變化的，特別是非穩(wěn)定狀態(tài)下的光學(xué)諧振腔更是如 此。為獲得較高功率的激光和高質(zhì)量激光光束輸出，必需設(shè)計(jì)理想的光學(xué)諧振腔控制激光 器的激光振蕩模式，來保證輸出激光有較好的時(shí)間和空間的相干性。這是高功率氣體0)2激 光器(特別是脈沖氣體co2激光器)技術(shù)較難解決的關(guān)鍵問題。更是設(shè)計(jì)光學(xué)諧振腔所必 須考慮的重要因素和內(nèi)容。光學(xué)諧振腔是多種多樣的，如構(gòu)成光學(xué)諧振腔的反射鏡可以是 平面鏡，也可以是凹面或者凸面鏡，兩反射鏡形式可以是相同的，也可以是不同的，兩反射 鏡的距離可以是任意的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種能在高功率激光和高質(zhì)量激光光束輸出條 件下長(zhǎng)時(shí)間維持均勻場(chǎng)激勵(lì)放電可靠穩(wěn)定工作的高功率氣體co2激光器光學(xué)諧振腔裝置。本發(fā)明設(shè)計(jì)的平一凹共焦穩(wěn)定光學(xué)腔結(jié)構(gòu)裝置，解決了高功率氣體C02激光器經(jīng) 主放電極放電維持激勵(lì)諧振獲得高功率激光和高質(zhì)量激光光束輸出穩(wěn)定性問題。本發(fā)明采 用由高穩(wěn)定的光學(xué)支架、光學(xué)元件、光學(xué)腔支撐結(jié)構(gòu)和光學(xué)元件支架結(jié)構(gòu)等技術(shù)設(shè)計(jì)的光 學(xué)諧振腔裝置，可使氣體co2激光器獲得激光輸出功率達(dá)數(shù)十kW，激光脈沖能量達(dá)數(shù)十焦耳 和激光光束的穩(wěn)定度小于o. 2mrad。且該裝置具有技術(shù)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造成本低、體積相對(duì)較 小緊湊等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明的高功率氣體C02激光器光學(xué)諧振腔裝置包括輸出反射鏡壓蓋、短內(nèi)六角 螺釘、銦鋼墊圈、輸出反射鏡(輸出窗口)、上、下位移調(diào)整塊、左、右位移調(diào)整塊、輸出反射 鏡座、波紋管大法蘭盤、大0形密封圈、中0形密封圈、小0形密封圈、六角螺栓、波紋管、高 穩(wěn)定光學(xué)支架、激光放電腔、放電電極、波紋管小法蘭盤、全反射鏡、全反射鏡壓蓋、長(zhǎng)內(nèi)六 角螺釘、全反射鏡座、仰角調(diào)整螺栓等構(gòu)成的高功率氣體co2激光器的光學(xué)諧振腔。各部件的位置及連接關(guān)系所述的光學(xué)諧振腔為一通長(zhǎng)的矩形體結(jié)構(gòu)，沿高穩(wěn)定 光學(xué)支架的兩端板上裝有波紋管的大法蘭盤，并通過波紋管的小法蘭盤，沿軸向與激光放 電腔箱體的兩端板連接；在一端的波紋管大法蘭盤上裝有全反射鏡光學(xué)元件支架的結(jié)構(gòu)裝置，在另一端的波紋管大法蘭盤上裝有輸出反射鏡光學(xué)元件支架的結(jié)構(gòu)裝置，做為高功率 氣體C02激光器發(fā)射激光的輸出窗口 ；在波紋管大法蘭盤上還裝有調(diào)整螺栓，用來調(diào)整全反 射鏡、輸出反射鏡的仰角，修正使其軸心與激光放電腔的空間光軸“0”同軸；在光學(xué)支架的 兩端板上還裝有光學(xué)諧振腔的支撐調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其一是使光學(xué)支架實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定度，其二是使 光學(xué)支架能夠左、右和上、下位移調(diào)整，使激光器光學(xué)諧振腔的空間軸心與校準(zhǔn)光源的光軸 同軸，實(shí)現(xiàn)激光器輸出激光方向的準(zhǔn)確性(準(zhǔn)直度)；在光學(xué)元件全反射鏡和輸出反射鏡與 光學(xué)元件支架的結(jié)構(gòu)壓蓋之間裝有銦鋼墊圈，其除將光學(xué)元件與壓蓋間的縫隙添實(shí)使之壓 緊配合外，另一個(gè)作用是將鏡片吸收的激光光束熱量傳導(dǎo)散熱出去，延長(zhǎng)光學(xué)元件的工作 壽命；光學(xué)元件與鏡座的連接和波紋管大法蘭盤與鏡座的連接，都是采用0形圈接觸壓緊 密封連接，使激光器的密閉氣體循環(huán)通道腔室內(nèi)的工作物質(zhì)與大氣相隔離，并具有非常高 的氣密性，使工作物質(zhì)保持穩(wěn)定的工作氣壓在密閉循環(huán)通道腔室內(nèi)流動(dòng)。由放電電極激勵(lì) 放電后產(chǎn)生的光電子脈沖，經(jīng)全反射鏡和輸出反射鏡多次反復(fù)的諧振放大，由輸出窗口發(fā) 射激光構(gòu)成的高功率氣體C02激光器光學(xué)諧振腔裝置。所述的高穩(wěn)定的光學(xué)支架為桁架機(jī)械結(jié)構(gòu)，由兩個(gè)端板和三根拉桿構(gòu)成(見圖 1)。在一塊端板上裝有光學(xué)元件全反射鏡、光學(xué)腔支撐及位移調(diào)整結(jié)構(gòu)和光學(xué)元件支架結(jié) 構(gòu)；另一塊端板上裝有光學(xué)元件輸出反射鏡、光學(xué)腔支撐及位移調(diào)整結(jié)構(gòu)和光學(xué)元件支架 結(jié)構(gòu)，作為激光器的輸出窗口端。所述的光學(xué)諧振腔的支撐調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)為安裝在高穩(wěn)定光學(xué)支架端板上的上、下位移 調(diào)整塊和左、右位移調(diào)整塊；用外部設(shè)備校準(zhǔn)光源和光欄校定使激光器主放電極的空間光 軸與光源的光軸同軸后，調(diào)整位移上、下和左、右位移調(diào)整塊，使校準(zhǔn)光源的光軸、主放電極 的空間光軸、全反射鏡的軸心和輸出反射鏡的軸心為同一光軸，實(shí)現(xiàn)激光器輸出激光方向 的準(zhǔn)確性即準(zhǔn)直度。所述的全反射鏡和輸出反射鏡鏡座通過0形密封圈與波紋管的大法蘭盤緊固連 接；全反射鏡和輸出反射鏡通過0形密封圈與鏡座緊固連接；波紋管小法蘭盤通過0形密 封圈與激光放電腔緊固連接。其作用是不使激光器的工作物質(zhì)(混合氣體)泄露到大氣中 去，確保激光器始終在設(shè)定好的工作氣壓范圍穩(wěn)定的運(yùn)行工作。所述的在大法蘭盤上還安裝有仰角調(diào)整螺栓，用外部設(shè)備校準(zhǔn)光源和光欄校定使 激光器主放電極的空間光軸與光源的光軸同軸后，調(diào)整仰角使全反射鏡和輸出反射鏡的光 軸心與主放電極的空間光軸與光源的光軸同軸。本發(fā)明的光學(xué)諧振腔裝置與激光器主機(jī)設(shè)備固定連接，由儲(chǔ)能充放電路提供注入 電能量，將激光放電腔放電電場(chǎng)內(nèi)被電離的工作氣體，通過預(yù)電離觸發(fā)針的預(yù)先火花放電 和一對(duì)主放電極的滯后均勻場(chǎng)輝光放電而獲得光電子，再由光學(xué)諧振腔的全反射鏡與輸出 反射鏡進(jìn)行光電子多次諧振后獲得激光輸出。由于高功率TEA 0)2激光器是屬高電壓，高 重頻狀態(tài)下運(yùn)行工作的大型激光設(shè)備，光學(xué)諧振腔除具有獲得高功率激光輸出和高質(zhì)量激 光光束能力外，還要求其光學(xué)腔便于安裝調(diào)試和光學(xué)元件的調(diào)換。本發(fā)明的光學(xué)諧振腔裝 置通過位移調(diào)整塊和仰角調(diào)整螺栓的精確調(diào)整定位，并使事先裝配好的全反鏡裝置和輸出 窗口裝置快速調(diào)換，解決了光學(xué)諧振腔激光光束是在穩(wěn)定狀態(tài)下且沿著光功率強(qiáng)度分布明 顯變化的難題。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)光學(xué)諧振腔具有高穩(wěn)定度抖動(dòng)小、放電光電子諧振持續(xù)穩(wěn)定、輸出激光光斑較大和光學(xué)元件可以承受較大工作破壞閾值等特點(diǎn)。使高功率氣體C02激光器不 再因?yàn)椴荒荛L(zhǎng)久維持激勵(lì)諧振和破壞光學(xué)元件，故可以延長(zhǎng)氣體C02激光器的工作使用壽 命，另外本發(fā)明的氣體C02激光器光學(xué)諧振腔裝置與激光器的激光放電腔結(jié)合成為一體，構(gòu) 成一個(gè)體積較小、結(jié)構(gòu)緊湊簡(jiǎn)單和制造成本低新型激光器件裝置，可應(yīng)用于各類高功率氣 體激光器和高功率脈沖氣體C02激光器中。


圖1為本發(fā)明的氣體C02激光器光學(xué)諧振腔裝置的剖視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明本發(fā)明的氣體C02激光器光學(xué)諧振腔裝置包括輸出反射鏡壓蓋1 ；M6內(nèi)六角螺 釘2 ；銦鋼墊圈3 ；輸出反射鏡(輸出窗口)4 ；上、下位移調(diào)整塊5 ；左、右位移調(diào)整塊6 ；輸 出反射鏡座7 ；波紋管大法蘭盤8 ；中0形密封圈9 ；大0形密封圈10 ；M6六角螺栓11 ；波紋 管12 ；高穩(wěn)定光學(xué)支架13 ；激光放電腔14 ；放電電極15 ；波紋管小法蘭盤16 ；全反射鏡17 ； 全反射鏡壓蓋18 ；小0形密封圈19 ；全反射鏡座21 ；仰角調(diào)整螺栓22等構(gòu)成光學(xué)諧振腔裝 置。所述的光學(xué)元件全反射鏡為直徑76. 2mm的凹面鏡，曲率半徑R為18m，凹面表面鍍 金膜，全反射率為99. 8% ；光學(xué)元件輸出反射鏡(輸出窗口)為直徑95mm的平面鏡，平鏡 的一端表面鍍工作介質(zhì)反射膜，透過率T為70%，該表面與激光器工作氣體接觸，平鏡的另 一端表面鍍?cè)鐾改?，透過率T為99. 9%，該表面與大氣的空氣接觸。所述的光學(xué)元件支架的結(jié)構(gòu)是安裝在波紋管大法蘭盤上外徑為150mm、內(nèi)徑為 60mm的全反射鏡和外徑為150mm、內(nèi)徑為80mm的輸出反射鏡鏡座，與鏡座緊固連接外徑為 106mm、內(nèi)徑為72mm全反射鏡和外徑為122mm、內(nèi)徑為80mm輸出反射鏡壓蓋；與壓蓋和鏡片 緊密連接的外徑為76mm、內(nèi)徑為72mm全反射鏡和外徑為94mm、內(nèi)徑為82mm輸出反射鏡銦 鋼墊圈，光學(xué)元件支架結(jié)構(gòu)可以將鏡片牢固的固定在相應(yīng)的位置，使其不能發(fā)生松動(dòng)和位 移，同時(shí)具有將鏡片所吸收的激光光束熱量傳導(dǎo)散熱出去作用，延長(zhǎng)光學(xué)元件的工作壽命。所述的輸出反射鏡壓蓋1直徑95mm的子口位置裝入銦鋼墊圈3和光學(xué)元件輸出 反射鏡4，將0形密封圈9裝入輸出反射鏡座7上，用6個(gè)M6短內(nèi)六角螺釘2，將輸出反射 鏡壓蓋1和輸出反射鏡座7緊固連接；構(gòu)成輸出窗口結(jié)構(gòu)裝置。輸出反射鏡4采用硒化鋅 (ZnSe)材料制作，0形密封圈9采用橡膠材料制作，輸出反射鏡壓蓋1和輸出反射鏡座7采 用不銹鋼材料制作。所述的全反射鏡壓蓋18直徑76mm的子口位置裝入光學(xué)元件全反射鏡17，將小0 形密封圈19裝入全反射鏡座21上，用6個(gè)M6長(zhǎng)內(nèi)六角螺釘20將全反射鏡壓蓋18和全反 射鏡座21緊固連接；構(gòu)成全反射鏡結(jié)構(gòu)裝置。全反射鏡17采用無氧銅材料制作，0形密封 圈19采用橡膠材料制作，全反射鏡壓蓋18和全反射鏡座21采用不銹鋼材料制作。所述的光學(xué)支架13是由三根直徑50mm、長(zhǎng)2. 0m的銦鋼管，每根銦鋼管兩端裝配帶 有M20螺紋的堵頭，并與兩塊800*600*30的端板用6個(gè)M20的螺母緊固連接，在兩塊端板 的中心位置上同軸開有直徑為170mm的圓孔，構(gòu)成桁架式的高穩(wěn)定的光學(xué)支架結(jié)構(gòu)。兩塊端板采用不銹鋼材料制作。所述的上、下位移調(diào)整塊5和左、右位移調(diào)整塊6均為4組；將上、下位移調(diào)整塊5 分別用4個(gè)M6內(nèi)六角螺釘緊固連接在端板外端面下角方向的左、右位置處；將左、右位移調(diào) 整塊6分別用4個(gè)M6內(nèi)六角螺釘緊固連接在端板側(cè)端下面的板厚中心位置處；構(gòu)成光學(xué)諧 振腔光軸，可以上、下和左、右位移的調(diào)整結(jié)構(gòu)裝置。每組上、下位移調(diào)整塊5和左、右位移 調(diào)整塊6采用不銹鋼材料制作。所述的仰角調(diào)整螺栓22共計(jì)6個(gè)分為兩組，按120°等分安裝在兩端的波紋管大 法蘭盤8上，旋動(dòng)仰角調(diào)整螺栓22可以修正輸出窗口結(jié)構(gòu)和全反射鏡結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件全反 射鏡與輸出反射鏡的光軸同軸；仰角調(diào)整螺栓22采用不銹鋼材料制作。將裝配好的光學(xué)支架13用M10的螺栓通過角塊固定連接在外部結(jié)構(gòu)裝置激光器 的支撐平臺(tái)上，先將波紋管大法蘭盤8用M10的螺栓緊固連接在光學(xué)支架13兩端的端板 上，后將波紋管小法蘭盤16裝上小0形密封圈，再用M10的螺栓緊固連接在激光放電腔14 兩端的端板上，然后將兩端波紋管大法蘭盤8裝上大0形密封圈10，將輸出窗口結(jié)構(gòu)裝置和 全反射鏡結(jié)構(gòu)裝置用兩組M6內(nèi)六角螺釘分別與波紋管大法蘭盤8緊固連接。構(gòu)成完整的 高功率氣體C02激光器光學(xué)諧振腔裝置。配合主機(jī)設(shè)備和儲(chǔ)能充放電系統(tǒng)完成激光器激勵(lì) 放電并使光電子脈沖充分諧振獲得激光輸出。光學(xué)諧振腔是氣體C02激光器基礎(chǔ)技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)之一，本發(fā)明的光學(xué)諧振腔采 用高穩(wěn)定度抖動(dòng)小、放電光電子脈沖諧振持續(xù)穩(wěn)定、輸出激光光斑較大和光學(xué)元件可以承 受較大工作破壞閾值等技術(shù)特點(diǎn)，使高功率氣體C02激光器即能長(zhǎng)久維持激勵(lì)諧振，同時(shí)不 破壞光學(xué)元件，實(shí)現(xiàn)了氣體激光器的光學(xué)諧振腔配附激光器主機(jī)高功率穩(wěn)定可靠的運(yùn)行工 作。本發(fā)明的裝置具有技術(shù)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單制造成本低，體積相對(duì)較小且緊湊等優(yōu)點(diǎn)，機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)與機(jī)械零部件加工非常易于實(shí)現(xiàn)，裝置高穩(wěn)定可靠，便于全反射鏡和輸出反射鏡的調(diào)換 與安裝，能夠使氣體co2激光器系統(tǒng)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作，適用于高功率氣體激光器和脈沖氣體 激光器技術(shù)。
權(quán)利要求
高功率氣體CO2激光器的光學(xué)諧振腔，其特征在于包括輸出反射鏡壓蓋(1)、短內(nèi)六角螺釘(2)、銦鋼墊圈(3)、輸出反射鏡(4)、上、下位移調(diào)整塊(5)、左、右位移調(diào)整塊(6)、輸出反射鏡座(7)、波紋管大法蘭盤(8)、中O形密封圈(9)、大O形密封圈(10)、六角螺栓(11)、波紋管(12)、高穩(wěn)定光學(xué)支架(13)、激光放電腔(14)、放電電極(15)、波紋管小法蘭盤(16)、全反射鏡(17)、全反射鏡壓蓋(18)、小O形密封圈(19)、長(zhǎng)內(nèi)六角螺釘(20)、全反射鏡座(21)、仰角調(diào)整螺栓(22)構(gòu)成光學(xué)諧振腔；各部件的位置及連接關(guān)系所述的光學(xué)諧振腔為一通長(zhǎng)的矩形體結(jié)構(gòu)，沿高穩(wěn)定光學(xué)支架(13)的兩端板上裝有波紋管的大法蘭盤(8)，并通過波紋管(12)和波紋管小法蘭盤(16)，沿軸向與激光放電腔(14)箱體的兩端板連接；在一端的波紋管大法蘭盤(8)上裝有全反射鏡光學(xué)元件支架，在另一端的波紋管大法蘭盤(8)上裝有輸出反射鏡光學(xué)元件支架，做為高功率氣體CO2激光器發(fā)射激光的輸出窗口；在波紋管大法蘭盤(8)上還裝有仰角調(diào)整螺栓(22)，用來調(diào)整全反射鏡(17)、輸出反射鏡(4)的仰角，修正使其軸心與激光放電腔(14)的空間光軸0同軸；在光學(xué)支架(13)的兩端板上還裝有光學(xué)諧振腔的支撐和位移調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上、下位移調(diào)整塊(5)和左、右位移調(diào)整塊(6)，通過調(diào)整使激光器光學(xué)諧振腔的空間光軸0與校準(zhǔn)光源的光軸0同軸；在光學(xué)元件的全反射鏡(17)和輸出反射鏡(4)與光學(xué)元件支架(13)的結(jié)構(gòu)壓蓋之間裝有銦鋼墊圈(3)；光學(xué)元件與鏡座(7)、(21)的連接和波紋管大法蘭盤(8)與輸出反射鏡座(7)、全反射鏡座(21)的連接，都是采用中O形密封圈(9)、大密封圈(10)接觸壓緊密封連接；由放電電極激勵(lì)放電后產(chǎn)生的光電子脈沖，經(jīng)全反射鏡(17)和輸出反射鏡(4)多次反復(fù)的諧振放大，由輸出窗口發(fā)射獲得高功率激光和高質(zhì)量光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率氣體C02激光器的光學(xué)諧振腔裝置，其特征在于高穩(wěn) 定光學(xué)支架(13)為桁架機(jī)械結(jié)構(gòu)，由兩個(gè)端板和三根拉桿構(gòu)成；在一塊端板上裝有光學(xué)元 件全反射鏡(17)、光學(xué)腔支撐上下位移調(diào)整結(jié)構(gòu)(5)、左右位移調(diào)整結(jié)構(gòu)(6)和光學(xué)元件 支架全反射鏡壓蓋(18)、全反射鏡座(21)；另一塊端板上裝有光學(xué)元件輸出反射鏡(4)、光 學(xué)腔支撐及上下位移調(diào)整結(jié)構(gòu)(5)、左右移調(diào)整結(jié)構(gòu)(6)和光學(xué)元件支架輸出反射鏡壓蓋 (1)、輸出反射鏡座(7)，作為激光激勵(lì)諧振反射和輸出窗口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率氣體C02激光器的光學(xué)諧振腔裝置，其特征在于光學(xué) 元件全反射鏡(17)為凹面鏡，凹面表面鍍金膜；光學(xué)元件輸出反射鏡(4)為平面鏡，平鏡的 一端表面鍍工作介質(zhì)反射膜，平鏡的另一端表面鍍?cè)鐾改ぁ?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體激光器的光學(xué)諧振腔裝置，其特征在于支撐位移調(diào)節(jié)結(jié) 構(gòu)為安裝在高穩(wěn)定光學(xué)支架(13)端板上的上、下位移調(diào)整塊(5)；左、右位移調(diào)整塊(6)； 調(diào)整上、下位移調(diào)整塊(5)和左、右位移調(diào)整塊(6)，使校準(zhǔn)光源的光軸、主放電極的空間光 軸、全反射鏡的軸心和輸出反射鏡的軸心為同一光軸“0”，實(shí)現(xiàn)激光器輸出激光方向準(zhǔn)直度 的準(zhǔn)確性。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率氣體C02激光器的光學(xué)諧振腔裝置，其特征在于光學(xué) 元件支架結(jié)構(gòu)是安裝在波紋管大法蘭盤(8)上的全反射鏡座(21)和輸出反射鏡鏡座(7)； 與鏡座緊固連接全反射鏡壓蓋(18)和輸出反射鏡壓蓋(1)；與壓蓋和鏡片緊密連接的全反 射鏡和輸出反射鏡銦鋼墊圈(3)，光學(xué)元件支架結(jié)構(gòu)可以將鏡片牢固的固定在相應(yīng)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率氣體C02激光器的光學(xué)諧振腔裝置，其特征在于全反射鏡座(21)和輸出反射鏡座(7)通過大0形密封圈(10)、小0形密封圈(19)與波紋管的 大法蘭盤⑶緊固連接；全反射鏡(17)和輸出反射鏡⑷通過小0形密封圈(9)與鏡座 (7)、全反射鏡座(21)緊固連接；波紋管小法蘭盤(16)通過0形密封圈與激光放電腔(13) 緊固連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率氣體C02激光器的光學(xué)諧振腔裝置，其特征在于大法 蘭盤(8)上還安裝有仰角調(diào)整螺栓(22)，由外部設(shè)備校準(zhǔn)光源和光欄校定激光器主放電極 的空間光軸“0”與光源的光軸“0”同軸后，調(diào)整仰角螺栓(22)使全反射鏡(4)和鏡輸出反 射鏡(17)的光軸“0”與主放電極的空間光軸“0”與光源的光軸“0”，形成“0-0' ”三者同軸o
全文摘要
一種高功率氣體CO2激光器的光學(xué)諧振腔，該光學(xué)諧振腔包括全反射鏡、全反射鏡座、全反射鏡壓蓋、輸出反射鏡、輸出反射鏡座、輸出反射鏡壓蓋。其連接關(guān)系是光學(xué)諧振腔安裝固定在高穩(wěn)定光學(xué)支架的兩端板上，經(jīng)有彈性可調(diào)整的波紋管固定連接在密閉循環(huán)流動(dòng)的工作氣體腔室通道的兩端。通過校準(zhǔn)光源調(diào)整全反射鏡、輸出反射鏡的軸心，與激光放電腔的空間光軸“0”同軸。儲(chǔ)能充放電路注入電能后使激光放電腔的一對(duì)放電電極大面積均勻的輝光放電，經(jīng)全反射鏡和輸出反射鏡多次的激勵(lì)諧振，使脈沖信號(hào)多次反復(fù)越來越強(qiáng)形成激光，并通過輸出窗口發(fā)射激光而構(gòu)成激光器的光學(xué)諧振腔。本發(fā)明穩(wěn)定可靠，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于高功率氣體激光器和脈沖氣體激光器。
文檔編號(hào)H01S3/081GK101854023SQ201010179488
公開日2010年10月6日 申請(qǐng)日期2010年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月24日
發(fā)明者耿玉民, 郭勁 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所